JP2014008281A - X線画像化装置及びx線画像化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料に対してほぼ平行となるX線を照射する、X線発生部と、前記試料の透過画像を検出する検出領域を有する、2次元検出器と、支持台を搭載し、前記2次元検出器の前記検出領域の平面に沿って、前記支持台を面内移動させることが可能な、ステージと、前記2次元検出器が検出する前記試料の複数の透過画像に基づいて、合成透過画像データを生成する、画像化制御部と、を備えるX線画像化装置であって、前記画像化制御部は、前記試料の異なる複数の位置における透過画像を張り合わせて、合成透過画像データを生成する、ことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の第1の実施形態に係るX線画像化装置1の構造を示す模式図である。当該実施形態に係るX線画像化装置1は、2次元X線透過画像のX線画像化装置である。X線源10を含むX線発生部11と、2次元検出器12と、試料100を支持する支持台13と、支持台13を搭載する2次元XYステージ14と、制御部15と、を備えている。
本発明の第2の実施形態に係るX線画像化装置1は、3次元X線CT画像を画像化するX線画像化装置である。当該実施形態に係るX線画像化装置1は、支持台13が回転駆動系を備えている点と、制御部15が3次元X線CT画像の画像化のための測定と画像再構成を行う点で、第1の実施形態に係るX線画像化装置1と異なっているが、それ以外については、第1の実施形態に係るX線画像化装置1と同じ構造をしている。
本発明の第3の実施形態に係るX線画像化装置1は、光学撮影部21と光学ミラー22とを、さらに備えて、制御部15が、光学撮影部21が検出する光学画像(光学イメージ)に基づいて、測定を制御する点で、第1の実施形態に係るX線画像化装置1と異なっているが、それ以外については、同じ構造をしている。なお、ここで、光学画像とは、可視光領域の光による画像を指しているがそれに限定されることはなく、例えば、赤外線領域や紫外線領域などの領域の光による画像であってもよい。
本発明の第4の実施形態に係るX線画像化装置1は、3次元X線CT画像を画像化するX線画像化装置であり、第3の実施形態に係る光学撮影部21及び光学ミラー22を、第2の実施形態に係るX線画像化装置1に適用したものである。
Claims (9)
- 試料に対してほぼ平行となるX線を照射する、X線発生部と、
前記試料に対して前記X線発生部の反対側に配置されるとともに、前記試料の透過画像を検出する検出領域を有する、2次元検出器と、
前記試料を配置する、支持台と、
前記支持台を搭載し、前記2次元検出器の前記検出領域の平面に沿って、前記支持台を面内移動させることが可能な、ステージと、
前記2次元検出器が検出する前記試料の複数の透過画像に基づいて、合成透過画像データを生成する、制御部と、
を備える、X線画像化装置であって、
前記制御部は、前記試料の異なる複数の位置における透過画像を張り合わせて、合成透過画像データを生成する、
ことを特徴とする、X線画像化装置。 - 請求項1に記載のX線画像化装置であって、
前記支持台は、前記検出領域の平面に沿う方向を回転軸として、所定数の角度配置それぞれに前記試料を回転移動させることが可能な、回転駆動系を備え、
前記制御部は、
前記所定数の角度配置それぞれにおいて、前記試料の異なる複数の位置における透過画像を張り合わせて、合成透過画像データを生成し、
生成される前記所定数の合成透過画像データに画像再構成することにより、3次元X線CT画像を画像化する、
ことを特徴とする、X線画像化装置。 - 請求項2に記載のX線画像化装置であって、
前記ステージが、前記支持台を順に移動させて、前記試料を前記異なる複数の位置のうちいずれかの位置とし、
該位置の配置において、前記回転駆動系が前記試料を順に回転移動させて、前記試料を前記所定数の角度配置のうちいずれかの角度配置とし、
当該配置において、前記2次元検出器が前記試料の透過画像を検出し、
前記所定数の角度配置それぞれにおける、前記試料の異なる複数の位置における複数の透過画像が検出される、
ことを特徴とする、X線画像化装置。 - 請求項1乃至3のいずれかに記載のX線画像化装置であって、
前記試料の光学画像を検出する、光学撮影部と、
前記X線発生部と前記支持台との間に配置され、前記X線発生部からのX線を前記試料へ透過させるともに前記検出領域の平面の法線方向に沿って前記試料から進む光を反射して前記光学撮影部へ入射させる、光学ミラーと、
をさらに備える、X線画像化装置。 - 請求項4に記載のX線画像化装置であって、
前記光学ミラーは、前記X線発生部から2次元検出器12の検出領域に達するX線を通過させる開口部を有している、
ことを特徴とする、X線画像化装置。 - 請求項4に記載のX線画像化装置であって、
前記光学ミラーは、金属薄膜ミラーである、
ことを特徴とする、X線画像化装置。 - 請求項1乃至6のいずれかに記載のX線画像化装置であって、
前記X線発生部から前記試料までの距離をL、前記試料から前記2次元検出器までの距離をdとするとき、d/Lが0.1以下であることを特徴とする、
X線画像化装置。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載のX線画像化装置であって、
前記試料に入射して、前記試料を貫通して、前記2次元検出器の前記検出領域へ達するX線について、試料の入射箇所から出射箇所までの距離をt、前記検出領域の法線方向とX線の進行方向がなす角をθとするとき、tが前記2次元検出器の空間分解能より十分に大きく、t・θが前記2次元検出器の空間分解能程度以下である、
ことを特徴とする、X線画像化装置。 - 試料に対してほぼ平行となるX線を照射する、X線発生部と、
前記試料に対して前記X線発生部と反対側に配置されるとともに、前記試料の透過画像を検出する検出領域を有する、2次元検出器と、
前記試料を配置する、支持台と、
前記支持台を搭載し、前記2次元検出器の前記検出領域の平面に沿って、前記支持台を面内移動させることが可能な、ステージと、
前記2次元検出器が検出する前記試料の複数の透過画像に基づいて、合成透過画像を生成する、制御部と、
を用いる、X線画像化方法であって、
前記制御部は、前記試料の異なる複数の位置における透過画像を張り合わせて、合成透過画像データを生成する、
ことを特徴とする、X線画像化方法。
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DE102013010682.6A DE102013010682A1 (de) | 2012-06-29 | 2013-06-26 | Röntgenstrahlabbildungsvorrichtung und Röntgenstrahlabbildungsverfahren |
CN201310269032.7A CN103529062A (zh) | 2012-06-29 | 2013-06-28 | X射线图像生成装置及x射线图像生成方法 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017203886A1 (ja) * | 2016-05-24 | 2017-11-30 | 日本装置開発株式会社 | X線検査装置およびx線検査装置の制御方法 |
JP2019015615A (ja) * | 2017-07-07 | 2019-01-31 | 名古屋電機工業株式会社 | 3次元撮像装置、3次元撮像方法および3次元撮像プログラム |
JP7266334B1 (ja) | 2022-03-07 | 2023-04-28 | 株式会社アールエフ | X線撮影装置 |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104198504A (zh) * | 2014-06-18 | 2014-12-10 | 中国石油集团川庆钻探工程有限公司 | 聚乙烯管道热熔焊接质量的x射线数字成像检测方法 |
WO2016086486A1 (zh) | 2014-12-05 | 2016-06-09 | 深圳市凯意科技有限公司 | 一种电子线路板x光检查图像生成方法及其装置 |
CN104541285B (zh) * | 2014-12-05 | 2016-09-28 | 深圳市凯意科技有限公司 | 一种电子线路板x光检查图像生成方法及其装置 |
US10307128B2 (en) * | 2016-05-12 | 2019-06-04 | Shimadzu Corporation | X-ray imaging device |
CN112748134B (zh) * | 2020-12-25 | 2023-04-11 | 北京航星机器制造有限公司 | 一种ct检测装置的ct检测方法及检测装置 |
CN116311085B (zh) * | 2023-05-19 | 2023-09-01 | 杭州睿影科技有限公司 | 一种图像处理方法、系统、装置及电子设备 |
CN116879335B (zh) * | 2023-09-08 | 2023-11-17 | 四川大学 | 一种组合扫描式xrd/xrf综合成像方法 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157046A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Hitachi Ltd | 内部欠陥検査方法 |
JPH07209213A (ja) * | 1994-01-20 | 1995-08-11 | Hitachi Ltd | X線ホログラフィックct装置 |
JPH09101270A (ja) * | 1995-10-03 | 1997-04-15 | Rigaku Corp | X線回折装置の試料位置確認方法及び試料容器並びにx線顕微鏡 |
JPH11295242A (ja) * | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線基板検査装置とx線用可視光反射膜 |
JP2004012200A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Sony Corp | X線断層撮像装置 |
JP2006317249A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Shimadzu Corp | X線撮影装置 |
JP2006322799A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Shimadzu Corp | X線撮影装置 |
JP2008032754A (ja) * | 2007-10-25 | 2008-02-14 | Toshiba It & Control Systems Corp | X線透視検査装置 |
JP2009139314A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Yamato Scient Co Ltd | 三次元x線ct装置 |
JP2011169711A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 放射線検査処理装置、放射線検査処理方法および放射線検査処理プログラム |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5032990A (en) * | 1989-05-30 | 1991-07-16 | General Electric Company | Translate rotate scanning method for x-ray imaging |
US5319693A (en) * | 1992-12-30 | 1994-06-07 | General Electric Company | Three dimensional computerized tomography scanning configuration for imaging large objects with smaller area detectors |
US6447163B1 (en) * | 1999-09-30 | 2002-09-10 | Siemens Corporate Research, Inc. | Method for aligning and superimposing X-ray and video images |
JP3996821B2 (ja) * | 2002-03-27 | 2007-10-24 | 株式会社堀場製作所 | X線分析装置 |
US7634061B1 (en) * | 2004-03-26 | 2009-12-15 | Nova R & D, Inc. | High resolution imaging system |
US20070280421A1 (en) * | 2004-06-02 | 2007-12-06 | Cho Yong M | Narrow band x-ray system and fabrication method thereof |
DE102005036527B4 (de) | 2005-08-03 | 2008-05-21 | Yxlon International X-Ray Gmbh | Röntgen-CT-Prüfanlage sowie CT-Verfahren zur Prüfung von Objekten |
DE102005062582B4 (de) | 2005-12-27 | 2017-08-03 | Siemens Healthcare Gmbh | Abbilduingssystem und Verfahren zur Anfertigung von Röntgen- und optischen Bildern |
JP5714861B2 (ja) | 2010-10-07 | 2015-05-07 | 株式会社リガク | X線画像撮影方法およびx線画像撮影装置 |
-
2012
- 2012-06-29 JP JP2012147719A patent/JP5907824B2/ja active Active
-
2013
- 2013-06-24 US US13/925,144 patent/US9250199B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2013-06-26 DE DE102013010682.6A patent/DE102013010682A1/de active Pending
- 2013-06-28 CN CN201310269032.7A patent/CN103529062A/zh active Pending
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157046A (ja) * | 1986-12-22 | 1988-06-30 | Hitachi Ltd | 内部欠陥検査方法 |
JPH07209213A (ja) * | 1994-01-20 | 1995-08-11 | Hitachi Ltd | X線ホログラフィックct装置 |
JPH09101270A (ja) * | 1995-10-03 | 1997-04-15 | Rigaku Corp | X線回折装置の試料位置確認方法及び試料容器並びにx線顕微鏡 |
JPH11295242A (ja) * | 1998-04-10 | 1999-10-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | X線基板検査装置とx線用可視光反射膜 |
JP2004012200A (ja) * | 2002-06-04 | 2004-01-15 | Sony Corp | X線断層撮像装置 |
JP2006317249A (ja) * | 2005-05-12 | 2006-11-24 | Shimadzu Corp | X線撮影装置 |
JP2006322799A (ja) * | 2005-05-18 | 2006-11-30 | Shimadzu Corp | X線撮影装置 |
JP2008032754A (ja) * | 2007-10-25 | 2008-02-14 | Toshiba It & Control Systems Corp | X線透視検査装置 |
JP2009139314A (ja) * | 2007-12-10 | 2009-06-25 | Yamato Scient Co Ltd | 三次元x線ct装置 |
JP2011169711A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Nagoya Electric Works Co Ltd | 放射線検査処理装置、放射線検査処理方法および放射線検査処理プログラム |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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