JP2006317249A - X線撮影装置 - Google Patents
X線撮影装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006317249A JP2006317249A JP2005139486A JP2005139486A JP2006317249A JP 2006317249 A JP2006317249 A JP 2006317249A JP 2005139486 A JP2005139486 A JP 2005139486A JP 2005139486 A JP2005139486 A JP 2005139486A JP 2006317249 A JP2006317249 A JP 2006317249A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ray
- subject
- detector
- transmission data
- image
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
Abstract
【選択図】 図1
Description
図1は本発明をX線透視装置に適用した実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図である。
図5はその実施の形態の構成図であり、機械的構成を表す模式的正面図とシステム構成を表すブロック図とを併記して示す図で、図6には機械的構成の模式的平面図を示す。
1a,21a 焦点(X線源)
2,22 X線検出器
3 被写体保持部
4 保持部移動機構
5 検出器微動機構
10 画像データ取り込み回路
11 パーソナルコンピュータ
12 表示器
13 操作部
14 保持部移動機構駆動回路
15 検出器微動機構駆動回路
23 回転テーブル
24 テーブル移動機構
25 被写体微動機構
31 回転テーブル駆動回路
32 テーブル移動機構駆動回路
33 被写体微動機構駆動回路
34 パーソナルコンピュータ
35 断層像再構成演算装置
36 操作部
37 表示器
L X線光軸
R 回転軸
W 被写体
Claims (7)
- 互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に、被写体を保持する保持部が配置されているとともに、その保持部に保持された被写体にX線を照射して上記X線検出器の出力を取り込む撮影動作により得られるX線透過データを用いて、被写体のX線像を構築する画像形成手段を備えたX線撮影装置において、
上記X線検出器を、上記X線源からのX線光軸に直交する平面上で、当該X線検出器の画素ピッチの整数分の一のピッチで移動させることのできる検出器移動機構を備え、上記X線画像形成手段は、その検出器移動機構によりX線検出器を上記整数分の一のピッチでずらせた複数の位置においてそれぞれ取り込んだX線透過データを1回の撮影動作により得られるX線透過データとして取り扱って被写体のX線像を構築することを特徴とするX線撮影装置。 - 上記X線検出器がフラットパネル型のX線検出器であることを特徴とする請求項1に記載のX線撮影装置。
- 上記X線検出器がイメージインテンシファイアとCCDカメラとからなるX線検出器であって、上記検出器移動機構は、CCDカメラを当該CCDカメラの画素ピッチの規定分の一の距離だけずらせることを特徴とする請求項1に記載のX線撮影装置。
- 互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に、被写体を保持する保持部が配置されているとともに、その保持部に保持された被写体にX線を照射して上記X線検出器の出力を取り込む撮影動作により得られるX線透過データを用いて、被写体のX線像を構築する画像形成手段を備えたX線撮影装置において、
上記X線源を、当該X線源からのX線光軸に直交する平面上で、上記X線検出器の画素ピッチの整数分の一のピッチで移動させることのできるX線源移動機構を設け、上記X線画像形成手段は、そのX線源移動機構により上記整数分の一のピッチでX線源をずらせた複数の位置においてそれぞれ取り込んだX線透過データを1回の撮影動作により得られるX線透過データとして取り扱って被写体のX線像を構築することを特徴とするX線撮影装置。 - 互いに対向配置されたX線源とX線検出器の間に、被写体を保持する保持部が配置されているとともに、その保持部に保持された被写体にX線を照射して上記X線検出器の出力を取り込む撮影動作により得られるX線透過データを用いて、被写体のX線像を構築する画像形成手段を備えたX線撮影装置において、
上記保持部を、上記X線源からのX線光軸に直交する平面上で、上記X線検出器の画素ピッチの整数分の一のピッチで移動させることのできる保持部移動機構を設け、上記X線画像形成手段は、その保持部移動機構により上記整数分の一のピッチで保持部をずらせた複数の位置においてそれぞれ取り込んだX線透過データを1回の撮影動作により得られるX線透過データとして取り扱って被写体のX線像を構築することを特徴とするX線撮影装置。 - 上記画像形成手段が、上記X線透過データを用いて被写体のX線透過像を形成する手段であり、上記複数の位置においてそれぞれ取り込んだX線透過データを合成して1枚のX線透過像を形成することを特徴とする請求項1、2、3、4、または5に記載のX線撮影装置。
- 上記保持部に保持された被写体に上記X線光軸に直交する回転軸を中心とした回転を与える回転駆動手段を備えるとともに、上記撮影動作が、X線を照射しつつ被写体を回転させ、その微小回転角度ごとにX線透過データを取り込む動作であり、上記画像形成手段が、その撮影動作により取り込んだX線透過データを再構成して上記回転軸に直交する被写体の断層像を構築する手段であって、上記複数の位置においてそれぞれ被写体を回転させて取り込んだX線透過データを、1回の撮影動作により得られるX線透過データとして取り扱って被写体の断層像を構築することを特徴とする請求項1、2、3、4または5に記載のX線撮影装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005139486A JP4640589B2 (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | X線撮影装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005139486A JP4640589B2 (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | X線撮影装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006317249A true JP2006317249A (ja) | 2006-11-24 |
JP4640589B2 JP4640589B2 (ja) | 2011-03-02 |
Family
ID=37538060
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005139486A Active JP4640589B2 (ja) | 2005-05-12 | 2005-05-12 | X線撮影装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4640589B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007024894A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd | 試料の検査方法および装置 |
US8243878B2 (en) | 2010-01-07 | 2012-08-14 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
US8437450B2 (en) | 2010-12-02 | 2013-05-07 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Fast measurement of X-ray diffraction from tilted layers |
JP2014008281A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Rigaku Corp | X線画像化装置及びx線画像化方法 |
US8687766B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
US8781070B2 (en) | 2011-08-11 | 2014-07-15 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Detection of wafer-edge defects |
US9726624B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-08-08 | Bruker Jv Israel Ltd. | Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement |
JPWO2017203886A1 (ja) * | 2016-05-24 | 2019-03-22 | 日本装置開発株式会社 | X線検査装置およびx線検査装置の制御方法 |
CN110383051A (zh) * | 2017-04-11 | 2019-10-25 | 东芝It·控制系统株式会社 | X射线检查装置 |
WO2019224888A1 (ja) | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社島津製作所 | X線検査装置 |
JP2021018108A (ja) * | 2019-07-18 | 2021-02-15 | 株式会社ビームセンス | X線ct装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6253636A (ja) * | 1985-09-02 | 1987-03-09 | 株式会社島津製作所 | 撮像装置 |
JPH0438938A (ja) * | 1990-06-04 | 1992-02-10 | Toshiba Corp | 画像再構成法 |
JPH0599643A (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-23 | Hitachi Ltd | はんだ付部のx線検査方法 |
JPH0682305A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-03-22 | Shimadzu Corp | 2次元検出器 |
JPH0737075A (ja) * | 1993-04-05 | 1995-02-07 | General Electric Co <Ge> | 放射線作像システム、x線作像システム、入射放射線の分解能の高い画像を発生する方法、及びディジタル形放射線作像システムの分解可能な空間周波数を高める方法 |
JP2004194946A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-15 | Toshiba Corp | X線コンピュータ断層撮影装置 |
-
2005
- 2005-05-12 JP JP2005139486A patent/JP4640589B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6253636A (ja) * | 1985-09-02 | 1987-03-09 | 株式会社島津製作所 | 撮像装置 |
JPH0438938A (ja) * | 1990-06-04 | 1992-02-10 | Toshiba Corp | 画像再構成法 |
JPH0599643A (ja) * | 1991-10-09 | 1993-04-23 | Hitachi Ltd | はんだ付部のx線検査方法 |
JPH0682305A (ja) * | 1992-08-31 | 1994-03-22 | Shimadzu Corp | 2次元検出器 |
JPH0737075A (ja) * | 1993-04-05 | 1995-02-07 | General Electric Co <Ge> | 放射線作像システム、x線作像システム、入射放射線の分解能の高い画像を発生する方法、及びディジタル形放射線作像システムの分解可能な空間周波数を高める方法 |
JP2004194946A (ja) * | 2002-12-19 | 2004-07-15 | Toshiba Corp | X線コンピュータ断層撮影装置 |
Cited By (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007024894A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd | 試料の検査方法および装置 |
US8243878B2 (en) | 2010-01-07 | 2012-08-14 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
US8731138B2 (en) | 2010-01-07 | 2014-05-20 | Jordan Valley Semiconductor Ltd. | High-resolution X-ray diffraction measurement with enhanced sensitivity |
US8687766B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-01 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Enhancing accuracy of fast high-resolution X-ray diffractometry |
US8693635B2 (en) | 2010-07-13 | 2014-04-08 | Jordan Valley Semiconductor Ltd. | X-ray detector assembly with shield |
US8437450B2 (en) | 2010-12-02 | 2013-05-07 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Fast measurement of X-ray diffraction from tilted layers |
US8781070B2 (en) | 2011-08-11 | 2014-07-15 | Jordan Valley Semiconductors Ltd. | Detection of wafer-edge defects |
JP2014008281A (ja) * | 2012-06-29 | 2014-01-20 | Rigaku Corp | X線画像化装置及びx線画像化方法 |
US9250199B2 (en) | 2012-06-29 | 2016-02-02 | Rigaku Corporation | X-ray imaging apparatus, and X-ray imaging method |
US9726624B2 (en) | 2014-06-18 | 2017-08-08 | Bruker Jv Israel Ltd. | Using multiple sources/detectors for high-throughput X-ray topography measurement |
JPWO2017203886A1 (ja) * | 2016-05-24 | 2019-03-22 | 日本装置開発株式会社 | X線検査装置およびx線検査装置の制御方法 |
EP3467485A4 (en) * | 2016-05-24 | 2020-05-13 | Jed Co., Ltd | X-RAY TESTING DEVICE AND METHOD FOR CONTROLLING AN X-RAY TESTING DEVICE |
EP3745120A1 (en) * | 2016-05-24 | 2020-12-02 | Jed Co., Ltd | X-ray inspection apparatus and method for controlling x-ray inspection apparatus |
CN110383051A (zh) * | 2017-04-11 | 2019-10-25 | 东芝It·控制系统株式会社 | X射线检查装置 |
WO2019224888A1 (ja) | 2018-05-21 | 2019-11-28 | 株式会社島津製作所 | X線検査装置 |
CN112074727A (zh) * | 2018-05-21 | 2020-12-11 | 株式会社岛津制作所 | X射线检查装置 |
KR20210002591A (ko) | 2018-05-21 | 2021-01-08 | 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 | X선 검사 장치 |
JPWO2019224888A1 (ja) * | 2018-05-21 | 2021-03-11 | 株式会社島津製作所 | X線検査装置 |
KR102355657B1 (ko) | 2018-05-21 | 2022-02-08 | 가부시키가이샤 시마즈세이사쿠쇼 | X선 검사 장치 |
US11268917B2 (en) | 2018-05-21 | 2022-03-08 | Shimadzu Corporation | X-ray inspection apparatus |
JP2021018108A (ja) * | 2019-07-18 | 2021-02-15 | 株式会社ビームセンス | X線ct装置 |
JP7281182B2 (ja) | 2019-07-18 | 2023-05-25 | 株式会社ビームセンス | X線ct装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4640589B2 (ja) | 2011-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4640589B2 (ja) | X線撮影装置 | |
TW541418B (en) | Computer tomography apparatus and method | |
JP4977201B2 (ja) | マルチx線発生装置のための制御装置、制御方法、及びコンピュータ可読メモリ | |
JP5376766B2 (ja) | X線撮影装置、x線撮影方法およびx線画像表示方法 | |
WO2011013164A1 (ja) | 放射線撮影装置 | |
JP4561990B2 (ja) | X線撮影装置 | |
JP2006314774A (ja) | スカウトビュー機能を備えたx線撮影装置 | |
JP2009136518A (ja) | X線撮影装置及びx線撮影方法 | |
JP2008212550A (ja) | X線診断装置及び画像データ生成方法 | |
JP6791404B2 (ja) | 放射線位相差撮影装置 | |
JP4724760B2 (ja) | X線撮影装置 | |
JP5045134B2 (ja) | X線ct装置 | |
JP2006189342A (ja) | X線ct装置 | |
JP4600661B2 (ja) | X線ct装置 | |
JP2002263092A (ja) | 断層撮影装置 | |
JP2011220982A (ja) | Ct装置 | |
JP2012223629A (ja) | X線撮影装置、x線撮影方法およびx線画像表示方法 | |
JP2003052680A (ja) | X線撮影装置 | |
JP4806433B2 (ja) | X線撮影装置およびその信号処理方法 | |
JP2006300672A (ja) | X線ct装置 | |
JP2010162154A (ja) | 放射線断層画像生成装置 | |
JP4840148B2 (ja) | X線ct装置 | |
JP5251264B2 (ja) | X線ct装置 | |
JP2009233158A (ja) | 放射線診断装置および放射線撮影方法 | |
JP2011064662A (ja) | 透視用テーブル付ct装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070824 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100414 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100614 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100811 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101012 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101104 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101117 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 4640589 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131210 Year of fee payment: 3 |