JP2001124661A - 平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装置 - Google Patents
平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装置Info
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- JP2001124661A JP2001124661A JP30194899A JP30194899A JP2001124661A JP 2001124661 A JP2001124661 A JP 2001124661A JP 30194899 A JP30194899 A JP 30194899A JP 30194899 A JP30194899 A JP 30194899A JP 2001124661 A JP2001124661 A JP 2001124661A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ＬＣＤなどＦＰＤの視野角特性を考慮してＦ
ＰＤを高精度に品位検査することができる平面表示装置
の品位検査方法およびその品位検査装置を提供する。 【解決手段】 平面表示装置２の複数の素子を複数の検
出素子からなるラインセンサ２４でスキャンし、このラ
インセンサ２４によって平面表示装置２の各素子の光量
を平面表示装置２の画面２ａに対し垂直な方向において
計測し、この光量データに基づいて平面表示装置２の各
素子の輝度の良否判定を行い平面表示装置２の欠陥を検
査する平面表示装置の品位検査装置において、前記ライ
ンセンサ２４とは別に、平面表示装置２の前記各素子の
光量を平面表示装置２の画面２ａに対し垂直な方向（Ｂ
方向）以外の方向（Ｊ方向、Ｋ方向）から計測するライ
ンセンサ２４ａ，２４ｂを傾斜可能に設けている。
ＰＤを高精度に品位検査することができる平面表示装置
の品位検査方法およびその品位検査装置を提供する。 【解決手段】 平面表示装置２の複数の素子を複数の検
出素子からなるラインセンサ２４でスキャンし、このラ
インセンサ２４によって平面表示装置２の各素子の光量
を平面表示装置２の画面２ａに対し垂直な方向において
計測し、この光量データに基づいて平面表示装置２の各
素子の輝度の良否判定を行い平面表示装置２の欠陥を検
査する平面表示装置の品位検査装置において、前記ライ
ンセンサ２４とは別に、平面表示装置２の前記各素子の
光量を平面表示装置２の画面２ａに対し垂直な方向（Ｂ
方向）以外の方向（Ｊ方向、Ｋ方向）から計測するライ
ンセンサ２４ａ，２４ｂを傾斜可能に設けている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置な
どの平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装
置に関する。
どの平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装
置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、ブラウン管に代わる小型かつ軽量
の表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）などの平面
表示装置（ＦＰＤ）が注目されるに至っている。そし
て、このＦＰＤの表示部の輝度分布や画素欠陥の検査な
どＦＰＤの性能を含めた品位を検査する装置として、Ｃ
ＣＤアレイセンサなどよりなるラインセンサを用いた平
面表示装置の品位検査装置（以下、単に検査装置とい
う）が開発され、この種の検査装置に関する出願も多数
行われるに至っている。
の表示装置として、液晶表示装置（ＬＣＤ）などの平面
表示装置（ＦＰＤ）が注目されるに至っている。そし
て、このＦＰＤの表示部の輝度分布や画素欠陥の検査な
どＦＰＤの性能を含めた品位を検査する装置として、Ｃ
ＣＤアレイセンサなどよりなるラインセンサを用いた平
面表示装置の品位検査装置（以下、単に検査装置とい
う）が開発され、この種の検査装置に関する出願も多数
行われるに至っている。
【０００３】ところで、上記検査装置においては、検査
対象であるＬＣＤなどのＦＰＤ（以下、ＬＣＤで代表さ
せる）の複数の素子（画素）を複数の検出素子（画素）
からなるラインセンサでスキャンして、ＬＣＤの各素子
の光量を計測し、この光量データに基づいてＬＣＤの各
素子の輝度の良否判定を行うようにしている。すなわ
ち、ＬＣＤの各画素の輝度を測定し、ＬＣＤの欠陥（点
欠陥、線欠陥、ムラなど）を検出している。
対象であるＬＣＤなどのＦＰＤ（以下、ＬＣＤで代表さ
せる）の複数の素子（画素）を複数の検出素子（画素）
からなるラインセンサでスキャンして、ＬＣＤの各素子
の光量を計測し、この光量データに基づいてＬＣＤの各
素子の輝度の良否判定を行うようにしている。すなわ
ち、ＬＣＤの各画素の輝度を測定し、ＬＣＤの欠陥（点
欠陥、線欠陥、ムラなど）を検出している。
【０００４】図４はＬＣＤのセル６０の一例を示す。図
４において、ＬＣＤの平面視形状は、通常、矩形であ
り、ＬＣＤは、一対の上下ガラス基板６１，６２、上ガ
ラス基板６１の内面６１ａに形成されたカラーフィルタ
６７、各ガラス基板６１，６２の外面６１ｂ，６２ｂに
貼られた偏光板（フィルム）６４，６５、上下ガラス基
板６１，６２間に挟持される液晶６６、カラーフィルタ
アレー基板６８よりなるセル６０と、下偏光板６５の直
下に配置されたバックライト（図示せず）とよりなるモ
ジュールで構成されている。なお、２ａは、セル６０の
最上面、すなわち、ＬＣＤの画面である。
４において、ＬＣＤの平面視形状は、通常、矩形であ
り、ＬＣＤは、一対の上下ガラス基板６１，６２、上ガ
ラス基板６１の内面６１ａに形成されたカラーフィルタ
６７、各ガラス基板６１，６２の外面６１ｂ，６２ｂに
貼られた偏光板（フィルム）６４，６５、上下ガラス基
板６１，６２間に挟持される液晶６６、カラーフィルタ
アレー基板６８よりなるセル６０と、下偏光板６５の直
下に配置されたバックライト（図示せず）とよりなるモ
ジュールで構成されている。なお、２ａは、セル６０の
最上面、すなわち、ＬＣＤの画面である。
【０００５】そして、この種の検査装置においては、カ
ラーフィルタ６７にラインセンサ２４の焦点位置Ｆ0 を
合わせ、バックライトを作動させた状態でＬＣＤの光量
を、ラインセンサ２４によって受光させている。すなわ
ち、ラインセンサ２４によってＬＣＤ２の各素子の光量
Ａを、ＬＣＤの画面２ａに対し垂直な方向（矢印Ｂで示
す方向）において計測し、この光量データに基づいてＬ
ＣＤの各素子の輝度の良否判定を行う。
ラーフィルタ６７にラインセンサ２４の焦点位置Ｆ0 を
合わせ、バックライトを作動させた状態でＬＣＤの光量
を、ラインセンサ２４によって受光させている。すなわ
ち、ラインセンサ２４によってＬＣＤ２の各素子の光量
Ａを、ＬＣＤの画面２ａに対し垂直な方向（矢印Ｂで示
す方向）において計測し、この光量データに基づいてＬ
ＣＤの各素子の輝度の良否判定を行う。
【０００６】本出願人らは、例えば、特願平９−３２９
６２０号において、ＬＣＤの画面２ａとラインセンサと
の距離がＬＣＤの全面にわたって常に一定になるように
ＬＣＤを保持することができる品位検査装置を提案して
いる。
６２０号において、ＬＣＤの画面２ａとラインセンサと
の距離がＬＣＤの全面にわたって常に一定になるように
ＬＣＤを保持することができる品位検査装置を提案して
いる。
【０００７】図３はその全体構成を示すもので、モータ
２１によって両矢印Ｙで示す方向にスライド移動するス
キャンスライダ１３の保持部材１８にラインセンサ２４
が設けられている。このラインセンサ２４は、例えばＣ
ＣＤアレイセンサよりなるセンサ本体２５とその前面
（下方）に設けられるセルフォックレンズ（商品名）な
どの屈折率分布レンズをアレイ化した集光レンズアレイ
２６とからなり、ＬＣＤ２の全幅ａ（図３において両矢
印Ｘで示す方向の長さ）よりやや長い。このＬＣＤ２
は、回転機構１０の上部に回動可能に保持されているス
テージ本体１２の上に載置されており、ラインセンサ２
４は、ＬＣＤ２をその全幅ａをその全長ｂにわたってス
キャンするとともに、ＬＣＤ２の画面２ａに対し垂直な
方向（両矢印Ｚで示す方向）において上下移動できるよ
うに構成されている。２７はステージ本体１２上に載置
されたＬＣＤ２の画面２ａとラインセンサ２４との距離
を測定する装置で、例えば超音波を利用した距離測定セ
ンサである。この距離測定センサ２７は、スキャンスラ
イダ１３の保持部材１８に設けられたブラケット２８に
取り付けられている。
２１によって両矢印Ｙで示す方向にスライド移動するス
キャンスライダ１３の保持部材１８にラインセンサ２４
が設けられている。このラインセンサ２４は、例えばＣ
ＣＤアレイセンサよりなるセンサ本体２５とその前面
（下方）に設けられるセルフォックレンズ（商品名）な
どの屈折率分布レンズをアレイ化した集光レンズアレイ
２６とからなり、ＬＣＤ２の全幅ａ（図３において両矢
印Ｘで示す方向の長さ）よりやや長い。このＬＣＤ２
は、回転機構１０の上部に回動可能に保持されているス
テージ本体１２の上に載置されており、ラインセンサ２
４は、ＬＣＤ２をその全幅ａをその全長ｂにわたってス
キャンするとともに、ＬＣＤ２の画面２ａに対し垂直な
方向（両矢印Ｚで示す方向）において上下移動できるよ
うに構成されている。２７はステージ本体１２上に載置
されたＬＣＤ２の画面２ａとラインセンサ２４との距離
を測定する装置で、例えば超音波を利用した距離測定セ
ンサである。この距離測定センサ２７は、スキャンスラ
イダ１３の保持部材１８に設けられたブラケット２８に
取り付けられている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】ところで、ＬＣＤ２な
どの平面表示装置には、同じ位置でも見る方向によって
見え方が異なるといった視野角特性があり、図４におい
て、前記Ｂ方向からでは検出できない欠陥が前記Ｂ方向
以外の例えばＣ方向からでは検出できる場合がある。し
かし、従来装置では前記Ｂ方向からのみＬＣＤ２の各素
子の光量を計測しているから、ＬＣＤ２を高精度に品位
検査することができないという問題が生じていた。
どの平面表示装置には、同じ位置でも見る方向によって
見え方が異なるといった視野角特性があり、図４におい
て、前記Ｂ方向からでは検出できない欠陥が前記Ｂ方向
以外の例えばＣ方向からでは検出できる場合がある。し
かし、従来装置では前記Ｂ方向からのみＬＣＤ２の各素
子の光量を計測しているから、ＬＣＤ２を高精度に品位
検査することができないという問題が生じていた。
【０００９】この発明は、上述の事柄に留意してなされ
たもので、その目的は、ＬＣＤなどＦＰＤの視野角特性
を考慮してＦＰＤを高精度に品位検査することができる
平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装置を
提供することである。
たもので、その目的は、ＬＣＤなどＦＰＤの視野角特性
を考慮してＦＰＤを高精度に品位検査することができる
平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装置を
提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、この発明は、平面表示装置の複数の素子を複数の検
出素子からなるラインセンサでスキャンし、このライン
センサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示
装置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量
データに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判
定を行い平面表示装置の欠陥を検査するにあたり、前記
ラインセンサを傾けて平面表示装置の前記各素子の光量
を平面表示装置の画面に対し垂直な方向以外の方向から
も計測するようにしている。
め、この発明は、平面表示装置の複数の素子を複数の検
出素子からなるラインセンサでスキャンし、このライン
センサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示
装置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量
データに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判
定を行い平面表示装置の欠陥を検査するにあたり、前記
ラインセンサを傾けて平面表示装置の前記各素子の光量
を平面表示装置の画面に対し垂直な方向以外の方向から
も計測するようにしている。
【００１１】また、この発明は別の観点から、平面表示
装置の複数の素子を複数の検出素子からなるラインセン
サでスキャンし、このラインセンサによって平面表示装
置の各素子の光量を平面表示装置の画面に対し垂直な方
向において計測し、この光量データに基づいて平面表示
装置の各素子の輝度の良否判定を行い平面表示装置の欠
陥を検査する平面表示装置の品位検査装置において、平
面表示装置の前記各素子の光量を平面表示装置の画面に
対し垂直な方向以外の方向からも計測するよう前記ライ
ンセンサを傾斜可能に構成している。
装置の複数の素子を複数の検出素子からなるラインセン
サでスキャンし、このラインセンサによって平面表示装
置の各素子の光量を平面表示装置の画面に対し垂直な方
向において計測し、この光量データに基づいて平面表示
装置の各素子の輝度の良否判定を行い平面表示装置の欠
陥を検査する平面表示装置の品位検査装置において、平
面表示装置の前記各素子の光量を平面表示装置の画面に
対し垂直な方向以外の方向からも計測するよう前記ライ
ンセンサを傾斜可能に構成している。
【００１２】また、この発明は更に別の観点から、平面
表示装置の複数の素子を複数の検出素子からなるライン
センサでスキャンし、このラインセンサによって平面表
示装置の各素子の光量を平面表示装置の画面に対し垂直
な方向において計測し、この光量データに基づいて平面
表示装置の各素子の輝度の良否判定を行い平面表示装置
の欠陥を検査する平面表示装置の品位検査装置におい
て、前記ラインセンサとは別に、平面表示装置の前記各
素子の光量を平面表示装置の画面に対し垂直な方向以外
の方向から計測するラインセンサを傾斜可能に設けてい
る。
表示装置の複数の素子を複数の検出素子からなるライン
センサでスキャンし、このラインセンサによって平面表
示装置の各素子の光量を平面表示装置の画面に対し垂直
な方向において計測し、この光量データに基づいて平面
表示装置の各素子の輝度の良否判定を行い平面表示装置
の欠陥を検査する平面表示装置の品位検査装置におい
て、前記ラインセンサとは別に、平面表示装置の前記各
素子の光量を平面表示装置の画面に対し垂直な方向以外
の方向から計測するラインセンサを傾斜可能に設けてい
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】発明の実施の形態を図面を参照し
ながら説明する。この発明と前述した特願平９−３２９
６２０号明細書、図面に記載の発明との相違点は以下の
通りである。すなわち、この発明では、平面表示装置
（例えばＬＣＤ）２の画面２ａの正面から目視していて
は見えない欠陥が目視方向を傾けると見つかるという目
視検査の方法を採用しており、（１）特願平９−３２９
６２０号明細書、図面に記載の発明のように平面表示装
置（例えばＬＣＤ）の各素子の輝度の良否判定に用いる
ラインセンサ２４の焦点位置Ｆ0 をカラーフィルタ６７
に合わせる場合に、ＬＣＤの各素子の光量ＡをＢ方向の
みにおいて計測する（図４参照）のではなく、図１に示
すように、ラインセンサ２４をＺ方向に対して所定角度
θ1 ，θ2 だけ傾けることと、各焦点位置がカラーフィ
ルタ６７に合うように上下方向（Ｚ方向）に動かすこと
を複数回繰り返しできるように構成した点と、（２）Ｌ
ＣＤの各素子の光量を、ＬＣＤの画面２ａに対しＢ方向
から計測するラインセンサ２４以外に、ＬＣＤの画面２
ａに対しＢ方向以外の方向からも計測するラインセンサ
２４ａ，２４ｂ（図２参照）を設け、これを前記ライン
センサ２４と同時にスキャンするよう構成し、かつ、ラ
インセンサ２４ａ，２４ｂのＺ方向に対する傾斜角
θ3 ，θ4 を予め設定しておき、１回のスキャンで複数
の角度データ、すなわち、Ｚ方向に対する傾斜角がゼ
ロ，θ3 ，θ4 についての角度データを採取するよう構
成した点である。
ながら説明する。この発明と前述した特願平９−３２９
６２０号明細書、図面に記載の発明との相違点は以下の
通りである。すなわち、この発明では、平面表示装置
（例えばＬＣＤ）２の画面２ａの正面から目視していて
は見えない欠陥が目視方向を傾けると見つかるという目
視検査の方法を採用しており、（１）特願平９−３２９
６２０号明細書、図面に記載の発明のように平面表示装
置（例えばＬＣＤ）の各素子の輝度の良否判定に用いる
ラインセンサ２４の焦点位置Ｆ0 をカラーフィルタ６７
に合わせる場合に、ＬＣＤの各素子の光量ＡをＢ方向の
みにおいて計測する（図４参照）のではなく、図１に示
すように、ラインセンサ２４をＺ方向に対して所定角度
θ1 ，θ2 だけ傾けることと、各焦点位置がカラーフィ
ルタ６７に合うように上下方向（Ｚ方向）に動かすこと
を複数回繰り返しできるように構成した点と、（２）Ｌ
ＣＤの各素子の光量を、ＬＣＤの画面２ａに対しＢ方向
から計測するラインセンサ２４以外に、ＬＣＤの画面２
ａに対しＢ方向以外の方向からも計測するラインセンサ
２４ａ，２４ｂ（図２参照）を設け、これを前記ライン
センサ２４と同時にスキャンするよう構成し、かつ、ラ
インセンサ２４ａ，２４ｂのＺ方向に対する傾斜角
θ3 ，θ4 を予め設定しておき、１回のスキャンで複数
の角度データ、すなわち、Ｚ方向に対する傾斜角がゼ
ロ，θ3 ，θ4 についての角度データを採取するよう構
成した点である。
【００１４】図１は、Ｚ方向において上下移動できてＬ
ＣＤ２の各素子の輝度の良否判定に用いるラインセンサ
２４が、Ｂ方向以外のＥ方向、Ｇ方向からもＬＣＤ２の
各素子の光量を計測できるようラインセンサ２４をＺ方
向に対して回転可能に構成したこの発明の第１の実施形
態を示す。なお、図１において、図３、図４で示された
符号と同一のものは、同一または相当物である。
ＣＤ２の各素子の輝度の良否判定に用いるラインセンサ
２４が、Ｂ方向以外のＥ方向、Ｇ方向からもＬＣＤ２の
各素子の光量を計測できるようラインセンサ２４をＺ方
向に対して回転可能に構成したこの発明の第１の実施形
態を示す。なお、図１において、図３、図４で示された
符号と同一のものは、同一または相当物である。
【００１５】前記ラインセンサ２４は、例えばＣＣＤア
レイセンサよりなるセンサ本体２５とその前面（下方）
に設けられるセルフォックレンズ（商品名）などの屈折
率分布レンズをアレイ化した集光レンズアレイ２６とか
らなる。この集光レンズアレイ２６はｆ0 の焦点距離を
有するよう構成されている。更に、前記ラインセンサ２
４は、Ｚ方向に対して回転可能に構成されるとともに、
実線で示す垂直状態においてはＺ方向に上下移動できる
一方、二点鎖線で示す各傾斜状態においては、Ｅ方向お
よびＧ方向にそれぞれ平行な両矢印Ｅ’で示す方向およ
び両矢印Ｇ’で示す方向に上下移動できるよう構成され
ており、前記各状態毎にラインセンサ２４の焦点位置を
カラーフィルタ６７に合わせた後にＬＣＤ２の各素子の
光量をＢ方向、Ｅ方向およびＧ方向から計測できるよう
になっている。
レイセンサよりなるセンサ本体２５とその前面（下方）
に設けられるセルフォックレンズ（商品名）などの屈折
率分布レンズをアレイ化した集光レンズアレイ２６とか
らなる。この集光レンズアレイ２６はｆ0 の焦点距離を
有するよう構成されている。更に、前記ラインセンサ２
４は、Ｚ方向に対して回転可能に構成されるとともに、
実線で示す垂直状態においてはＺ方向に上下移動できる
一方、二点鎖線で示す各傾斜状態においては、Ｅ方向お
よびＧ方向にそれぞれ平行な両矢印Ｅ’で示す方向およ
び両矢印Ｇ’で示す方向に上下移動できるよう構成され
ており、前記各状態毎にラインセンサ２４の焦点位置を
カラーフィルタ６７に合わせた後にＬＣＤ２の各素子の
光量をＢ方向、Ｅ方向およびＧ方向から計測できるよう
になっている。
【００１６】欠陥検査の手順の一例について図３も参照
して説明する。図１、図３において、ＬＣＤ２の画面２
ａとラインセンサ２４とが画面２ａの全面において等距
離となるようにする、つまり、超音波を利用した距離測
定センサ２７を用いてＬＣＤ２のどの点においてもＬＣ
Ｄ２の画面２ａとラインセンサ２４とが平行になるよう
に調整することにより、信号レベルにバラツキのない光
量検出データが得られる。
して説明する。図１、図３において、ＬＣＤ２の画面２
ａとラインセンサ２４とが画面２ａの全面において等距
離となるようにする、つまり、超音波を利用した距離測
定センサ２７を用いてＬＣＤ２のどの点においてもＬＣ
Ｄ２の画面２ａとラインセンサ２４とが平行になるよう
に調整することにより、信号レベルにバラツキのない光
量検出データが得られる。
【００１７】上述のように調整した後、ＬＣＤ２を点灯
させ、その状態で、図３に示す状態でスキャンスライダ
１３をＬＣＤ２の長さｂ方向（Ｙ1 方向）に沿って移動
させて、ラインセンサ２４によってＬＣＤ２における全
ての光量を受光する。この場合、各素子の光量ＡはＬＣ
Ｄ２の画面２ａに対しＢ方向において計測される。そし
て、前記ラインセンサ２４からの信号は、センサ信号前
処理ボード（図示せず）を経て例えばコンピュータ（図
示せず）に入力され、ＬＣＤ２の各素子の輝度の良否判
定が行われる。
させ、その状態で、図３に示す状態でスキャンスライダ
１３をＬＣＤ２の長さｂ方向（Ｙ1 方向）に沿って移動
させて、ラインセンサ２４によってＬＣＤ２における全
ての光量を受光する。この場合、各素子の光量ＡはＬＣ
Ｄ２の画面２ａに対しＢ方向において計測される。そし
て、前記ラインセンサ２４からの信号は、センサ信号前
処理ボード（図示せず）を経て例えばコンピュータ（図
示せず）に入力され、ＬＣＤ２の各素子の輝度の良否判
定が行われる。
【００１８】次に、スキャンスライダ１３を例えば図３
に示す状態に戻した後、前記ラインセンサ２４をＺ方向
に対して所定角度θ1 だけ傾け、この傾いたラインセン
サ２４をＥ’方向に上下動させ、傾けていない前記の場
合と同様に、θ1 だけ傾いたラインセンサ２４の焦点位
置をカラーフィルタ６７に合わせる操作をスキャンスラ
イダ１３に施す。そして、前記θ1 だけ傾いたラインセ
ンサ２４と前記画面２ａとが画面２ａの全面において等
距離となるように調整した後、スキャンスライダ１３を
Ｙ1 方向に沿って移動させて、ＬＣＤ２の画面２ａに対
し今度はＥ方向においてＬＣＤ２からの光量Ａ1 を計測
する。そして、前記ラインセンサ２４からの信号は、セ
ンサ信号前処理ボード（図示せず）を経て例えばコンピ
ュータ（図示せず）に入力され、傾斜角θ1 による角度
データを得る。
に示す状態に戻した後、前記ラインセンサ２４をＺ方向
に対して所定角度θ1 だけ傾け、この傾いたラインセン
サ２４をＥ’方向に上下動させ、傾けていない前記の場
合と同様に、θ1 だけ傾いたラインセンサ２４の焦点位
置をカラーフィルタ６７に合わせる操作をスキャンスラ
イダ１３に施す。そして、前記θ1 だけ傾いたラインセ
ンサ２４と前記画面２ａとが画面２ａの全面において等
距離となるように調整した後、スキャンスライダ１３を
Ｙ1 方向に沿って移動させて、ＬＣＤ２の画面２ａに対
し今度はＥ方向においてＬＣＤ２からの光量Ａ1 を計測
する。そして、前記ラインセンサ２４からの信号は、セ
ンサ信号前処理ボード（図示せず）を経て例えばコンピ
ュータ（図示せず）に入力され、傾斜角θ1 による角度
データを得る。
【００１９】同様にして、今度は、前記ラインセンサ２
４をＺ方向に対して所定角度θ2 だけ傾け、θ2 だけ傾
いたラインセンサ２４をＧ’方向に上下動させ、θ2 だ
け傾いたラインセンサ２４の焦点位置をカラーフィルタ
６７に合わせた後、スキャンスライダ１３をＹ1 方向に
沿って移動させて、Ｇ方向においてＬＣＤ２からの光量
Ａ2 を計測する。そして、傾斜角θ2 による角度データ
を得る。
４をＺ方向に対して所定角度θ2 だけ傾け、θ2 だけ傾
いたラインセンサ２４をＧ’方向に上下動させ、θ2 だ
け傾いたラインセンサ２４の焦点位置をカラーフィルタ
６７に合わせた後、スキャンスライダ１３をＹ1 方向に
沿って移動させて、Ｇ方向においてＬＣＤ２からの光量
Ａ2 を計測する。そして、傾斜角θ2 による角度データ
を得る。
【００２０】このようにして、Ｂ方向からでは検出でき
ない欠陥をＥ方向あるいはＧ方向から検出でき、検出精
度を向上できる。
ない欠陥をＥ方向あるいはＧ方向から検出でき、検出精
度を向上できる。
【００２１】図２は、ＬＣＤの各素子の光量を、ＬＣＤ
の画面２ａに対しＢ方向から計測するラインセンサ２４
以外に、ＬＣＤの画面２ａに対しＢ方向以外の方向（Ｊ
方向、Ｋ方向）からも計測するラインセンサ２４ａ，２
４ｂをラインセンサ２４とともにスキャンするよう設け
たこの発明の第２の実施形態を示す。なお、図２におい
て、図１、図３、図４で示された符号と同一のものは、
同一または相当物である。
の画面２ａに対しＢ方向から計測するラインセンサ２４
以外に、ＬＣＤの画面２ａに対しＢ方向以外の方向（Ｊ
方向、Ｋ方向）からも計測するラインセンサ２４ａ，２
４ｂをラインセンサ２４とともにスキャンするよう設け
たこの発明の第２の実施形態を示す。なお、図２におい
て、図１、図３、図４で示された符号と同一のものは、
同一または相当物である。
【００２２】図２において、２４ａは、ＬＣＤの各素子
の光量Ａ3 を、ＬＣＤの画面２ａに対しＪ方向から計測
するラインセンサである。また、２４ｂは、ＬＣＤの各
素子の光量Ａ4 を、ＬＣＤの画面２ａに対しＫ方向から
計測するラインセンサである。両センサ２４ａ，２４ｂ
はラインセンサ２４と同一構成である。そして、これら
ラインセンサ２４ａおよび２４ｂは、予めＺ方向に対す
る必要な傾斜角θ3 およびθ4 にそれぞれ傾けられてお
り、かつ、ラインセンサ２４ａおよび２４ｂは前記ライ
ンセンサ２４とともにスキャンするよう構成されてい
る。センサ２４ａ，２４ｂ，２４がともにスキャンする
構成の一例として、例えば、ラインセンサ２４ａおよび
２４ｂを、図示しないが、図３に示したスキャンスライ
ダ１３に前記ラインセンサ２４とともに取り付ける構成
を採用することができる。そして、この構成にかぎら
ず、その他の構成も適宜考えられる。
の光量Ａ3 を、ＬＣＤの画面２ａに対しＪ方向から計測
するラインセンサである。また、２４ｂは、ＬＣＤの各
素子の光量Ａ4 を、ＬＣＤの画面２ａに対しＫ方向から
計測するラインセンサである。両センサ２４ａ，２４ｂ
はラインセンサ２４と同一構成である。そして、これら
ラインセンサ２４ａおよび２４ｂは、予めＺ方向に対す
る必要な傾斜角θ3 およびθ4 にそれぞれ傾けられてお
り、かつ、ラインセンサ２４ａおよび２４ｂは前記ライ
ンセンサ２４とともにスキャンするよう構成されてい
る。センサ２４ａ，２４ｂ，２４がともにスキャンする
構成の一例として、例えば、ラインセンサ２４ａおよび
２４ｂを、図示しないが、図３に示したスキャンスライ
ダ１３に前記ラインセンサ２４とともに取り付ける構成
を採用することができる。そして、この構成にかぎら
ず、その他の構成も適宜考えられる。
【００２３】この場合、距離測定センサ２７を用いてＬ
ＣＤ２のどの点においてもＬＣＤ２の画面２ａと、ライ
ンセンサ２４，２４ａ，２４ｂとが平行になるように調
整した後、スキャンスライダ１３をＹ1 方向に沿って１
回移動させるだけで、上記第１実施形態よりも短時間で
Ｂ方向からでは検出できない欠陥をＪ方向あるいはＫ方
向から検出できる。
ＣＤ２のどの点においてもＬＣＤ２の画面２ａと、ライ
ンセンサ２４，２４ａ，２４ｂとが平行になるように調
整した後、スキャンスライダ１３をＹ1 方向に沿って１
回移動させるだけで、上記第１実施形態よりも短時間で
Ｂ方向からでは検出できない欠陥をＪ方向あるいはＫ方
向から検出できる。
【００２４】なお、図２において、ラインセンサ２４，
２４ａ，２４ｂ間のＹ1 方向に沿う間隔は実際は図２に
示した状態よりも更に小さいものである。
２４ａ，２４ｂ間のＹ1 方向に沿う間隔は実際は図２に
示した状態よりも更に小さいものである。
【００２５】また、この発明は、ＦＰＤ以外にも各種フ
ィルタの欠陥を検出する場合にも適用できる。
ィルタの欠陥を検出する場合にも適用できる。
【００２６】
【発明の効果】この発明では、平面表示装置の品位を検
査するにあたり、平面表示装置の視野角特性を考慮した
ものであり、ラインセンサを様々な角度に傾けることに
より、平面表示装置の各素子の光量を、平面表示装置の
画面に対し一方向以外の方向からも計測するようにで
き、平面表示装置の品位検査の精度を向上できる効果が
ある。
査するにあたり、平面表示装置の視野角特性を考慮した
ものであり、ラインセンサを様々な角度に傾けることに
より、平面表示装置の各素子の光量を、平面表示装置の
画面に対し一方向以外の方向からも計測するようにで
き、平面表示装置の品位検査の精度を向上できる効果が
ある。
【図１】この発明の第１の実施形態を示す構成説明図で
ある。
ある。
【図２】この発明の第２の実施形態を示す構成説明図で
ある。
ある。
【図３】ＬＣＤの品位検査装置を示す図である。
【図４】ＬＣＤの欠陥検査を示す構成説明図である。
【符号の説明】 ２…ＬＣＤ（平面表示装置）、２ａ…画面、２４，２４
ａ，２４ｂ…ラインセンサ、６０…ＬＣＤのセル、
θ3 ，θ4 …傾斜角。
ａ，２４ｂ…ラインセンサ、６０…ＬＣＤのセル、
θ3 ，θ4 …傾斜角。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西條 豊 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)発明者 山田 芳孝 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 細田 俊弘 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 (72)発明者 藤井 敏夫 奈良県奈良市法蓮町197−１ テクノス株 式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA73 AB06 CA03 CB02 CD05 DA07 2G086 EE10 2H088 FA12 FA13 MA20 5C080 AA10 BB05 DD15 FF09 GG02 JJ06 5G435 AA00 AA17 BB01 BB11 BB12 BB15 CC09 CC12 EE25 FF05 KK05 KK10
Claims (5)
- 【請求項１】 平面表示装置の複数の素子を複数の検出
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を検査するにあたり、前記ラ
インセンサを傾けて平面表示装置の前記各素子の光量を
平面表示装置の画面に対し垂直な方向以外の方向からも
計測するようにしたことを特徴とする平面表示装置の品
位検査方法。 - 【請求項２】 平面表示装置の複数の素子を複数の検出
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を検査する平面表示装置の品
位検査装置において、平面表示装置の前記各素子の光量
を平面表示装置の画面に対し垂直な方向以外の方向から
も計測するよう前記ラインセンサを傾斜可能に構成した
ことを特徴とする平面表示装置の品位検査装置。 - 【請求項３】 平面表示装置の複数の素子を複数の検出
素子からなるラインセンサでスキャンし、このラインセ
ンサによって平面表示装置の各素子の光量を平面表示装
置の画面に対し垂直な方向において計測し、この光量デ
ータに基づいて平面表示装置の各素子の輝度の良否判定
を行い平面表示装置の欠陥を検査する平面表示装置の品
位検査装置において、前記ラインセンサとは別に、平面
表示装置の前記各素子の光量を平面表示装置の画面に対
し垂直な方向以外の方向から計測するラインセンサを傾
斜可能に設けたことを特徴とする平面表示装置の品位検
査装置。 - 【請求項４】 前記平面表示装置は、一対の上下ガラス
基板、上ガラス基板の内面に形成されたカラーフィル
タ、前記各ガラス基板の外面に貼られた偏光板、前記上
下ガラス基板間に挟持される少なくとも液晶よりなるセ
ルと、バックライトとよりなるモジュールで構成される
請求項２または請求項３に記載の平面表示装置の品位検
査装置。 - 【請求項５】 前記良否判定に用いる前記ラインセンサ
の焦点位置を前記カラーフィルタに合わせて欠陥検査を
行う請求項４に記載の平面表示装置の品位検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30194899A JP2001124661A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30194899A JP2001124661A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001124661A true JP2001124661A (ja) | 2001-05-11 |
Family
ID=17903048
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30194899A Pending JP2001124661A (ja) | 1999-10-25 | 1999-10-25 | 平面表示装置の品位検査方法およびその品位検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001124661A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2003019274A1 (fr) * | 2001-08-27 | 2003-03-06 | Japan Science And Technology Corporation | Procede pour trier les non-uniformites d'un panneau a cristaux liquides, appareil de tri et support d'informations contenant un programme effectuant le tri |
| WO2007094627A1 (en) * | 2006-02-15 | 2007-08-23 | Dongjin Semichem Co., Ltd | System for testing a flat panel display device and method thereof |
| CN100336099C (zh) * | 2003-09-10 | 2007-09-05 | 友达光电股份有限公司 | 具有电路连接测试设计的显示面板 |
| KR100798396B1 (ko) * | 2005-04-27 | 2008-01-28 | (주)소닉스 | 비엘유 검사장치 |
| KR100805962B1 (ko) | 2006-04-21 | 2008-02-25 | 주식회사 디에스엘시디 | 시야각을 이용한 백라이트유닛 검사방법 및 검사시스템 |
| US8462328B2 (en) | 2008-07-22 | 2013-06-11 | Orbotech Ltd. | Efficient telecentric optical system (ETOS) |
| KR101391448B1 (ko) * | 2007-02-15 | 2014-05-07 | 주식회사 동진쎄미켐 | 평판 표시 장치의 검사시스템 및 검사방법 |
-
1999
- 1999-10-25 JP JP30194899A patent/JP2001124661A/ja active Pending
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