JP3378795B2 - 表示装置の検査装置および検査方法 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶パネル等の表
示装置の品質を評価するための検査装置及び検査方法に
関し、特に表裏両面から表示装置を検査することができ
る表示装置の検査装置および検査方法に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】近年、マルチメディアと言う言葉に代表
される情報化社会が急速に進展し、パーソナルコンピュ
ータを始めとする情報関連機器あるいは大型のテレビジ
ョン撮像器が数多く商品化され、職場や家庭で広く利用
されている。こうした情報関連機器あるいはテレビジョ
ン撮像器に欠かすことが出来ないのは文字や画像等の情
報を表示するためのディスプレイ部分である。

【０００３】このディスプレイで現在商品化あるいは実
用化に近い段階にあるものには液晶表示装置（以下ＬＣ
Ｄと呼ぶ）とプラズマディスプレイ（以下ＰＤＰと呼
ぶ）が有る。ＬＣＤは低消費電力であり携帯性に優れた
特徴を有しており、特に一画素毎に画素を駆動するため
のスイッチング素子を接続したアクティブマトリクス型
ＬＣＤが、主にパーソナルコンピュータを始めとする情
報関連機器に採用されている。一方、ＰＤＰは大型化が
比較的容易である特徴を活かして大型のテレビジョン撮
像器として実用化されつつある。

【０００４】近年のマルチメディア化の進展によって、
ＬＣＤ、ＰＤＰの何れの場合も大型化と共に高精細化が
進んでおり、その表示品質についても現在よりも更に良
好なものが求められている。従って表示品質の評価はこ
れらを製造する上において極めて重要なものになりつつ
ある。

【０００５】こうしたディスプレイの表示品質を評価す
るための検査としては、製造途中の状態にあるもの或い
は完成したものに対して、表示特性等を評価する特性検
査やパターニング不良等を評価するための外観検査等が
有る。この外観検査は、ディスプレイの表面をＣＣＤカ
メラ等の撮像手段を用いてモニタに映し出し、上述した
パターニング不良や異物の混入等を検出するものであ
る。この外観検査を行うための検査装置として、例え
ば、特開昭６３−４８４４４号公報に開示されている。

【０００６】以下に、従来のＬＣＤの自動検査装置につ
いて、図面を参照しながら説明する。図５は従来の表示
装置の検査装置の構成を示したものであり、図６は従来
の表示装置の検査装置の主要部の概略を模式的に示した
ものである。

【０００７】図５において、搬送部１２８上にはステー
ジ１２７が設けられ、このステージ１２７にはパネル保
持部１２９が設けられている。ステージ１２７はパネル
を搭載し、搬送部１２８上を移動する。例えば搬送部１
２８に設けられたレールの上を移動する。搬送部１２８
はステージ１２７を搬送し、搬入、検査、搬出の各位置
で停止させる。

【０００８】図６において、ステージ１２７の上方には
光学顕微鏡１１１が備え付けられ、この光学顕微鏡１１
１によって、反射照明１０９および透過照明１１０の併
用により偏光フィルタ１０７、１０８を通して、パネル
表面の傷や内部のパターン形状不良等が観察される。前
記透過照明１１０から出射した光は直接パネルに入射さ
れるが、反射照明１０９から出射した光はハーフミラー
１０５を介してパネルに入射される。

【０００９】更に、このようにして観察された画像を画
像信号に変換する撮像部１１３と、この画像信号から不
良品判定を行う画像処理部１１５と、判定条件および検
査条件を指定して各不良について統計処理を行うことが
可能な計算機１１７と、表面の拡大画像を表示する表示
部１１８が備え付けられている。以上の構成により、表
示装置の外観検査を行っていた。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来の外観検査ではパネルの表示面側の検査を行うもので
あり、パネルの裏面側も検査するためにはパネルを裏返
さねばならないという問題点があった。

【００１１】人手によってパネルを裏返す場合、作業者
がパネルの表面を傷つけてしまったり、パネルを落とし
て破損させてしまう恐れがある。また、パネルを裏返す
のに多くの時間を要するため、全体として作業効率がか
なり悪くなってしまう。

【００１２】上述した検査装置にパネルを裏返す機構を
設けたとしても、パネルを保持しつつ裏返すための反転
機構はかなり複雑なものとなることが考えられる。特
に、近年ディスプレイの大型化に伴い、パネルを作製す
るための出発基板となるマザー基板は１辺が６００ｍｍ
を超えるものもあるため、このような基板を反転させる
ためには、検査装置に空間的な余裕をかなり持たせる必
要があり、装置の大型化が余儀なくされてしまう。

【００１３】上述したパネルの裏面側の検査は、例えば
反射型のＬＣＤにとっては非常に重要である。以下、そ
の理由について説明する。

【００１４】ＬＣＤはそれぞれ独自の形状にパターニン
グされた複数の薄膜をガラス等の透光性基板上に積層さ
せた構成を有しているが、反射型のＬＣＤの場合、前記
薄膜の１つに金属からなる反射電極がある。この反射電
極は表示面の大部分にマトリクス状に形成されている
が、非透光性であるため、この反射電極よりも下層はパ
ネルの表面側からは見えない。よって、この反射電極よ
りも下層に形成されている薄膜に異物の混入やパターン
不良などがあった場合、これらの不良は上述した従来の
外観検査では検出できないので、パネルの裏面側の検査
も必要である。

【００１５】さらに、反射型のＬＣＤにおける欠陥個所
の不良解析及び欠陥修正を行う際には、パネルの表面の
観察により前記欠陥個所の位置特定を行い、その個所を
パネル裏面から観察することが必要となる。

【００１６】また、反射型のＬＣＤに限らず、信号配線
として金属を用いた場合は、この金属よりも下層の部分
における不良は表面側の検査では検出できないので、一
般のＬＣＤやＰＤＰにおいてもパネルの裏面側の検査は
重要である。また、透光性材料を多数積層させた部分で
あっても、一方表面からの検査だけでは下層部が見えづ
らくなるため、裏面側からの検査も必要となる場合があ
る。

【００１７】本発明は上述のような問題を解決するため
になされたもので、ＬＣＤやＰＤＰ等の両面に傷をつけ
たり、破損することなく、表面と裏面とを検査すること
ができ、不良品判定や不良解析を効率良く、かつ精度良
く行うことができる表示装置の検査装置及び検査方法を
提供することを目的としている。

【００１８】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１記載の
表示装置の検査装置は、所定の位置に搬送された表示装
置を検査するための表示装置の検査装置において、所定
の位置に搬送された前記表示装置の上面を観察する第１
の観察手段と、前記第１の観察手段と光軸が一致し、前
記表示装置の下面を観察する第２の観察手段と、前記第
１の観察手段によって捉えられた映像を撮像して画像デ
ータに変換する第１の撮像手段と、前記第２の観察手段
によって捉えられた映像を撮像して画像データに変換す
る第２の撮像手段と、少なくとも一方の前記撮像手段に
よって得られた画像データを鏡面反転させる鏡面反転処
理手段と、所定の位置に搬送された前記表示装置に対し
て上方から光を照射する第１の照明手段と、前記表示装
置に対して下方から光を照射する第２の照明手段と、前
記各照明手段を所定のタイミングで点灯あるいは消灯さ
せる照明切替手段とを有することを特徴とするものであ
る。

【００１９】本発明に従えば、所定の位置に搬送された
表示装置の両面を検査するために前記表示装置を裏返す
ための複雑な機構や空間的な余裕を持たせることなく、
従来とほぼ同一の大きさの検査装置で表示装置の両面を
検査することが可能となる。また、各観察手段の光軸が
一致しているので、例えば不良個所を上面および下面か
ら同時に検出することができるため、より正確でかつ迅
速な不良個所の観察及び分析を行うことができる。

【００２０】また、例えば表示装置の下面を撮像して得
られた画像データを鏡面反転させることにより、下面の
欠陥位置を上面から見た位置として検出することが可能
となる。

【００２１】さらに、前記表示装置を上面及び下面から
透過状態及び反射状態で検査することが可能となる。ま
た、例えば前記表示装置の上面を前記第１の観察手段を
用いて透過状態で検査したいときには、前記第２の照明
手段を点灯させ、前記第１の照明手段を消灯させること
によって、余分な光の影響を受けずに正確に検査を行う
ことが可能となる。

【００２２】本発明の請求項２記載の表示装置の検査装
置は、請求項１記載の表示装置の検査装置において、前
記各撮像手段によって得られた画像データに応じて前記
各照明手段の明るさを制御する明るさ制御手段をさらに
有することを特徴とするものである。

【００２３】本発明に従えば、各撮像手段によって得ら
れた画像データを常に最適なものとすることが可能とな
る。

【００２４】本発明の請求項３記載の表示装置の検査方
法は、検査装置の所定の位置に搬送された表示装置を検
査する表示装置の検査方法において、前記表示装置の上
面及び下面を交互にあるいは同時に撮像し、撮像して得
られた画像を表示させる検査工程と、前記表示装置の上
面及び下面を撮像して得られた画像のうち少なくとも一
方の画像を、鏡面反転して表示させる検査工程と、前記
表示装置の上面及び下面の撮像を、前記表示装置の上面
あるいは下面に光を照射して行い、前記表示装置の上面
あるいは下面に照射される光を所定のタイミングで切り
替え、撮像して得られた画像を表示させる検査工程と、
前記表示装置の上面又は下面に光を照射し、前記表示装
置の上面又は下面を反射状態で撮像すると共に、前記表
示装置の下面又は上面を透過状態で撮像し、撮像して得
られた画像を表示させる検査工程とを含むこと特徴とす
るものである。

【００２５】本発明に従えば、所定の位置に搬送された
表示装置を裏返すことなく、効率良く表示装置の両面を
検査することが可能となる。

【００２６】また、例えば表示装置の下面を撮像して得
られた画像データを鏡面反転して表示させることによ
り、下面の欠陥位置を上面から見た位置として検出する
ことができるので、欠陥位置の特定を容易に行うことが
可能となる。

【００２７】さらに、前記表示装置の一方面の透過状態
での検査と反射状態での検査を行う場合のように同一面
を異なる状態で検査する場合には、透過状態での検査に
必要な照明と、反射状態での検査に必要な照明とを所定
のタイミングで切り替えることにより、検査工程の作業
効率を一段と向上させることが可能となる。

【００２８】また、前記表示装置の一方面に照射される
光を用いて、前記表示装置の一方面の反射状態での検査
と他方面の透過状態での検査とを同時に行うことができ
るので、検査工程の作業効率を一段と向上させることが
可能となる。

【００２９】本発明の請求項４記載の表示装置の検査方
法は、請求項３記載の表示装置の検査方法において、前
記表示装置の上面あるいは下面に光を照射して前記表示
装置を反射状態あるいは透過状態で撮像すると共に、撮
像して得られた画像に応じて前記表示装置に照射する光
の明るさを調節する工程をさらに含むことを特徴とする

【００３０】本発明に従えば、表示装置の上面あるいは
下面を撮像して得られた画像を常に最適なものとするこ
とが可能となる。

【００３１】

【００３２】

【００３３】

【００３４】

【００３５】

【００３６】

【００３７】

【００３８】

【発明の実施の形態】以下、図１乃至図４を用いて、本
発明の実施形態について詳細に説明する。

【００３９】（実施形態１）以下、本実施形態の表示装
置の検査装置および検査法法について、図１、図２を用
いて説明する。

【００４０】図１は本実施形態の表示装置の検査装置を
模式的に示した図であり、図２は検査装置の主要部の概
略構成を示した図である。先ず本実施形態の主要部であ
る観察手段の構成について図１を用いて説明する。図１
に示すように、本実施形態の表示装置の検査装置は、パ
ネル保持部２に保持された状態で搬送されたパネル１の
上下両側に光軸が常に一致するように設置された２つの
光学顕微鏡１１、１２が第１及び第２の観察手段として
配置されている。

【００４１】この光学顕微鏡１１、１２は、対物レンズ
３、４、ハーフミラー５、６、偏光フィルタ７、８とを
少なくとも備えている。２つの光学顕微鏡１１、１２は
常にパネル１の同一ポイントを表裏両面から観察し、例
えば搬送されてきたパネル１のガラスの傷や欠け、表裏
内部のパターン形状の不良、液晶注入不良、配向ムラ、
異物、導電体の静電気破壊等の欠陥が検査される。光学
顕微鏡は概ね５０倍〜１０００倍程度の倍率を有したも
のを用い、倍率は検査の種類に応じて適宜決定する。

【００４２】この２つの光学顕微鏡１１、１２は、反射
状態と透過状態で観察できるのは勿論のこと、上下の顕
微鏡に偏光フイルタ７、８を備えることにより偏光状態
での観察も可能である。これらは通常の光学顕微鏡と同
様である。また、対物レンズ３、４の後側焦点面位置に
位相板を置くことで、平坦面上の０．０２〜０．０５μ
ｍ程度のわずかな起状の検出が可能になる。その他、ウ
オラストンプリズムを偏光子、検光子と共に付け加える
ことで微分干渉での観察が可能になる。このように、サ
ンプルの種類や観察目的に応じて各部品を加えることに
より、様々な情報を得ることができる。

【００４３】更に、前記光学顕微鏡１１、１２の各接眼
レンズ部に相当する部分には、前記各光学顕微鏡１１、
１２によって捉えられた映像を撮像して画像データに変
換するＣＣＤカメラ１３、１４が第１及び第２の撮像手
段として設けられている。また、所定の位置に設置され
たパネル１に対して上方及び下方から光を照射する光源
９、１０が第１及び第２の照明手段として設けられてい
る。

【００４４】次に、図１で説明した検査装置の主要部の
周辺部に関して図２を用いて説明する。図２に示すよう
に、パネル１を保持するためのパネル保持部２と、この
パネル保持部２が載置され、水平方向に微動することが
できるステージ２７と、このステージ２７を搬送する搬
送部２８とを有している。

【００４５】搬送部２８上に設置されたステージ２７の
パネル保持部２には、パネル１の位置を規定するための
ピン２９が設けられている。パネルの導通検査や、パネ
ルにテストパターンを表示させて検査を行う場合は、パ
ネルに信号を入力するためのコンタクト部３０を設けて
も良い。

【００４６】次に本実施形態の検査装置を用いた表示装
置の検査方法に関して説明する。ステージ２７に載置さ
れたパネル保持部２によって固定されたパネル１は、搬
送部２８上を一枚ずつ搬送されて、所定の位置に設置さ
れる。所定の位置に搬送されたパネル１は、ステージ２
７によって水平方向に微動定寸送りされる。パネル１の
移動量は計算機１７から指定されて、モータードライバ
ーを介入して搬送部２８が駆動される。パネル１の検査
位置は計算機１７の指定によってなされる。

【００４７】なお、前記搬送部２８、ステージ２７、及
びパネル保持部２には、パネルの下側からの観察を可能
とするために、パネルの表示部に相当する部分に穴を設
けている。

【００４８】そして、ＣＣＤカメラ１３、１４によって
撮像した画像をＣＣＤ素子を使い画像信号に変換する。
このようにして得られた表面の画像信号は画像処理部１
５に入力され前記画像信号から不良品判定が行われる。
裏面の画像は鏡像処理部１６で鏡像として処理され、前
記画像信号から不良品判定が行われる。尚、鏡像処理と
は、元の画像を鏡に映したような画像に変換することで
あり、この場合、裏面から見た画像の左右を反転させる
ことを示している。

【００４９】これら表裏両面の判定により、被検査品を
良品、不良品に振り分けて搬送部２８により搬出され
る。検査条件および判定基準は計算機１７により指定す
ることができる。

【００５０】また判定結果を計算機１７に入力させて統
計的数字を出力させることができる。表面と鏡像処理さ
れた裏面との両面拡大画像を表示部１８で写しだし、プ
リンターをつなげることで写真を得ることができる。

【００５１】尚、ステージ２７上のパネル保持部２への
パネルの装着は作業者が行うようにしてもよいが、移載
機と呼ばれる基板を別の装置等に移し替えるための装置
を用いると効率が良い。また、搬送中は、装置内に静電
除去機構の除電ブロアを設けておくことにより、パネル
に静電破壊が起こる心配はない。

【００５２】本実施形態の検査装置によれば、光学顕微
鏡等の観察手段が被検査物であるパネルの上下に配置さ
れているため、パネルを裏返すこと無く表裏両面を検査
することができる。従って、金属からなる反射電極を有
する反射型ＬＣＤの検査を効率よく行うことができる。
また、大型のパネルを検査する場合では、誤ってパネル
を破損させる心配が全くなく、作業効率も著しく向上す
る。

【００５３】また、表示装置の欠陥部や不良個所の表裏
両面の情報を同時に得られるため、効率良く不良品判定
や不良解析を行うことが可能である。さらに、不良個所
を表示部１８に表示させて確認する際、パネル裏面の画
像を鏡面反転させる処理を行うため、確認を容易に行う
ことが可能である。

【００５４】また、前記検査装置にプリンタを接続する
ことにより画像をプリントアウトするようにしても良
い。

【００５５】（実施形態２）次に本発明の他の実施形態
について、図３を用いて説明する。

【００５６】図３は本実施形態の表示装置の検査装置を
模式的に示した図である。この検査装置は、図１に示し
た実施形態１における検査装置に加えて、パネルの外観
検査のみならず導通表示検査も可能とするものであり、
所望のパターンをパネルに表示させるための信号を発生
させる信号発生部１９と、該信号発生部１９からの信号
をパネルに入力させるコンタクト部３０とを更に備えて
いる。

【００５７】また、ＣＣＤカメラ１３、１４により得ら
れた画像信号をデータ処理するためのデータ処理部２
０、２１と、このデータ処理部２０、２１においてＣＣ
Ｄカメラ１３、１４に対する照明が適切であるかどうか
が判定され、照明が不適切であれば、その結果に基づい
て照明を最適にすべく最適化信号を出力するコントロー
ラ２２、２３と、この最適化信号に応じて光源９、１０
の明るさを調節する電源部２４、２５とを備えている。

【００５８】この検査装置を用いて、透過型の表示装置
の導通表示検査を行う様子について、以下に説明する。
なお、この検査装置による外観検査は実施形態１と同様
に行うことができる。

【００５９】まず、搬送部２８によってパネル１を搬送
し、搬入、検査、搬出の各位置で停止させる。検査位置
に設置されたパネル１には、透過照明としてパネル１の
背後に設置された光源１０が点灯され、この照明光がハ
ーフミラー６を介してパネルに照射される。

【００６０】この状態において、光学顕微鏡１１を介し
てＣＣＤカメラ１３によってパネル１の表示状態が検査
されると同時に、ＣＣＤカメラ１３からの信号はデータ
処理部２０へ送られ、ここでＣＣＤカメラ１３に対する
照明が最適であるかどうかが判定され、照明が不適切で
あれば、その結果に基づいて照明を最適にすべくコント
ローラ２２が電源部２４を制御する。この電源部２４に
は電気的入力信号に応じて出力電圧が可変する電子ボリ
ュームが内蔵されており、これによって光源１０の明る
さを制御することができる。このように、最適の照明条
件のもので導通表示検査を行うことができる。

【００６１】なお、上述した表面検査とは逆に、透過照
明としてパネル１の上方に設置された光源９を点灯さ
せ、光学顕微鏡１２を介してＣＣＤカメラ１４によって
パネル１の表示状態を検査しても良い。この場合、ＣＣ
Ｄカメラ１４からの信号はデータ処理部２１へ送られ、
ここでＣＣＤカメラ１４に対する照明が最適であるかど
うかが判定され、照明が不適切であれば、その結果に基
づいて照明を最適にすべくコントローラ２３が電源部２
５を制御するようにすれば良い。

【００６２】また、検査する表示装置が反射型の表示装
置の場合、反射照明としてパネル１の上方に設置された
光源９を点灯させ、光学顕微鏡１１を介してＣＣＤカメ
ラ１３によってパネル１の表示状態を検査することにな
る。この場合、ＣＣＤカメラ１３からの信号がデータ処
理部２０へ送られ、ここでＣＣＤカメラ１３に対する照
明が最適であるかどうかが判定されるのであるが、照明
が不適切であれば、その結果に基づいて照明を最適にす
べくコントローラ２２は電源部２５を制御する必要があ
る。したがって、この場合ではコントローラ２２からの
出力は電源部２５に入力されるようにしておけば良い。

【００６３】（実施形態３）次に本発明の他の実施形態
について、図４を用いて説明する。図４は本実施形態の
表示装置の検査装置を模式的に示した図である。この検
査装置は、図１、図３に示した実施形態１及び２におけ
る検査装置に加えて、パネル１の表面を透過照明によっ
て検査するとともにパネル１の裏面を反射照明によって
検査する第１の検査工程と、パネル１の表面を反射照明
によって検査すると共に、パネル１の裏面を透過照明に
よって検査する第２の検査工程とを連続してスムーズに
行うために、前記各照明装置を所定のタイミングで点灯
あるいは消灯させる照明切替部２６を備えている。

【００６４】図４に示すように、本実施形態の検査装置
には光学顕微鏡１１および１２に設けられている光源
９、１０に接続された電源部２４、２５に照明切替部２
６を接続した構成となっている。この照明切替部２６は
計算機１７によって制御されており、所望のタイミング
に応じて光源９、１０を制御している電源部２４、２５
に信号を与え、照明手段９、１０のＯＮ、ＯＦＦを制御
するものである。

【００６５】この検査装置を用いて表示装置の外観検査
または導通表示検査を行う様子について、以下に説明す
る。まず、搬送部２８によってパネル１を搬送し、搬
入、検査、搬出の各位置で停止させる。検査位置に設置
されたパネル１に対して、パネル１の上方に設けられた
光源９が照明切替部２６によって制御された電源部２５
からの電気的入力信号によって点灯され、パネル１は光
学顕微鏡１１によって表面側から反射状態で観察される
とともに、光学顕微鏡１２によって裏面側から透過状態
で観察される。

【００６６】次に、所望のタイミングに応じて照明切替
部２６から電源部２４、２５に信号が送られ、光源９は
消灯されて光源１０が点灯される。このとき、パネル１
は光学顕微鏡１１によって表面側から透過状態で観察さ
れるとともに、光学顕微鏡１２によって裏面側から反射
状態で観察される。

【００６７】以上のように本実施形態の検査装置では、
パネル１に光を照射する光源９、１０の点灯あるいは消
灯を照明切替部２６によって制御し、それに合わせてＣ
ＣＤカメラ１３、１４から各画像を取り込むようにして
いる。また、それらを計算機１７によって制御するよう
にしているため、反射状態および透過状態におけるパネ
ルの表面あるいは裏面からの検査等が極めて容易に行う
ことが出来る。

【００６８】尚、上述した実施形態１乃至３で、光学顕
微鏡１１、１２として説明した観察手段は光学顕微鏡に
限定する必要はない。光学顕微鏡の代わりにＣＣＤカメ
ラ等に直接対物レンズ等を取り付けたような機器であっ
ても差し支えない。但し１０００倍程度の高倍率が要求
される場合は光学顕微鏡が適していると考えられる。

【００６９】また、被検査物であるパネルはＬＣＤ以外
にもＰＤＰであってもよく、検査工程はパネルの製造工
程の何れの段階でもよい。

【００７０】さらに、本発明の検査装置をコンピュータ
によって制御して用いると、工場生産ラインの検査工程
などでスループットの向上を図ることができる以外に
も、パネルの欠陥を抽出、統計処理、不良解析が容易に
行え、その結果を製造工程にフィードバックし、それに
より生産工程を改善したりあるいは合理化することが迅
速に行える。

【００７１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の表示装置
の検査装置は、所定の位置に搬送された表示装置を検査
するための表示装置の検査装置において、所定の位置に
搬送された前記表示装置の上面を観察する第１の観察手
段と、前記第１の観察手段と光軸が一致し、前記表示装
置の下面を観察する第２の観察手段と、を有しているの
で、所定の位置に搬送された表示装置の両面を検査する
ために前記表示装置を裏返すための複雑な機構や空間的
な余裕を持たせることなく、従来とほぼ同一の大きさの
検査装置で表示装置の両面を検査することができるとい
う効果を奏する。また、パネルを裏返す必要が無いた
め、誤ってパネルを破損したりする心配が無く、観察、
検査に要する時間が短縮され、作業を至って能率良く行
うことができる。さらに、前記各観察手段の光軸が一致
していることによって、例えば不良個所を上面および下
面から同時に検出することが出来るため、より正確でか
つ迅速な不良個所の観察及び分析を行うことができると
いう効果を奏する。

【００７２】また、前記第１の観察手段によって捉えら
れた映像を撮像して画像データに変換する第１の撮像手
段と、前記第２の観察手段によって捉えられた映像を撮
像して画像データに変換する第２の撮像手段と、少なく
とも一方の前記撮像手段によって得られた画像データを
鏡面反転させる鏡面反転処理手段とを有することによっ
て、例えば表示装置の下面を撮像して得られた画像デー
タを鏡面反転させることにより、下面の欠陥位置を上面
から見た位置として検出することができるという効果を
奏する。

【００７３】また、所定の位置に搬送された前記表示装
置に対して上方から光を照射する第１の照明手段と、前
記表示装置に対して下方から光を照射する第２の照明手
段と、前記各照明手段を所定のタイミングで点灯あるい
は消灯させる照明切替手段とを有することによって、前
記表示装置を上面及び下面から透過状態及び反射状態で
検査することができ、かつ、例えば前記表示装置の上面
を前記第１の観察手段を用いて透過状態で検査したいと
きには、前記第２の照明手段を点灯させ、前記第１の照
明手段を消灯させることによって、余分な光の影響を受
けずに正確に検査を行うことができるという効果を奏す
る。

【００７４】また、前記各撮像手段によって得られた画
像データに応じて前記各照明手段の明るさを制御する明
るさ制御手段を有することによって、前記各撮像手段に
よって得られた画像データを常に最適なものとすること
ができるという効果を奏する。

【００７５】

【００７６】本発明の表示装置の検査方法は、検査装置
の所定の位置に搬送された表示装置を検査する表示装置
の検査方法において、前記表示装置の上面及び下面を交
互にあるいは同時に撮像し、撮像して得られた画像を表
示させる検査工程を行うことによって、所定の位置に搬
送された表示装置を裏返すことなく、効率良く表示装置
の両面を検査することができるという効果を奏する。

【００７７】また、前記表示装置の上面及び下面を撮像
して得られた画像のうち少なくとも一方の画像は、鏡面
反転して表示させる検査工程を行うことによって、例え
ば表示装置の下面を撮像して得られた画像データを鏡面
反転して表示させることにより、下面の欠陥位置を上面
から見た位置として検出することができるので、欠陥位
置の特定を容易に行うことができるという効果を奏す
る。

【００７８】また、前記表示装置の上面及び下面の撮像
を前記表示装置の上面あるいは下面に光を照射して行
い、前記表示装置の上面あるいは下面に照射される光は
所定のタイミングで切り替え、撮像して得られた画像を
表示させる検査工程を行うことによって、前記表示装置
の一方面の透過状態での検査と反射状態での検査を行う
場合のように同一面を異なる状態で検査する場合には、
透過状態での検査に必要な照明と、反射状態での検査に
必要な照明とを所定のタイミングで切り替えることによ
り、検査工程の作業効率を一段と向上させることができ
るという効果を奏する。

【００７９】また、前記表示装置の上面（又は下面）に
光を照射し、前記表示装置の上面（又は下面）を反射状
態で撮像すると共に、前記表示装置の下面（又は上面）
を透過状態で撮像し、撮像して得られた画像を表示させ
る検査工程を行うことによって、前記表示装置の一方面
に照射される光を用いて、前記表示装置の一方面の反射
状態での検査と他方面の透過状態での検査とを同時に行
うことができるので、検査工程の作業効率を一段と向上
させることができるという効果を奏する。

【００８０】また、前記表示装置の上面あるいは下面に
光を照射して前記表示装置を反射状態あるいは透過状態
で撮像すると共に、撮像して得られた画像に応じて前記
表示装置に照射する光の明るさを調節する工程を行うこ
とによって、前記表示装置の上面あるいは下面を撮像し
て得られた画像を常に最適なものとすることができると
いう効果を奏する。

【００８１】上述のように、本発明はＬＣＤ等の表示装
置の製造コストの低減および製品の品質の向上に対して
大きな効果を得ることが出来る産業上有益な発明であ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の検査装置の主要部を示した概略構成図
である。

【図２】本発明の検査装置の周辺の構成を示した概略構
成図である。

【図３】本発明の他の実施形態の主要部を示した概略構
成図である。

【図４】本発明の他の実施形態の主要部を示した概略構
成図である。

【図５】従来の液晶パネル等の検査装置の主要部の構成
を示した概略構成図である。

【図６】従来の液晶パネル等の検査装置の全体構成図で
ある。

【符号の説明】

１ パネル ２ パネル保持部 ３、４ 対物レンズ ５、６ ハーフミラー ７、８ 偏光フイルター ９ 光源（第１の照明手段） １０ 光源（第２の照明手段） １１ 光学顕微鏡（第１の観察手段） １２ 光学顕微鏡（第２の観察手段） １３ ＣＣＤカメラ（第１の撮像手段） １４ ＣＣＤカメラ（第２の撮像手段） １５ 画像処理部 １６ 鏡像処理部 １７ 計算機 １８ 表示部 １９ 信号発生部 ２０、２１ データ処理部 ２２、２３ コントローラ ２４、２５ 電源部 ２６ 照明切替部 ２７ ステージ ２８ 搬送部 ２９ ピン ３０ コンタクト部

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) G01M 11/00 - 11/08 G01N 21/84 - 21/958

Claims (4)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の位置に搬送された表示装置を検査
   するための表示装置の検査装置において、 所定の位置に搬送された前記表示装置の上面を観察する
   第１の観察手段と、 前記第１の観察手段と光軸が一致し、前記表示装置の下
   面を観察する第２の観察手段と、 前記第１の観察手段によって捉えられた映像を撮像して
   画像データに変換する第１の撮像手段と、 前記第２の観察手段によって捉えられた映像を撮像して
   画像データに変換する第２の撮像手段と、 少なくとも一方の前記撮像手段によって得られた画像デ
   ータを鏡面反転させる鏡面反転処理手段と、 所定の位置に搬送された前記表示装置に対して上方から
   光を照射する第１の照明手段と、 前記表示装置に対して下方から光を照射する第２の照明
   手段と、 前記各照明手段を所定のタイミングで点灯あるいは消灯
   させる照明切替手段とを有することを特徴とする表示装
   置の検査装置。
2. 【請求項２】 前記各撮像手段によって得られた画像デ
   ータに応じて前記各照明手段の明るさを制御する明るさ
   制御手段をさらに有することを特徴とする請求項１記載
   の表示装置の検査装置。
3. 【請求項３】 検査装置の所定の位置に搬送された表示
   装置を検査する表示装置の検査方法において、 前記表示装置の上面及び下面を交互にあるいは同時に撮
   像し、撮像して得られた画像を表示させる検査工程と、 前記表示装置の上面及び下面を撮像して得られた画像の
   うち少なくとも一方の画像を、鏡面反転して表示させる
   検査工程と、 前記表示装置の上面及び下面の撮像を、前記表示装置の
   上面あるいは下面に光を照射して行い、前記表示装置の
   上面あるいは下面に照射される光を所定のタイミングで
   切り替え、撮像して得られた画像を表示させる検査工程
   と、 前記表示装置の上面又は下面に光を照射し、前記表示装
   置の上面又は下面を反射状態で撮像すると共に、前記表
   示装置の下面又は上面を透過状態で撮像し、撮像して得
   られた画像を表示させる検査工程とを含むこと特徴とす
   る表示装置の検査方法。
4. 【請求項４】 前記表示装置の上面あるいは下面に光を
   照射して前記表示装置を反射状態あるいは透過状態で撮
   像すると共に、撮像して得られた画像に応じて前記表示
   装置に照射する光の明るさを調節する工程をさらに含む
   ことを特徴とする請求項３記載の表示装置の検査方法。