JP2002040385A - パターン修正装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ＬＣＤパネルの表裏を反転する必要がなく、
短時間での修正が可能なパターン修正装置を提供する。 【解決手段】 ＬＣＤパネル２はＸＹ軸テーブル６に載
置されて水平方向に移動でき、上部には検査用カメラ１
が配置され、下部の筐体内にはレーザ光源４と観察用カ
メラ５が配置され、ＬＣＤパネル２を上部から検査用カ
メラ１で欠陥を検査し、下部から観察用カメラ５で欠陥
を観察しながらレーザ光を照射することにより欠陥を除
去する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の技術分野】この発明は、パターン修正装置に関
し、特に、反射型液晶表示装置の画素の欠陥を修正する
パターン修正装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置（ＬＣＤ）には透過型ＬＣ
Ｄと反射型ＬＣＤとがあり、最近多く見られるようにな
ってきたモバイルコンピュータには反射型ＬＣＤが用い
られている。反射型ＬＣＤは反射面を有するため画素を
駆動するＴＦＴ（薄膜トランジスタ）に欠陥が生じて
も、表示面から修正することができない。

【０００３】図４は従来の反射型ＬＣＤの画素の欠陥を
検査する手順を示す図であり、図５はフローチャートで
ある。

【０００４】図４および図５において、図示しないＸＹ
軸テーブルに被検査対象となるＬＣＤパネル２がローデ
ィングされ、欠陥画素位置移動のためアライメントが行
われる。ここでアライメントとは、ＬＣＤパネル２の図
示しない基準マーク（アライメントマーク）を読み取
り、ＸＹ軸テーブルへの被修正対象ＬＣＤパネル搭載状
態（ＸＹ位置，傾き）を測定することを言う。ここで、
ＬＣＤパネル２を前段階における検査データに基づいて
欠陥位置座標に移動させる。図４に示すように、点灯状
態にあるＬＣＤパネル２の表示面が検査用カメラ１で順
次撮像されて欠陥画素３が特定され、その欠陥画素３の
ＬＣＤパネル２上での位置がメモリに記憶される。

【０００５】次に、ＬＣＤパネル２がＸＹ軸テーブルか
らアンローディングされてその表裏が反転され、再度Ｘ
Ｙ軸テーブルにローディングされる。そして、欠陥画素
位置移動のためアライメントが行われ、オペレータは観
察用カメラ５にて観察しながら欠陥画素３に相当するＴ
ＦＴの位置へレーザ光源４を移動させ、レーザ光の照射
位置合わせを行い、レーザ光源４からレーザ光を照射し
て欠陥画素を修正する。その後、再びＬＣＤパネル２が
アンローディングされる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述のごとく、従来の
手法では、ＬＣＤパネル２を検査と修正の過程で表裏反
転する必要がある。そのため、検査・修正の度に検査用
カメラ１あるいは修正用のレーザ光源４の位置合わせを
し直さなければならないなどのため、修正タクトが長く
なってしまう問題があった。

【０００７】それゆえに、この発明の主たる目的は、Ｌ
ＣＤパネルの表裏を反転する必要がなく、短時間での修
正が可能なパターン修正装置を提供することである。

【０００８】

【課題を解決するための手段】この発明は、反射型液晶
表示装置の画素の欠陥を修正するパターン修正装置であ
って、修正対象となる被修正対象基板を水平方向に移動
させるためのテーブルと、被修正対象基板上の画素の欠
陥を検査するための検査手段と、検査手段で検査された
画素の欠陥を修正するためのレーザ光を照射するレーザ
光源とを備え、検査手段とレーザ光源とを被修正対象基
板の相対する面側に配置したことを特徴とする。

【０００９】その結果、被修正対象基板を検査と修正と
で表裏を反転する必要がなく、修正時間を短縮できる。

【００１０】さらに、前記検査された画素の欠陥をレー
ザ光源側から観察するための観察手段を含み、該観察手
段はレーザ光源の光軸と同軸的に設けられる。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１はこの発明の一実施形態の外
観図である。図１において、被検査対象ＬＣＤパネルは
ＸＹ軸テーブル６上に載置され、ＸＹ軸テーブル６の上
方には検査用カメラ１がＺ軸テーブル７に取り付けられ
ている。ＸＹ軸テーブル６はＸＹ方向（水平方向）に移
動可能に構成され、Ｚ軸テーブル７はＺ軸方向（上下方
向）に移動可能に構成されている。ＸＹ軸テーブル６の
下部の筐体内には、上向きにレーザ光源４と観察用カメ
ラ５とが同軸的に配置されている。したがって、検査手
段としての検査用カメラ１とレーザ光源４とは、ＸＹ軸
テーブル６上の被検査対象ＬＣＤパネル２の相対する面
側に配置されていることになる。

【００１２】さらに、装置を制御するための制御コンピ
ュータ８と、検査用カメラ１で撮像された画像を処理す
るための画像処理装置９と、装置全体を制御するための
ホストコンピュータ１０と、検査用カメラ１または観察
用カメラ５から出力された画像を映し出すモニタ１１と
が配置されている。

【００１３】図２はこの発明の一実施形態の動作を説明
するための図であり、図３は同じくフローチャートであ
る。

【００１４】次に、図１〜図３を参照して、この発明の
一実施形態の具体的な動作について説明する。なお、以
下の説明は次のことを前提としている。

【００１５】まず、ＬＣＤパネル２は、予め前段の検査
装置において検査され、概略欠陥画素位置が特定されて
いる。また、前段の検査装置における検査データは、Ｌ
ＣＤパネルＩＤと照合可能で、図１に示したパターン修
正装置に、何らかの方法、たとえば、ＲＳ２３２Ｃによ
る通信またはＬＡＮにより伝達されるものとする。

【００１６】ＸＹ軸テーブル６に被修正対象のＬＣＤパ
ネル２がローディングされ、欠陥画素位置移動のための
アライメントが行われる。そして、従来例と同様にし
て、被修正対象ＬＣＤパネル２が前段検査装置検査デー
タに基づいて欠陥位置座標に移動される。被修正対象Ｌ
ＣＤパネル２の点灯状態において、検査用カメラ１にて
画像が取り込まれ、欠陥画素位置が特定される。そし
て、特定された欠陥画素が修正位置に移動される。観察
用カメラ５から出力された画像より欠陥画素駆動用ＴＦ
Ｔの修正位置が、レーザ光源４の照射位置に位置合わせ
される。

【００１７】レーザ光源４からレーザ光が欠陥画素駆動
用ＴＦＴ修正位置に照射され、修正される。そして、修
正を終了した被修正対象ＬＣＤパネル２がアンローディ
ングされて取り出される。

【００１８】上述のごとく、この発明の実施形態によれ
ば、欠陥画素検査後に被修正対象ＬＣＤパネルをアンロ
ーディングして反転する必要がなくなり、図５に示した
従来例に比べて、図３に示した処理のほうが、処理工程
を少なくすることができ、修正タクトを大幅に短縮でき
る。

【００１９】今回開示された実施の形態はすべての点で
例示であって制限的なものではないと考えられるべきで
ある。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求
の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味お
よび範囲内でのすべての変更が含まれることが意図され
る。

【００２０】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、検査
面と修正面とが相反する面である被修正対象ＬＣＤパネ
ルの検査面側に検査手段を配置し、修正対象側にレーザ
光源を配置したことにより、検査と修正の工程がＬＣＤ
パネルの着脱および表裏反転を必要とせず可能となり、
大幅に修正時間の短縮が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の一実施形態の外観図である。

【図２】 この発明の一実施形態の動作を説明するため
の図である。

【図３】 この発明の一実施形態の動作を説明するため
のフローチャートである。

【図４】 従来の反射型ＬＣＤの画素の欠陥を検査する
手順を示す図である。

【図５】 従来の反射型ＬＣＤの画素の欠陥を検査する
手順を示すフローチャートである。

【符号の説明】

１ 検査用カメラ、２ ＬＣＤパネル、３ 欠陥画素、
４レーザ光源、５ 観察用カメラ、６ ＸＹ軸テーブ
ル、７ Ｚ軸テーブル、８ 制御コンピュータ、９画像
処理装置、１０ ホストコンピュータ、１１ モニタ。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 反射型液晶表示装置の画素の欠陥を修正
   するパターン修正装置であって、 修正対象となる被修正対象基板を水平方向に移動させる
   ためのテーブルと、 前記被修正対象基板上の画素の欠陥を検査するための検
   査手段と、 前記検査手段で検査された画素の欠陥を修正するための
   レーザ光を照射するレーザ光源とを備え、 前記検査手段と前記レーザ光源とを前記被修正対象基板
   の相対する面側に配置したことを特徴とする、パターン
   修正装置。
2. 【請求項２】 さらに、前記検査された画素の欠陥を前
   記レーザ光源側から観察するための観察手段を含み、該
   観察手段は前記レーザ光源の光軸と同軸的に設けられ
   る、請求項１に記載のパターン修正装置。