JPWO2019224888A1 - X線検査装置 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 22
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 54
- 230000008569 process Effects 0.000 claims abstract description 31
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 25
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 18
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 11
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 6
- 230000009471 action Effects 0.000 description 9
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000006870 function Effects 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000013170 computed tomography imaging Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000001419 dependent effect Effects 0.000 description 1
- 230000001066 destructive effect Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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- G01N23/02—Investigating or analysing materials by the use of wave or particle radiation, e.g. X-rays or neutrons, not covered by groups G01N3/00 – G01N17/00, G01N21/00 or G01N22/00 by transmitting the radiation through the material
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- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
- G06T3/00—Geometric image transformations in the plane of the image
- G06T3/40—Scaling of whole images or parts thereof, e.g. expanding or contracting
- G06T3/4053—Scaling of whole images or parts thereof, e.g. expanding or contracting based on super-resolution, i.e. the output image resolution being higher than the sensor resolution
- G06T3/4069—Scaling of whole images or parts thereof, e.g. expanding or contracting based on super-resolution, i.e. the output image resolution being higher than the sensor resolution by subpixel displacements
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/30—Accessories, mechanical or electrical features
- G01N2223/33—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts
- G01N2223/3307—Accessories, mechanical or electrical features scanning, i.e. relative motion for measurement of successive object-parts source and detector fixed; object moves
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/401—Imaging image processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2223/00—Investigating materials by wave or particle radiation
- G01N2223/40—Imaging
- G01N2223/417—Imaging recording with co-ordinate markings
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- Health & Medical Sciences (AREA)
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- Biochemistry (AREA)
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Abstract
Description
31 メモリ
32 演算装置
33 表示制御部
34 画像処理部
35 移動制御部
36 X線制御部
38 記憶装置
39 バス
40 ケーシング
41 X線源
42 X線検出器
43 ステージ
44 ステージ移動機構
45 表示部
46 操作部
Claims (4)
- X線源と、被検体を載置するテーブルと、前記X線源から照射され前記被検体を透過したX線を検出するX線検出器と、X線撮影により取得した画像を表示する表示部を備えたX線検査装置において、
前記X線源、前記X線検出器、または、前記テーブルを移動させることにより前記X線源と前記X線検出器と前記被検体との相対的位置関係を変更する移動機構と、
前記移動機構を制御する移動制御部と、前記X線源を制御するX線制御部と、前記X線検出器の出力を取り込んで前記被検体のX線画像を構築する画像処理部と、前記画像処理部により得られた画像を前記表示部に表示する表示制御部と、を有する制御部と、を備え、
前記画像処理部は、
前記X線源、前記X線検出器、前記テーブルのいずれか1つを、最初のX線画像を取得したときのX線撮影位置と任意の位置との間で往復移動させる位置決めを行った後に、X線撮影を実行する動作を繰り返して複数のX線画像を取得し、
前記位置決めを繰り返し行ったときの繰り返し位置決め誤差を利用して、前記複数のX線画像から互いにサブピクセルレベルの位置ずれ量を持つ画像を超解像再構成処理のための入力画像群として取得し、
前記入力画像群に対して超解像再構成処理を実行することにより超解像画像を生成することを特徴とするX線検査装置。 - 請求項1に記載のX線検査装置において、
前記画像処理部は、
画像間の位置合わせ手法を利用して、前記複数のX線画像の各々の前記位置ずれ量を求め、
前記複数のX線画像のうち前記位置ずれ量が前記X線検出器の1画素より小さい画像を、その位置ずれ量とともに前記入力画像群として取得するX線検査装置。 - 請求項1に記載のX線検査装置において、
前記画像処理部は、
前記最初のX線画像上の所定の位置を基点として切り出した第2の基準画像を作成し、
画像間の位置合わせ手法を利用して、前記複数のX線画像の各々の前記位置ずれ量を求め、
前記位置ずれ量を整数部分と小数部分に分離し、
前記複数のX線画像の各々の画像上の前記所定の位置に前記位置ずれ量の整数部分を加えた位置を基点として、前記第2の基準画像と同サイズの画像を切り出し、切り出した画像を前記位置ずれ量の小数部分とともに前記入力画像群として取得するX線検査装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載のX線検査装置において、
前記移動機構は、前記テーブルに接続され、前記X線源と前記X線検出器からなるX線撮影系に対して前記テーブルの位置を移動させるX線検査装置。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2018/019543 WO2019224888A1 (ja) | 2018-05-21 | 2018-05-21 | X線検査装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2019224888A1 true JPWO2019224888A1 (ja) | 2021-03-11 |
JP6973637B2 JP6973637B2 (ja) | 2021-12-01 |
Family
ID=68616868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020520883A Active JP6973637B2 (ja) | 2018-05-21 | 2018-05-21 | X線検査装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US11268917B2 (ja) |
EP (1) | EP3798623A4 (ja) |
JP (1) | JP6973637B2 (ja) |
KR (1) | KR102355657B1 (ja) |
CN (1) | CN112074727A (ja) |
WO (1) | WO2019224888A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2023086351A1 (en) * | 2021-11-10 | 2023-05-19 | Carestream Health, Inc. | Apparatus and method for enhancing digital x-ray imaging |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6459823B2 (en) * | 1998-10-28 | 2002-10-01 | Hewlett-Packard Company | Apparatus and method of increasing scanner resolution |
JP4519434B2 (ja) | 2003-09-24 | 2010-08-04 | 株式会社東芝 | 超解像処理装置及び医用画像診断装置 |
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JP6015404B2 (ja) * | 2012-12-11 | 2016-10-26 | 株式会社島津製作所 | 放射線検査装置 |
WO2016017534A1 (ja) * | 2014-07-28 | 2016-02-04 | 株式会社日立メディコ | X線撮像装置および画像再構成方法 |
JP6624369B2 (ja) | 2015-01-23 | 2019-12-25 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 画像処理装置、画像処理方法、画像表示装置およびコンピュータプログラム |
-
2018
- 2018-05-21 KR KR1020207033474A patent/KR102355657B1/ko active IP Right Grant
- 2018-05-21 CN CN201880093071.7A patent/CN112074727A/zh active Pending
- 2018-05-21 WO PCT/JP2018/019543 patent/WO2019224888A1/ja unknown
- 2018-05-21 EP EP18919604.1A patent/EP3798623A4/en not_active Withdrawn
- 2018-05-21 US US17/052,527 patent/US11268917B2/en active Active
- 2018-05-21 JP JP2020520883A patent/JP6973637B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3798623A1 (en) | 2021-03-31 |
US11268917B2 (en) | 2022-03-08 |
KR20210002591A (ko) | 2021-01-08 |
CN112074727A (zh) | 2020-12-11 |
US20210239626A1 (en) | 2021-08-05 |
JP6973637B2 (ja) | 2021-12-01 |
WO2019224888A1 (ja) | 2019-11-28 |
KR102355657B1 (ko) | 2022-02-08 |
EP3798623A4 (en) | 2021-06-09 |
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