JP4094731B2 - 液晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、薄型平面表示装置等として用いられる液晶パネルに発生した画素欠陥の修正方法及び修正装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
液晶パネルの製造工程において、画素欠陥の発生を皆無にすることは極めて困難であり、歩留まりを向上させるためには、わずかな個数の欠陥画素が存在するからといって液晶パネルを不良品として廃棄してしまうのではなく、その欠陥画素を修正加工(修理)して良品とする技術が重要である。
【0003】
従来のそのような画素欠陥修正方法及び修正装置として、例えば特開平9−90304号によるものが知られている。この装置では特に白画素欠陥について、CCDビデオカメラで撮像された画像によって液晶パネルの欠陥画素を検出し、その欠陥画素に第1のレーザ光を照射することによって欠陥画素を含む液晶層中に気泡を発生させ、さらに第2のレーザ光を照射することによって欠陥画素の構成材を気泡内に飛散させ対向電極に付着させて、白画素欠陥を修正する。
【0004】
また、欠陥画素を検出する方法として、温風によって液晶パネルを加熱した状態で検出を行う検査方法(特開平8−220174号)及び検査装置(特開平9−196816号)が知られている。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
上記したように検査時に液晶パネルを加熱することによって、欠陥画素の検出が容易になり、欠陥画素の検出効率及び精度を向上させることができる。しかしながら、特開平9−90304号に示された方法及び装置では、画素欠陥の検査及び修正を単一の装置によって行うことが可能であるが、検査時に液晶パネルの加熱を行うことができず、そのため欠陥画素の検出の効率に問題があった。また、特開平8−220174号及び特開平9−196816号に示された方法及び装置は液晶パネルを加熱可能なものであるが、これらは検査装置であって、画素欠陥の修正を行うことができなかった。
【0006】
したがって、従来の方法及び装置によって、液晶パネルを加熱して効率良く欠陥画素の検査を行い、検出された欠陥画素を修正して、さらに加熱を行いつつ再検査を行って修正を確認するには、(a)液晶パネルを、加熱手段を有した検査装置において、加熱された状態で検査して欠陥画素の位置を検出し、(b)液晶パネルを修正装置に移動・設置して、検査装置において検出された欠陥画素の位置に基づいて修正を行い、(c)液晶パネルを再度加熱手段を有した検査装置に移動・設置して、加熱された状態で再検査して欠陥画素が修正されているかどうかを確認する、という手順によらなければならない。このような方法では、各工程ごとに液晶パネルの移動・設置を行わなければならないので、作業の効率上問題があった。
【0007】
また、例えばレーザ光によって修正を行う場合、検査工程から修正工程への移行において、別に設けられた検査装置によって検出された欠陥画素の位置情報のみによって、修正装置におけるレーザ光照射の位置決めを行うので、欠陥画素以外の画素にレーザ光を照射してしまう可能性がある。特に液晶パネルを加熱して欠陥画素を検査した場合、熱によって液晶パネルに微少な歪みが生じ、それによって欠陥画素の位置にずれが生じてしまう可能性が高い。このようなずれの問題は、修正工程から再検査工程への移行においても同様であり、修正対象である欠陥画素を正しく再検査できない可能性がある。
【0008】
本発明は、液晶パネルの検査時に加熱を行う修正方法において、効率的かつ確実に欠陥画素の検査、修正及び再検査の工程を行うことができる液晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置を提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
このような目的を達成するために、本発明による液晶パネルの画素欠陥修正方法は、液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正方法において、液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、透過照明手段によって液晶パネルを裏面側から照明することで液晶パネルを通過した光像を生成し、得られた光像を用いて欠陥画素の検出を行う検査工程と、検出された欠陥画素の位置とレーザ光の照射位置とが対応するように、液晶パネルの位置合わせを行った後、レーザ光を照射して液晶パネルの欠陥画素の修正を行う修正工程と、修正が行われた液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、検査工程と同一の透過照明手段によって液晶パネルを裏面側から照明することで液晶パネルを通過した光像を生成し、得られた光像を用いて修正が行われた欠陥画素の再検査を行う再検査工程と、を備え、検査工程、修正工程及び再検査工程の全工程は、液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする。
【0010】
また、検査工程において、検出された欠陥画素の位置の登録をさらに行うことを特徴としても良い。
【0011】
さらに、検出された欠陥画素の位置をそれぞれ登録して、液晶パネル全体について継続して検査を行って、液晶パネルのすべての欠陥画素の位置を検出・登録するように検査工程を行い、次に、検査工程において検出された1個または複数個の欠陥画素のそれぞれについて、登録されたそれぞれの位置に基づいて修正工程と再検査工程とを行っても良い。
【0012】
上記のように、画素欠陥修正方法を検査、修正及び再検査の3つの工程を備える構成とし、そのうち検査及び再検査の工程において液晶パネルを加熱して欠陥画素の検出効率及び精度を高めて検査を行う修正方法を、液晶パネルの移動・再設置を行うことなく単一の液晶パネル設置手段に保持された状態で行うことによって、液晶パネルの欠陥画素の検出、修正と修正後の再検査を効率的に、また位置のずれなどを生じることなく行うことができる。また特に、最初に検査工程において液晶パネル全体について検査を行って、検出した欠陥画素の位置をそれぞれ登録しておき、次に登録されたそれぞれの欠陥画素について、修正工程及び再検査工程を行うことによって、さらに各工程の効率を高めることができる。
【0013】
また、検査工程の欠陥画素の検出と、修正工程の液晶パネルの位置合わせと、再検査工程の修正された欠陥画素の再検査とは、液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された液晶パネルの像を表示する表示手段とを用いて行うことも可能である。
【0014】
さらに、修正工程の液晶パネルの位置合わせは、検査工程において検出された欠陥画素の位置の近傍を拡大して表示手段に表示して行っても良い。
【0015】
検査工程において、液晶パネルの像を撮像して表示し、表示された液晶パネル像によって液晶パネルの検査を行うことによって、効率良く欠陥画素の検出を行うことができる。また、そのように液晶パネル全体について検査を行って全欠陥画素を検出した後、修正工程においてそれぞれの欠陥画素の位置合わせを行うときに、検査工程において検出された位置のみに基づいて位置合わせを行うのではなく、検査時と同様の手段によって位置の確認を行いつつ位置合わせを行うことによって、位置のずれが生じることを防ぐことができる。またさらに、検査工程において検出された欠陥画素の位置の近傍を拡大して表示して行うことによって、さらに正確な位置決め及び位置合わせを行うことができる。
【0016】
また、本発明による液晶パネルの画素欠陥修正装置は、液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正装置において、液晶パネルを固定し、所定の位置に位置決めさせる液晶パネル設置手段と、液晶パネルの欠陥画素の検査時、及び修正が行われた欠陥画素の再検査時のそれぞれにおいて、液晶パネルを裏面側から照明する透過照明手段と、透過照明手段によって裏面側から照明された液晶パネルを通過した光像を撮像して検査を行って欠陥画素を検出する欠陥画素検査手段と、液晶パネルの欠陥画素の修正時において、液晶パネルの欠陥画素にレーザ光を照射して欠陥画素の修正を行うレーザ光照射手段と、液晶パネルの欠陥画素の検査時、及び修正が行われた欠陥画素の再検査時のそれぞれにおいて、液晶パネルを加熱する加熱手段と、を有し、液晶パネルの欠陥画素の検査、液晶パネルの欠陥画素の修正、及び修正が行われた欠陥画素の再検査は、液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする。
【0017】
また、検出された欠陥画素の位置を登録する位置登録手段をさらに有することを特徴としても良い。
【0018】
このように、検査及び再検査を行うための欠陥画素検査手段と、修正を行うためのレーザ光照射手段とを備え、かつ検査及び再検査工程や、修正工程で欠陥画素検査手段を用いて位置合わせを行う場合など必要なときに液晶パネルを加熱する加熱手段を有する構成とすることによって、単一の修正装置において効率的かつ確実に検査、修正及び再検査の3つの工程を行う上記の画素欠陥修正方法を実現することができる。さらに、位置登録手段を備えることによって、位置合わせの効率及び精度を上げることができる。
【0019】
欠陥画素検査手段は、液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された液晶パネルの像を表示する表示手段とを有する構成としても良い。
【0020】
液晶パネルを加熱するための加熱手段については、気体を加熱して温風として液晶パネル及びその周辺に供給することによって、液晶パネルを加熱する温風供給手段であっても良い。
【0021】
また、加熱手段は、赤外線を液晶パネルに照射することによって液晶パネルを加熱する赤外線照射手段であっても良い。この場合、この赤外線照射手段は、照明手段を兼ねることも可能である。
【0022】
【発明の実施の形態】
以下、図面と共に本発明による液晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、図面の説明においては同一要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。また、図面の寸法比率は、説明のものと必ずしも一致していない。
【0023】
図1は、本発明に係る画素欠陥修正装置の一実施形態の構成を示すブロック図である。本実施形態では、検査及び修正の対象である液晶パネル1を載置するためのXYステージ2が、液晶パネル設置手段として備えられている。このXYステージ2は、制御部4からの駆動制御信号にしたがって作動するステッピングモータを備える駆動機構6によってXY座標のいずれの方向へも移動され、これによって液晶パネル1を任意の位置へ移動・位置決め調整することができる。なお、液晶パネル1の動作は、液晶パネル駆動回路1aによって駆動制御される。
【0024】
XYステージ2の中央部には、Z方向(XY座標に直交する方向)に向けて貫通した開口部2aが形成され、開口部2aの下側には、偏光フィルタ8を介して照明手段である透過照明装置10が設けられている。制御部4からの照明制御信号によって透過照明装置10が点灯されると、偏光フィルタ8を通過した照明光が開口部2aを通過して液晶パネル1の裏面側を照明し、液晶パネル1のいわゆるバックライトと同様の機能が発揮される。
【0025】
また、液晶パネル1と、透過照明装置10及び偏光フィルタ8と、の間に位置するように、XYステージ2内に光拡散板9が設置されている。この光拡散板9は、液晶パネル1の全体を観察する場合と一部を拡大して観察する場合に、どちらかの場合で透過照明光の光量不足によって液晶パネル1の光像が暗くならないようにする光量調整機能を有している。光拡散板9としては、スリガラスやオパールガラスなどの光を拡散・散乱させるものを用いる。
【0026】
XYステージ2の上方には、Z座標方向に沿って、結像レンズ12、ダイクロイックミラー14、偏光フィルタ16、カメラレンズ18及びCCDビデオカメラ20が、同一の光軸に合致する光学系を構成するように設けられている。なお、偏光フィルタ8及び16は、相互に直交状態に配置されている。
【0027】
ダイクロイックミラー14に対向する位置には、上記光学系と光軸合わせされたレーザ発振器22が設けられ、さらに、ダイクロイックミラー14とレーザ発振器22との間には、所定部分にのみ光透過パターンを有する遮光マスク24と、所定の光透過率を有する減光フィルタ26とが設けられている。遮光マスク24及び減光フィルタ26に対しては、駆動のための駆動モータ28及び30がそれぞれ設置されており、レーザ発振器22、駆動モータ28及び30は、それぞれ制御部4からの制御信号によって駆動・制御される。
【0028】
CCDビデオカメラ20によって撮像された液晶パネル1の映像信号は、画像処理部32へ出力される。画像処理部32は、液晶パネル1の光像をCRTモニタ等の表示部34に再生表示させるとともに、適時にレーザ発振器22のレーザ発光を停止させるための発光停止信号を制御部4へ出力する。
【0029】
このような構成からなる画素欠陥修正装置によって、液晶パネルの他の装置への移動及び再設置等を行うことなく、単一の装置によって液晶パネルの欠陥画素の検査、修正及び再検査の全工程を行うことができる。すなわち、XYステージ2及び駆動機構6からなる液晶パネル設置手段上に配置された液晶パネル1に対して、欠陥画素の検査及び再検査を行うための、撮像手段であるCCDビデオカメラ20、画像処理部32及び表示手段である表示部34を有する欠陥画素検査手段と、欠陥画素の修正を行うための、レーザ発振器22、遮光マスク24及び減光フィルタ26を有するレーザ光照射手段と、欠陥画素検査手段及びレーザ光照射手段による検査・再検査工程及び修正工程を効率良く行わせるための適当な光学系とを設けることによって、全工程を単一の装置によって行うことができる画素欠陥修正装置を実現することができる。
【0030】
なお、各工程を制御する制御部4及び画像処理部32は、マイクロコンピュータシステム等によって実現される。また、制御部4には位置登録手段として、メモリを含む位置登録部4aが接続されており、これによって検出された欠陥画素のそれぞれの位置が登録される。また例えば、これらのマイクロコンピュータシステム等は、操作者が操作することによって、修正装置全体を制御することができる構成としても良い。
【0031】
本実施形態における特徴として、液晶パネル1を加熱するための温風供給手段として、温風供給器40が設置されている。温風供給器40の温風生成部40aには内部に電熱ヒータなどの気体加熱の手段が設置されており、気体入力部40bから入力された空気などの気体は、温風生成部40aを通過することによって所定の温度まで加熱され、温風出力部40cから出力されて液晶パネル1に供給される。
【0032】
液晶パネル1及びXYステージ2の周囲には、液晶パネル1への加熱を効率良く行うため、保温ケース46及び48が設置されている。本実施形態においては、温風供給器40から出力された温風は、XYステージ2の下側に設置された保温ケース46の通気路46b及びXYステージ2に設けられた通気路2bを通過して、XYステージ2の上側に設置された保温ケース48の内部に導入される。保温ケース48は内部に液晶パネル1が配置されるように設置されており、これによって液晶パネル1が表面から加熱される。保温ケース48の上部中央には、例えばガラス製などの光を透過する透過板48aが設置されており、液晶パネル1の光像の出射及びレーザ光の入射はこの透過板48aを介して行われる。
【0033】
保温ケース48内には、温度センサ50が設置されている。温度センサ50によって測定された温度データは、温度制御部44に入力されている。温度制御部44は、この温度データに基づいて、加熱制御部42を介して温風供給器40が生成する温風の温度を制御する。例えば温風の生成が電熱ヒータによって行われている場合、加熱制御部42はヒータ電源を含んで構成しても良い。
【0034】
保温ケース48に供給された温風は、さらに通気路2c及び46cを通過して保温ケース46の内部に供給される。これによって液晶パネル1が裏面から加熱される。保温ケース46の下部中央には、例えばガラス製などの光を透過する透過板46aが設置されており、液晶パネル1への透過照明の照射はこの透過板46aを介して行われる。なお、保温ケース46の所定の位置には、温風を排気するための排気口(図示していない)が設けられている。また、保温ケース46、48及び温風供給器40は、XYステージ2に対して固定されており、したがってXYステージ2と連動して移動する。
【0035】
温風供給による液晶パネルの加熱方法を用いた画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を、図2に示すフローチャートとともに図1に示した装置について説明する。なお、本発明による画素欠陥修正方法が有する検査、修正及び再検査の3つの工程について、本フローチャートにおいてはステップ102〜106が検査工程、ステップ108〜114が修正工程、ステップ116が再検査工程に相当する。
【0036】
まず、ステップ100において、操作者が被修正対象である液晶パネル1をXYステージ2上に装着する。続いて、ステップ102において、温風供給器40をONにして温風の供給を開始し、温度センサ50からの温度データによって、液晶パネル1が所定の温度となるように温度調節を行う。なお、温風供給器40の温風生成部40a内部に設置された電熱ヒータなどの気体加熱の手段については、ステップ102での温風供給開始の以前に、あらかじめ所定の温度に昇温しておいても良い。
【0037】
次に、ステップ104において、液晶パネル駆動回路1aによって液晶パネル1の動作をONにして、液晶パネル1を均一輝度の表示状態に設定するとともに、透過照明装置10を点灯させることにより、液晶パネル1の裏面を照明させる。これにより、CCDビデオカメラ20が、液晶パネル1を通過した光像を結像レンズ12、ダイクロイックミラー14、偏光フィルタ16及びカメラレンズ18を介して撮影を開始する。
【0038】
次に、ステップ106において、液晶パネル1の欠陥画素の位置検索を行う。例えば、操作者が表示部34に表示される液晶パネル1の再生映像を見ながら、XYステージ2の位置を適宜に移動させることにより、液晶パネル1中の欠陥画素を検索し、検出した欠陥画素の位置を位置登録部4aに登録する。この欠陥画素の位置の検索・登録は、液晶パネル1の全領域について連続して行われ、これによって、液晶パネル1に存在するすべての欠陥画素の位置が、位置登録部4aに登録される。
【0039】
続くステップ108〜116については、ステップ106において検出・登録された1個または複数個の欠陥画素に関してそれぞれ行われる。まず、ステップ108において、登録された欠陥画素の所定の1個について、登録された位置とその周辺をさらに拡大して表示部34に表示して検索・確認し、欠陥画素の正確な位置決めを行う。さらに、その欠陥画素を結像レンズ12の光軸に合致させるようにXYステージ2の位置合わせ操作を行う。液晶パネルの位置合わせが終了したら、ステップ110において、液晶パネル1の動作をOFFにする。
【0040】
次に、ステップ112において、ステップ108で位置合わせされた欠陥画素に対してレーザ光の照射を行って、その欠陥画素の修正を行う。なお、具体的なレーザ光による欠陥画素の修正方法については、例えば特開平9−90304号に示されている方法を用い、ここでは詳細な説明を省略する。欠陥画素の修正を終了したら、ステップ114において、再び液晶パネル1の動作をONにする。
【0041】
なお、透過照明装置10については、欠陥画素の修正を行うステップ112においてはOFFとしても良い。その場合、ステップ110において、液晶パネル1をOFFにするとともに透過照明装置10をもOFFとし、ステップ112において修正が終了した後、ステップ114において、液晶パネル1をONにするとともに透過照明装置10をもONとする。また、温風供給による液晶パネル1の加熱についても、同様にステップ112においてはOFFとして加熱を停止しても良い。その場合同様に、ステップ110において、温風供給器40をOFFにして温風の供給を停止し、ステップ114において、温風供給器40をONにして温風の供給を開始する。
【0042】
次にステップ116において、表示部34に表示される液晶パネル1の再生画像によって、欠陥画素の再検査を行い、所定の欠陥画素がレーザ光の照射による修正工程によって修正されていることを確認する。
【0043】
修正されていることが確認されたら、ステップ118において、さらに登録された未修整の欠陥画素があるかどうかを調べ、修正されていない欠陥画素がある場合には、ステップ108にもどって、次の欠陥画素についての工程を開始する。ステップ106において登録されたすべての欠陥画素について修正を終了した場合には、ステップ120において、温風供給をOFFにして、液晶パネル1の画素欠陥修正の全工程を終了する。
【0044】
図3は、本発明に係る画素欠陥修正装置の他の実施形態の構成を示すブロック図である。本実施形態における特徴として、透過照明装置10に代わって、液晶パネル1を加熱するための赤外線照明装置10aが設置されている。すなわち、赤外線照明装置10aは、液晶パネル1の光像を得るための照明手段と、加熱手段としての赤外線照射手段との両方の機能を有して設置されている。このような赤外線照明装置10aとしては、例えば金蒸着反射板付ハロゲンランプが用いられる。この場合、ハロゲンランプは通常の透過照明としても機能するが、さらに金蒸着反射板を有することによって、その出射光に通常のハロゲンランプよりも多くの赤外線成分を有しており、これによって、透過照明と赤外線照明とを同時に行うことができる。赤外線照明装置10aは、透過照明装置10とは別にさらに設置する構成としても良い。なお、本実施形態においても必要があれば、図1に示した実施形態のものと同様に、光拡散板を設置した構成としても良い。
【0045】
また、液晶パネル1の温度データについては、液晶パネル1からの透過光の一部をハーフミラー52を介して放射温度計54に入射させて温度を測定し、その温度データは、制御部4に入力されている。制御部4は、この温度データに基づいて、赤外線照明装置10aを制御する。この場合、赤外線光量によって温度制御が行われるので、高速応答で高精度な温度制御を行うことが可能である。
【0046】
赤外線照射による液晶パネルの加熱方法を用いた画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を、図4にフローチャートとして示す。本修正方法は、温風供給と赤外線照射との相違を除いて、図2に示した温風供給による加熱方法を用いた修正方法と同様のものであり、本発明による画素欠陥修正方法が有する検査、修正及び再検査の3つの工程について、本フローチャートにおいてはステップ202〜206が検査工程、ステップ208〜214が修正工程、ステップ216が再検査工程に相当する。
【0047】
ただし、図3に示した実施形態のように、赤外線照明装置10aが透過照明をも兼ねる場合には、ステップ202における赤外線照射の開始によって透過照明も開始されているので、ステップ204において透過照明をONにする必要はない。また、欠陥画素の修正を行うステップ212においては、赤外線照明装置10aはOFFとしても良い。その場合、ステップ210において、液晶パネル1をOFFにするとともに赤外線照明装置10aをもOFFとし、ステップ212において修正が終了した後、ステップ214において、液晶パネル1をONにするとともに赤外線照明装置10aをもONとする。
【0048】
【発明の効果】
本発明による液晶パネルの画素欠陥修正方法及び画素欠陥修正装置は、以上詳細に説明したように、次のような効果を得る。すなわち、液晶パネルの検査及び再検査時に液晶パネルを加熱手段によって加熱することによって、より効率的に欠陥画素の検出を行うことが可能となる。
【0049】
特に、液晶パネルの光像を撮影するCCDビデオカメラ等からなる欠陥画素検査手段と、欠陥画素を修正するためのレーザ光照射手段とを備え、かつ検査及び再検査時に液晶パネルを加熱することができる加熱手段を有して画素欠陥修正装置を構成することによって、検査、修正及び再検査の3つの工程からなる修正方法の全行程を、液晶パネルの移動・再設置等することなく、単一の装置によって効率良くかつ確実に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る画素欠陥修正装置の一実施形態の構成を示すブロック図である。
【図2】図1に示す画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を説明するフローチャートである。
【図3】本発明に係る画素欠陥修正装置の他の実施形態の構成を示すブロック図である。
【図4】図3に示す画素欠陥修正装置による画素欠陥修正方法を説明するフローチャートである。
【符号の説明】
1…液晶パネル、1a…液晶パネル駆動回路、2…XYステージ、2a…開口部、2b、2c…通気路、4…制御部、4a…位置登録部、6…駆動機構、8…偏光フィルタ、9…光拡散板、10…透過照明装置、10a…赤外線照明装置、12…結像レンズ、14…ダイクロイックミラー、16…偏光フィルタ、18…カメラレンズ、20…CCDビデオカメラ、22…レーザ発振器、24…遮光マスク、26…減光フィルタ、28、30…駆動モータ、32…画像処理部、34…表示部、40…温風供給器、40a…温風生成部、40b…気体入力部、40c…温風出力部、42…加熱制御部、44…温度制御部、46、48…保温ケース、46a、48a…透過板、46b、46c…通気路、50…温度センサ、52…ハーフミラー、54…放射温度計。
Claims (12)
- 液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、前記欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正方法において、
前記液晶パネルが液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、透過照明手段によって前記液晶パネルを裏面側から照明することで前記液晶パネルを通過した光像を生成し、得られた光像を用いて前記欠陥画素の検出を行う検査工程と、
検出された前記欠陥画素の位置とレーザ光の照射位置とが対応するように、前記液晶パネルの位置合わせを行った後、レーザ光を照射して前記液晶パネルの前記欠陥画素の修正を行う修正工程と、
修正が行われた前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持され、かつ加熱された状態で、前記検査工程と同一の前記透過照明手段によって前記液晶パネルを裏面側から照明することで前記液晶パネルを通過した光像を生成し、得られた光像を用いて修正が行われた前記欠陥画素の再検査を行う再検査工程と、を備え、
前記検査工程、前記修正工程及び前記再検査工程の全工程は、前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする液晶パネルの画素欠陥修正方法。 - 前記検査工程において、検出された前記欠陥画素の位置の登録をさらに行うことを特徴とする請求項1記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
- 検出された前記欠陥画素の位置をそれぞれ登録して、前記液晶パネル全体について継続して検査を行って、前記液晶パネルのすべての前記欠陥画素の位置を検出・登録するように前記検査工程を行い、
次に、前記検査工程において検出された1個または複数個の前記欠陥画素のそれぞれについて、登録されたそれぞれの位置に基づいて前記修正工程と前記再検査工程とを行うことを特徴とする請求項2記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。 - 前記検査工程の前記欠陥画素の検出と、前記修正工程の前記液晶パネルの位置合わせと、前記再検査工程の修正された前記欠陥画素の再検査とは、前記液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された前記液晶パネルの像を表示する表示手段とを用いて行うことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
- 前記修正工程の前記液晶パネルの位置合わせは、前記検査工程において検出された前記欠陥画素の位置の近傍を拡大して前記表示手段に表示して行うことを特徴とする請求項4記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
- 前記透過照明手段は、前記検査工程及び前記再検査工程において前記液晶パネルを加熱する加熱手段を兼ねる赤外線照射手段であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正方法。
- 液晶パネルの欠陥画素の部分にレーザ光を照射することにより、前記欠陥画素を修正する液晶パネルの画素欠陥修正装置において、
前記液晶パネルを固定し、所定の位置に位置決めさせる液晶パネル設置手段と、
前記液晶パネルの前記欠陥画素の検査時、及び修正が行われた前記欠陥画素の再検査時のそれぞれにおいて、前記液晶パネルを裏面側から照明する透過照明手段と、
前記透過照明手段によって裏面側から照明された前記液晶パネルを通過した光像を撮像して検査を行って前記欠陥画素を検出する欠陥画素検査手段と、
前記液晶パネルの前記欠陥画素の修正時において、前記液晶パネルの前記欠陥画素にレーザ光を照射して前記欠陥画素の修正を行うレーザ光照射手段と、
前記液晶パネルの前記欠陥画素の検査時、及び修正が行われた前記欠陥画素の再検査時のそれぞれにおいて、前記液晶パネルを加熱する加熱手段と、を有し、
前記液晶パネルの前記欠陥画素の検査、前記液晶パネルの前記欠陥画素の修正、及び修正が行われた前記欠陥画素の再検査は、前記液晶パネルが前記液晶パネル設置手段に保持された状態で行われることを特徴とする液晶パネルの画素欠陥修正装置。 - 検出された前記欠陥画素の位置を登録する位置登録手段をさらに有することを特徴とする請求項7記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
- 前記欠陥画素検査手段は、前記液晶パネルを撮像する撮像手段と、撮像された前記液晶パネルの像を表示する表示手段とを有することを特徴とする請求項7または8記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
- 前記加熱手段は、気体を加熱して温風として前記液晶パネル及びその周辺に供給することによって、前記液晶パネルを加熱する温風供給手段であることを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
- 前記加熱手段は、赤外線を前記液晶パネルに照射することによって前記液晶パネルを加熱する赤外線照射手段であることを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
- 前記赤外線照射手段は、前記透過照明手段を兼ねることを特徴とする請求項11記載の液晶パネルの画素欠陥修正装置。
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