KR100582344B1 - 유리기판의 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 유리기판의 검사장치에 관한 것으로서, 성형공정에서 유리기판(1)을 검사하는 장치에 있어서, 검사 존에 설치되어 유리기판(1)의 에지부분을 클램핑하여 고정시키는 기판고정수단(100)과, 기판고정수단(100)에 의해 고정된 유리기판(1)의 일측에 위치하며, 조명(210)으로 광을 조사하여 복수의 카메라(220)로 유리기판(1)을 스캔하는 비젼어셈블리(200)와, 비젼어셈블리(200)의 카메라(220)가 유리기판(1)의 전영역을 스캔하도록 비젼어셈블리(200)를 유리기판(1)의 일측으로부터 타측으로 이동시키는 비젼어셈블리이동수단(300)과, 비젼어셈블리(200)의 카메라(220)로부터 전송되는 이미지로부터 유리기판(1)의 결함을 데이터로 처리하는 결함데이터처리부(400)와, 결함데이터처리부(400)로부터 처리된 데이터를 디스플레이하는 디스플레이부(500)를 포함한다. 따라서, 본 발명은, 성형공정에서 유리기판에 대한 검사를 간편하게 실시할 뿐만 아니라 검사에 소요되는 시간을 단축시키고, 검사시 유리기판에 물리적인 접촉으로 인한 결함발생을 최소화하며, 제한적인 초점심도에 따라 이송되는 유리기판의 진동을 최소화하여 정확한 검사가 이루어지도록 하는 효과를 가지고 있다.

Description

유리기판의 검사장치{APPARATUS FOR INSPECTING A GLASS SUBSTRATE}
도 1은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 도시한 정면도이고,
도 2는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 도시한 측면도이고,
도 3은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 도시한 평면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 도시한 구성도이고,
도 5는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단을 도시한 정면도이고,
도 6은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 제 1 상부클램프를 도시한 정면도이고,
도 7은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 제 1 상부클램프를 도시한 측면도이고,
도 8은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 제 2 상부클램프를 도시한 정면도이고,
도 9는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 제 2 상부클램프를 도시한 저면도이고,
도 10은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 제 1 하부 클램프를 도시한 정면도이고,
도 11은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 제 1 하부클램프를 도시한 측면도이고,
도 12는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 제 2 하부클램프를 도시한 정면도이고,
도 13은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 제 2 하부클램프를 도시한 평면도이고,
도 14는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 측부클램프를 도시한 정면도이고,
도 15는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 기판고정수단의 측부클램프를 도시한 측면도이고,
도 16은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치에서 비젼어셈블리를 도시한 사시도이고,
도 17은 본 발명에 따른 유리기판의 검사방법을 도시한 흐름도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 기판고정수단 110 : 상부클램핑수단
111 : 제 1 상부클램프 112 : 제 2 상부클램프
120 : 하부클램핑수단 121 : 제 1 하부클램프
122 : 제 2 하부클램프 130 : 측부클램핑수단
131 : 측부클램프 140 : 고정프레임
200 : 비젼어셈블리 210 : 조명
220 : 카메라 230 : 비젼프레임
240 : 카메라고정부재 250 : 조명고정부재
300 : 비젼어셈블리이동수단 310 : 제 1 리드스크루
320 : 카트 330 : 지지프레임
340 : 제 2 리드스크루 350 : 볼너트
360 : 제 2 이동모터 400 : 결함데이터처리부
500 : 디스플레이부
본 발명은 유리기판의 검사장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 성형공정에서 유리기판의 검사를 간편하고도 정확하게 실시하는 유리기판의 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 TFT-LCD(Thin film transistor-liquid crystal display), PDP(Plasma display panel), EL(Electro luminescent) 등 평판디스플레이(Flat display)의 제조 분야에서 사용되는 유리기판은 성형공정에서 유리 용해로(Glass melting furnace)에 용해된 유리물을 용해성형기에 공급하여 제조되고, 커팅기에 의해 일차 규격에 맞도록 절단되며, 컨베이어 시스템에 의해 가공라인으로 운반된다.
성형공정에서의 유리기판의 검사는 후공정으로의 불량품 투입을 사전에 차단함으로써 원가를 절감하며, 양품의 생산성을 향상시키는 효과가 있다.
성형공정에서 컨베이어 시스템에 의해 이송되는 유리기판을 검사시 유리기판을 컨베이어 시스템으로부터 분리하여 별도의 검사장치로 로딩하게 될 경우 검사에 많이 시간이 소요될 뿐만 아니라 운반에 따른 번거로움과 물리적인 접촉으로 유리기판에 결함을 발생시킬 우려가 많다는 문제점을 가지고 있었다.
그러므로, 성형공정에서 유리기판의 검사를 위해 다음과 같은 점들을 충분히 고려하여야 한다.
첫째, 유리기판을 검사 존으로 간편하게 로딩하여 고정시킴으로써 검사 존에 유리기판을 고정시키는데 따른 번거로움을 줄임과 아울러 일정 시간내에 일련의 검사공정을 마치도록 하여 검사에 소요되는 시간을 단축하여야 하며, 검사시 유리기판에 물리적인 접촉을 방지하여 유리기판의 결함 발생을 최대한 억제하여야 한다.
둘째, 제한적인 초점심도에 따라 이송되는 유리기판의 진동을 최소화하여 정확한 검사가 이루어지도록 하여야 한다.
따라서, 상기한 바와 같은 점을 고려한 성형공정에서의 유리기판 검사장치에 대해 개발할 필요성이 있으며, 이로 인해 성형공정 후 실시되는 공정으로 투입되는 유리기판의 불량률을 최소화하여 원가 절감은 물론 양품의 생산성을 증대시킬 필요가 있다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 본 발명의 목적은 성형공정에서 유리기판의 검사를 간편하게 실시할 뿐만 아니라 검사에 소요되는 시간을 단축시키고, 검사시 유리기판에 물리적인 접촉으로 인한 결함발생을 최소화하며, 제한적인 초점심도에 따라 이송되는 유리기판의 진동을 최소화하여 정확한 검사가 이루어지도록 하는 유리기판의 검사장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 성형공정에서 유리기판을 검사하는 장치에 있어서, 검사 존에 설치되는 고정프레임과, 고정프레임의 상측에 설치되어 유리기판의 상단을 클램핑하는 상부클램핑수단과, 고정프레임의 하측에 설치되어 유리기판의 하단을 클램핑하여 하방으로 당겨서 펴는 하부클램핑수단과, 고정프레임의 양측에 각각 설치되어 유리기판의 양단을 각각 클램핑하여 양측으로 당겨서 펴는 측부클램핑수단으로 이루어지는 기판고정수단과, 기판고정수단에 의해 고정된 유리기판의 일측에 위치하며, 조명으로 광을 조사하여 복수의 카메라로 유리기판을 스캔하는 비젼어셈블리와, 기판고정수단 일측의 바닥면에 회전가능하게 설치되는 제 1 리드스크루와, 제 1 리드스크루에 나사결합되어 비젼어셈블리가 상측에 결합되는 카트와, 제 1 리드스크루를 회전시키는 제 1 이동모터와, 카트의 상측에 제 1 리드스크루와 평행을 이루어 회전가능하게 설치되는 제 2 리드스크루와, 제 2 리드스크루에 나사결합되어 비젼어셈블리에 고정되는 볼너트와, 제 2 리드스크루를 회전시키는 제 2 이동모터로 이루어짐으로써 비젼어셈블리의 카메라가 유리기판의 전영역을 스캔하도록 비젼어셈블리를 유리기판의 일측으로부터 타측으로 이동시키는 비젼어셈블리이동수단과, 비젼어셈블리의 카메라로부터 전송되는 이미지로부터 유리기판의 결함을 데이터로 처리하는 결함데이터처리부와, 결함데이터처리부로부터 처리된 데이터를 디스플레이하는 디스플레이부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
삭제
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 도시한 정면도이고, 도 2는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 도시한 측면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 도시한 평면도이고, 도 4는 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 도시한 구성도이다.
도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치는, 유리기판(1)의 성형공정에서 이송레일(미도시)을 따라 이동하는 이송그립퍼(미도시)에 상단이 클램핑되어 이송되는 유리기판(1)을 검사 존에 고정시켜서 검사하는 장치로서, 유리기판(1)의 에지부분을 클램핑하여 고정시키는 기판고정수단(100)과, 유리기판(1)을 스캔하는 비젼어셈블리(200)와, 비젼어셈블리(200)를 유리기판(1)의 일측으로부터 타측으로 이동시키는 비젼어셈블리이동수단(300)과, 비젼어셈블리(200)에 의해 스캔한 이미지로부터 유리기판(1)의 결함을 데이터로 처리하는 결함데이터처리부(400)와, 결함데이터처리부(400)로부터 처리된 데이터를 디스플레이하는 디스플레이부(500)를 포함한다.
기판고정수단(100)은 상단이 복수의 이송그립퍼(미도시)에 의해 클램핑되어 이송레일(미도시)을 따라 이송되는 유리기판(1)의 이송경로에 인접하여 설치되며, 이송레일(미도시)을 따라 이송되던 유리기판(1)이 정지시 이송그립퍼(미도시)로부터 분리된 유리기판(1)의 에지부분을 클램핑하여 검사 존에 고정시킨다.
도 5에서 나타낸 바와 같이, 기판고정수단(100)은 고정프레임(140)과, 고정프레임(140)의 상측에 설치되어 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑하는 상부클램핑수단(110)과, 고정프레임(140)의 하측에 설치되어 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 상하로 펴지도록 유리기판(1)을 하방으로 당기는 하부클램핑수단(120)과, 고정프레임(140)의 양측에 각각 설치되어 유리기판(1)의 양단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 좌우로 펴지도록 유리기판(1)을 양측으로 당기는 측부클램핑수단(130)을 포함한다.
고정프레임(140)은 성형공정에서 유리기판(1)을 검사하기 위한 위치에 설치되고, 상측과 하측에 각각 위치하는 상부 및 하부프레임(141,142)이 한 쌍의 측부프레임(143)에 의해 연결된다.
상부클램핑수단(110)은 고정프레임(140)의 상측, 즉 상부프레임(141)에 각각 설치되어 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑하는 제 1 및 제 2 상부클램프(111,112)로 이루어지고, 제 1 상부클램프(111)는 고정프레임(140)의 상부프레임(141)에 고정되며, 제 2 상부클램프(112)는 고정프레임(140)의 상부프레임(141)을 따라 좌우로 이동 가능하도록 설치된다.
도 6 및 도 7에서 나타낸 제 1 상부클램프(111)는 고정프레임(140)의 상측프레임(141)에 브라켓(141a)에 의해 제 1 공압실린더(111a)가 설치되며, 제 1 공압실린더(111a)의 끝단, 즉 하단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(111c)를 공 압에 의해 유리기판(1)의 상단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 1 공압실린더(111a)는 한 쌍의 포트(111b)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 한 쌍의 그립퍼(111c)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(111c)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 상단 에지부분을 잡도록 한다.
도 8 및 도 9에서 나타낸 제 2 상부클램프(112)는 고정프레임(140)의 상측, 즉 상부프레임(141)에 설치되는 가이드레일(112a)을 따라 슬라이딩되도록 제 2 공압실린더(112b)가 설치되며, 제 2 공압실린더(112b)는 끝단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(112d)를 공압에 의해 유리기판(1)의 상단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 2 공압실린더(112b)는 상부프레임(141)에 일정 간격을 유지하도록 좌우로 설치되는 가이드레일(112a)에 슬라이딩 가능하도록 설치되며, 한 쌍의 포트(112c)에 선택적으로 공급되는 공압에 의해 그립퍼(112d)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(112d)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 상단 에지부분을 잡도록 한다.
제 2 상부클램프(112)는 제 2 공압실린더(112b)가 가이드레일(112a)에 슬라이딩 가능하도록 설치됨으로써 측부클램핑수단(130)에 의해 유리기판(1)이 양측으로 펴질 경우 유리기판(1)의 펴지는 방향으로 이동함으로써 유리기판(1)이 전영역에 걸쳐 펴지도록 한다.
제 2 상부클램프(112)는 유리기판(1)이 좌우로 펴지게 됨으로써 이동했던 제 2 공압실린더(112b)가 원위치로 복귀하도록 고정프레임(140)의 상측, 즉 상부프레임(141)과 제 2 공압실린더(112b)에 코일스프링 등과 같은 탄성부재(112e)가 설치된다.
하부클램핑수단(120)은 고정프레임(140)의 하측, 즉 하부프레임(142)에 각각 설치되어 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 상하로 펴지도록 유리기판(1)을 하방으로 당기는 제 1 및 제 2 하부클램프(121,122)로 이루어지고, 제 1 하부클램프(121)는 하부프레임(142)에 고정되며, 제 2 하부클램프(122)는 하부프레임(142)을 따라 좌우로 이동 가능하도록 설치된다.
도 10 및 도 11에서 나타낸 제 1 하부클램프(121)는 고정프레임(140)의 하측, 즉 하부프레임(142)에 공압에 의해 상하로 왕복 이동하는 이동부재(121b)를 가지는 제 3 공압실린더(121a)가 설치되고, 제 3 공압실린더(121a)의 이동부재(121b) 끝단에 제 4 공압실린더(121d)가 설치되며, 제 4 공압실린더(121d)는 끝단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(121f)를 공압에 의해 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 3 공압실린더(121a)는 한 쌍의 포트(121c)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 이동부재(121b)를 왕복 이동하도록 함으로써 제 4 공압실린더(121d)를 상하로 왕복 이동시킨다.
제 4 공압실린더(121d)는 한 쌍의 포트(121e)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 한 쌍의 그립퍼(121f)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(121f)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡도록 한다.
도 12 및 도 13에서 나타낸 제 2 하부클램프(122)는 고정프레임(140)의 하측, 즉 하부프레임(142)에 설치되는 가이드레일(122a)을 따라 슬라이딩되도록 제 5 공압실린더(122b)가 설치되고, 제 5 공압실린더(122b)는 공압에 의해 상하로 왕복 이동하는 이동부재(122c)를 가지며, 제 5 공압실린더(122b)의 이동부재(122c) 끝단에 제 6 공압실린더(122e)가 설치되고, 제 6 공압실린더(122e)는 공압에 의해 끝단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(122g)를 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 5 공압실린더(122b)는 하부프레임(142)에 일정 간격을 유지하도록 좌우로 설치되는 가이드레일(122a)에 슬라이딩 가능하도록 설치되며, 한 쌍의 포트(미도시)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 이동부재(122c)를 왕복 이동함으로써 이동부재(122c)에 결합된 제 6 공압실린더(122e)를 상하로 왕복이동시킨다.
제 6 공압실린더(122e)는 한 쌍의 포트(122f)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 한 쌍의 그립퍼(122g)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(122g)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡도록 한다.
제 2 하부클램프(122)는 제 5 공압실린더(122b)가 가이드레일(122a)에 슬라이딩 가능하도록 설치됨으로써 측부클램핑수단(130)에 의해 유리기판(1)이 양측으로 펴질 경우 유리기판(1)의 펴지는 방향으로 이동함으로써 유리기판(1)이 전영역에 걸쳐 펴지도록 한다.
제 2 하부클램프(122)는 유리기판(1)이 좌우로 펴지게 됨으로써 이동했던 제 5 공압실린더(122b)가 원위치로 복귀하도록 고정프레임(140)의 하측, 즉 하부프레 임(142)과 제 5 공압실린더(122b)에 코일스프링 등과 같은 탄성부재(122h)가 설치된다.
측부클램핑수단(130)은 고정프레임(140)의 양측, 즉 측부프레임(143)마다 각각 설치되어 유리기판(1)의 양단 에지부분을 클램핑함과 아울러 유리기판(1)이 좌우로 펴지도록 유리기판(1)을 양측으로 당기는 복수의 측부클램프(131)로 이루어진다.
도 14 및 도 15에 나타낸 측부클램프(131)는 고정프레임(140)의 일측, 즉 측부프레임(143)에 공압에 의해 좌우로 왕복 이동하는 이동부재(131b)를 가지는 제 7 공압실린더(131a)가 설치되고, 제 7 공압실린더(131a)의 이동부재(131b) 끝단에 제 8 공압실린더(131d)가 설치되며, 제 8 공압실린더(131d)는 끝단에 회전 가능하게 결합되는 한 쌍의 그립퍼(131f)를 공압에 의해 유리기판(1)의 측단 에지부분을 잡거나 놓기 위하여 서로 접거나 펼쳐지도록 한다.
제 7 공압실린더(131a)는 한 쌍의 포트(131c)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 이동부재(131b)를 왕복 이동함으로써 이동부재(131b)에 결합된 제 8 공압실린더(131d)를 좌우로 왕복 이동시킨다.
제 8 공압실린더(131d)는 한 쌍의 포트(131e)를 통해 공압을 선택적으로 공급받아 한 쌍의 그립퍼(131f)를 회전시켜서 서로 접거나 펼쳐지도록 함으로써 그립퍼(131f)가 접힐 때 그 끝단이 유리기판(1)의 하단 에지부분을 잡도록 한다.
하부클램핑수단(120)의 제 1 및 제 2 하부클램프(121,122)와 측부클램핑수단(130)의 측부클램프(131)는 유리기판(1)을 클램핑시 유리기판(1)이 클램핑되는 위치에 얼라인(align)되도록 유리기판(1)의 에지부분을 지지하는 얼라이너(121g,122i,131g)가 구비된다.
얼라이너(121g,122i,131g) 각각은 제 3 공압실린더(121a), 제 5 공압실린더(122b), 및 제 7 공압실린더(131a) 각각의 끝단에 결합되는 브라켓(121h,122j,131h)마다 양측으로 한 쌍씩 설치된다.
도 16에서 나타낸 비젼어셈블리(200)는 일측이 개방된 비젼프레임(230)의 내측 양쪽에 카메라고정부재(240)와 조명고정부재(250)가 수직되게 각각 설치되고, 카메라고정부재(240)에 복수의 카메라(220)가 개방된 일측을 통해 유리기판(1)을 스캔하도록 고정되며, 조명고정부재(250)에 조명(210)이 복수의 카메라(220)의 스캔 영역에 광을 조사하도록 설치된다.
비젼어셈블리이동수단(300)은 비젼어셈블리(200)의 카메라(220)가 유리기판(1)의 전영역을 스캔하도록 비젼어셈블리(200)를 유리기판(1)의 일측으로부터 타측으로 이동시킨다.
비젼어셈블리이동수단(300)은 기판고정수단(100) 일측의 바닥면에 제 1 리드스크루(310)가 회전가능하게 설치되고, 제 1 리드스크루(310)에 나사결합되는 카트(320)의 상측에 비젼어셈블리(200)가 결합되고, 제 1 리드스크루(310)를 회전시키는 제 1 이동모터(미도시)가 제 1 리드스크루(310)에 기계적으로 연결되며, 카트(320)의 상측에 제 1 리드스크루(310)와 평행을 이루도록 제 2 리드스크루(340)가 회전 가능하게 설치되며, 제 2 리드스크루(340)에 나사결합되는 볼너트(350)가 비젼어셈블리(200)의 비젼프레임(230)에 고정되고, 제 2 리드스크루(340)를 회전시 키는 제 2 이동모터(360)가 제 2 리드스크루(340)에 기계적으로 연결된다.
제 2 리드스크루(340)는 카트(320)의 상측에 설치되는 지지프레임(330)에 양단이 지지됨으로써 회전 가능하게 설치된다.
결함데이터처리부(400)는 비젼어셈블리(200)의 카메라(220)로부터 전송되는 이미지로부터 유리기판(1)의 결함을 개수, 크기, 위치 등의 데이터로 처리한다.
디스플레이부(500)는 결함데이터처리부(400)로부터 처리된 유리기판(1)의 결함에 대한 개수, 크기, 위치 등의 데이터를 외부로 디스플레이한다.
도 17은 본 발명에 따른 유리기판의 검사방법을 도시한 흐름도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판의 검사방법은, 성형공정에서 이송레일(미도시)을 따라 이동하는 이송그립퍼(미도시)에 상단이 클램핑되어 이송되는 유리기판(1)을 검사하는 방법으로서, 유리기판(1)을 정지시키는 단계(S10)와, 유리기판(1)을 고정시키는 단계(S20)와, 유리기판(1)의 전영역을 스캔하는 단계(S30)와, 유리기판(1)의 결함을 데이터로 처리하는 단계(S40)와, 유리기판(1)의 결함에 대한 데이터를 디스플레이하는 단계(S50)를 포함한다.
유리기판(1)을 정지시키는 단계(S10)는 이송그립퍼(미도시)에 상단이 고정되어 이송레일(미도시)을 따라 이송되는 유리기판(1)을 일정 위치에 정지시킨다.
유리기판(1)이 정지하면(S10) 유리기판(1)을 이송그립퍼(미도시)로부터 분리하여 검사 존에 위치시킨 다음 유리기판(1)의 에지부분을 기판고정수단(100)의 상부클램핑수단(110), 하부클램핑수단(120) 및 측부클램핑수단(130)으로 클램핑하여 고정시킨다(S20).
한편, 기판고정수단(100)으로 유리기판(1)을 클램핑시 상부클램핑수단(110)에 의해 상단 에지부분이 클램핑된 유리기판(1)은 하부클램핑수단(120)의 제 3 및 제 5 공압실린더(121a,122b)를 작동시켜서 유리기판(1)을 상하로 펴지도록 하며, 상하로 펴진 유리기판(1)은 측부클램핑수단(130)의 제 7 공압실린더(171a)를 작동시켜 좌우로 펴지도록 한다. 따라서, 유리기판(1)이 휘지 않도록 함과 아울러 진동을 최소화하여 비젼어셈블리(200)로 스캔시 선명한 이미지를 획득하도록 한다.
기판고정수단(100)에 의해 유리기판(1)을 고정시키면(S20), 유리기판(1)의 전영역을 스캔한다(S30).
유리기판(1)의 전영역을 스캔하는 단계(S30)는 비젼어셈블리이동수단(300)에 의해 비젼어셈블리(200)를 검사 존에 고정된 유리기판(1)의 일측으로부터 타측으로 이동시킴으로써 조명(210)과 복수의 카메라(220)로 유리기판(1)의 전영역을 스캔하도록 한다.
유리기판(1)의 전영역을 스캔하여 획득한 이미지로부터 유리기판(1)의 결함을 데이터로 처리한다(S40). 즉 유리기판(1)의 전영역에 대한 이미지를 영상처리하여 결함의 개수, 크기, 위치 등을 데이터로 처리한다.
유리기판(1)의 결함에 대해 처리된 데이터는 모니터 등을 통해 외부로 디스플레이한다(S50).
유리기판(1)의 결함에 대한 데이터를 외부로 디스플레이하는 단계(S50)에서 유리기판(1)이 불량임을 디스플레이하는 단계(S70)를 더 실시할 수 있다.
유리기판(1)이 불량임을 디스플레이하는 단계(S70)는 유리기판(1)의 결함에 대한 데이터가 설정된 값, 예컨대 결함의 개수, 크기 등의 설정값 이상임을 판단하여(S71)하여 유리기판(1)의 결함에 대한 데이터로부터 결함이 설정된 값 이상일 때 해당 유리기판(1)이 불량임을 모니터 등에 디스플레이한다(S72).
또한, 유리기판(1)이 불량임을 디스플레이하는 단계(S70)에서 디스플레이된 불량의 유리기판(1)은 후속공정을 거치지 않도록 외부로 취출시킨다(S80).
유리기판(1)의 결함에 대한 데이터를 외부로 디스플레이하는 단계(S50)에서 유리기판(1)의 결함이 설정된 값 미만이면 후속공정을 위해 유리기판(1)을 기판고정수단(100)으로부터 분리시켜서 유리기판(1)의 상단을 이송그립퍼(미도시)에 클램핑시켜서 이송레일(미도시)을 따라 이송시키거나 별도의 카세트(미도시)에 장착하여 이송시킨다.
이와 같은 구조로 이루어진 유리기판의 검사장치의 작용은 다음과 같이 이루어진다.
성형공정에서 성형된 유리기판(1)을 이송그립퍼(미도시)에 의해 이송레일(미도시)을 따라 이송시켜서 일정 위치에 진입하면 이송그립퍼(미도시)의 이동을 정지시킴으로써 유리기판(1)을 정지시킨다(S10).
유리기판(1)이 정지하면(S10), 유리기판(1)을 이송그립퍼(미도시)로부터 분리하여 검사 존에 위치시킨 다음 유리기판(1)의 에지부분을 기판고정수단(100)의 상부클램핑수단(110), 하부클램핑수단(120) 및 측부클램핑수단(130)으로 클램핑하여 고정시킨다(S20).
유리기판(1)을 기판고정수단(100)에 의해 고정시키는 단계(S20)는 다음과 같 이 이루어진다.
이송그립퍼(미도시)로부터 유리기판(1)을 분리하여 고정프레임(140)의 내측에 위치시킨 다음 상부클램핑수단(110)의 제 1 및 제 2 상부클램프(111,112)로 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑한다.
상부클램핑수단(110)으로 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑하기 위하여 제 1 및 제 2 상부클램프(111,112)의 제 1 및 제 2 공압실린더(111a,112b)를 동작시켜 그립퍼(111c,112d)로 하여금 유리기판(1)의 상단 에지부분을 클램핑하도록 한다.
한편, 유리기판(1)을 고정프레임(140)의 내측에 위치시킬 때 유리기판(1)을 하부클램핑수단(120) 및 측부클램핑수단(130)의 얼라이너(121g,122h,131g)에 위치시킴으로써 용이하게 클램핑 위치로 얼라인할 수 있다.
상부클램핑수단(110)에 의해 유리기판(1)의 상단 에지부분이 클램핑되면 하부클램핑수단(120)으로 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑한다.
즉, 하부클램핑수단(120)의 제 4 및 제 6 공압실린더(121d,122e)를 동작시켜서 하부클램핑수단(120)의 그립퍼(121f,122g)로 유리기판(1)의 하단 에지부분을 클램핑한다.
유리기판(1)의 상단과 하단이 각각 상부 및 하부클램핑수단(110,120)에 의해 클램핑되면, 하부클램핑수단(120)의 제 3 및 제 5 공압실린더(121a,122b)를 동작시켜 유리기판(1)을 하방으로 일정한 힘으로 당겨서 상하로 펴지도록 한다.
유리기판(1)이 상하로 펴지면 측부클램핑수단(130)의 제 8 공압실린더(131d) 가 동작하여 그립퍼(131f)로 유리기판(1)의 측단 에지부분을 각각 클램핑하고, 제 7 공압실린더(131a)를 동작시켜 유리기판(1)을 양측으로 잡아당겨서 유리기판(1)이 좌우로 펴지도록 한다.
측부클램핑수단(130)의 제 7 공압실린더(131a)에 의해 유리기판(1)이 좌우로 펴질 때, 상부 및 하부클램핑수단(110,120)의 제 1 상부 클램프(111)와 제 1 하부클램프(121)에 의해 유리기판(1)은 일정 위치에 고정된 상태에서 제 2 상부클램프(112)와 제 1 하부클램프(122) 각각이 가이드레일(112a,122a)을 따라 이동함으로써 유리기판(1)이 전영역에 걸쳐 좌우로 펴지도록 한다. 따라서, 유리기판(1)이 휘지 않도록 함과 아울러 진동을 최소화하여 비젼어셈블리(200)로 스캔시 선명한 이미지를 획득하도록 한다.
유리기판(1)이 기판고정수단(100)에 의해 클램핑되어 고정되면(S20), 비젼어셈블리이동수단(300)의 제 1 및 제 2 이동모터(360)를 구동시켜 제 1 및 제 2 리드스크루(310,340)를 회전시킴으로써 제 1 및 제 2 리드스크루(310,340)의 회전에 의해 직선운동을 하는 카트(320)와 볼너트(350)에 결합된 비젼어셈블리(200)를 제 1 및 제 2 리드스크루(310,340)를 따라 유리기판(1)의 일측으로부터 타측으로 이동시켜서 비젼어셈블리(200)의 조명(210)과 복수의 카메라(220)로 유리기판(1)의 전영역을 스캔한다(S30).
비젼어셈블리(200)의 카메라(220)로 유리기판(1)의 전영역을 스캔하면(S30) 결함데이터처리부(400)에 의해 스캔하여 획득한 이미지로부터 유리기판(1)의 결함의 개수, 크기, 위치 등의 데이터로 처리한다(S40).
유리기판(1)의 결함에 대해 처리된 데이터는 모니터 등의 디스플레이부(500)를 통해 외부로 디스플레이된다(S50).
유리기판(1)의 결함에 대한 데이터를 외부로 디스플레이하는 단계(S50)에서 유리기판(1)의 결함에 대한 데이터로부터 결함이 설정된 값, 예컨대 결함의 개수, 크기 등의 설정값 이상임을 판단하여(S71) 유리기판(1)의 결함이 설정된 값 이상일 때 해당 유리기판(1)이 불량임을 디스플레이부(500)를 통해 디스플레이한다(S72).
디스플레이부(500)에 디스플레이된 불량의 유리기판(1)은 후속공정을 거치지 않도록 외부로 취출시킨다(S80).
유리기판(1)의 결함에 대한 데이터를 외부로 디스플레이하는 단계(S50)에서 유리기판(1)의 결함이 설정된 값 미만이면 후속공정을 위해 유리기판(1)을 기판고정수단(100)으로부터 분리시켜서 유리기판(1)의 상단을 이송그립퍼(미도시)에 클램핑시켜서 이송레일(미도시)을 따라 이송시키거나 별도의 카세트(미도시)에 장착하여 이송시킨다.
이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 성형공정에서 유리기판에 대한 검사를 간편하게 실시할 뿐만 아니라 검사에 소요되는 시간을 단축시키고, 검사시 유리기판에 물리적인 접촉으로 인한 결함발생을 최소화하며, 제한적인 초점심도에 따라 이송되는 유리기판의 진동을 최소화하여 정확한 검사가 이루어지도록 한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치는 성형공정에서 유리기판에 대한 검사를 간편하게 실시할 뿐만 아니라 검사에 소요되는 시간을 단축시키고, 검사시 유리기판에 물리적인 접촉으로 인한 결함발생을 최소화하며, 제한적인 초점심도에 따라 이송되는 유리기판의 진동을 최소화하여 정확한 검사가 이루어지도록 하는 효과를 가지고 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 유리기판의 검사장치를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (6)

  1. 성형공정에서 유리기판을 검사하는 장치에 있어서,
    검사 존에 설치되는 고정프레임과, 상기 고정프레임의 상측에 설치되어 상기 유리기판의 상단을 클램핑하는 상부클램핑수단과, 상기 고정프레임의 하측에 설치되어 상기 유리기판의 하단을 클램핑하여 하방으로 당겨서 펴는 하부클램핑수단과, 상기 고정프레임의 양측에 각각 설치되어 유리기판의 양단을 각각 클램핑하여 양측으로 당겨서 펴는 측부클램핑수단으로 이루어지는 기판고정수단과,
    상기 기판고정수단에 의해 고정된 상기 유리기판의 일측에 위치하며, 조명으로 광을 조사하여 복수의 카메라로 상기 유리기판을 스캔하는 비젼어셈블리와,
    상기 기판고정수단 일측의 바닥면에 회전가능하게 설치되는 제 1 리드스크루와, 상기 제 1 리드스크루에 나사결합되어 상기 비젼어셈블리가 상측에 결합되는 카트와, 상기 제 1 리드스크루를 회전시키는 제 1 이동모터와, 상기 카트의 상측에 상기 제 1 리드스크루와 평행을 이루어 회전가능하게 설치되는 제 2 리드스크루와, 상기 제 2 리드스크루에 나사결합되어 상기 비젼어셈블리에 고정되는 볼너트와, 상기 제 2 리드스크루를 회전시키는 제 2 이동모터로 이루어짐으로써 상기 비젼어셈블리의 카메라가 상기 유리기판의 전영역을 스캔하도록 상기 비젼어셈블리를 상기 유리기판의 일측으로부터 타측으로 이동시키는 비젼어셈블리이동수단과,
    상기 비젼어셈블리의 카메라로부터 전송되는 이미지로부터 상기 유리기판의 결함을 데이터로 처리하는 결함데이터처리부와,
    상기 결함데이터처리부로부터 처리된 데이터를 디스플레이하는 디스플레이부
    를 포함하는 유리기판의 검사장치.
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