JP2002250702A - 液晶セルの異物検査方法ならびに装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 液晶セルに異物が存するときに、その異物が
液晶セルの厚み方向でどの深さ位置に存在するのかを検
出できる異物検査方法と、その装置とを提供する。 【解決手段】 ラインセンサ２ａ，２ｂからの各素子の
輝度データに基づいて液晶セル５の異物を検査するよう
にした液晶セルの異物検査方法であって、液晶セル５の
各素子の輝度を、セル表面Ｓに鉛直な方向Ｑで測定する
第１のラインセンサ２ａと、スキャン方向Ｙにおいて前
記鉛直な方向Ｑと或る角度θ傾斜した方向で測定する第
２のラインセンサ２ｂとで測定して、第１及び第２のラ
インセンサ２ａ，２ｂが同一異物を検出した際の時間差
に基づいて、液晶セル５の厚み方向での異物の深さ位置
を検出するようにしている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置に用
いられる液晶セルの異物検査方法および装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】図１２には、一般的な液晶表示装置の構
成を概略的に示している。この図に示すように、液晶表
示装置は、液晶セル５１と、この液晶セル５１の下面部
に密着させるように配置されるバックライト５２とより
なる液晶モジュール５３で構成され、このうちの液晶セ
ル５１は、上下一対のガラス基板５４，５４と、この上
下のガラス基板５４，５４間に挟持される液晶５５と、
各ガラス基板５４，５４の外面に貼着される偏光板（フ
ィルム）５６，５６とから成る。

【０００３】ところで、上記の液晶セル５１の製造工程
においては、ガラス基板５４，５４がガラス基板搬送ラ
インを通過した後、このガラス基板５４，５４に偏光フ
ィルム５６，５６が貼着されるが、その搬送ラインの途
中で、ガラス基板５４，５４や偏光フィルム５６，５６
にゴミなどの異物が付着することがあって、製品化され
た液晶セル５１において、それの偏光フィルム５６，５
６の表面のみならず、上下のガラス基板５４，５４とこ
れに貼着される偏光フィルム５６，５６との間に異物ｆ
が入り込む可能性があった。

【０００４】このため、従来においては、複数の受光素
子を一直線上に配列してなるラインセンサ５７で液晶セ
ル５１の複数の素子をスキャンして、このラインセンサ
５７によって各素子の輝度をセル表面に鉛直な方向で測
定し、その輝度データに基づいて液晶セルの異物検査を
行うようにしている。

【０００５】ここで、異物ｆが液晶セル５１の表裏のい
ずれかに存することが判別できれば、これをクリーニン
グすることで、液晶セル５１を良品の製品とすることが
できるのであり、異物ｆが上下のガラス基板５４，５４
と偏光フィルム５６，５６との間に存することが判別で
きれば、その異物ｆが存在する側の偏光フィルム５６，
５６を剥がして、これに代えて偏光フィルム５６，５６
を貼着することで、廃棄の無駄を少なくして、液晶セル
５１を良品化することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところが、上記の異物
検査方法では、異物ｆの存否が検出されるものの、異物
ｆが液晶セル５１の表裏のいずれに存するか、或いは、
異物ｆが上下のガラス基板５４，５４と偏光フィルム５
６，５６との間に存するのかを判別することができず、
即ち、液晶セル５１の厚み方向でどの深さ位置に異物ｆ
が存在するのかを検出することができないのであった。

【０００７】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、液晶セルに異物が存するとき
に、その異物が液晶セルの厚み方向でどの深さ位置に存
在するのかを検出できる異物検査方法と、その装置とを
提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１に記載の発明では、複数の受光素子を一直
線上に配列してなるラインセンサによって液晶セルの複
数の素子をスキャンし、このラインセンサからの各素子
の輝度データに基づいて液晶セルの異物を検査するよう
にした液晶セルの異物検査方法において、液晶セルの各
素子の輝度を、セル表面に鉛直な方向で測定する第１の
ラインセンサと、スキャン方向において前記鉛直な方向
と或る角度傾斜した方向で測定する第２のラインセンサ
とで測定して、第１及び第２のラインセンサが同一異物
を検出した際の時間差に基づいて、液晶セルの厚み方向
での異物の深さ位置を検出する点に特徴がある。

【０００９】即ち、例えば第２のラインセンサをスキャ
ン方向で第１のラインセンサの後方に配置し、かつ、第
１及び第２のラインセンサによって検出される液晶セル
の画素座標（ Pixel座標）を、液晶の部分で光学的に又
はソフト上で一致させるように調整した場合を例にして
説明すると、異物が液晶セルの表面に存するときは、先
ず第１のラインセンサが異物を検出し、次いで傾斜させ
た角度分の遅れ時間をもって、第２のラインセンサが同
一の異物を検出することになる。

【００１０】異物が上部側の偏光フィルムとガラス基板
との間に存するときも、上記と同様の検出形態をとるこ
とになるが、この際は時間的に異物検出の遅れ時間が短
くなり、異物が下部側の偏光フィルムとガラス基板との
間に存するときは、先に第２のラインセンサが異物を検
出し、次に傾斜させた角度分の遅れ時間をもって、第１
のラインセンサが異物を検出する。

【００１１】そして、異物が液晶セルの裏面に存すると
きは、第２のラインセンサによる異物検出が時間的に早
くなるのであって、画素座標を液晶の部分で光学的に又
はソフト上で一致させるように調整した場合（後述する
ように、この調整に限られるものではない。）は、第１
及び第２のラインセンサが同一異物を検出した際の時間
差がゼロであるかプラスサイドであるかマイナイサイド
であるかを基にすることで、異物が液晶セルの厚み方向
でどの深さ位置に存するかを、正確に判別することがで
きるのである。

【００１２】従って、異物が液晶セルの表裏のいずれか
に存することが判別された際には、これをクリーニング
することで、液晶セルを良品の製品にすることができ、
異物が上下の基板と偏光フィルムとの間に存することが
判別された際には、異物が存在する側の偏光フィルムを
剥がして、別の偏光フィルムを貼着することで、廃棄の
無駄を少なくして、液晶セルを良品化することができる
のである。

【００１３】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明に基づいて成されたものであって、液晶セルの各
素子の輝度を、セル表面に鉛直な方向で測定する第１の
ラインセンサと、スキャン方向において前記鉛直な方向
と或る角度傾斜した方向で測定する第２のラインセンサ
とを備えて、第１及び第２のラインセンサが同一異物を
検出した際の時間差に基づいて、液晶セルの厚み方向で
の異物の深さ位置を検出するように構成した点に特徴を
有し、この請求項２に記載の発明によれば、異物が液晶
セルの厚み方向でどの深さ位置に存するかを正確に判別
することができる異物検査装置が提供される。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明すると、図１〜図４は液晶セルの欠陥検
査装置１を示し、この欠陥検査装置１は、複数の受光素
子を一直線上に配列してなる第１及び第２のラインセン
サ２ａ，２ｂの複数を、受光素子の配列方向Ｘに並べて
フレーム３に載置すると共に、このセンサ載置フレーム
３を受光素子の配列方向Ｘに直交する方向Ｙに移動可能
に構成して、このフレーム３の移動に伴って、ベース４
に載置された液晶セル５の複数の画素をラインセンサ２
ａ，２ｂでスキャンし、その画素の輝度データをパソコ
ンの演算処理部に取り入れて、これを演算処理し、液晶
セル５の欠陥の有無を検査するように構成されている。

【００１５】この実施の形態では、図８を参照して明ら
かなように、バックライトを備える前段の液晶セル５を
欠陥の検査対象にしていることから、この液晶セル５に
投光するための光源６をベース４上に配置しているが、
液晶セル５の裏面側にバックライトを備えた液晶モジュ
ールを欠陥の検査対象にする際は、バックライトを利用
できることから、上記の光源６は必要としないのであ
る。

【００１６】尚、上記の液晶セル５は、上下一対のガラ
ス基板５ａ，５ｂと、この上下のガラス基板５ａ，５ｂ
の間に挟持される液晶５ｃと、各ガラス基板５ａ，５ｂ
の外面に貼着された偏光板（フィルム）５ｄ，５ｅとか
ら成る。

【００１７】図５は液晶セルの欠陥検査装置１の制御系
統図を示し、図において、１１はセンサ駆動ユニット、
１２はセンサ載置フレーム３をスキャン方向（上記の直
交する方向）Ｙに往復移動させるためのフレーム駆動ユ
ニットで、クロック同期信号に合わせて指示された速度
でセンサ載置フレーム３を移動させる位置制御ユニット
１２ａと、センサ載置フレーム３の正確な位置検出を行
なう位置検出ユニット１２ｂとからなる。１３は液晶セ
ル５に所定のパターンを表示するための信号発生ユニッ
トである。

【００１８】１４は各ユニット１１〜１３を制御するた
めの制御信号を出力する情報処理装置（以下、パソコン
という）、１５はパソコン１４に接続された情報の取り
込み処理部で、位置検出ユニット１２ｂからの信号Ｓ，
Ｃと第１及び第２のラインセンサ２ａ，２ｂからの輝度
データＤ₀ を入力し、これを画像処理して、液晶セル５
の各部の輝度を示す画像データＤをパソコン１４に出力
する。

【００１９】情報の取り込み処理部１５は、輝度データ
Ｄ₀ のうち各画素に対応するものを割り付けるセンサ出
力割付機能部１５ａと、各画素に対応しない部分をブラ
ックマトリックスとして設定するブラックマトリックス
設定機能部１５ｂと、ラインセンサ２ａ，２ｂの位置補
正を行なうセンサ位置補正機能部１５ｃと、各画素内に
生じた欠陥を検知して記録する欠陥検知機能部１５ｄ
と、欠陥が異物である場合に、セル厚み方向での異物位
置を検知する異物検知機能部１５ｅとを有している。

【００２０】図６は欠陥検査装置１による液晶セル５の
検査手順を示すフローチャートで、Ｓ₁ は液晶セル５を
欠陥検査装置１のベース４に載置（ローディング）する
ステップ、Ｓ₂ は液晶セルの欠陥検査装置１に載置され
た液晶セル５の位置をその検査に適切な例えば精度５μ
ｍの許容範囲内のずれに収まるように位置補正（アライ
メント）するステップである。

【００２１】Ｓ₃ はアライメントが終了した液晶セル５
の接触電極（電極パターン）に、信号発生ユニット１３
に接続された接触電極（電極ピン）を接続（プロービン
グ）するステップである。

【００２２】Ｓ₄ はプロービングされたコネクタを介し
て信号発生ユニット１３からの適切な電力または電気信
号を供給し、液晶セル５に所定の検査パターンを表示す
るステップ、Ｓ₅ はロット単位で欠陥を検査する際の最
初の液晶セル５であるか否かを判別するステップ、Ｓ₆
は液晶セル５の画素の開始端部である原点位置を確認
（原点確認）するステップである。

【００２３】Ｓ₇ は第１及び第２のラインセンサ２ａ，
２ｂによって受光された液晶セル５の輝度データＤ₀ を
計測（輝度計測）するステップ、Ｓ₈ は計測した輝度デ
ータＤ₀ の取り込みステップ、Ｓ₉ はデータ処理ステッ
プで、ステップＳ₈ で取り込んだデータをまとめて演算
処理し、検査結果データを求める。

【００２４】Ｓ₁₀は情報の取り込み処理部１５によって
得られたデータＤをパソコン１４に入力し、検査結果を
出力するステップ、Ｓ₁₁は検査が終了した液晶セル５を
製造工程の下流側に移動させるセルアンローディングス
テップである。

【００２５】図１〜図４に戻って、及び、図７に基づい
て、以下に欠陥検査装置１の具体構造について説明す
る。これらの図において、図中の２１はセル載置ベース
４のステージ２２を形成するように設置された据え付け
架台、２３はステージ２２を挟んで架台２１の両側に立
設されたポストで、スキャン方向Ｙで各２本のポスト２
３，２３にわたって受けフレーム２４が設けられてい
る。

【００２６】２５は受けフレーム２４、２４にわたって
載置された平面視でコの字状のベースで、その四隅がク
ランク部材２６によって受けフレーム２４、２４に固定
されている。２７はコの字状ベース２５の位置調整手段
である。

【００２７】２８，２８はコの字状ベース２５の両側に
設置されたスライド手段で、スキャン方向Ｙに沿わせて
レール２９を配置すると共に、このレール２９に跨がら
せてスライドベース３０を設け、かつ、レール２９の両
端（片側のみを図示している。）に備えた軸受３１によ
って支持するように、レール２９の凹部にボールねじ軸
３２を配置する一方、このボールねじ軸３２に螺着され
るボール雌ねじ３３をスライドベース３０に備え、更
に、同期駆動されるモータ３４を各ボールねじ軸３２に
連結して、一対のスライドベース３０，３０をスキャン
方向Ｙに同期移動可能に構成している。

【００２８】３５は一方のスライドベース３０に備えら
れた第２のスライドベースで、スキャン方向Ｙに直交す
る方向（受光素子の配列方向）Ｘに移動可能に設けられ
ており、この第２のスライドベース３５と他方のスライ
ドベース３０のそれぞれに、ベース４に載置される液晶
セル５のセル表面Ｐに鉛直な軸線を有するフレーム回動
用の支軸３６，３６を立設している。

【００２９】上記のセンサ載置フレーム３は、一対の支
軸３６，３６まわりで回動可能な状態で、第２のスライ
ドベース３５と他方のスライドベース３０とにわたって
載置されており、このセンサ載置フレーム３は、支軸３
６，３６にわたって枢着されるメインフレーム３７と、
このメインフレーム３７に対してスキャン方向Ｙの両側
に、それぞれスライダー３８を介して且つ昇降位置の調
整手段（フレーム吊りボルト３９とナット４０からな
る。）４１によって昇降可能に吊り下げ保持されるセン
サ並設用のフレーム４２，４２とから成る。

【００３０】このセンサ並設用のフレーム４２，４２に
は、第１及び第２のラインセンサ２ａ，２ｂを個々に備
えたセンサ保持フレーム４３が、中間フレーム４４を介
して下部側面板４５に並設されるもので、スキャン方向
Ｙで前方側のセンサ並設用フレーム４２の下部側面板４
５には、第１のラインセンサ２ａの６個が、セル表面Ｐ
に鉛直な方向Ｑで液晶セル５の輝度を測定するように配
置されている。

【００３１】スキャン方向Ｙで後方側のセンサ並設用フ
レーム４２の下部側面板４５には、第２のラインセンサ
２ｂの４個が、スキャン方向Ｙにおいて鉛直な方向Ｑと
或る角度（例えば３０度）θだけ傾斜した方向で、液晶
セル５の輝度を測定するように配置されている。

【００３２】そして、図８に示すように、第１及び第２
のラインセンサ２ａ，２ｂによって検出される液晶セル
の画素座標（ Pixel座標）Ｒを、液晶セル５の液晶５ｃ
の存在部分で光学的に又はソフト上で一致させるように
調整している。

【００３３】４６は支軸３５まわりでのセンサ載置フレ
ーム３の回動を検知するための回動検知センサで、他方
のスライドベース３０と第２のスライドベース３５とに
備えたマイクロスイッチからなり、このセンサ４６から
のフレーム回動の検知情報に基づいてモータ３４を駆動
停止させるように構成されている。

【００３４】上記の構成よりなる欠陥検査装置１によれ
ば、図８に示すように、セル載置ベース４に液晶セル５
を供給し、かつ、光源６を点灯させて、センサ載置フレ
ーム３をスキャン方向Ｙに移動させ、ラインセンサ２
ａ，２ｂによって液晶セル５の複数の画素をスキャンし
て、第１のラインセンサ２ａからの画素の輝度データを
解析することで、液晶セル５の良否の判別すなわち液晶
セル５の画素の一部が点灯しない減点や、画素の一部が
不必要に点灯する輝点、その他、異物ａ〜ｅの混入など
の欠陥検知が行われ、第１及び第２のラインセンサ２ｂ
からの輝度データに基づいて、液晶セル５に混入した異
物ａ〜ｅの深さ位置の検知が行われるのである。

【００３５】即ち、液晶セル５の表面側に存する異物ａ
の検出に際しては、この異物ａを先ず第１のラインセン
サ２ａが検出し、次いで傾斜させた或る角度θ分の遅れ
時間−ｔ₁ をもって、この異物ａを第２のラインセンサ
２ｂが検出するのである。

【００３６】上部側の偏光フィルム５ｄとガラス基板５
ａとの間に存する異物ｂについても、上記と同様の検出
形態がとられるのであるが、この際は、第２のラインセ
ンサ２ｂによる異物検出の遅れ時間−ｔ₂ が時間的に短
くなるのであり、液晶５ｃの部分に存する異物ｃについ
ては、この異物ｃを第１及び第２のラインセンサ２ａ，
２ｂがほゞ同時に検出するのである。

【００３７】そして、下部側の偏光フィルム５ｅとガラ
ス基板５ｂとの間に異物ｄが存するときは、この異物ｄ
を先ずは第２のラインセンサ２ｂが検出し、次に傾斜さ
せた或る角度θ分の遅れ時間＋ｔ₂ をもって、この異物
ｄを第２のラインセンサ２ｂが検出するのである。

【００３８】液晶セル５の裏面側に存する異物ｅについ
ては、第２のラインセンサ２ｂによる異物検出よりも、
時間的に＋ｔ₁ の遅れ時間をもって、この異物ｅを第１
のラインセンサ２ａ検出するのであって、この異物検出
の遅れ時間は、偏光フィルム５ｄ，５ｅならびにガラス
基板５ａ，５ｂの厚みによって一義的に決定されるもの
である。

【００３９】従って、第１及び第２のラインセンサ２
ａ，２ｂが同一の異物ａ〜ｅを検出した際の遅れ時間の
差が、ゼロであるかプラスサイドであるかマイナイサイ
ドであるかを基にすることで、異物ａ〜ｅが液晶セル５
の厚み方向でどの深さ位置に存するかを、正確に判別す
ることができるのである。

【００４０】上記の実施の形態では、第１及び第２のラ
インセンサ２ａ，２ｂによって検出される液晶セルの画
素座標（ Pixel座標）Ｒを、液晶セル５の液晶５ｃの存
在部分で光学的に又はソフト上で一致させるように調整
しているが、このような設定に限られるものではなく、
例えば図９に示すように、画素座標Ｒを液晶セル５の裏
面部に一致させるようにしてもよく、この場合は、第２
のラインセンサ２ｂによる異物検出の遅れ時間−ｔ₁ 〜
−ｔ₄ に基づいて、異物ａ〜ｅが液晶セル５の厚み方向
でどの深さ位置に存するかを判別することができるので
ある。

【００４１】尚、液晶セル５の液晶５ｃの厚みは極めて
薄いものであって、この液晶５ｃの部分に異物ｃが存す
るときは、液晶セル５が歪に膨らんで見えることから、
この液晶セル５が不良品であることを目視でチェックし
て、一般には、予め検出ラインがら排除される。

【００４２】このことから、欠陥検査装置１では、液晶
セル５の表裏に存する異物ａ，ｅとセル内に存する異物
ｂ，ｄとを検出し得ればよいのであって、これらの検出
結果に基づいて、液晶セル５の表裏のいずれかに異物
ａ，ｅが存することが判別された際には、これをクリー
ニングすることで、液晶セル５を良品の製品にすること
ができるのであり、上下のガラス基板５ａ，５ｂと偏光
フィルム５ｄ，５ｅとの間に異物ｂ，ｄが存することが
判別された際には、異物ｂ，ｄが存在する側の偏光フィ
ルム５ｄ，５ｅを剥がして、別の偏光フィルムを貼着す
ることで、廃棄の無駄を少なくして、液晶セル５を良品
化することができるのである。

【００４３】上記の欠陥検査装置１においては、バック
ライトを備える前段の液晶セル５を対象にして欠陥検査
を実施しているが、液晶セル５の裏面側にバックライト
を備えた液晶モジュールや、セル裏面に反射板を備えた
反射型の液晶セルを欠陥の検査対象にすることができる
のであり、かつ、図１０に示すように、セル裏面に反射
板４７を備える反射型の液晶セル５を欠陥の検査対象に
する場合は、センサ載置フレーム３側に光源４８を備え
るものとする。

【００４４】更に、図８に仮想線で示すように、第２の
ラインセンサ２ｂを第１のラインセンサ２ａに対してス
キャン方向Ｙの前方側に、鉛直な方向Ｑと或る角度θだ
け傾斜させて設ける構成にしても、異物を含む欠陥の検
査を行うことができるのである。

【００４５】ここで、上記の欠陥検出の作業工程の途中
において、同期駆動されるモータ３４，３４の一方が不
測にも故障したり、或いは、ボールねじ軸３２とボール
ねじ３３との間に異物を噛み込んだりした場合、センサ
載置フレーム３が他方のモータ３４によって片側駆動さ
れることで、このフレーム３が瞬時にして傾くことで、
ボールねじ軸３２の曲がりやセンサ載置フレーム３の変
形、或いは、他方のモータ３４の破損することが懸念さ
れる。

【００４６】しかし、上記構成の欠陥検査装置１におい
ては、センサ載置フレーム３が片側駆動されて、センサ
載置フレーム３が傾くようになると、一方のスライドベ
ース３０に備えた第２のスライドベース３５が、このフ
レーム３の傾きに伴って他方のスライドベース３０側に
スライドし、かつ、この際の支軸３５まわりでのフレー
ム３の回動がセンサ４６によって検知されて、このセン
サ４６からのフレーム回動の検知情報に基づいてモータ
３４，３４が駆動停止されることで、ボールねじ軸３２
の曲がりやセンサ載置フレーム３の変形、モータ３４の
破損といった事態が確実に回避されるのである。

【００４７】尚、上記の実施の形態では、セル載置ベー
ス４を固定的に設けて、センサ載置フレーム３を移動さ
せるセルスキャンの形態をとっているが、図１１に概略
を示すように、複数のラインセンサ（図示を省略）を備
えた門型のセンサ載置フレーム３を固定的に設ける一
方、上記の構成にかゝるスライド手段２８，２８によっ
てセル載置ベース４を移動させるセルスキャンの形態を
とってもよいのである。

【００４８】この図１１において、図中の４７はセル載
置ベース１０の保持フレームで、このフレーム４７の両
端側を、スライドベース３０，３５に立設の支軸３６，
３６まわりで回動可能に連結しており、その他のスライ
ド手段２８，２８の構成は、図２に示すものと構成的に
同じであることから、その構成部材に同符号を付してい
る。

【００４９】上記のベース移動の形態をとる際に、ベー
ス４の回動検知センサ４６を、他方のスライドベース３
０と第２のスライドベース３５とに備えて、このセンサ
４６からのベース回動の検知情報に基づいてモータ３
４，３４を駆動停止させるように構成することで、モー
タ３４が駆動停止した際の、不測なボールねじ軸３２の
曲がりやセンサ載置フレーム３の変形、モータ３４の破
損といった事態は確実に防止される。

【００５０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
液晶セルに異物が存するときに、その異物が液晶セルの
厚み方向でどの深さ位置に存在するのかを検出できる異
物検査方法と、その装置とが提供されるのであり、これ
は延いては、液晶セルの品質向上に大いに寄与できるの
みならず、歩留りを大いに向上させることに繋がるもの
である。

【図面の簡単な説明】

【図１】欠陥検査装置の斜視図である。

【図２】欠陥検査装置の平面図である。

【図３】欠陥検査装置の正面図である。

【図４】欠陥検査装置の側面図である。

【図５】欠陥検査装置の制御系統図である。

【図６】欠陥検査装置による液晶セルの検査手順を示す
フローチャートである。

【図７】欠陥検査装置の分解斜視図である。

【図８】セル厚み方向での異物の検出深さ位置の判別説
明図である。

【図９】画素座標を液晶セルの裏面部とした際のセル厚
み方向での異物の検出深さ位置の判別説明図である。

【図１０】反射型液晶セルを欠陥の検査対象とした際の
セル厚み方向での異物の検出深さ位置の判別説明図であ
る。

【図１１】セル載置ベースをスキャン方向に移動させる
形態に構成した欠陥検査装置の概略平面図である。

【図１２】従来例の欠陥検査装置による異物検出の説明
図である。

【符号の説明】

２ａ…第１のラインセンサ、２ｂ…第２のラインセン
サ、５…液晶セル、Ｐ…セル表面、Ｑ…鉛直方向、Ｙ…
スキャン方向、θ…角度。

フロントページの続き (72)発明者 坂本 淳一 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 藤井 史高 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 山田 芳孝 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 米浪 徹 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 細田 俊弘 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AB01 AB02 BA20 CA03 CA07 CC11 DA07 2H088 FA11 FA30 HA01 HA28 MA20 5G435 AA17 AA19 BB12 KK05 KK10

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の受光素子を一直線上に配列してな
   るラインセンサによって液晶セルの複数の素子をスキャ
   ンし、このラインセンサからの各素子の輝度データに基
   づいて液晶セルの異物を検査するようにした液晶セルの
   異物検査方法であって、液晶セルの各素子の輝度を、セ
   ル表面に鉛直な方向で測定する第１のラインセンサと、
   スキャン方向において前記鉛直な方向と或る角度傾斜し
   た方向で測定する第２のラインセンサとで測定して、第
   １及び第２のラインセンサが同一異物を検出した際の時
   間差に基づいて、液晶セルの厚み方向での異物の深さ位
   置を検出することを特徴とする液晶セルの異物検査方
   法。
2. 【請求項２】 複数の受光素子を一直線上に配列してな
   るラインセンサによって液晶セルの複数の素子をスキャ
   ンし、このラインセンサからの各素子の輝度データに基
   づいて液晶セルの異物を検査するようにした液晶セルの
   異物検査装置であって、液晶セルの各素子の輝度を、セ
   ル表面に鉛直な方向で測定する第１のラインセンサと、
   スキャン方向において前記鉛直な方向と或る角度傾斜し
   た方向で測定する第２のラインセンサとを備えて、第１
   及び第２のラインセンサが同一異物を検出した際の時間
   差に基づいて、液晶セルの厚み方向での異物の深さ位置
   を検出するように構成したことを特徴とする液晶セルの
   異物検査装置。