JPH11295242A - Ｘ線基板検査装置とｘ線用可視光反射膜 - Google Patents
Ｘ線基板検査装置とｘ線用可視光反射膜Info
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- JPH11295242A JPH11295242A JP10099377A JP9937798A JPH11295242A JP H11295242 A JPH11295242 A JP H11295242A JP 10099377 A JP10099377 A JP 10099377A JP 9937798 A JP9937798 A JP 9937798A JP H11295242 A JPH11295242 A JP H11295242A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 Ｘ線を用いた基板検査装置において、対象物
の検査部位の位置合わせが容易にでき、かつ同一領域の
Ｘ線検査と可視光による外観画像検査を同時に実現させ
る。 【解決手段】 Ｘ線源１と検査対象物２の間、及び検査
対象物２とＸ線撮像部４の間に、Ｘ線の照射線量を減衰
することなく透過させ、可視照明機器１０ａ，１０ｂよ
り検査対象物２へ照射された可視光を反射させるプラス
チック素材のフィルム系の反射膜５ａ，５ｂが設けられ
ている。そして検査対象物２の表面の反射光は、反射膜
５ａ，反射ミラー７ａ及びハーフミラー８を介して、ま
た検査対象物２の裏面の反射光は、反射膜５ｂ，反射ミ
ラー７ｂ及びハーフミラー８を介して１つの可視光用カ
メラ９により捉えられる。この可視光用カメラ９の捉え
た画像によりＸ線検査をしたい任意の位置への移動を基
板位置決めＸＹテーブル３で行う。そして上記Ｘ線を捉
えるＸ線撮像部４と、可視光用カメラ９の各取り込み画
像の処理をコントローラ１１で行い、表示器１２に画像
表示して検査を行うようにしている。
の検査部位の位置合わせが容易にでき、かつ同一領域の
Ｘ線検査と可視光による外観画像検査を同時に実現させ
る。 【解決手段】 Ｘ線源１と検査対象物２の間、及び検査
対象物２とＸ線撮像部４の間に、Ｘ線の照射線量を減衰
することなく透過させ、可視照明機器１０ａ，１０ｂよ
り検査対象物２へ照射された可視光を反射させるプラス
チック素材のフィルム系の反射膜５ａ，５ｂが設けられ
ている。そして検査対象物２の表面の反射光は、反射膜
５ａ，反射ミラー７ａ及びハーフミラー８を介して、ま
た検査対象物２の裏面の反射光は、反射膜５ｂ，反射ミ
ラー７ｂ及びハーフミラー８を介して１つの可視光用カ
メラ９により捉えられる。この可視光用カメラ９の捉え
た画像によりＸ線検査をしたい任意の位置への移動を基
板位置決めＸＹテーブル３で行う。そして上記Ｘ線を捉
えるＸ線撮像部４と、可視光用カメラ９の各取り込み画
像の処理をコントローラ１１で行い、表示器１２に画像
表示して検査を行うようにしている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はＸ線を利用しプリン
ト基板の検査・計測を目的とするＸ線基板検査装置及び
そのＸ線基板検査装置に用いるＸ線用可視光反射膜に関
し、特にＸ線撮影範囲に対するプリント基板の検査部位
の位置合わせ及びＸ線検査と可視光による基板外観検査
を同時に可能とするものである。
ト基板の検査・計測を目的とするＸ線基板検査装置及び
そのＸ線基板検査装置に用いるＸ線用可視光反射膜に関
し、特にＸ線撮影範囲に対するプリント基板の検査部位
の位置合わせ及びＸ線検査と可視光による基板外観検査
を同時に可能とするものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、Ｘ線を利用したＸ線基板検査装置
において、基板位置決め手段として、特開平６−３３１
５７１号公報に記載されたもの等がある。また、Ｘ線検
査装置と可視光用ＣＣＤカメラを組み合わせた基板検査
方法として特開平７−２９４４５０号公報に記載された
もの等がある。
において、基板位置決め手段として、特開平６−３３１
５７１号公報に記載されたもの等がある。また、Ｘ線検
査装置と可視光用ＣＣＤカメラを組み合わせた基板検査
方法として特開平７−２９４４５０号公報に記載された
もの等がある。
【０００３】前者の特開平６−３３１５７１号公報に記
載された基板半田付け状態検査装置は、両面実装プリン
ト基板へＸ線を照射し、Ｘ線透過画像を生成する手段と
両面実装プリント基板の一方の面を光学的に撮像する光
学撮像手段とを備えている。
載された基板半田付け状態検査装置は、両面実装プリン
ト基板へＸ線を照射し、Ｘ線透過画像を生成する手段と
両面実装プリント基板の一方の面を光学的に撮像する光
学撮像手段とを備えている。
【０００４】また、後者の特開平７−２９４４５０号公
報に記載されたＸ線検査装置と可視光用ＣＣＤカメラを
組み合わせた基板検査方法においては、Ｘ線源と検査対
象物の間に反射ミラーを配置すると、反射ミラーが光学
ガラスで構成されているため、Ｘ線を減衰させてしま
い、Ｘ線撮像画像を劣化させてしまうことを避けるた
め、Ｘ線照射領域外の位置に可視光用ＣＣＤカメラ及び
反射ミラーを配置し、傾斜的な基板画像を取り込んでい
たり、移動可能な機構を付加した反射ミラーユニットを
配置して、可視光用ＣＣＤカメラで部品面を捉えるとき
は、反射ミラーを照射領域内の位置にし、Ｘ線撮像時
は、反射ミラーをＸ線照射領域外に移動させ、撮像する
ようにしていた。
報に記載されたＸ線検査装置と可視光用ＣＣＤカメラを
組み合わせた基板検査方法においては、Ｘ線源と検査対
象物の間に反射ミラーを配置すると、反射ミラーが光学
ガラスで構成されているため、Ｘ線を減衰させてしま
い、Ｘ線撮像画像を劣化させてしまうことを避けるた
め、Ｘ線照射領域外の位置に可視光用ＣＣＤカメラ及び
反射ミラーを配置し、傾斜的な基板画像を取り込んでい
たり、移動可能な機構を付加した反射ミラーユニットを
配置して、可視光用ＣＣＤカメラで部品面を捉えるとき
は、反射ミラーを照射領域内の位置にし、Ｘ線撮像時
は、反射ミラーをＸ線照射領域外に移動させ、撮像する
ようにしていた。
【０００５】また、後者の特開平７−２９４４５０号公
報に記載された実装基板の半田付け検査方法としては、
Ｘ線撮像検査と可視光による光学撮像検査を別領域内で
行っている。
報に記載された実装基板の半田付け検査方法としては、
Ｘ線撮像検査と可視光による光学撮像検査を別領域内で
行っている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来例においては、両面実装プリント基板の一方の面を光
学的に撮像する光学撮像手段しかないため、検査対象と
する部品面を光学撮像面側に必ずセットする必要があっ
た。光学撮像をするために、Ｘ線源と検査対象物の間に
反射ミラーを配置すると、反射ミラーが光学ガラスで構
成されているため、Ｘ線を減衰させてしまい、Ｘ線撮像
画像を劣化させ、検査に影響を与えるという問題を有し
ていた。
来例においては、両面実装プリント基板の一方の面を光
学的に撮像する光学撮像手段しかないため、検査対象と
する部品面を光学撮像面側に必ずセットする必要があっ
た。光学撮像をするために、Ｘ線源と検査対象物の間に
反射ミラーを配置すると、反射ミラーが光学ガラスで構
成されているため、Ｘ線を減衰させてしまい、Ｘ線撮像
画像を劣化させ、検査に影響を与えるという問題を有し
ていた。
【０００７】また、斜め方向からの光学撮像において
は、Ｘ線照射面と光学撮像面が一致せず、奥行きのある
映像になり撮像画面表示部にＸ線照射領域を指示する必
要があり、簡易な位置決めとしての機能でしかなかっ
た。
は、Ｘ線照射面と光学撮像面が一致せず、奥行きのある
映像になり撮像画面表示部にＸ線照射領域を指示する必
要があり、簡易な位置決めとしての機能でしかなかっ
た。
【０００８】また、Ｘ線撮像画像を劣化させてしまうこ
とを避けるため、移動可能な機構を付加した反射ミラー
ユニットを配置したものに対しては、可視光用ＣＣＤカ
メラで部品面を捉えるときは、反射ミラーを照射領域内
に移動し、Ｘ線撮像時は、反射ミラーをＸ線照射領域外
に移動させ、撮像する必要があった。
とを避けるため、移動可能な機構を付加した反射ミラー
ユニットを配置したものに対しては、可視光用ＣＣＤカ
メラで部品面を捉えるときは、反射ミラーを照射領域内
に移動し、Ｘ線撮像時は、反射ミラーをＸ線照射領域外
に移動させ、撮像する必要があった。
【０００９】また、Ｘ線検査と可視光による画像検査を
行う場合は、それぞれ別の位置に検査部位を移動させる
必要があった。
行う場合は、それぞれ別の位置に検査部位を移動させる
必要があった。
【００１０】そこで、本発明は、上記従来の問題を解決
するもので、Ｘ線撮影範囲に対するプリント基板の検査
部位の位置合わせが容易にでき、Ｘ線照射量を増加させ
たり、Ｘ線撮像画像を劣化させることなく、Ｘ線照射領
域内の光学撮像画像を同時に捉えることができるＸ線基
板検査装置を提供することを目的とする。
するもので、Ｘ線撮影範囲に対するプリント基板の検査
部位の位置合わせが容易にでき、Ｘ線照射量を増加させ
たり、Ｘ線撮像画像を劣化させることなく、Ｘ線照射領
域内の光学撮像画像を同時に捉えることができるＸ線基
板検査装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題を解決
し目的を達成するために、可視照明機器より検査対象物
へ照射された可視光を反射させるミラーとして、光学ガ
ラス系の反射ミラーではなく、ポリエチレンテレフタレ
ートのプラスチック素材の薄膜（一例として、数μ〜数
十μ）フィルムにアルミ蒸着をし、リング枠に均一に張
られた状態の反射膜を使用する。
し目的を達成するために、可視照明機器より検査対象物
へ照射された可視光を反射させるミラーとして、光学ガ
ラス系の反射ミラーではなく、ポリエチレンテレフタレ
ートのプラスチック素材の薄膜（一例として、数μ〜数
十μ）フィルムにアルミ蒸着をし、リング枠に均一に張
られた状態の反射膜を使用する。
【００１２】これにより、Ｘ線照射領域内であるＸ線源
と検査対象物の間、及び検査対象物とＸ線撮像部の間に
上記の反射膜を配置することで、Ｘ線の照射量を減衰す
ることなく検査対象物にＸ線照射でき、検査対象物を透
過したＸ線も減衰することなく、Ｘ線撮像部へ取り込ま
れる。したがって、Ｘ線撮像画像劣化をさせずに、Ｘ線
領域内の検査対象物の反射光を両面からそれぞれ捉える
ことができる。
と検査対象物の間、及び検査対象物とＸ線撮像部の間に
上記の反射膜を配置することで、Ｘ線の照射量を減衰す
ることなく検査対象物にＸ線照射でき、検査対象物を透
過したＸ線も減衰することなく、Ｘ線撮像部へ取り込ま
れる。したがって、Ｘ線撮像画像劣化をさせずに、Ｘ線
領域内の検査対象物の反射光を両面からそれぞれ捉える
ことができる。
【００１３】また、可視照明機器より検査対象物へ照射
された可視光は検査対象物の両面に配置された反射膜を
通して、さらに対に配置された画面選択シャッター及び
反射ミラーを介してハーフミラーによりＸ線照射範囲を
１つの可視光用カメラで捉えることができる。そして、
検査対象物が表面の場合は表面側の画面選択シャッター
を、検査対象物が裏面の場合は裏面側の画面選択シャッ
ターを開閉することにより可視光用カメラにより表面ま
たは裏面の画像のみを捉えることができる。
された可視光は検査対象物の両面に配置された反射膜を
通して、さらに対に配置された画面選択シャッター及び
反射ミラーを介してハーフミラーによりＸ線照射範囲を
１つの可視光用カメラで捉えることができる。そして、
検査対象物が表面の場合は表面側の画面選択シャッター
を、検査対象物が裏面の場合は裏面側の画面選択シャッ
ターを開閉することにより可視光用カメラにより表面ま
たは裏面の画像のみを捉えることができる。
【００１４】したがって、本発明によれば、上記検査対
象物へ照射された可視光を捉える可視光偏向部と、可視
光用カメラと、検査対象物を載置できる位置決めＸＹテ
ーブルと、検査対象物にＸ線を照射するＸ線源と、対面
配置され検査対象物の透過Ｘ線を撮像するＸ線撮像部を
備えることで、可視光用カメラの画像によりＸ線検査を
したい任意の位置へ基板セットの表裏に関係なく容易に
決定することができ、基板位置決めＸＹテーブルにより
容易に移動できるという作用を有する。
象物へ照射された可視光を捉える可視光偏向部と、可視
光用カメラと、検査対象物を載置できる位置決めＸＹテ
ーブルと、検査対象物にＸ線を照射するＸ線源と、対面
配置され検査対象物の透過Ｘ線を撮像するＸ線撮像部を
備えることで、可視光用カメラの画像によりＸ線検査を
したい任意の位置へ基板セットの表裏に関係なく容易に
決定することができ、基板位置決めＸＹテーブルにより
容易に移動できるという作用を有する。
【００１５】また、検査対象物をＸ線撮像と可視光によ
る光学撮像を同時に行うことができ、画像処理を備えた
コントローラにそれぞれの画像データを取り込むことに
より、Ｘ線画像検査と、可視光による外観検査を同時に
行うことができるという作用を有する。
る光学撮像を同時に行うことができ、画像処理を備えた
コントローラにそれぞれの画像データを取り込むことに
より、Ｘ線画像検査と、可視光による外観検査を同時に
行うことができるという作用を有する。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下、本発明の各実施の形態につ
いて、図面を参照しながら詳細に説明する。
いて、図面を参照しながら詳細に説明する。
【００１７】（実施の形態１）図１は、本発明の実施の
形態１におけるＸ線基板検査装置の全体構成図である。
Ｘ線撮像する構成としては、検査対象物２にＸ線を照射
するＸ線源１と、検査対象物２を載置できる基板位置決
めＸＹテーブル３と、対面配置され検査対象物２の透過
Ｘ線を撮像するＸ線撮像部４を備える。
形態１におけるＸ線基板検査装置の全体構成図である。
Ｘ線撮像する構成としては、検査対象物２にＸ線を照射
するＸ線源１と、検査対象物２を載置できる基板位置決
めＸＹテーブル３と、対面配置され検査対象物２の透過
Ｘ線を撮像するＸ線撮像部４を備える。
【００１８】また、Ｘ線照射領域内の検査対象物２の外
観を捉える構成としては、Ｘ線源１と検査対象物２の
間、及び検査対象物２とＸ線撮像部４の間に、Ｘ線の照
射線量を減衰させることなく透過させ、可視照明機器１
０ａ，１０ｂより検査対象物２へ照射された可視光を反
射させるプラスチック素材のフィルム系の反射膜５ａ，
５ｂが配置される。そして、検査対象物２の表面の反射
光は、反射膜５ａ，反射ミラー７ａ及びハーフミラー８
を介して、また検査対象物２の裏面の反射光は、反射膜
５ｂ，反射ミラー７ｂ及びハーフミラー８を介して１つ
の可視光用カメラ９により捉えられるように配置され
る。
観を捉える構成としては、Ｘ線源１と検査対象物２の
間、及び検査対象物２とＸ線撮像部４の間に、Ｘ線の照
射線量を減衰させることなく透過させ、可視照明機器１
０ａ，１０ｂより検査対象物２へ照射された可視光を反
射させるプラスチック素材のフィルム系の反射膜５ａ，
５ｂが配置される。そして、検査対象物２の表面の反射
光は、反射膜５ａ，反射ミラー７ａ及びハーフミラー８
を介して、また検査対象物２の裏面の反射光は、反射膜
５ｂ，反射ミラー７ｂ及びハーフミラー８を介して１つ
の可視光用カメラ９により捉えられるように配置され
る。
【００１９】また、表面及び裏面の画像は画面選択シャ
ッター６ａまたは画面選択シャッター６ｂを開閉するこ
とにより、表面または裏面を選択することができるよう
になっている。
ッター６ａまたは画面選択シャッター６ｂを開閉するこ
とにより、表面または裏面を選択することができるよう
になっている。
【００２０】また、Ｘ線源１，Ｘ線撮像部４，可視光用
カメラ９及び表示器１２はコントローラ１１と接続さ
れ、制御及び画像表示されるようになっている。なお、
Ｘ線源１の放射方向で反射膜５ａの間にＸ線シャッター
１３が配置されている。したがって、このような構成に
よれば、Ｘ線源１からのＸ線照射と検査対象物２の可視
反射光を同一方向線上から捉えることになり、可視光用
カメラ９の画像及びＸ線画像を表示する表示器１２によ
りＸ線検査をしたい任意の位置を基板セットの表裏に関
係なく容易に決定することができ、基板位置決めＸＹテ
ーブル３により移動させることができるものである。
カメラ９及び表示器１２はコントローラ１１と接続さ
れ、制御及び画像表示されるようになっている。なお、
Ｘ線源１の放射方向で反射膜５ａの間にＸ線シャッター
１３が配置されている。したがって、このような構成に
よれば、Ｘ線源１からのＸ線照射と検査対象物２の可視
反射光を同一方向線上から捉えることになり、可視光用
カメラ９の画像及びＸ線画像を表示する表示器１２によ
りＸ線検査をしたい任意の位置を基板セットの表裏に関
係なく容易に決定することができ、基板位置決めＸＹテ
ーブル３により移動させることができるものである。
【００２１】また、Ｘ線源１より検査対象物２に照射さ
れ、検査対象物２を透過したＸ線を捉えるＸ線撮像部４
と、検査対象物２の表面または裏面のＸ線照射と同一視
野の反射光を捉える可視光用カメラ９の各取り込み画像
は、画像処理機能を有したコントローラ１１に接続さ
れ、画像処理をすることにより、表示器１２上に表示さ
れた画像に基づいてＸ線による基板検査と可視光による
外観基板検査を同時にできる。
れ、検査対象物２を透過したＸ線を捉えるＸ線撮像部４
と、検査対象物２の表面または裏面のＸ線照射と同一視
野の反射光を捉える可視光用カメラ９の各取り込み画像
は、画像処理機能を有したコントローラ１１に接続さ
れ、画像処理をすることにより、表示器１２上に表示さ
れた画像に基づいてＸ線による基板検査と可視光による
外観基板検査を同時にできる。
【００２２】（実施の形態２）図２は、本発明の実施の
形態２におけるＸ線基板検査装置の全体構成図である。
本実施の形態２は表面及び裏面の画像切り換えを、図１
に示す実施の形態１の画面選択シャッター６ａまたは画
面選択シャッター６ｂを開閉する代わりに、可視照明機
器１０ａ，１０ｂに対して照射する光のＯＮ／ＯＦＦ制
御機能を有した可視照明コントローラ１６を介して、コ
ントローラ１１から撮像したい表面または裏面の照明を
ＯＮ／ＯＦＦすることにより、選択することができるよ
うになっている。以下の動作は実施の形態１と同様であ
るので説明を省略する。
形態２におけるＸ線基板検査装置の全体構成図である。
本実施の形態２は表面及び裏面の画像切り換えを、図１
に示す実施の形態１の画面選択シャッター６ａまたは画
面選択シャッター６ｂを開閉する代わりに、可視照明機
器１０ａ，１０ｂに対して照射する光のＯＮ／ＯＦＦ制
御機能を有した可視照明コントローラ１６を介して、コ
ントローラ１１から撮像したい表面または裏面の照明を
ＯＮ／ＯＦＦすることにより、選択することができるよ
うになっている。以下の動作は実施の形態１と同様であ
るので説明を省略する。
【００２３】（実施の形態３）図３は、本発明の実施の
形態３におけるＸ線基板検査装置の全体構成図である。
Ｘ線撮像する構成としては、検査対象物２にＸ線を照射
するＸ線源１と、検査対象物２を載置できる位置決めＸ
Ｙテーブル３と、対面配置され検査対象物２の透過Ｘ線
を撮像するＸ線撮像部４を備える。
形態３におけるＸ線基板検査装置の全体構成図である。
Ｘ線撮像する構成としては、検査対象物２にＸ線を照射
するＸ線源１と、検査対象物２を載置できる位置決めＸ
Ｙテーブル３と、対面配置され検査対象物２の透過Ｘ線
を撮像するＸ線撮像部４を備える。
【００２４】また、Ｘ線照射領域内の検査対象物２の外
観を捉える構成としては、Ｘ線源１と検査対象物２の
間、及び検査対象物２とＸ線撮像部４の間に、Ｘ線の照
射線量を減衰することなく透過させ、可視照明機器１０
ａ，１０ｂより検査対象物２へ照射された可視光を反射
させるプラスチック素材のフィルム系の反射膜５ａ，５
ｂが配置される。そして検査対象物２の表面の反射光
は、反射膜５ａ，反射ミラー７ａ及び反射プリズム１５
を介して、また検査対象物２の裏面の反射光は、反射膜
５ｂ，反射ミラー７ｂ及び反射プリズム１５を介して、
反射プリズム１５からの光軸に対して垂直に移動するＺ
テーブル１４に搭載された１つの可視光用カメラ９によ
り捉えられるように配置される。そしてＺテーブル１４
を上下に移動させることにより、表面，裏面または図４
に示すように表示器１２には表裏半分ずつの画面１２
ａ，１２ｂをそれぞれ選択することができるようになっ
ている。
観を捉える構成としては、Ｘ線源１と検査対象物２の
間、及び検査対象物２とＸ線撮像部４の間に、Ｘ線の照
射線量を減衰することなく透過させ、可視照明機器１０
ａ，１０ｂより検査対象物２へ照射された可視光を反射
させるプラスチック素材のフィルム系の反射膜５ａ，５
ｂが配置される。そして検査対象物２の表面の反射光
は、反射膜５ａ，反射ミラー７ａ及び反射プリズム１５
を介して、また検査対象物２の裏面の反射光は、反射膜
５ｂ，反射ミラー７ｂ及び反射プリズム１５を介して、
反射プリズム１５からの光軸に対して垂直に移動するＺ
テーブル１４に搭載された１つの可視光用カメラ９によ
り捉えられるように配置される。そしてＺテーブル１４
を上下に移動させることにより、表面，裏面または図４
に示すように表示器１２には表裏半分ずつの画面１２
ａ，１２ｂをそれぞれ選択することができるようになっ
ている。
【００２５】したがって、このような構成によれば、実
施の形態１と同様に、Ｘ線源１からのＸ線照射と検査対
象物２の可視反射光を同一方向線上から捉えることにな
り、可視光用カメラ９の画像及びＸ線画像を表示する表
示器１２によりＸ線検査をしたい任意の位置へ基板セッ
トの表裏に関係なく容易に決定することができ、基板位
置決めＸＹテーブル３により移動させることができるも
のである。また、Ｘ線源１より検査対象物２に照射さ
れ、検査対象物２を透過したＸ線を捉えるＸ線撮像部４
と、検査対象物２の表面または裏面のＸ線照射と同一視
野の反射光を捉える可視光用カメラ９の各取り込み画像
は、画像処理機能を有したコントローラ１１に接続さ
れ、画像処理をすることにより、Ｘ線による基板検査と
可視光による外観基板検査を同時にできる。
施の形態１と同様に、Ｘ線源１からのＸ線照射と検査対
象物２の可視反射光を同一方向線上から捉えることにな
り、可視光用カメラ９の画像及びＸ線画像を表示する表
示器１２によりＸ線検査をしたい任意の位置へ基板セッ
トの表裏に関係なく容易に決定することができ、基板位
置決めＸＹテーブル３により移動させることができるも
のである。また、Ｘ線源１より検査対象物２に照射さ
れ、検査対象物２を透過したＸ線を捉えるＸ線撮像部４
と、検査対象物２の表面または裏面のＸ線照射と同一視
野の反射光を捉える可視光用カメラ９の各取り込み画像
は、画像処理機能を有したコントローラ１１に接続さ
れ、画像処理をすることにより、Ｘ線による基板検査と
可視光による外観基板検査を同時にできる。
【００２６】（実施の形態４）図５は、本発明の実施の
形態４におけるＸ線基板検査装置の全体構成図である。
本実施の形態は前記図２に示す実施の形態２とほぼ同様
であるが、異なるのはズームレンズを付加した可視光用
カメラ９′とこの可視光用カメラ９′を撮像画面のＸＹ
方向に移動できるＸＹテーブル１７を有することによ
り、Ｘ線撮像部４からのＸ線画像と検査対象物２からの
反射光を撮像した可視光用カメラ９′からの外観画像と
の表示器１２における画像での視野角及び倍率を重ね合
わせることが容易にできる。以下の動作は実施の形態２
と同様であるので説明を省略する。
形態４におけるＸ線基板検査装置の全体構成図である。
本実施の形態は前記図２に示す実施の形態２とほぼ同様
であるが、異なるのはズームレンズを付加した可視光用
カメラ９′とこの可視光用カメラ９′を撮像画面のＸＹ
方向に移動できるＸＹテーブル１７を有することによ
り、Ｘ線撮像部４からのＸ線画像と検査対象物２からの
反射光を撮像した可視光用カメラ９′からの外観画像と
の表示器１２における画像での視野角及び倍率を重ね合
わせることが容易にできる。以下の動作は実施の形態２
と同様であるので説明を省略する。
【００２７】また、本実施の形態ではＸ線画像検査及び
可視光による外観検査後のそれぞれの検査結果表示を画
像スケールによる位置補正せずに容易に表示器１２によ
り表示されたＸ線画像上または、可視光画像上に表示で
きるので便利である。
可視光による外観検査後のそれぞれの検査結果表示を画
像スケールによる位置補正せずに容易に表示器１２によ
り表示されたＸ線画像上または、可視光画像上に表示で
きるので便利である。
【００２８】（実施の形態５）前記各実施の形態１〜４
において、検査対象物２を載置し、位置決めする方法と
してＸＹテーブル３を例に挙げたが、図６に示すような
チャッキング構造を有するＸＹロボットにしてもよい。
図６の正面図（１），その側面図（２）に示すようにＸ
テーブル１９とＹテーブル２０は基板チャック２１と一
体に構成され、基板チャック２１は検査対象物２をチャ
ッキングするものである。
において、検査対象物２を載置し、位置決めする方法と
してＸＹテーブル３を例に挙げたが、図６に示すような
チャッキング構造を有するＸＹロボットにしてもよい。
図６の正面図（１），その側面図（２）に示すようにＸ
テーブル１９とＹテーブル２０は基板チャック２１と一
体に構成され、基板チャック２１は検査対象物２をチャ
ッキングするものである。
【００２９】図７は図６に示すチャッキング構造を有す
るＸＹロボット１８を有する実施の形態５におけるＸ線
基板検査装置の全体構成図である。これは、前記図１に
示す実施の形態１のＸＹテーブル３の代わりにチャッキ
ング付ＸＹロボット１８を設けた場合である。Ｘ線検査
及び外観基板検査の動作は前記図１の実施の形態１と同
様であるのでその説明を省略する。
るＸＹロボット１８を有する実施の形態５におけるＸ線
基板検査装置の全体構成図である。これは、前記図１に
示す実施の形態１のＸＹテーブル３の代わりにチャッキ
ング付ＸＹロボット１８を設けた場合である。Ｘ線検査
及び外観基板検査の動作は前記図１の実施の形態１と同
様であるのでその説明を省略する。
【００３０】（実施の形態６）これまで説明した各実施
の形態１〜５において、Ｘ線撮像の幾何学的倍率を上げ
るために、Ｘ線撮像部４を検査対象物２にできるだけ接
近させなければならない場合は、Ｘ線撮像部４を検査対
象物２に対して垂直方向へ移動させる機構を設けるとと
もに、移動するＸ線撮像部４の干渉を避ける領域へ反射
膜５ｂを検査対象物２に対して水平方向へ移動させる機
構を設けるとよい。
の形態１〜５において、Ｘ線撮像の幾何学的倍率を上げ
るために、Ｘ線撮像部４を検査対象物２にできるだけ接
近させなければならない場合は、Ｘ線撮像部４を検査対
象物２に対して垂直方向へ移動させる機構を設けるとと
もに、移動するＸ線撮像部４の干渉を避ける領域へ反射
膜５ｂを検査対象物２に対して水平方向へ移動させる機
構を設けるとよい。
【００３１】図８は上記のようなＸ線撮像の幾何学的倍
率を上げるための本発明の実施の形態６におけるＸ線基
板検査装置の全体構成図である。これは、前記図１に示
す実施の形態１の反射膜５ｂを検査対象物２に対して水
平方向へ移動させる回転ソレノイド２３及びＸ線撮像部
４を検査対象物２に対して垂直方向へ移動させるＺテー
ブル２２を付加した場合のものである。これによって、
Ｘ線撮像の幾何学的倍率を任意に上げることができる。
率を上げるための本発明の実施の形態６におけるＸ線基
板検査装置の全体構成図である。これは、前記図１に示
す実施の形態１の反射膜５ｂを検査対象物２に対して水
平方向へ移動させる回転ソレノイド２３及びＸ線撮像部
４を検査対象物２に対して垂直方向へ移動させるＺテー
ブル２２を付加した場合のものである。これによって、
Ｘ線撮像の幾何学的倍率を任意に上げることができる。
【００３２】（実施の形態７）Ｘ線基板検査装置におい
て、可視光による検査対象物の片面のみの反射光の画像
を捉えればよい場合もある。図９はこのような場合に最
適な本発明の実施の形態７におけるＸ線基板検査装置の
全体構成図である。
て、可視光による検査対象物の片面のみの反射光の画像
を捉えればよい場合もある。図９はこのような場合に最
適な本発明の実施の形態７におけるＸ線基板検査装置の
全体構成図である。
【００３３】図９に示すように、反射膜５ａからの反射
光を直接可視光用カメラ９で捉えるようにしてあり、前
記各実施の形態１〜６の構成に比べ、検査対象物の片面
のみでよいので簡単化され、コスト減となる。
光を直接可視光用カメラ９で捉えるようにしてあり、前
記各実施の形態１〜６の構成に比べ、検査対象物の片面
のみでよいので簡単化され、コスト減となる。
【００３４】（実施の形態８）図１０は本発明の実施の
形態８における反射膜の成形工程図を示す。図１０の矢
印方向に示すようなポリエチレンテレフタレート２４の
薄膜（一例として、数μ〜数十μ）にアルミ蒸着したポ
リエチレンテレフタレート２５にアルミリング２６の枠
に均一に張り、反射膜２７を形成する。
形態８における反射膜の成形工程図を示す。図１０の矢
印方向に示すようなポリエチレンテレフタレート２４の
薄膜（一例として、数μ〜数十μ）にアルミ蒸着したポ
リエチレンテレフタレート２５にアルミリング２６の枠
に均一に張り、反射膜２７を形成する。
【００３５】また、上記反射膜においては、ポリエチレ
ンテレフタレート２４の薄膜（数μ〜数十μ）フィルム
の代わりに、ポリブチレンテレフタレートやパーフルオ
ロ；テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレ
ン等のプラスチック素材の薄膜（数μ〜数十μ）フィル
ムを利用して、アルミ蒸着し、アルミリング２６の枠に
均一に張られた状態の反射膜２７を形成してもよい。
ンテレフタレート２４の薄膜（数μ〜数十μ）フィルム
の代わりに、ポリブチレンテレフタレートやパーフルオ
ロ；テトラフルオロエチレン／ヘキサフルオロプロピレ
ン等のプラスチック素材の薄膜（数μ〜数十μ）フィル
ムを利用して、アルミ蒸着し、アルミリング２６の枠に
均一に張られた状態の反射膜２７を形成してもよい。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、Ｘ線源か
ら検査対象物へ照射されたＸ線透過画像を取り込むＸ線
撮像部と、可視照明機器より検査対象物へ照射された可
視光を反射させるミラーとして、ポリエチレンテレフタ
レート等のプラスチック素材の薄膜（数μ〜数十μ）フ
ィルムにアルミ蒸着をし、リング枠に均一に張られた状
態の反射膜を、Ｘ線源と検査対象物の間、及び検査対象
物とＸ線撮像部の間に配置し、可視照明機器より検査対
象物の表面・裏面に照射された光の反射光を対に配置さ
れた反射膜と画面選択シャッター及び反射ミラーを介し
てハーフミラーによりＸ線照射範囲を１つの可視光用カ
メラで捉えることにより、Ｘ線照射と検査対象部の可視
反射光を同一方向線上から撮像でき、可視光用カメラの
画像及びＸ線撮像部のＸ線画像を表示する表示器により
Ｘ線検査をしたい任意の位置を基板セットの表裏に関係
なく容易に決定することができ、基板位置決めＸＹテー
ブルにより移動させることができる。
ら検査対象物へ照射されたＸ線透過画像を取り込むＸ線
撮像部と、可視照明機器より検査対象物へ照射された可
視光を反射させるミラーとして、ポリエチレンテレフタ
レート等のプラスチック素材の薄膜（数μ〜数十μ）フ
ィルムにアルミ蒸着をし、リング枠に均一に張られた状
態の反射膜を、Ｘ線源と検査対象物の間、及び検査対象
物とＸ線撮像部の間に配置し、可視照明機器より検査対
象物の表面・裏面に照射された光の反射光を対に配置さ
れた反射膜と画面選択シャッター及び反射ミラーを介し
てハーフミラーによりＸ線照射範囲を１つの可視光用カ
メラで捉えることにより、Ｘ線照射と検査対象部の可視
反射光を同一方向線上から撮像でき、可視光用カメラの
画像及びＸ線撮像部のＸ線画像を表示する表示器により
Ｘ線検査をしたい任意の位置を基板セットの表裏に関係
なく容易に決定することができ、基板位置決めＸＹテー
ブルにより移動させることができる。
【００３７】また、Ｘ線源より検査対象物に照射され、
検査対象物を透過したＸ線を捉えるＸ線撮像部と、検査
対象物の表面または裏面のＸ線照射と同一視野の反射光
を捉える可視光用カメラの各取り込み画像は、画像処理
機能を有したコントローラに接続され、画像処理するこ
とにより、Ｘ線による基板検査と可視光による外観検査
を同時にできる。
検査対象物を透過したＸ線を捉えるＸ線撮像部と、検査
対象物の表面または裏面のＸ線照射と同一視野の反射光
を捉える可視光用カメラの各取り込み画像は、画像処理
機能を有したコントローラに接続され、画像処理するこ
とにより、Ｘ線による基板検査と可視光による外観検査
を同時にできる。
【図１】本発明の実施の形態１におけるＸ線基板検査装
置の全体構成図
置の全体構成図
【図２】本発明の実施の形態２におけるＸ線基板検査装
置の全体構成図
置の全体構成図
【図３】本発明の実施の形態３におけるＸ線基板検査装
置の全体構成図
置の全体構成図
【図４】本発明の実施の形態３における可視光用カメラ
の撮像映像の概略図
の撮像映像の概略図
【図５】本発明の実施の形態４におけるＸ線基板検査装
置の全体構成図
置の全体構成図
【図６】チャッキング付きＸＹロボットの概略図
【図７】本発明の実施の形態５におけるＸ線基板検査装
置の全体構成図
置の全体構成図
【図８】本発明の実施の形態６におけるＸ線基板検査装
置の全体構成図
置の全体構成図
【図９】本発明の実施の形態７におけるＸ線基板検査装
置の全体構成図
置の全体構成図
【図１０】本発明の実施の形態８における反射膜の成形
工程構成図
工程構成図
１ Ｘ線源 ２ 検査対象物 ３ 基板位置決めＸＹテーブル ４ Ｘ線撮像部 ５ａ，５ｂ 反射膜 ６ａ，６ｂ 画面選択シャッター ７ａ，７ｂ 反射ミラー ８ ハーフミラー ９ 可視光用カメラ ９′ ズームレンズ付き可視光用カメラ １０ａ，１０ｂ 可視光用照明機器 １１ コントローラ １２ 表示器 １３ Ｘ線シャッター １４，２２ Ｚテーブル １５ 反射プリズム １６ 可視照明コントローラ １７ ＸＹテーブル １８ チャッキング付きＸＹロボット １９ Ｘテーブル ２０ Ｙテーブル ２１ 基板チャック ２３ 回転ソレノイド ２４ ポリエチレンテレフタレート ２５ アルミ蒸着後のポリエチレンテレフタレート ２６ アルミリング ２７ （アルミ蒸着ポリエチレンテレフタレート）反射
膜
膜
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 宇田川 勲 神奈川県横浜市港北区綱島東四丁目３番１ 号 松下通信工業株式会社内 (72)発明者 大場 芳男 神奈川県横浜市港北区綱島東四丁目３番１ 号 松下通信工業株式会社内
Claims (7)
- 【請求項１】 Ｘ線源から検査対象物へ照射されたＸ線
透過画像を取り込むＸ線撮像部と、前記Ｘ線源と検査対
象物の間、及び検査対象物とＸ線撮像部の間に設けら
れ、かつ可視照明機器より検査対象物の表面・裏面に照
射された光の反射光を得るための対に配置された反射膜
と、前記表面・裏面の反射光を選択するシャッター，反
射ミラー及びハーフミラーを介してＸ線照射範囲を捉え
る１つの可視光用カメラとを有することを特徴とするＸ
線基板検査装置。 - 【請求項２】 Ｘ線源から検査対象物へ照射されたＸ線
透過画像を取り込むＸ線撮像部と、前記Ｘ線源と検査対
象物の間、及び検査対象物とＸ線撮像部の間に設けら
れ、かつ可視照明機器より検査対象物の表面・裏面に照
射された光の反射光を得るための対に配置された反射膜
と、前記表面・裏面の反射光を選択するシャッター，反
射ミラー及びハーフミラーを介してＸ線照射範囲を捉え
る１つの可視光用カメラと、前記可視照明機器に対して
前記検査対象物の表面・裏面に対して、照明する光のＯ
Ｎ／ＯＦＦ制御機能を有した可視照明コントロールとを
有し、前記可視光用カメラで撮像する面を選択するよう
にしたことを特徴とするＸ線基板検査装置。 - 【請求項３】 Ｘ線源から検査対象物へ照射されたＸ線
透過画像を取り込むＸ線撮像部と、前記Ｘ線源と検査対
象物の間、及び検査対象物とＸ線撮像部の間に設けら
れ、かつ可視照明機器より検査対象物の表面・裏面に照
射された光の反射光を得るための対に配置された反射膜
と、前記表面・裏面の反射光を選択するシャッター，反
射ミラー及び反射プリズムを介してＸ線照射範囲を捉え
る１つの可視光用カメラとを有することを特徴とするＸ
線基板検査装置。 - 【請求項４】 ズームレンズを付加した可視光用カメラ
と、前記可視光用カメラを撮像画面のＸＹ方向に移動で
きるテーブルとを有し、Ｘ線画像と検査対象物からの反
射光を撮像した可視光用カメラとの画像の重ね合わせを
行うようにしたことを特徴とする請求項１，２または３
記載のＸ線基板検査装置。 - 【請求項５】 検査対象物に対して同一領域内のＸ線画
像と可視照明機器より検査対象物の表面または裏面画像
を取り込み、画像処理し、半田検査，部品有無検査等の
基板検査を同時に行うことを特徴とする請求項１，２，
３または４記載のＸ線基板検査装置。 - 【請求項６】 ポリエチレンテレフタレート等のプラス
チック素材のフィルムにアルミ蒸着させた膜に、リング
等の枠に接合・接着させた構造を有することを特徴とす
るＸ線用可視光反射膜。 - 【請求項７】 Ｘ線源と検査対象物の間、及び検査対象
物とＸ線撮像部の間のＸ線放射領域内の両方または一方
に、Ｘ線の照射線量を減衰させることなく透過させ、可
視照明機器より検査対象物へ照射された可視光を反射さ
せる請求項６記載の反射膜を利用し、Ｘ線照射視野内の
可視光反射画像を捉えることを特徴とするＸ線基板検査
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09937798A JP3883153B2 (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Ｘ線基板検査装置 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09937798A JP3883153B2 (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Ｘ線基板検査装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11295242A true JPH11295242A (ja) | 1999-10-29 |
| JP3883153B2 JP3883153B2 (ja) | 2007-02-21 |
Family
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09937798A Expired - Fee Related JP3883153B2 (ja) | 1998-04-10 | 1998-04-10 | Ｘ線基板検査装置 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3883153B2 (ja) |
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-
1998
- 1998-04-10 JP JP09937798A patent/JP3883153B2/ja not_active Expired - Fee Related
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