JP2002250701A - 平面表示パネルの欠陥検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ラインセンサの位置調整を楽に行える上に、
このセンサを備えたフレームの固定についても、位置ず
れを生じさせないで簡易に行えるようにした平面表示パ
ネルの欠陥検査装置を提供する。 【解決手段】 ラインセンサ２ａ，２ｂからの画素の輝
度データに基づいて平面表示パネル（一例として液晶セ
ル）５の欠陥を検査するようにした欠陥検査装置であっ
て、複数のセンサ保持フレーム４３の載置フレーム３に
位置決めピン６６を立設し、ピン係合部６７をセンサ保
持フレーム４３に設け、このピン係合部６７とピン６６
とを付勢係合させる付勢手段６８を備える一方、センサ
保持フレーム４３をピン６６まわりで一方向に回動させ
る付勢手段７１と、この付勢手段７１に抗してセンサ保
持フレーム４３を他方向に回動させる回動位置調整手段
７２とを設けている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置（Li
quid Crystal Display）やプラズマ表示装置（Plasma D
isplay）などの平面表示装置に用いられる液晶セルやＰ
ＤＰ（Plasma Display Panel）などの平面表示パネルの
欠陥検査装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記の平面表示パネルの欠陥検査装置と
して、複数の受光素子を一直線上に配列してなるライン
センサの複数を、前記受光素子の配列方向に並べてフレ
ームに載置すると共に、この複数のラインセンサによっ
て平面表示パネルの画素を配列方向に直交する方向でス
キャンして、このラインセンサからの画素の輝度データ
に基づいて平面表示パネルの欠陥を検査するようにした
ものがある。

【０００３】この欠陥検査装置においては、複数の受光
素子を一直線上に備えた複数のラインセンサを、それの
受光素子が平面表示パネルの画素の配列方向と平行にな
るように配置することが、欠陥検査を行う上で極めて重
要である。この欠陥検査装置においては、複数のライン
センサが一直線上に備える複数の受光素子を、平面表示
パネルの画素の配列方向と平行になるように配置するこ
とが、平面表示パネルの欠陥検査を行う上で極めて重要
である。

【０００４】このことから、複数のセンサ保持フレーム
を、それぞれセンサ載置フレームに対してフレーム載置
に鉛直な軸線まわりで回動可能に設けて、ラインセンサ
の受光素子を軸線まわりで位置調整可能に構成し、この
両フレームをボルトとナットで固定するようにしてい
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の手段
では、センサ保持フレームを人為的に回動操作して、ラ
インセンサの位置調整を行わねばならないことから、ラ
インセンサを所定通りに位置調整することが極めて困難
である上に、ボルトとナットとによる固定の手段では、
穴基準あるいは軸基準のいずれであっても、ボルトと穴
との公差の関係から、センサ保持フレームをセンサ載置
フレームに固定する際に、センサ保持フレームが公差の
範囲内で位置ずれすることは避け得ないのであって、煩
わしい位置合わせの調整作業を繰り返し何度も行わねば
ならない点で問題があった。

【０００６】本発明は、かゝる実情に鑑みて成されたも
のであって、その目的は、ラインセンサを所定通りに楽
に位置調整できる上に、このセンサを備えたフレームの
固定も、このフレームの位置ずれを生じさせないで、簡
易に行えるようにする点にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに本発明は、複数のセンサ保持フレームを個々に載置
するためのセンサ載置フレームに、軸線をフレーム載置
面に鉛直な方向に向けて位置決めピンを立設し、このピ
ンに係合するピン係合部をセンサ保持フレームに設け、
かつ、このピン係合部とピンとを付勢係合させる付勢手
段を備えて、センサ保持フレームをそれぞれピンまわり
で回動可能に構成し、更に、センサ保持フレームをピン
まわりで一方向に回動させる付勢手段と、この付勢手段
に抗してセンサ保持フレームを他方向に回動させる回動
位置調整手段とを設けて成る点に特徴がある（請求項
１）。

【０００８】上記の特徴構成によれば、位置決めピンに
ピン係合部を付勢係合させることで、公差に起因するよ
うな位置ずれを伴わせることなく、センサ保持フレーム
をセンサ載置フレームに仮固定することができる。

【０００９】そして、この仮固定の状態にあるセンサ保
持フレームは、付勢手段によって一方向に回動付勢され
た状態で、この付勢力に抗して回動位置の調整手段によ
り、機械的に他方への回動位置が調整可能であることか
ら、ラインセンサの受光素子を平面表示パネルの画素に
平行に位置合わせすることを楽に行うことができるので
ある。

【００１０】しかも、このように位置調整されたライン
センサは、付勢手段と回動位置の調整手段とによって、
確実に位置固定の状態が保持されるのであって、従っ
て、端的には１回の調整作業で、位置ずれを一切伴わせ
ることなく、センサ保持フレームひいてはラインセンサ
を所定通りにセンサ載置フレームに固定することができ
る。

【００１１】ラインセンサの複数を受光素子の配列方向
に並べてフレームに載置する上で、センサ保持フレーム
を個々にスキャン方向に位置調整可能に構成することも
要望される。

【００１２】これに対しては、センサ載置フレームに対
してスキャン方向にスライド可能に中間フレームを設
け、この中間フレームに位置決めピンを立設すると共
に、この中間フレームをスキャン方向の一方に移動させ
る付勢手段と、この付勢手段に抗して中間フレームをス
キャン方向の他方に移動させる移動位置調整手段とを備
えることで（請求項２）、センサ保持フレームひいては
ラインセンサを、個々にスキャン方向に楽に位置調整す
ることができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明すると、図１〜図４は平面表示パネルの
欠陥検査装置１を示し、この欠陥検査装置１は、複数の
受光素子を一直線上に配列してなる第１及び第２のライ
ンセンサ２ａ，２ｂの複数を、受光素子の配列方向Ｘに
並べてフレーム３に載置すると共に、このセンサ載置フ
レーム３を受光素子の配列方向Ｘに直交する方向Ｙに移
動可能に構成して、このフレーム３の移動に伴って、ベ
ース４に載置された液晶セル（後述するように、平面表
示パネルの一例）５の複数の画素をラインセンサ２ａ，
２ｂでスキャンし、その画素の輝度データをパソコンの
演算処理部に取り入れて、これを演算処理し、液晶セル
５の欠陥の有無を検査するように構成されている。

【００１４】この実施の形態では、図８を参照して明ら
かなように、平面表示パネルの一例として、バックライ
トを備える前段の液晶セル５を欠陥の検査対象にしてい
ることから、この液晶セル５に投光するための光源６を
ベース４上に配置しているが、平面表示パネルとして、
液晶セル５の裏面側にバックライトを備えた液晶モジュ
ールを欠陥の検査対象にしてもよいのであり、この場
合、バックライトを備えることから、上記の光源６は必
要としないのである。更に、平面表示パネルとして、セ
ル裏面に反射板を備えた反射型液晶セルやＰＤＰなども
欠陥の検査対象にすることができる。

【００１５】尚、上記の液晶セル５は、上下一対のガラ
ス基板５ａ，５ｂと、この上下のガラス基板５ａ，５ｂ
の間に挟持される液晶５ｃと、各ガラス基板５ａ，５ｂ
の外面に貼着された偏光板（フィルム）５ｄ，５ｅとか
ら成る。

【００１６】図５は液晶セルの欠陥検査装置１の制御系
統図を示し、図において、１１はセンサ駆動ユニット、
１２はセンサ載置フレーム３をスキャン方向（上記の直
交する方向）Ｙに往復移動させるためのフレーム駆動ユ
ニットで、クロック同期信号に合わせて指示された速度
でセンサ載置フレーム３を移動させる位置制御ユニット
１２ａと、センサ載置フレーム３の正確な位置検出を行
なう位置検出ユニット１２ｂとからなる。１３は液晶セ
ル５に所定のパターンを表示するための信号発生ユニッ
トである。

【００１７】１４は各ユニット１１〜１３を制御するた
めの制御信号を出力する情報処理装置（以下、パソコン
という）、１５はパソコン１４に接続された情報の取り
込み処理部で、位置検出ユニット１２ｂからの信号Ｓ，
Ｃと第１及び第２のラインセンサ２ａ，２ｂからの輝度
データＤ₀ を入力し、これを画像処理して、液晶セル５
の各部の輝度を示す画像データＤをパソコン１４に出力
する。

【００１８】情報の取り込み処理部１５は、輝度データ
Ｄ₀ のうち各画素に対応するものを割り付けるセンサ出
力割付機能部１５ａと、各画素に対応しない部分をブラ
ックマトリックスとして設定するブラックマトリックス
設定機能部１５ｂと、ラインセンサ２ａ，２ｂの位置補
正を行なうセンサ位置補正機能部１５ｃと、各画素内に
生じた欠陥を検知して記録する欠陥検知機能部１５ｄ
と、欠陥が異物である場合に、セル厚み方向での異物位
置を検知する異物検知機能部１５ｅとを有している。

【００１９】図６は欠陥検査装置１による液晶セル５の
検査手順を示すフローチャートで、Ｓ₁ は液晶セル５を
欠陥検査装置１のベース４に載置（ローディング）する
ステップ、Ｓ₂ は液晶セルの欠陥検査装置１に載置され
た液晶セル５の位置をその検査に適切な例えば精度５μ
ｍの許容範囲内のずれに収まるように位置補正（アライ
メント）するステップである。

【００２０】Ｓ₃ はアライメントが終了した液晶セル５
の接触電極（電極パターン）に、信号発生ユニット１３
に接続された接触電極（電極ピン）を接続（プロービン
グ）するステップである。

【００２１】Ｓ₄ はプロービングされたコネクタを介し
て信号発生ユニット１３からの適切な電力または電気信
号を供給し、液晶セル５に所定の検査パターンを表示す
るステップ、Ｓ₅ はロット単位で欠陥を検査する際の最
初の液晶セル５であるか否かを判別するステップ、Ｓ₆
は液晶セル５の画素の開始端部である原点位置を確認
（原点確認）するステップである。

【００２２】Ｓ₇ は第１及び第２のラインセンサ２ａ，
２ｂによって受光された液晶セル５の輝度データＤ₀ を
計測（輝度計測）するステップ、Ｓ₈ は計測した輝度デ
ータＤ₀ の取り込みステップ、Ｓ₉ はデータ処理ステッ
プで、ステップＳ₈ で取り込んだデータをまとめて演算
処理し、検査結果データを求める。

【００２３】Ｓ₁₀は情報の取り込み処理部１５によって
得られたデータＤをパソコン１４に入力し、検査結果を
出力するステップ、Ｓ₁₁は検査が終了した液晶セル５を
製造工程の下流側に移動させるセルアンローディングス
テップである。

【００２４】図１〜図４に戻って、及び、図７に基づい
て、以下に欠陥検査装置１の具体構造について説明す
る。これらの図において、図中の２１はセル載置ベース
４のステージ２２を形成するように設置された据え付け
架台、２３はステージ２２を挟んで架台２１の両側に立
設されたポストで、スキャン方向Ｙで各２本のポスト２
３，２３にわたって受けフレーム２４が設けられてい
る。

【００２５】２５は受けフレーム２４、２４にわたって
載置された平面視でコの字状のベースで、その四隅がク
ランク部材２６によって受けフレーム２４、２４に固定
されている。２７はコの字状ベース２５の位置調整手段
である。

【００２６】２８，２８はコの字状ベース２５の両側に
設置されたスライド手段で、スキャン方向Ｙに沿わせて
レール２９を配置すると共に、このレール２９に跨がら
せてスライドベース３０を設け、かつ、レール２９の両
端（片側のみを図示している。）に備えた軸受３１によ
って支持するように、レール２９の凹部にボールねじ軸
３２を配置する一方、このボールねじ軸３２に螺着され
るボール雌ねじ３３をスライドベース３０に備え、更
に、同期駆動されるモータ３４を各ボールねじ軸３２に
連結して、一対のスライドベース３０，３０をスキャン
方向Ｙに同期移動可能に構成している。

【００２７】３５は一方のスライドベース３０に備えら
れた第２のスライドベースで、スキャン方向Ｙに直交す
る方向（受光素子の配列方向）Ｘに移動可能に設けられ
ており、この第２のスライドベース３５と他方のスライ
ドベース３０のそれぞれに、ベース４に載置される液晶
セル５のセル表面Ｐに鉛直な軸線を有するフレーム回動
用の支軸３６，３６を立設している。

【００２８】上記のセンサ載置フレーム３は、一対の支
軸３６，３６まわりで回動可能な状態で、第２のスライ
ドベース３５と他方のスライドベース３０とにわたって
載置されており、このセンサ載置フレーム３は、支軸３
６，３６にわたって枢着されるメインフレーム３７と、
このメインフレーム３７に対してスキャン方向Ｙの両側
に、それぞれスライダー３８を介して且つ昇降位置の調
整手段（フレーム吊りボルト３９とナット４０からな
る。）４１によって昇降可能に吊り下げ保持されるセン
サ並設用のフレーム４２，４２とから成る。

【００２９】このセンサ並設用のフレーム４２，４２に
は、第１及び第２のラインセンサ２ａ，２ｂを個々に備
えたセンサ保持フレーム４３が、中間フレーム４４を介
して下部側面板４５に並設されるもので、スキャン方向
Ｙで前方側のセンサ並設用フレーム４２の下部側面板４
５には、第１のラインセンサ２ａの６個が、セル表面Ｐ
に鉛直な方向Ｑで液晶セル５の輝度を測定するように配
置されている。

【００３０】スキャン方向Ｙで後方側のセンサ並設用フ
レーム４２の下部側面板４５には、第２のラインセンサ
２ｂの４個が、スキャン方向Ｙにおいて鉛直な方向Ｑと
或る角度（例えば３０度）θだけ傾斜した方向で、液晶
セル５の輝度を測定するように配置されている。

【００３１】そして、図８に示すように、第１及び第２
のラインセンサ２ａ，２ｂによって検出される液晶セル
の画素座標（ Pixel座標）Ｒを、液晶セル５の液晶５ｃ
の存在部分で光学的に又はソフト上で一致させるように
調整している。

【００３２】４６は支軸３５まわりでのセンサ載置フレ
ーム３の回動を検知するための回動検知センサで、他方
のスライドベース３０と第２のスライドベース３５とに
備えたマイクロスイッチからなり、このセンサ４６から
のフレーム回動の検知情報に基づいてモータ３４を駆動
停止させるように構成されている。

【００３３】上記の構成よりなる欠陥検査装置１では、
欠陥検出の作業工程の途中において、同期駆動されるモ
ータ３４，３４の一方が不測にも故障したり、或いは、
ボールねじ軸３２とボールねじ３３との間に異物を噛み
込んだりした場合、センサ載置フレーム３が他方のモー
タ３４によって片側駆動されることで、このフレーム３
が瞬時にして傾くことで、ボールねじ軸３２の曲がりや
センサ載置フレーム３の変形、或いは、他方のモータ３
４の破損することが懸念される。

【００３４】しかし、上記構成の欠陥検査装置１におい
ては、センサ載置フレーム３が片側駆動されて、センサ
載置フレーム３が傾くようになると、一方のスライドベ
ース３０に備えた第２のスライドベース３５が、このフ
レーム３の傾きに伴って他方のスライドベース３０側に
スライドし、かつ、この際の支軸３５まわりでのフレー
ム３の回動がセンサ４６によって検知されて、このセン
サ４６からのフレーム回動の検知情報に基づいてモータ
３４，３４が駆動停止されることで、ボールねじ軸３２
の曲がりやセンサ載置フレーム３の変形、モータ３４の
破損といった事態が確実に回避されるのである。

【００３５】尚、上記の実施の形態では、セル載置ベー
ス４を固定的に設けて、センサ載置フレーム３を移動さ
せるセルスキャンの形態をとっているが、図９に概略を
示すように、複数のラインセンサ（図示を省略）を備え
た門型のセンサ載置フレーム３を固定的に設ける一方、
上記の構成にかゝるスライド手段２８，２８によってセ
ル載置ベース４を移動させるセルスキャンの形態をとっ
てもよいのである。

【００３６】この図９において、図中の４７はセル載置
ベース１０の保持フレームで、このフレーム４７の両端
側を、スライドベース３０，３５に立設の支軸３６，３
６まわりで回動可能に連結しており、その他のスライド
手段２８，２８の構成は、図２に示すものと構成的に同
じであることから、その構成部材に同符号を付してい
る。

【００３７】上記のベース移動の形態をとる際に、ベー
ス４の回動検知センサ４６を、他方のスライドベース３
０と第２のスライドベース３５とに備えて、このセンサ
４６からのベース回動の検知情報に基づいてモータ３
４，３４を駆動停止させるように構成することで、モー
タ３４が駆動停止した際の、不測なボールねじ軸３２の
曲がりやセンサ載置フレーム３の変形、モータ３４の破
損といった事態は確実に防止される。

【００３８】欠陥の検査に際しては、図８に示すよう
に、セル載置ベース４に液晶セル５を供給し、かつ、光
源６を点灯させて、センサ載置フレーム３をスキャン方
向Ｙに移動させ、ラインセンサ２ａ，２ｂによって液晶
セル５の複数の画素をスキャンして、第１のラインセン
サ２ａからの画素の輝度データを解析することで、液晶
セル５の良否の判別すなわち液晶セル５の画素の一部が
点灯しない減点や、画素の一部が不必要に点灯する輝
点、その他、異物ａ〜ｅの混入などの欠陥検知が行わ
れ、第１及び第２のラインセンサ２ｂからの輝度データ
に基づいて、液晶セル５に混入した異物ａ〜ｅの深さ位
置の検知が行われるのである。

【００３９】即ち、液晶セル５の表面側に存する異物ａ
の検出に際しては、この異物ａを先ず第１のラインセン
サ２ａが検出し、次いで傾斜させた或る角度θ分の遅れ
時間−ｔ₁ をもって、この異物ａを第２のラインセンサ
２ｂが検出するのである。

【００４０】上部側の偏光フィルム５ｄとガラス基板５
ａとの間に存する異物ｂについても、上記と同様の検出
形態がとられるのであるが、この際は、第２のラインセ
ンサ２ｂによる異物検出の遅れ時間−ｔ₂ が時間的に短
くなるのであり、液晶５ｃの部分に存する異物ｃについ
ては、この異物ｃを第１及び第２のラインセンサ２ａ，
２ｂがほゞ同時に検出するのである。

【００４１】そして、下部側の偏光フィルム５ｅとガラ
ス基板５ｂとの間に異物ｄが存するときは、この異物ｄ
を先ずは第２のラインセンサ２ｂが検出し、次に傾斜さ
せた或る角度θ分の遅れ時間＋ｔ₂ をもって、この異物
ｄを第２のラインセンサ２ｂが検出するのである。

【００４２】液晶セル５の裏面側に存する異物ｅについ
ては、第２のラインセンサ２ｂによる異物検出よりも、
時間的に＋ｔ₁ の遅れ時間をもって、この異物ｅを第１
のラインセンサ２ａ検出するのであって、この異物検出
の遅れ時間は、偏光フィルム５ｄ，５ｅならびにガラス
基板５ａ，５ｂの厚みによって一義的に決定されるもの
である。

【００４３】従って、第１及び第２のラインセンサ２
ａ，２ｂが同一の異物ａ〜ｅを検出した際の遅れ時間の
差が、ゼロであるかプラスサイドであるかマイナイサイ
ドであるかを基にすることで、異物ａ〜ｅが液晶セル５
の厚み方向でどの深さ位置に存するかを、正確に判別す
ることができるのである。

【００４４】上記構成の欠陥検査装置１においては、液
晶セル５の減点や輝点、異物ａ〜ｅの混入などの欠陥検
知を行うための第１のラインセンサ２ａと、この第１の
ラインセンサ２ａとによって、異物ａ〜ｅが液晶セル５
の厚み方向でどの深さ位置に存するかを判別するための
第２のラインセンサ２ｂを、それらが個々に備える複数
の受光素子が液晶セル５の画素の配列方向と平行になる
ように配置することが極めて重要である。

【００４５】このことから、本発明では、センサ載置フ
レーム３に対してセンサ保持フレーム４３を、センサ載
置フレーム３のフレーム載置面に鉛直な方向の軸線まわ
りで回動ならびにスキャン方向Ｙに移動可能に構成して
いる。

【００４６】即ち、第１のラインセンサ２ａの保持構造
を例にして、図７及び図１０〜図１２に示すように、セ
ンサ保持フレーム４３の個々に連設した円筒部材５１の
挿通用開口部５２を、センサ載置フレーム３の下部側面
板（つまりはセンサ保持フレーム４３の載置面Ｓａであ
る。）４５に形成し、この下部側面板４５の上部で且つ
それぞれの開口部５２の両側に対応させて、レールとス
ライダーとから成るスライド手段５３を配置し、この両
側のスライド手段５３，５３にわたって、スキャン方向
Ｙにスライド可能に中間フレーム５４を備えている。

【００４７】そして、中間フレーム５４に垂下させた部
材５５の凹入部５６を下部側面板４５に形成すると共
に、この凹入部５６を塞ぐように、プレート５７を下部
側面板４５にビスｆ止めし、かつ、垂下部材５５とプレ
ート５７とに形成したボルト孔ｈに、スプリング５８を
備えたボルト５９を挿通して、このボルト５９にナット
６０を螺着し、もって、中間フレーム５４をスキャン方
向Ｙの一方に付勢移動させる付勢手段６１を構成してい
る。

【００４８】この一方、端部に回転操作穴ｉを形成した
ネジ部材６２を、その先端を垂下部材５５に当接させる
状態でプレート５７に螺着して、上記の付勢手段６１に
抗して中間フレーム５４をスキャン方向Ｙの他方に移動
させる移動位置調整手段６３を構成している。尚、図中
の６４はネジ部材６２を固定するためのロックナットで
ある。

【００４９】上記の下部側面板４５に形成した開口部５
２に位置合わせするように、中間フレーム５４のそれぞ
れにも、円筒部分５１の挿通用開口部６５を形成して、
これらの開口部６５，５２を通して、中間フレーム５４
上にセンサ保持フレーム４３を載置可能に構成し、か
つ、中間フレーム５４のそれぞれに、軸線をフレーム載
置面Ｓａに鉛直な方向に向けて位置決めピン６６を立設
すると共に、平面視でＶ字状の切り欠きによるピン係合
部６７をセンサ保持フレーム４３に形成し、このピン係
合部６７をピン６６に付勢係合させる付勢手段６８，６
８を、センサ保持フレーム４３と中間フレーム５４とに
わたって設けて、センサ保持フレーム４３をピン６６ま
わりで回動可能に構成し、これによって、位置ずれを伴
わせることなく、センサ保持フレーム４３を中間フレー
ム５４ひいてはセンサ載置フレーム３に仮固定できるよ
うにしている。

【００５０】更に、センサ保持フレーム４３にＬ字状の
ブロック６９を連設すると共に、中間フレーム５４にブ
ラケット７０を連設して、このブラケット７０とブロッ
ク６９とにわたって、センサ保持フレーム４３をピン６
６まわりで一方向に回動させる付勢手段７１を設けると
共に、この付勢手段７１に抗してセンサ保持フレーム４
３を他方向に回動させる回動位置の調整手段７２をブラ
ケット７０に設けている。

【００５１】この実施の形態では、回動位置の調整手段
７２として、スライドピンｍの出退量を微調整できるマ
イクロメーターを用いているが、例えば単なるボルトを
ブラケット７０に螺着して、センサ保持フレーム４３の
回動位置を調整させる等の変更が可能である。

【００５２】そして更に、ブラケット７０に水平プレー
ト７３を連設する一方、センサ保持フレーム４３に被せ
るように、中間フレーム５４にクランク部材７４を設
け、このクランク部材７４とプレート７３とに、ブロッ
ク６９と中間フレーム５４ひいてはセンサ保持フレーム
４３の浮き上がりを防止するビスｊを備えている。

【００５３】尚、第２のラインセンサ２ｂの保持構造に
ついては、このラインセンサ２ｂを鉛直な方向Ｑと或る
角度θだけ傾斜させる分、センサ載置フレーム３の下部
側面板４５を傾斜させて配置する点で、第１のラインセ
ンサ２ａの保持構造とは構成的に変わるだけのものであ
って、センサ保持フレーム４３を、センサ載置フレーム
３の下部側面板（フレーム載置面Ｓａ）４５に鉛直な軸
線まわりで回動ならびに位置調整可能であることと、下
部側面板４５に対してスキャン方向Ｙに移動可能である
ことに変わりないのである。

【００５４】上記の構成によれば、ピン係合部６７を位
置決めピン６６に付勢係合させることで、位置ずれを伴
わせることなく、センサ保持フレーム４３をセンサ載置
フレーム３に仮固定させることができるのであり、そし
て、この仮固定の状態にあるセンサ保持フレーム４３
を、付勢手段７１または回動位置の調整手段７２によっ
て、機械的にピン６６まわりで回動させることで、ライ
ンセンサ２ａ，２ｂの受光素子を平面表示パネルの画素
に平行に位置合わせすることが楽に行える。

【００５５】しかも、このように位置調整されたライン
センサ２ａ，２ｂは、付勢手段７１と回動位置の調整手
段７２とによって、確実に位置固定の状態が保持される
のであって、端的には１回の調整作業で、位置ずれを一
切伴わせることなく、センサ保持フレーム４３ひいては
ラインセンサ２ａ，２ｂを所定通りにセンサ載置フレー
ム３に固定することができるのである。

【００５６】一方、センサ保持フレーム４３を保持した
中間フレーム５４は、付勢手段６１と移動位置の調整手
段６３とによって、スキャン方向Ｙに位置調整可能であ
ることから、ラインセンサ２ａ，２ｂの複数を受光素子
の配列方向に並べて一直線上に配置することも容易に達
成されるのである。

【００５７】尚、ラインセンサ２ａ，２ｂの複数を受光
素子の配列方向に並べて一直線上に配置することは、必
須の要件ではなく、即ち、複数のラインセンサ２ａ，２
ｂがスキャン方向Ｙで互いに位置ずれしていても、これ
をソフト上で一致させることが容易に可能であることか
ら、中間フレーム５４を省略して本発明を実施可能であ
り、この際は、位置決めピン６６をセンサ載置フレーム
３の下部側面板４５に立設させて、このピン６６とピン
係合部６７とにわたって付勢手段６８，６８を設ければ
よいのである。

【００５８】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ラインセンサを所定通りに楽に位置調整できる上に、こ
のセンサを備えたフレームの固定も、このフレームの位
置ずれを生じさせないで、簡易に行える欠陥検査装置が
提供される。

【図面の簡単な説明】

【図１】欠陥検査装置の斜視図である。

【図２】欠陥検査装置の平面図である。

【図３】欠陥検査装置の正面図である。

【図４】欠陥検査装置の側面図である。

【図５】欠陥検査装置の制御系統図である。

【図６】欠陥検査装置による液晶セルの検査手順を示す
フローチャートである。

【図７】欠陥検査装置の分解斜視図である。

【図８】セル厚み方向での異物の検出深さ位置の判別説
明図である。

【図９】セル載置ベースをスキャン方向に移動させる形
態に構成した欠陥検査装置の概略平面図である。

【図１０】セル保持構造の正面図である。

【図１１】セル保持構造の側面図である。

【図１２】セル保持構造の平面図である。

【符号の説明】

２ａ，２ｂ…ラインセンサ、３…センサ載置フレーム、
５…液晶セル（平面表示パネル）、４３…センサ保持フ
レーム、５４…中間フレーム、６１，６８，７１…付勢
手段、６３…移動位置調整手段、６６…位置決めピン、
６７…ピン係合部、７２…回動位置調整手段、Ｙ…スキ
ャン方向。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 坂本 淳一 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 藤井 史高 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 細田 俊弘 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 山本 孝 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AB02 AB08 BA20 CA03 CA07 CB10 CD04 DA06 DA07 EA16 2G086 EE10 EE12 2H088 FA12 FA13 HA01 HA28 MA20 5G435 AA17 BB06 BB12 KK05 KK10

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の受光素子を一直線上に配列してな
   るラインセンサの複数を、前記受光素子の配列方向に並
   べてフレームに載置すると共に、この複数のラインセン
   サによって平面表示パネルの画素を配列方向に直交する
   方向でスキャンして、このラインセンサからの画素の輝
   度データに基づいて平面表示パネルの欠陥を検査するよ
   うにした欠陥検査装置であって、複数のセンサ保持フレ
   ームを個々に載置するためのセンサ載置フレームに、軸
   線をフレーム載置面に鉛直な方向に向けて位置決めピン
   を立設し、このピンに係合するピン係合部をセンサ保持
   フレームに設け、かつ、このピン係合部とピンとを付勢
   係合させる付勢手段を備えて、センサ保持フレームをそ
   れぞれピンまわりで回動可能に構成し、更に、センサ保
   持フレームをピンまわりで一方向に回動させる付勢手段
   と、この付勢手段に抗してセンサ保持フレームを他方向
   に回動させる回動位置調整手段とを設けて成ることを特
   徴とする平面表示パネルの欠陥検査装置。
2. 【請求項２】 センサ載置フレームに対してスキャン方
   向にスライド可能に中間フレームを設け、この中間フレ
   ームに位置決めピンを立設すると共に、この中間フレー
   ムをスキャン方向の一方に移動させる付勢手段と、この
   付勢手段に抗して中間フレームをスキャン方向の他方に
   移動させる移動位置調整手段とを備えて成る請求項１に
   記載された平面表示パネルの欠陥検査装置。