CN101038260A - 基板检查装置 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部(6)，该浮起平台部(6)使基板(1)浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置(9)，其保持基板(1)的端部，在使基板(1)在浮起平台部(6)上方浮起的状态下对基板(1)进行搬运；检查部，其对由第1基板搬运装置(9)搬运来的基板(1)进行检查；以及第2基板搬运装置(8)，其在浮起平台部(6)的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体(8b)，该旋转体(8b)被设置成可以出没于浮起平台部(6)的搬运面，并支撑基板(1)的背面，以将基板(1)搬入到浮起平台部(6)内。

Description

基板检查装置
技术领域
本发明涉及例如在晶片和液晶玻璃基板等的检查中所使用的基板检查装置。
背景技术
以往，在晶片和液晶玻璃基板等的宏观检查中，通过对基板表面照射照明光，取入与该反射光或者透射光的光学变化对应的表面的图像，并对其进行图像处理，从而确认涂敷于表面的保护膜的膜不均、气孔等的缺陷和有无尘埃附着等。另外，当确认到在基板表面有缺陷或者尘埃附着等(缺陷)的情况下，用显微镜等微观检查装置对该缺陷进行扩大以进行详细的观察。
在这种基板检查装置中，存在如下的装置：对基板照射线状的照明光，并使基板在一轴方向上恒速移动，由此用线性传感相机(line sensorcamera)获取基板整个表面的图像。作为该基板的搬运装置，例如存在辊式输送机，该辊式输送机具有旋转驱动装置，该旋转驱动装置在以与移动方向正交的方式按预定间隔排列的多个旋转轴上固定设置多个滚柱，并使旋转轴旋转。在该基板搬运装置中，可以通过旋转驱动装置的驱动来使旋转轴旋转，使载置于滚柱上的基板在一轴方向上移动。
具有该辊式输送机的检查平台部一般被称作辊式输送机平台，固定于各旋转轴上的各滚柱的高度被配置为处于同一水平面上，在搬运基板时可以高度保持基板的平坦度(例如参照专利文献1)。
另一方面，在基板检查装置中，也存在如下的装置，即，该装置具备：缺陷检测部，该缺陷检测部在基板的搬入侧和搬出侧配置将滚柱旋转自如地设置在轴上的辊式输送机平台，在这些辊式输送机平台之间的检查区域配置使基板浮起的气浮平台，一边把持浮起的基板的端部一边使基板在一轴方向上移动，同时检测基板的缺陷；以及详细观察缺陷的缺陷复查(review)部(例如参照专利文献2)。在这种基板检查装置中，基板的端部被把持机构保持，该把持机构可以在一轴方向上移动，由此，可以使基板在平台部上以浮起的状态进行恒速移动。该气浮平台通过在检查时以非接触的方式支撑基板，从而消除基板的变形，可以防止因变形的影响带来的缺陷的误认。
专利文献1：日本特开2003-263627号公报
专利文献2：日本特开2000-9661号公报
但是，在专利文献1所示的具有辊式输送机平台的基板检查装置中，基板的移动只能在与基板的搬运方向正交的一轴方向上进行。因此，无法将搬入到辊式输送机平台上的基板向与一轴方向正交的方向移动，如果基板的尺寸变大则难以通过与各辊之间的摩擦阻力来进行基板的定位。这样，在无法正确地将基板定位在基准位置的情况下，所检测出的缺陷的坐标就包含基板相对于基准位置偏移的那部分误差，存在不能正确地特定缺陷位置的问题。
另外，在用辊式输送机平台(检查平台部)支撑基板并对其进行检查时，因来自电动机等驱动部的振动或辊之间的基板的挠曲，而存在对基板的检查精度降低的问题。
另一方面，在专利文献2所示的基板检查装置中，通过在检查区域配置以非接触的方式支撑基板的气浮平台，从而难以受到基板的挠曲和振动的影响。但是，如果为了将基板搬入到气浮平台上，而在气浮平台的两侧设置辊搬运部，则检查装置会大型化，存在占有空间变大的问题。
进而，为了实现检查装置的小型化，考虑到可以从气浮平台的两侧去掉辊搬运部，从生产线的搬运用辊式输送机直接将基板搬入到气浮平台上，但由于在气浮平台上与基板的接触阻力变小，所以基板在转移到气浮平台上的瞬间会产生失控的问题。
另外，以往，由于利用搬运机械手使基板移动到设置于生产线之外的检查装置中进行检查，所以存在从制成基板到得到检查结果为止花费时间的问题。近些年来，渐渐要求在生产线内设置基板检查装置，尽快将所制造的基板的检查结果反馈给制造工序，进行制造工序的控制。
发明内容
本发明是鉴于上述情况而完成的，其目的在于提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有通过压力气体使基板浮起的浮起平台部并能实现小型化，并且可以设置在生产线内。
为了达到上述目的，本发明提供以下的手段。
本发明的基板检查装置的特征在于，该基板检查装置具有：浮起平台部，该浮起平台部使基板浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置，该第1基板搬运装置保持上述基板的端部，在使上述基板在上述浮起平台部上方浮起的状态下，搬运上述基板；检查部，该检查部对由上述第1基板搬运装置搬运来的上述基板进行检查；以及第2基板搬运装置，该第2基板搬运装置在上述浮起平台部的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体，上述旋转体被设置成可出没于上述浮起平台部的搬运面，并支撑上述基板的背面，以将上述基板搬入到上述浮起平台部内。
即，在本发明的基板检查装置中，除了使基板浮起的浮起平台部和在使该基板浮起的状态对基板强行进行搬运的第1基板搬运装置之外，还在浮起平台部的端部设置出没自如地进行旋转驱动的旋转体，从而可以使基板检查装置自身将基板搬入浮起平台部内或者从浮起平台部内搬出基板。
根据本发明，不需要在基板检查装置中将基板搬入、搬出的搬运机械手等其他的基板搬运装置，从而可以使基板检查装置小型化，同时，能够节省基板检查所需的空间。
附图说明
图1是表示本发明的一个实施方式的基板检查装置的侧面图。
图2是表示图1所示的基板检查装置的基板搬运装置的俯视图。
图3是图2所示的基板搬运装置的正面图。
图4是图2所示的基板搬运装置的左侧面图。
图5是表示本发明的一个实施方式的基板检查装置的第2基板搬运装置的立体图。
图6是表示向本发明的一个实施方式的基板检查装置的第2基板搬运装置的旋转轴施加旋转驱动力的例子的侧面图。
符号说明
1基板；1b基板的下表面；3检查平台；6气浮平台部；6b精密浮起块；6c平台部的一个端部；6d平台部的另一个端部；6e气浮块；6h孔；8第2基板搬运装置；8a旋转轴；8b旋转体；8c旋转驱动装置；9第1基板搬运装置；A基板检查装置；O1轴线。
具体实施方式
下面，参照图1至图5说明本发明的一个实施方式的基板检查装置。
本发明的一个实施方式的基板检查装置A用于图1所示那样的例如液晶玻璃基板等的检查。该基板检查装置A分为进行基板1的观察的检查部2和为了进行观察而保持基板1并使其移动的检查平台3。图1所示的检查部2具有：宏观检查部4，其通过向基板1的表面1a照射照明光，取入与其反射光的光学变化所对应的表面1a的图像，并对该图像进行图像处理，从而确认涂敷于表面1a的保护膜的膜不均、气孔等的缺陷和有无尘埃附着等；以及微观检查部5，其利用显微镜部5a对由宏观检查部4检测出的缺陷进行详细观察。
宏观检查部4由下列部分构成：安装于被称为龙门架(gantry)的门型框架的支柱4a上的照明部4b；安装于一个支撑臂4c上的镜4d；以及安装于另一个支撑臂4e上的摄像部4f。此处，一对支柱4a的下端固定于后述的检查平台3的基部7上，在将后述的气浮平台部(浮起平台部)6夹在中间而对置设置的2根支柱4a的两个上端连接并架设有与基板1的移动方向正交的水平臂。照明部4b是例如在棒状的棒形透镜的端面上配置了光源的线性照明单元。该照明部4b相对于与在检查平台3的气浮平台部6上方朝向一轴方向移动的基板1的移动方向(X方向)，可以在正交方向(Y方向)上，在比基板1的宽度稍长的范围内，对基板1的表面1a进行线状的照明。镜4d用于使从照明部4b照射的线状的照明光中的从基板1的表面1a反射的反射光朝向摄像部4f偏向。摄像部4f的主要结构要素为：接受由镜4d偏向为水平方向的光，并对其进行聚光的未图示的成像透镜；以及对通过成像透镜聚光后的光进行成像，获得基板1的表面1a的图像的未图示的线性传感相机(摄像元件)。
微观检查部5相对于宏观检查部4，以不干涉的程度与基板1的搬运方向的下游侧接近设置。通过将该微观检查部5和宏观检查部4以短于基板1的长度的间隔接近设置，从而可以缩短检查平台3，可以实现基板检查装置A的小型化。该微观检查部5由以下部分构成：检查头用平台5d，其被设置成可以沿着水平臂移动，该水平臂连接并架设在被称为龙门架的门型框架的支柱5b之间；设置在该检查头用平台5d上的显微镜部5a；以及透射照明部5c，其经由以与基板1的移动方向正交的方式设置在气浮平台部6上的线状的间隙部6a，可以从基板1的下表面1b方向照射照明光。
接着，参照图2至图5说明检查平台3。检查平台3由以下部分构成：基部7；并列有形成为长方形板状的多个气浮块6e和精密气浮块6b的气浮平台部6；设置在气浮平台部6的X方向的一个端部6c侧和另一个端部6d侧，并通过辊驱动来搬运基板1的第2基板搬运装置(辊式输送机)8；吸附保持基板1的至少沿着搬运方向的一边强行搬运基板1的第1基板搬运装置9；以及与基板1的端部1c、1d、1e抵接来将基板1定位于基准位置的定位机构10。
气浮平台部6是配置多个长方形的气浮块6e和精密气浮块6b而形成的。各气浮块6e和精密气浮块6b以各上表面形成水平面的方式支撑于基部7的支撑框架7a上。精密气浮块6b被配置成沿着成为微观检查部5的检查区域(物镜的扫描线)的间隙部6a而分别在两侧连接多个。气浮块6e在精密气浮块6b的两侧沿着基板1的搬运方向(X方向)隔开预定的间隔配置有多个。在通过等间隔设置各气浮块6e而形成的相邻的气浮块6e之间，形成有用于排出空气的开口部6f。在形成该气浮平台部6的精密气浮块6b和气浮块6e的上表面上分散配置有喷出气体的孔6h。精密气浮块6b和气浮块6e通过未图示的例如减压阀或流量计等的控制装置和配管，与压缩机等的压力气体喷出装置连接，可以通过各孔6h喷出恒压的压力气体。精密气浮块6b只要是与气浮块6e相比将孔6h配置得更密的部件，或者除了喷出用的孔6h之外还设置用于吸入空气的排出用的孔从而能够通过空气喷出力(正压)和空气抽吸力(负压)来高精度地控制基板1的浮起高度的部件即可。
第2基板搬运装置8具有支撑从检查平台3的外部搬入的基板1的背面并将其搬入气浮平台部6的可旋转驱动的旋转体8b，该第2基板搬运装置8配置在气浮平台部6的成为基板1的搬入侧的一个端部6c侧和成为基板1的搬出侧的另一个端部6d侧。各个第2基板搬运装置8由以下部分构成：旋转轴8a，其并列配置于X方向上，且轴线O1与基板1的移动方向(X方向)正交；旋转体8b，其是环绕安装于各旋转轴8a上的多个圆板或滚柱等；旋转驱动装置8c，其是驱动旋转轴8a旋转的例如电动机等；枢转支撑部件8d，其枢转支撑各旋转轴8a，并能够上下移动地支撑各旋转轴8a，以使旋转体8b出没于气浮平台部6的上表面(搬运面)；以及上下移动驱动装置8e，其使枢转支撑部件8d上下移动。此处，旋转驱动装置8c和上下移动驱动装置8e一起构成驱动部8f。第2基板搬运装置8在气浮平台部6的基板搬入侧和基板搬出侧的端部各配置3组，但如果具有足够搬运基板1的驱动力，则配置至少1组即可。另外，旋转驱动装置8c如果能够通过后述的第1基板搬运装置9将基板1的一部分送出到配置在下游侧的生产线上的搬运用辊式输送机，则也可以配置于气浮平台部6的一个端部上。
旋转轴8a以连接气浮平台部6的两外侧的方式延伸设置，其一个端部与旋转驱动装置8c连接。该旋转轴8a被多个轴承部8j支撑成可以在一个端部到另一个端部之间旋转。
旋转体8b例如利用聚醚醚酮(Poly Ether Ether Ketone，PEEK)、聚酰亚胺(Polyimide，PI)树脂等的耐磨损性树脂形成为环状，在其外周面8g上包覆有具有适度的弹性和相对于基板1具有适度的相对摩擦系数的例如硅橡胶(Si)等。
5个旋转体8b用小螺钉等固定在1根旋转轴8a上，这些旋转体8b位于气浮平台部6的开口部6f。此时，由于在X方向上并列配置有3根旋转轴8a，所以在气浮平台部6的各开口部6f和气浮平台部的两侧，在X方向上并列配置有3个旋转体8b。
枢转支撑部件8d由平板状的支撑框架部8h和从支撑框架部8h的上表面8i垂直地突出设置的轴承部8j构成。支撑框架部8h的端部支撑于与旋转驱动装置8c一起容纳在驱动部8f中的上下移动驱动装置8e上。轴承部8j以与旋转轴8a的轴线O1正交的方向突出设置于支撑框架部8h的上表面8i，沿着旋转轴8a的轴线O1，具有能够适当地支撑旋转轴8a的适当间隔且被配置多个。在轴承部8j的旋转轴8a所抵接的部分形成有与旋转轴8a的圆柱形状卡合的半圆形的凹部8k，旋转轴8a可旋转地支撑在该半圆形的凹部8k中。另外，如果在轴承部8j的前端设置轴承作为将旋转轴8a支撑成旋转自如的轴承部件，则能够防止旋转轴8a的晃动，为优选方案。
驱动部8f的旋转驱动装置8c和上下移动驱动装置8e容纳在1个箱体8l内，可以进行旋转轴8a的旋转以及支撑框架部8h的上下移动，该驱动部8f设置于气浮平台部6的外侧的基部7上。上下驱动装置8c也可以设置在支撑框架部8h的两端。
如图2至图4所示，第1基板搬运装置9由以下部分构成：设置于基部7上的2条轨道部9a；矩形板状的支撑板部9b；连接支撑板部9b和轨道部9a，可以沿轨道部9a自动行进的线性电动机等的滑动部9c；垂直地突出设置于支撑板部9b的上表面9d，在轨道方向上呈线状排列的3张矩形板状的保持部9e；上下移动自如地支撑在各个保持部9e的侧面的矩形箱状的支撑部9h；以及在支撑部9h的上表面9f上沿着长度方向呈线状排列的多个吸附部9k。圆筒部件9g和吸盘9j一起构成吸附部9k。并且，在支撑部9h上，具备可进行真空抽吸和负压释放的适当的装置，通过进行真空抽吸，吸附部9的吸盘9j吸附在基板1的背面，使基板1下降以成为基准的浮起高度。
在该结构中，使吸盘9j抵接于配置在吸盘9j上方的基板1上，用吸附部9k进行真空抽吸，由此，吸盘9j成为负压状态而吸附在基板1的下表面1b上，牢牢地保持基板1。上述第1基板搬运装置9通过利用适当的装置在轨道部9a上滑动，从而可以使基板1在一轴方向(X方向)上恒速移动。由于支撑部9h被支撑成上下移动自如，所以在基板1被搬入时，使支撑部9h上升而将基板1支撑在吸盘9j上。
由此，气浮的基板1借助于与吸盘9j之间的小的摩擦力而静止在气浮平台部6上方，可以通过定位机构10安全地进行定位。另外，在搬入或者搬出基板1的时候，使支撑部9h下降，使吸盘9j离开基板1，由此，基板1与吸盘9j之间的摩擦力变小，因此可以通过第1基板搬运装置9朝向搬运方向笔直地搬入/搬出基板1。
如图2所示，定位机构10由以下部分构成：基准销10b，其外周面10a利用比玻璃柔软的耐磨损性树脂包覆；以及按压销10e，其具有可以使被耐磨损性树脂包覆的圆柱状的抵接部10c向基板1侧移动的例如气缸等的未图示的移动装置。配置在能够与基板1的端部1e抵接的位置上的一对基准销10b被设置成可在上下方向出没，在搬入基板1时上升得高于气浮平台部6的上表面，在定位之后下降到比气浮平台部6的上表面更靠下方的位置。另一对基准销10b设置在可以与基板1的端部1d抵接的位置，一对按压销10e设置在沿着基板1的端部1c的保持部9e之间。
接着，参照图1至图5说明使用由上述结构构成的基板检查装置A进行基板1的检查的步骤。
首先，利用上下移动驱动装置8e使配置在搬入侧的第2基板搬运装置8的支撑框架部8h上升，固定于旋转轴8a的旋转体8b的一部分被调节为比气浮平台部6的上表面更向上方突出。
接着，在使压力气体从气浮平台部6的孔6h中喷出的状态下，利用配置于基板检查装置A外的上游的搬运用辊式输送机搬入基板1。在搬入该基板1时，驱动驱动部8f的上下移动驱动装置8e而使第2基板搬运装置8上升，使位于气浮平台部6的一个端部6c侧的第2基板搬运装置8的旋转体8b比气浮平台部6的上表面更向上方突出。在该状态下，通过与配置在上游侧的辊式输送机同步而利用旋转驱动装置8c使旋转轴8a旋转，从而由配置在上游侧的辊式输送机运来的基板1的一部分被搬运到气浮平台部6的内侧。此时，通过与上游的辊式输送机的旋转同步而利用旋转驱动装置8c使旋转轴8a旋转，从而用辊式输送机和第2基板搬运装置8将基板1搬运到气浮平台部6内。在基板1完全被搬入到气浮平台部6的同时，停止第2基板搬运装置8的旋转驱动装置8c。此时，基板1的后端部借助于与第2基板搬运装置8的各旋转体8b的摩擦力而成为被限制在第2基板搬运装置8上的状态。在该限制状态下，使第1基板搬运装置9的支撑部9h上升，使吸附部9k的吸盘9j抵接于基板1的背面1b，由此，在气浮平台部6上方浮起的基板1被吸盘9j限制。此时，基板1虽然在气浮平台部6上方浮起，但由于基板1被其与第1基板搬运装置9的吸盘9j的摩擦力所限制，所以基板1静止而不在气浮平台部6上方移动。此后，利用上下移动驱动装置8e使旋转体8b下降到比气浮平台部6的上表面更靠下方的位置而处于待机状态。此处，例如在把图1所示的基板检查装置A设置于基板1的生产线内的情况下，使与基板检查装置A连结的搬运用辊式输送机与第2搬运装置8的旋转轴8a的旋转速度同步。由此，被搬运用辊式输送机所搬运来的基板1的前端部1e按原样过渡到旋转体8b上，从而能够通过旋转体8b的旋转而将基板1搬入到气浮平台部6内。
接着，使定位机构10上升，以使图2所示的定位机构10的基准销10b配置在基板1的水平位置上，同时，使按压销10e水平移动，将基板1定位在能够获取基板1的原点坐标的基准位置上。
在该定位之后，开始真空抽吸，用第1基板搬运装置9的吸盘9j来吸附保持基板1。在基板1被牢固地吸附保持的阶段，定位机构10的基准销10b和按压销10e返回到原来的位置，离开基板1。由此，利用压力气体的喷出而浮起的基板1的端部被保持在吸盘9j上，从而基板1成为被水平支撑的状态。此处，定位机构10移动到不会妨碍基板1的检查的预定位置，在该阶段进行基板1的原点坐标的获取。
接着，通过图1所示的宏观检查部4的照明部4b以入射角θ1向基板1的表面1a照射线状的光束(照明光)，使保持有基板1的第1基板搬运装置9在轨道部9a上以一定速度移动。照明光照射到从动于第1基板搬运装置9的基板1的表面1a上，从表面1a以反射角θ2反射的反射光被镜4d向水平方向偏向并取入到摄像部4f。由于基板1通过第1基板搬运装置9在X方向上以一定速度移动，所以可以用摄像部4f依次取入基板1的表面1a的图像，通过对被取入的图像进行处理，可以检查基板1整个表面1a有没有缺陷。另外，以基板1的原点坐标为基础，可以获得缺陷的位置坐标。
第1基板搬运装置9根据缺陷的位置坐标使基板1移动，以使得由宏观检查部4检测出的基板1的表面1a的缺陷与气浮平台部6的间隙部6a重合。
接着，微观检查部5将显微镜部5移动到能够观察缺陷的位置上，利用透射照明部5c从位于间隙部6a的基板1的背面侧照射照明光。然后，通过显微镜部5进行缺陷的扩大图像的详细观察。
在结束了详细观察的阶段，使设于气浮平台部6的另一个端部6d的第2基板搬运装置8的上下移动驱动装置8e上升，使旋转体8b的一部分比气浮平台部6的上表面更向上方突出。接着，由第1基板搬运装置9所保持的基板1的前端部1e被搬运到抵接于旋转体8b上的位置，进行吸盘9j的负压释放，使基板1从吸盘9j离开。
最后，通过旋转驱动装置8c使第2基板搬运装置8的旋转轴8a旋转，将基板1搬出到基板检查装置A外。基板检查装置A自动进行这一系列的从基板1的搬入到检查、搬出的操作。
从而，在由上述结构构成的基板检查装置A中，通过设置于气浮平台部6的一个端部6c侧的第2基板搬运装置8，可将基板1搬入气浮平台部6内。此时，由于可以用上下移动驱动装置8e将第2基板搬运装置8的旋转体8b的一部分调节为比气浮平台部6的上表面所形成的水平面更向上方突出，所以能够在借助于第2基板搬运装置8的旋转体8b的摩擦力对利用气浮平台部6浮起的基板1进行限制的状态下可靠地将基板1搬入气浮平台部6内。另外，搬运到气浮平台部6上方的基板1利用从孔6h喷出的压力气体而浮起，同时在基板1的一边1c被第1基板搬运装置9的吸盘9j的摩擦力限制的状态下能够利用定位机构10可靠地定位于基准位置上。进而，结束了检查的基板1通过第1基板搬运装置9，可以搬运到与设于气浮平台部6的另一个端部6d侧的第2基板搬运装置8的旋转体8b抵接的位置，通过该第2基板搬运装置8，可以将基板1搬出到基板检查装置A外。此时，由于可以利用上下移动驱动装置8e调节旋转体8b的位置，所以能够可靠地将浮起状态的基板1搬出到基板检查装置A外。
由此，在由上述结构构成的基板检查装置A中，在从气浮平台部6的一个端部6c到另一个端部6d的范围内，基板检查装置A自身可以将基板1搬入气浮平台部6内以及可以从气浮平台部6内搬出基板1。
由此，根据由上述结构构成的基板检查装置A，将第2基板搬运装置8一体地组装进检查平台3的气浮平台部6，将第2基板搬运装置8的旋转体8b设置成可出没于气浮平台部6的搬运面，由此，作为基板检查装置A，不需要在使基板1浮起并对其进行水平支撑的气浮平台部6的两侧设置另外的辊式输送机平台，从而能够实现基板检查装置A的小型化。另外，由于可以将基板检查装置A配置在生产线的辊式输送机的搬运路径的途中，所以不需要像以往那样在从基板检查装置A中搬出基板1时所使用的搬运机械手，从而可以实现检查所需的空间的节约。进而，基板检查装置A被小型化，自身可以进行基板1的搬入、搬出，由此可以在生产线的现有的搬运装置等之间原样串列配置基板检查装置A来进行使用，能够利用现有的搬运装置所占有的空间进行检查。
而且，本发明不限于上述一个实施方式，在不脱离其主旨的范围内可以进行适当变更。
例如，第2基板搬运装置8设置在气浮平台部6的一个端部6c侧和另一个端部6d侧，但不限于此，也可设在任一方上，不限制其设置位置和设置数量。
并且，旋转轴8a设置了3根，但只要至少设置有1根旋转轴8a即可。
另外，环绕安装于旋转轴8a上的旋转体8b形成为塑料制的环状，在其外周面8g上包覆有具有适度的弹性和适度的相对摩擦系数的例如硅橡胶等，但也可以以抵接于基板1、可以搬运基板1的方式例如在外周面8g上形成凹凸形状，对材质和外周面的形状没有特别地限定。
另外，对于第2基板搬运装置8，将旋转驱动装置8c和上下移动驱动装置8e容纳在1个箱体8l内作为驱动部8f，而且利用该驱动部8f对旋转轴8a和支撑框架部8h进行支撑，但不限于此，只要旋转体8b旋转，能搬运与该旋转体8b抵接的基板1即可，因此不限制旋转轴8a的支撑方法和旋转驱动装置8c的设置位置。
另外，在1个第2基板搬运装置8所具有的3根旋转轴8a上，分别连接了旋转驱动装置8c，但也可以例如图6所示那样在1根旋转轴8a上连接旋转驱动装置，对于其他的旋转轴8a，例如在旋转轴8a上卷绕8m等的传动带，将1根旋转轴8a的旋转力传递给其他的旋转轴8a，使所有的旋转轴8a旋转。
并且，上述气浮平台部6不限于形成为长方形的气浮块6e，也可以在搬运基板1的搬运面整体上分散配置用于喷出使基板1浮起的气体的孔6h，在该搬运面上形成多个使旋转体8b出没的开口，使旋转体8b通过该开口突出于上述搬运面。
另外，第2基板搬运装置8的旋转体8b在其一部分位于气浮平台部6的基板1侧的上表面的上方时，用上下移动驱动装置8e使旋转体8b上下移动，但不限于此，只要旋转体8b的一部分相对于气浮平台部6的上表面相对地上下移动，并比上表面更向上方突出即可，因此也可以固定旋转体8b，使气浮平台部6上下移动。
进而，本发明构成为通过压力气体推压基板1的下表面1b而使基板1浮起，但也可以是能使基板1浮起的静电浮起和超声波浮起等利用非接触方式的浮起装置，用来搬运以该非接触方式浮起的基板1的第1基板搬运装置9也不限于此。
进而，上述一个实施方式所示的基板检查装置A构成为具有宏观检查部4和微观检查部5，但不限于此，只要能用第2基板搬运装置8将基板1搬运到气浮平台部6内即可，因此也可以应用于具备例如宏观检查部4和微观检查部5中任一方的基板检查装置，并且也可以应用于具备与一个实施方式所示的宏观检查部4和微观检查部5的结构不同的结构的检查部和激光修复机(laser repair)等的基板检查装置。

Claims (9)

1.一种基板检查装置，其特征在于，该基板检查装置具有：
浮起平台部，该浮起平台部使基板浮起并对其进行水平支撑；
第1基板搬运装置，该第1基板搬运装置保持上述基板的端部，在使上述基板在上述浮起平台部上方浮起的状态下，搬运上述基板；
检查部，该检查部对由上述第1基板搬运装置搬运来的上述基板进行检查；以及
第2基板搬运装置，该第2基板搬运装置在上述浮起平台部的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体，上述旋转体被设置成可出没于上述浮起平台部的搬运面，并支撑上述基板的背面，以将上述基板搬入到上述浮起平台部内。
2.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
上述浮起平台部具有多个以预定间隔进行配置的长方形形状的浮起块，上述第2基板搬运装置的旋转体被设置成可以出没于邻接的各浮起块之间。
3.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
在上述浮起平台部中，在搬运上述基板的整个搬运面上分散配置有用于喷出使上述基板浮起的气体的孔，在上述搬运面上形成有多个使上述旋转体出没的开口，上述第2基板搬运装置的旋转体通过上述开口从上述搬运面突出。
4.根据权利要求1至3中的任一项所述的基板检查装置，其特征在于，
上述第2基板搬运装置具有与上述基板的搬运方向正交的旋转轴，在上述旋转轴上以预定的间隔配置有多个上述旋转体，上述第2基板搬运装置设置有旋转驱动装置，该旋转驱动装置使上述旋转轴绕轴线旋转。
5.根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于，
上述旋转轴由进行上下移动的枢转支撑部支撑成可以旋转，所述第2基板搬运装置中设置有使上述枢转支撑部进行上下移动的上下移动驱动装置。
6.根据权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，
上述第2基板搬运装置在将上述基板搬入上述浮起平台部时，使上述旋转体比上述浮起平台部的搬运面更向上方突出，在利用上述第1基板搬运装置强行搬运基板时，上述第2基板搬运装置使上述旋转体移动到比上述浮起平台部的搬运面更靠下方的位置。
7.根据权利要求6所述的基板检查装置，其特征在于，
在上述基板被搬入到上述浮起平台部而由上述第1基板搬运装置限制了上述基板的端部之后，上述第2基板搬运装置使上述旋转体移动到比上述浮起平台部的搬运面更靠下方的位置。
8.根据权利要求1至3和权利要求5至7中的任一项所述的基板检查装置，其特征在于，
上述第2基板搬运装置的上述旋转体可以相对于上述浮起平台部的上述搬运面相对地上下移动。
9.根据权利要求4所述的基板检查装置，其特征在于，
上述第2基板搬运装置的上述旋转体可以相对于上述浮起平台部的上述搬运面相对地上下移动。
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