JP2002512365A - 対象物の輝度特性特に方向に依存する輝度を有する対象物の輝度特性を測定するシステム - Google Patents

対象物の輝度特性特に方向に依存する輝度を有する対象物の輝度特性を測定するシステム

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JP2002512365A JP2000544993A JP2000544993A JP2002512365A JP 2002512365 A JP2002512365 A JP 2002512365A JP 2000544993 A JP2000544993 A JP 2000544993A JP 2000544993 A JP2000544993 A JP 2000544993A JP 2002512365 A JP2002512365 A JP 2002512365A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 対象物の輝度特に方向に依存する輝度を有する対象物の輝度を測定するシステム。 【解決手段】 本発明のシステムは、映像センサ(８)と、センサの上に、測定対象の映像を構成する各点が対象物(６)の各点の測定を可能にするように、対象物の各点について、当該対象物上の点から光学手段の光軸(X)とほぼ平行に伝播した光を選別して対象物の全体像を結像する光学手段（１６、１８、２６、２８)とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 発明の属する技術分野 本発明は、対象物の輝度、特に方向に依存する輝度を有する対象物の輝度測定
システムに関する。 本発明は、映写スクリーン、ＣＲＴ、照明装置および液晶表示装置、プラズマ
表示装置、ＥＬ（エレクトロルミニセンス)表示装置、マイクロチップスクリー
ン等の表示装置に利用可能である。
【０００２】 従来の技術 対象物の輝度を幾何学的な位置関係と共に測定して均一性や特性を測定するた
めのシステムは複数知られている。この種のシステムは、例えば上述の装置にお
いて使用することができる。
【０００３】 特に、図１に示した電気機械的なシステムが知られている。 このシステムは、 −例えばフォトメータである測定器２と、 −前記測定器を測定対象物６の前面に移動させるための移動手段４（当該手段は
図１においては矢印で表してある)とを具備する。
【０００４】 この電気機械的なシステムによって測定器の光軸Ｘに沿った（したがって、光
軸に対する角度θがゼロである) 測定が可能であるが、多くの欠点を有している
。特に、サンプリングに基づいて測定を行う点である。選択された地点について
のみ測定を行うので、中間点の輝度については情報が得られない。測定点以外の
点の輝度については信頼性が全く無い。さらに、継続時間Ｔ0にわたる測定が順
次行われる。情報を最大限に取得するために測定点Ｎの数を大きくすると、対象
物の測定を完了するために必要な時間はＮ×Ｔ0になる。
【０００５】 知られている他の測定システムの概要を図２に示す。 当該システムは、 −ＣＣＤのようなマトリックスセンサ８と、 −当該センサと測定対象物６の間に位置して、対象物の映像をセンサの上に結像
させるレンズ１０とを具備する。
【０００６】 したがって、測定対象物の映像を同時にセンサに取り込むことができる。映像
上の異なる測定点は、測定対象物の異なる位置に対応する。 このセンサシステムの一番の利点は、測定の高速化である。実際に、測定時間
Ｔ1は測定点の数にまったくあるいはほとんど依存しない。全ての情報を取得す
ることが可能である。映像の細部が測定から漏れることが無い。測定結果を全て
積分(合計)したものは、確実に、対象物から照射された光束の合計である。
【０００７】 しかし、図２に示したシステムは、図３に簡単に示したような重大な欠点を有
する。従来、この種のシステムに使用されている光軸をＸで表示したレンズ１０
は、一定サイズＤ2＝２ｄ2の映像を結像する。大きさがＤ2＝２ｄ1である対象物
は、 Ｌ1／（２d1) ＝ Ｌ2／（２d2) ＝ Ｋ となるようにレンズからの距離がＬ1となる位置に置かれなければならない。こ
こで、Ｌ2はレンズからセンサ８までの距離であり、Ｋは一定値である。
【０００８】 対象物は当該対象物の位置に応じて角度θの方角から観測され（θは当該測定
点を通ってレンズ１０の光軸Ｘに平行な直線との間に作られる角度である)、端
部についてのθM（図２)の値は、ｔａｎ θMとほぼ同じであり、したがって、ｄ 2 ／Ｌ2または１／（２Ｋ)とほぼ同じである。
【０００９】 通常Ｋは２．５ないし３程度の値であり、θMを１２°にするには、つまり、
測定すべき１２インチ（約３０ｃｍ)のスクリーンを７５ｃｍはなさなければな
らないことを意味する。従って、測定は（光軸Xとの間に成す角度が)０°からプ
ラスマイナス１２°の範囲の角度について行うことになる。
【００１０】 このことは、もし対象物の輝度が光の照射角つまり角度θに依存しない特性を
有するものであれば欠点とはならない。 しかし、通常はこのようなことはなく、図２および３に示したシステムでは対
象物の光照射特性と独立に対象物の光照射特性を測定することができない。
【００１１】 発明の開示 本発明の目的はこのような欠点を解消することである。 本発明は、輝度が方向に依存するか否かにかかわらず対象物の輝度特性を正確
に測定することができるシステムに関するものである。 本発明は、図１に示したシステムの利点（θ＝０について測定を行うシステム
)と図２に示したシステム（高速な測定を可能にするシステム)の利点を併せ持つ
ものである。
【００１２】 具体的には、本発明の対象は対象物の輝度特性を測定するためのシステムであ
って、 −映像センサと、 −光軸を有し、センサ上に、測定対象物の映像を構成する各点によって対象物の
各点の測定が可能な、対象物の全体像を結像する光学手段とを具備し、当該光学
手段は、対象物の各点について、当該対象物上の点から光学手段の光軸とほぼ平
行に伝播した光を選別して映像上の点を結像させることを特徴とするシステムで
ある。
【００１３】 本発明の対象であるシステムの好ましい実施例によれば、光学手段は、 −対象物に対面する第１のレンズと、 −第１のレンズとセンサとの間に位置して対象物から第１のレンズを通ってくる
光のうちで第１のレンズの光軸とほぼ平行な光のみを通すダイアフラムと、 −ダイアフラムとセンサとの間に設けられ、ダイアフラムが透過させた光によっ
て、ほぼセンサが位置する面である観測面に対象物の映像を結像する第２の光学
手段とを含む。
【００１４】 好ましくは、対象物は第１のレンズの対象物側の焦点面に置かれ、ダイアフラ
ムは該第１のレンズの映像焦点面に置かれる。 本発明の第１の実施例によれば、第２の光学手段は観測面に対象物の映像を結
像する第２のレンズを含む。
【００１５】 本発明の第２の実施例によれば、第２の光学手段は、 −中間面に対象物の中間映像を結像する第２のレンズと、 −第２のレンズとセンサとの間に設けられ、中間映像から観測平面に結像される
対象物の映像の大きさをセンサの大きさに適合させる第３のレンズを具備する。
【００１６】 前記ダイアフラムの絞りは可変であっても良い。さらに、本発明のシステムは
対象物から来る光に対する光学フィルタ手段を具備しても良い。
【００１７】 上述の第１の実施例の場合、このフィルタ手段はおよそセンサに対向した観測
平面の位置に設けられるのが好ましい。前記第２の実施例の場合は、フィルタ手
段はおよそ中間面の位置に設けられるのが好ましい。
【００１８】 これらの実施例のいずれかまたはそれ以外の場合においても、第２のレンズは
、対象物から到来して光学フィルタ手段に到達する光が当該光学フィルタ手段が
設けられた面に概略直角に入射させるものであることが好ましい。 センサは好ましくはマトリックス型である。
【００１９】 光を照射する表面の発光特性を測定する装置はフランス特許公開公報ＦＲ２７
１５４７０Ａによって知られている。しかし、この明細書では、単一のセンサに
よって、ダイアフラムによって確定された表面の平均的光強度を測定することが
対象である。得られる情報は単一の値である。実現される装置は所定の大きさを
有する表面に渡って一定の測定結果を得ることが目的である。
【００２０】 反対に、本発明の場合には、広がりを有する対象物の各点について、輝度を測
定することが対象である。得られる情報は一組の値（カートグラフィ)である。
実現される装置は一定の角度について測定を行うことを目的とする。
【００２１】 発明の実施の形態の詳細な説明 対象物の輝度特性を測定するための本発明に基づくシステムを図４に示す。当
該システムは、センサからの信号を処理する電子的手段１２に接続された映像セ
ンサ８と、映像を構成する各点によって対象物の対応する点の測定が可能になる
ように、センサ８上に対象物６の全体像を結像させる光学手段１４とを具備する
。
【００２２】 本発明によれば、光学手段１４はさらに、対象物のそれぞれの点Ｍについて、
対応する映像上の点を結像するに当って、当該点Ｍから光学手段１４の光軸Ｘと
ほぼ平行に伝播する光束を選択することが可能である。 対象物６は例えば、輝度特性の測定を行う対象である駆動されている表示スク
リーン（または図示しない手段によって光が当てられている投影スクリーン)で
ある。
【００２３】 センサ８は、例えばＣＣＤセンサまたは同様なセンサのようなマトリックス型
のセンサで、電子的手段１２はこのセンサから供給される信号を受けて既知の方
法で処理することによって対象物の輝度特性を評価する。
【００２４】 図５は本発明の１実施例を示す概念図である。 図５に示した例の場合、図４に示した光学手段１４は、光学軸がＸである第１
のレンズ１６、ダイアフラム１８、以下に述べる第２の光学手段を具備する。レ
ンズ１６はダイアフラム１８と対象物６の間に設けられる。ダイアフラム１８は
レンズ１６とセンサ８の間に設けられ、対象物６からレンズ１６を通って到来す
る光のうちで、光軸Ｘとほぼ平行に、つまり対象物上の点Ｍから光軸Ｘと平行な
線ｘに沿って伝播した光のみを透過させる。
【００２５】 対象物６の表面はおよそレンズ１６の対象焦点面ＯＦＰ上に置かれ、ダイアフ
ラム１８はレンズ１６の映像焦点面IPF近傍に置かれる。 ダイアフラム１８の絞りは対象物から到来する光束２２をスキャンする角度を
調節することができる。 ダイアフラム１８の絞りはスキャンする光線の角度を変化させるように開度を
変化させることのできる図示次第手段と接続されていても良い。
【００２６】 第２の光学手段はダイアフラムとセンサ８の間に設けられ、ダイアフラムが透
過させた光から、センサ８、より詳しく言えばセンサ８の受光部がおよそ設けら
れている観測面に対象物６の映像を結像する。
【００２７】 第１の例においては、第２の光学手段は、センサ８が概略設置された面である
観測面を形成する平面Ｐ1に対象物の映像を結像するレンズ２６を含む。
【００２８】 第２の実施例（図５)では、第２の光学手段は中間平面を構成する平面Ｐ1に対
象物６の中間映像を結像させるレンズ２６と、レンズ２６とセンサとの間に設け
られた別のレンズ２８とを具備する。当該別のレンズ２８は、中間映像からセン
サ８がおよそ設けられた観測面を構成する平面Ｐ2に対象物の映像を結像させる
リレーレンズまたは電装レンズを構成する。このレンズ２８は、平面Ｐ1におい
てえられた映像を平面Ｐ2において、当該映像の大きさがセンサの大きさになる
ように大きさを調整する。
【００２９】 図５に示したシステムでは、光学フィルタ３０を使用することもできる。これ
は例えば、特定の応答（例えば目による応答)を再現するようなスペクトル応答
調整フィルタか、特定の偏光を選択する偏光フィルタか、いろいろな形で光を吸
収するフィルタである。
【００３０】 フィルタ３０は対象物６とセンサ８の間の何れの場所に設けてもよいが、適当
な大きさであるためには、平面Ｐ1の位置か平面Ｐ1に近い位置でこれと平行に設
けるのが好ましい。センサが平面Ｐ1の位置に設けられた場合には、明らかに、
フィルタ３０はセンサの近くにこれと対面するように平面Ｐ1とレンズ２６との
間に設けられる。
【００３１】 フィルタ３０を使用する場合は、システムの伝達特性が対象物上のどの位置を
観測しているかに依存しないように、レンズ２６は、対象物からフィルタ３０に
到来する光が(レンズ２６を通過した後)フィルタ３０が設置された平面に直角に
入射する（したがって、フィルタが平面P1に位置するときは、平面P1対する垂線ｙ
を向いている) のが望ましい。
【００３２】 ダイアフラム１８の開口は、（これらが使用された場合には)レンズ１６、２
６および２８に共通の光軸Ｘと同軸である。 図５に示したタイプのシステムは以下の条件を全て満足する： −対象物のどの位置であるかによらず対象物に垂直な測定、 −測定速度（集合的測定)、 −全面的測定（対象物の全ての点の測定)。
【００３３】 本発明によるシステムは、図５に示したようなタイプではそのデザインに起因
して視野深度が深いために、使いやすさが向上している点についても注目する必
要がある。この特徴のために、従来のシステムでは不可能であったが、合焦誤差
にたいして極めて優れた許容性を示す。
【図面の簡単な説明】
【図１】 図１は、対象物の輝度測定のための既知のシステムを簡単に示し
た図である。
【図２】 図２は、同様な測定のための既知の他のシステムを簡単に示した
図である。
【図３】 図３は、前記他のシステムの欠点を表した図である。
【図４】 図４は、本発明の基本概念を表した図である。
【図５】 図５は、本発明の１つの実施例を簡単に示した図である。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１２年４月８日（２０００．４．８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 対象物の輝度特性を測定するためのシステムであって、 −映像センサ(８)と、 −光軸(Ｘ)を有し、センサ上に、測定対象物の映像を構成する各点によって対象
    物(６)の各点の測定が可能な、対象物の全体像を結像する光学手段(１４)とを具
    備し、 当該光学手段(１４)は、対象物の各点について、当該対象物上の点から光学手
    段の光軸とほぼ平行に伝播した光を選別して映像上の点を結像させることを特徴
    とするシステム。
  2. 【請求項２】 前記光学手段（１４)は、 −対象物に対面する第１のレンズ(１６)と、 −第１のレンズとセンサとの間に位置して、対象物から第１のレンズ(１６)を通
    って到来する光のうちで第１のレンズの光軸(Ｘ)とほぼ平行な光のみを通すダイ
    アフラム(１８)と、 −ダイアフラムとセンサとの間に設けられ、ダイアフラムが透過させた光によっ
    て、ほぼセンサが位置する面である観測面（Ｐ1；Ｐ2)に対象物の映像を結像す
    る第２の光学手段（２６，２６−２８)とを含むことを特徴とする請求項１に記
    載のシステム。
  3. 【請求項３】 対象物(６)は第１のレンズ(１６)の対象物側の焦点面（ＯＦ
    Ｐ)に置かれ、ダイアフラム(１８)は該第１のレンズ（１６)の映像焦点面（ＩＦ
    Ｐ)に置かれることを特徴とする請求項２に記載のシステム。
  4. 【請求項４】 前記第２の光学手段は，観測面（Ｐ1)に対象物の映像を結像
    する第２のレンズ（２６)を含む前記請求項２または３のいずれかに記載のシス
    テム。
  5. 【請求項５】 前記第２の光学手段は、 −中間面（Ｐ1)に対象物の中間映像を結像する第２のレンズ（２６)と、 −第２のレンズとセンサとの間に設けられ、中間映像から観測平面（Ｐ2)に結像
    される対象物の映像の大きさをセンサの大きさに適合させる第３のレンズ（２８
    )を具備することを特徴とする請求項２または３のいずれかに記載のシステム。
  6. 【請求項６】 前記ダイアフラム(１８)の絞りは可変であることを特徴とす
    る請求項２ないし５のいずれかに記載されたシステム。
  7. 【請求項７】 さらに対象物から到来する光に対する光学フィルタ手段(３
    ０)を具備することを特徴とする請求項１ないし６のいずれかに記載されたシス
    テム。
  8. 【請求項８】 フィルタ手段(３０)はセンサに対向して、およそ観測平面（
    Ｐ1)の位置に設けられたことを特徴とする請求項４に記載のシステム。
  9. 【請求項９】 フィルタ手段(３０)はおよそ中間面（Ｐ1)の位置に設けられ
    たことを特徴とする請求項５に記載のシステム。
  10. 【請求項１０】 第２のレンズ(２６)は、対象物から到来して光学フィルタ
    手段(３０)に到達する光が当該光学フィルタ手段が設けられた面に概略直角に入
    射させることを特徴とする請求項７または８のいずれかに記載されたシステム。
  11. 【請求項１１】 センサはマトリックス型であることを特徴とする請求項１
    ないし１０のいずれかに記載されたシステム。
JP2000544993A 1998-04-20 1999-04-19 対象物の輝度特性特に方向に依存する輝度を有する対象物の輝度特性を測定するシステム Pending JP2002512365A (ja)

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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6678046B2 (en) * 2001-08-28 2004-01-13 Therma-Wave, Inc. Detector configurations for optical metrology
JP2003294528A (ja) * 2002-03-29 2003-10-15 Fuji Photo Film Co Ltd 液晶ディスプレイの輝度測定装置
GB0318000D0 (en) * 2003-07-31 2003-09-03 Ncr Int Inc Mobile applications
FR2859781B1 (fr) 2003-09-17 2007-07-06 Commissariat Energie Atomique Utilisation de la transformee de fourier optique pour le controle dimensionnel en microelectronique
US20060273263A1 (en) * 2005-02-25 2006-12-07 Accent Optical Technologies, Inc. Apparatus and method for enhanced critical dimension scatterometry
US7463369B2 (en) * 2006-03-29 2008-12-09 Kla-Tencor Technologies Corp. Systems and methods for measuring one or more characteristics of patterned features on a specimen
CN101625263B (zh) * 2008-07-07 2013-03-27 杭州浙大三色仪器有限公司 亮度测量装置
CN102692207B (zh) 2011-03-25 2014-07-30 财团法人工业技术研究院 量测方法与量测装置
US10872403B2 (en) 2018-08-10 2020-12-22 Micron Technology, Inc. System for predicting properties of structures, imager system, and related methods

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1373649A (en) * 1971-09-15 1974-11-13 Int Computers Ltd Luminance distribution photometers
US4093384A (en) * 1976-10-04 1978-06-06 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Narrow angle, narrow bandwidth optical receiver system
FR2715470B1 (fr) * 1994-01-27 1996-02-16 Commissariat Energie Atomique Dispositif d'étude des propriétés d'émission lumineuse d'une surface émettrice de lumière.
DE19602862C1 (de) * 1996-01-28 1997-07-17 Autronic Melchers Gmbh Meßeinrichtung zum Erfassen optischer Eigenschaften einer elektro-optischen Anzeige

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Publication number Publication date
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US6556284B1 (en) 2003-04-29
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FR2777653A1 (fr) 1999-10-22

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