JP2017223468A - Ｘ線検査装置およびｘ線検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】コストの増加や装置構成の限定を招くことなく、Ｘ線検査装置における繰り返し誤差に起因する３次元データの画質低下を軽減する。【解決手段】Ｘ線検査装置は、検査対象物、Ｘ線源、およびＸ線カメラの少なくともいずれかを、モータの駆動によって移動させるステージと、前記モータの位置検出値を定期的に取得し、当該位置検出値を時刻と関連付けて記憶する位置検出手段と、前記Ｘ線カメラによる撮影タイミングを時刻と関連付けて記憶する撮影タイミング取得手段と、撮影タイミングにおける前記モータの位置検出値から、撮影タイミングにおける前記検査対象物、前記Ｘ線源、および前記Ｘ線カメラの位置関係を求める撮影位置算出手段と、前記Ｘ線カメラによって撮影された撮影データと、当該撮影データの撮影タイミングにおける前記位置関係と、を用いて再構成処理を行う再構成手段と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、Ｘ線を用いて被検査物の画像を複数取得して３次元データを作成するＸ線検査技術に関する。

複数のＸ線画像から３次元データを作成する際には、トモシンセシスやＣＴなどの技術が用いられる。いずれの技術においても、正確な撮影位置を使用して再構成を行うことが重要である。画像の撮影位置が不正確である場合（すなわち、撮影すべき場所と実際に撮影した場所にズレがある場合）には、３次元データの画質が低下する。

撮像位置が不正確になるのは、Ｘ線源・カメラ・検査対象物を動かすステージの位置決め精度が不足していることに起因する。

撮影画像の高分解能化が進むにつれて、より高い位置決め精度が要求される。たとえば、電子部品などの小型化が進む分野においては、数マイクロメートルの高分解能で撮影することが求められる。このような状況では、次のような理由から位置決め精度の不足による画質低下が生じる。

第１に、位置決め精度が同じであっても、画像が高分解能であるほど画質への影響が大きくなる。これは、位置の誤差が同じであっても高分解能なほど画像上でのズレが大きくなることによる。第２に、画像が高分解能であるほど視野が狭く（撮影面積が小さく）なり、撮影枚数が増える。少しでも早く検査を終わらせるためには、ステージを高速に移動させる必要があり、ステージを高速に移動させると位置決め精度がさらに悪化する。

このような問題に対して、ステージの改良によって位置決め精度を向上させることも可能ではあるが、コスト増につながる。そこで、撮影位置を補正によって正確な位置にした上で再構成処理することが考えられる。

事前に目標位置と実際の位置との間のズレ量を学習して、学習結果に基づいて撮像時の位置を補正することは有効ではない。それは、毎回同じズレが発生するわけではなく、撮像の度に変動するズレ（繰り返し誤差）が生じるためである。

特許文献１は、ステージにセンサを設けて、撮像時におけるセンサの読み取り値から位置ズレ量を算出することを開示する。より具体的には、特許文献１は、被検査物を載せたテーブルを回転させて検査（撮影）を行うＣＴ装置において、テーブルの傾きをセンサによって検出して、撮影時における位置ズレを求めている。特許文献１は、このようなソフト補正によって、テーブルのがたつきによる画質劣化を防ぐ。

特開２０１４−１１５２１６号公報

しかしながら、特許文献１の手法には次のような問題点がある。第１に、センサの精度による制限を受ける。センサの精度が十分高くなければ補正の効果が得られない。第２に、検査装置に可動部が増えるとそれに応じてセンサを追加しなければならない。第３に、
テーブル回転式ではなく、ＸＹステージやＸＹＺステージのように複数軸で構成されているステージを用いる装置には対応できない。複数軸で構成されるステージでは、ステージ全体のがたつきではなく、各軸の位置決め誤差に起因する位置ズレが発生するためである。

本発明は、上記したような問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、Ｘ線検査装置における繰り返し誤差に起因する３次元データの画質低下を軽減可能な、安価かつ広範囲に適用可能な技術を提供することにある。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様にかかるＸ線検査装置は、
検査対象物、Ｘ線源、およびＸ線カメラの相対的な位置を変化させて取得した複数の撮影データから前記検査対象物の３次元データを再構成するＸ線検査装置であって、
検査対象物、Ｘ線源、およびＸ線カメラの少なくともいずれかを、モータの駆動によって移動させるステージと、
前記モータの位置検出値を定期的に取得し、当該位置検出値を時刻と関連付けて記憶する位置検出手段と、
前記Ｘ線カメラによる撮影タイミングを時刻と関連付けて記憶する撮影タイミング取得手段と、
撮影タイミングにおける前記モータの位置検出値から、撮影タイミングにおける前記検査対象物、前記Ｘ線源、および前記Ｘ線カメラの位置関係を求める撮影位置算出手段と、
前記Ｘ線カメラによって撮影された撮影データと、当該撮影データの撮影タイミングにおける前記位置関係と、を用いて再構成処理を行う再構成手段と、
を備えることを特徴とする。

ステージはモータの駆動によって検査対象物・Ｘ線源・Ｘ線カメラの少なくともいずれかを移動させる。典型的には、検査対象物を固定してＸ線源とＸ線カメラを移動させるか、Ｘ線源とＸ線カメラを固定して検査対象物を移動させる。モータの位置検出値は、たとえばモータが備えるエンコーダから取得できる。位置検出手段は、モータの位置検出値をその検出時刻と関連付けて記憶（蓄積）する。

前記撮影位置算出手段は、モータの位置検出値から、設計情報を用いて検査対象物・Ｘ線源・Ｘ線カメラの実座標を求めることができ、検査対象物・Ｘ線源・Ｘ線カメラのあいだの位置関係を求めることができる。また、前記撮影位置算出手段は、前記設計情報と前記モータの位置検出値とに基づいて求められた前記位置関係を、あらかじめ取得されたキャリブレーション情報に基づいて補正することも好ましい。実際の装置は製造誤差によって設計情報通りとはならないので、キャリブレーション情報に基づいて補正を行うことが好適である。

本発明にかかるＸ線検査装置は、検査対象物が固定されており、前記ステージが前記Ｘ線源および前記Ｘ線カメラを移動させる構成とすることができる。ステージは、ＸＹステージであってもよいし、ＸＹＺステージであってもよい。あるいは、本発明にかかるＸ線検査装置は、Ｘ線源とＸ線カメラが固定されており、前記ステージが検査対象物を移動させる構成とすることができる。この場合ステージは回転ステージが好適である。

なお、本発明は、上記手段の少なくとも一部を含むＸ線検査装置として捉えることができる。また、本発明は、上記手段が行う処理の少なくとも一部を含むＸ線検査方法として捉えることもできる。また、これらの方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのコンピュータプログラムや、当該プログラムを非一時的に記憶したコンピュータ読取可能な記憶媒体として捉えることもできる。上記構成および処理の各々は技術的な矛盾が生
じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。

本発明によれば、コストの増加や装置構成の限定を招くことなく、Ｘ線検査装置における繰り返し誤差に起因する３次元データの画質低下を軽減できる。

第１の実施形態に係るＸ線検査装置の概要を示す図。 第１の実施形態に係るＸ線検査装置の構成を示す図。 第１の実施形態におけるＸ線検査処理の流れを示すフローチャート。 モータ実座標とカメラ撮影フラグを記憶するリストの例を示す図。 撮影フラグの種類と撮影位置の算出方法の関係を説明する図。 第２の実施形態に係るＸ線検査装置の構成を示す図。 第２の実施形態におけるＸ線検査処理の流れを示すフローチャート。 モータ座標系と空間座標系の差分（座標系情報）の求め方を説明する図。

以下に図面を参照して、この発明を実施するための形態を、実施例に基づいて例示的に詳しく説明する。ただし、この実施例に記載されている構成部品の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

（第１の実施形態）
［概要］
本発明の第１の実施形態に係るＸ線検査装置の外観を図１に示す。Ｘ線検査装置は、搬送ローラによって搬送される検査対象物Ｓを、複数の撮影位置から撮影して３次元データを取得する。具体的には、Ｘ線源１０から検査対象物ＳにＸ線を照射し、透過したＸ線をＸ線カメラ２０によって撮影する。Ｘ線源１０はＸステージ１１およびＹステージ１２によって移動可能であり、Ｘ線カメラ２０はＸステージ２１およびＹステージ２２によって移動可能である。Ｘ線源１０およびＸ線カメラ２０はこれらのステージによってそれぞれ円軌道１０１，１０２を移動し、軌道上の複数の位置で撮影が行われる。

［構成・処理］
図２は、Ｘ線検査装置の構成を示す図である。Ｘ線検査装置は、Ｘ線源１０、Ｘ線カメラ２０（以下、単にカメラという）、Ｘ線源Ｘ軸モータ３１、Ｘ線源Ｙ軸モータ３２、カメラＸ軸モータ３３、カメラＹ軸モータ３４、撮影条件記憶部Ｃ、Ｘ線源制御部１５、カメラ制御部２５、ステージ制御部３５、リスト生成部４０、撮影実座標算出部５０、再構成部６０、検査部７０を備える。これらの各機能部についての説明は、図３を用いた処理内容の説明と共に行う。

なお、Ｘ線源制御部１５、カメラ制御部２５、ステージ制御部３５、リスト生成部４０、撮影実座標算出部５０、再構成部６０、検査部７０の各機能部は、ＡＳＩＣ（Application Specific Integrated Circuit）やＦＰＧＡ（Field Programmable Gate Array）のような論理回路により構成されてもよいし、汎用マイクロプロセッサとプログラムを記憶したメモリとを含むコンピュータにより構成されてもよい。

図３は、本実施形態に係るＸ線検査装置による検査処理の流れを示すフローチャートである。

ステップＳ１０２において、Ｘ線検査装置は、撮影条件記憶部Ｃから撮影条件を読み込
む。撮影条件は、１回の検査における撮影枚数・カメラ露光時間・各撮影におけるＸ線源１０およびカメラ２０の位置を含む。

撮影条件の一例は以下の通りである。
撮影枚数：３２枚、
カメラ露光時間：５０ミリ秒、
１枚目撮影時：Ｘ線源位置（２００，３００）・カメラ位置（５０，５０）、
２枚目撮影時：Ｘ線源位置（３００，３００）・カメラ位置（３０，３０）、
・・・。

次に、撮影画像のそれぞれについてループＬ１の処理が繰り返し実行される。

このループ処理を実行しているあいだ、リスト生成部４０は、各ステージのモータから定期的に位置検出値を取得して検出時刻と関連付けて記憶する（ステップＳ１１６）。リスト生成部４０は、Ｘ線源Ｘ軸モータ３１、Ｘ線源Ｙ軸モータ３２、カメラＸ軸モータ３３、カメラＹ軸モータ３４のエンコーダが検出した位置検出値（読み取り値）を取得する。各モータの位置検出値からＸ線源１０やカメラ２０の位置を求めることができる。

リスト生成部４０は、各モータ（エンコーダ）の読み取り値から求められるＸ線源１０やカメラ２０の位置を記憶する。ただし、モータの読み取り値とＸ線源１０やカメラ２０の位置は設計情報（ステージの配置情報など）を用いて交換可能なので、モータの読み取り値自体を記憶してもよい。エンコーダによる位置検出値から求められるＸ線源１０やカメラ２０の位置は、Ｘ線源１０およびカメラ２０の実際の位置を表す。以下、この位置のことを、モータからの位置検出値に基づくＸ線源１０やカメラ２０の実際の位置座標という意味で、Ｘ線源１０やカメラ２０の「モータ実座標」と称する。リスト生成部４０は、モータ実座標を定期的に取得するモータ実座標取得部と捉えることができる。

リスト生成部４０がモータ実座標を取得する時間間隔は、要求される時間分解能や許容できる通信量などを考慮して適宜決定すればよい。当該時間間隔は、たとえば、１ミリ秒間隔や１０ミリ秒間隔とすることができる。

なお、リスト生成部４０が取得したモータ実座標は必ずしも全て記憶する必要はなく、撮影タイミングに近い時刻における値が記憶されればよい。

次に、ループＬ１におけるステップＳ１０４〜Ｓ１１４の処理について説明する。ステップＳ１０４において、Ｘ線検査装置は、ステージ制御部３５を介して、撮影条件に定義される位置（以下、撮影位置）にＸ線源１０およびカメラ２０を移動させる移動命令を出す。具体的には、ステージ制御部３５は、Ｘ線源１０を撮影位置に移動するようにＸ線源Ｘ軸モータ３１およびＸ線源Ｙ軸モータ３２に移動命令を出し、カメラ２０を撮影位置に移動するようにカメラＸ軸モータ３３およびカメラＹ軸モータ３４に移動命令を出す。

ステップＳ１０６において、Ｘ線検査装置は、移動が完了するまで待機する。移動完了の判別方法は特に限定されない。たとえば、モータから完了信号を受けたタイミングを移動完了とすることができる。あるいは、モータ実座標を監視してモータ実座標が規定範囲（たとえば、目標位置±Ｎマイクロメートル）に入った時点を移動完了とすることができる。あるいは、移動命令を出してから移動距離に応じた規定の時間が経過した時点を移動完了とすることもできる。

ステージの移動が完了したら、ステップＳ１０８において、Ｘ線検査装置は撮影命令を出す。撮影命令にしたがって、Ｘ線源制御部１５はＸ線源１０が検査対象物Ｓに対してＸ
線照射するよう制御し、カメラ制御部２５はカメラ２０が露光および撮影データの取得を行うように制御する。撮影データはメモリに記憶される。

ステップＳ１１０において、Ｘ線検査装置は、撮影の完了まで待機する。撮影完了の判別方法は特に限定されない。たとえば、カメラ２０から撮影完了信号を受けたタイミングを撮影完了とすることができる。あるいは、撮影命令を出した時点から、撮影条件に規定される露光時間が経過したタイミングを撮影完了とすることもできる。

なお、ステージ（Ｘ線源１０やカメラ２０）が一定の速度で一定の軌跡を描き、一定の間隔で撮影を行う場合であれば、撮影ごとの移動命令・移動完了待ち・撮影命令・撮影完了待ちを省略することもできる。この場合、上記軌道に沿って移動するようにステージを制御しつつ、移動距離から求められる規定の時間の経過ごとに撮影を行うようにすればよい。たとえば、ステージを一定の速度で直線軌道や円軌道で移動させつつ、１００ミリ秒間隔で定期的に撮影を行うという制御が考えられる。

ステップＳ１１４において、リスト生成部４０は、カメラ２０から撮影を行ったことを示す撮影フラグ（撮影完了信号）を取得し、取得時刻と関連付けて記憶する。リスト生成部４０は、撮影フラグ取得部と捉えることもできる。フローチャートにおいては、撮影完了後（ステップＳ１１０の後）に撮影フラグが取得されるように記載しているが、撮影フラグの取得は撮影命令発行から完了までの待機のあいだに並行して行われてもよい。

リスト生成部４０は、Ｘ線源１０やカメラ２０のモータ実座標を定期的に取得していることから、撮影フラグを取得したタイミングでのＸ線源１０やカメラ２０のモータ実座標を取得することができる。図４は、Ｘ線源１０およびカメラ２０のモータ実座標と撮影フラグを時刻と関連付けて記憶したリストを示す。図４に示すリストにおいて、時刻４０１はシステムクロック（不図示）から得られる時刻が格納され、Ｘ線源Ｘ軸４０２・Ｘ線源Ｙ軸４０３・カメラＸ軸４０４・カメラＹ軸４０５には各モータから得られるモータ実座標が格納され、カメラ撮影フラグ４０５にはカメラ２０から得られる撮影フラグのオンオフが格納される。

撮影実座標算出部５０は、図４のリストから、撮影が行われた際のＸ線源１０およびカメラ２０の実際の位置を取得する。以下、この位置のことを、撮影が行われた際のＸ線源１０あるいはカメラ２０の実際の位置座標という意味で、Ｘ線源１０やカメラ２０の「撮影実座標」と称する。

図４のリストからは、１枚目の撮影をＸ線源１０およびカメラ２０の位置がそれぞれ（２００，２００）および（５０，５０）の状態で行うように命令したが、実際にはＸ線源１０およびカメラ２０の位置がそれぞれ（２１０，２０５）および（４５．５２）にある状態で撮影が行われたことが分かる。

なお、カメラの撮影フラグは、カメラやカメラ制御ボードの仕様によって撮影の開始時に出力されたり、撮影の完了時に出力されたり、撮影（露光）期間中継続して出力されたりする。撮影実座標算出部５０は、これらの仕様も考慮してＸ線源１０やカメラ２０の撮影実座標を求めるとよい。特に、モータ実座標の取得間隔が露光時間より短い場合には、露光中の平均位置を撮影実座標とするとよい。

図５（ａ）は撮影開始時に撮影フラグがオンとなる場合のリストの例を示す。この場合は、撮影フラグがオンになってから露光時間経過までの時間のあいだの座標の平均値を撮影実座標とするとよい。図５（ｂ）は撮影完了時に撮影フラグがオンとなる場合のリストの例を示す。この場合は、撮影フラグがオンになるまでの露光時間のあいだの座標の平均
値を撮影実座標とするとよい。図５（ｃ）は撮影中に継続して撮影フラグがオンとなる場合のリストの例を示す。この場合は、撮影フラグがオンである期間の座標の平均値を撮影実座標とするとよい。

なお、図３のフローチャートでは、撮影の度にＸ線源１０やカメラ２０の撮影実座標を求めているが、先に全ての撮影を行ってから各画像についての撮影実座標を求めるようにしてもよい。また、リスト生成部４０は、各モータから取得した位置検出値を全て記憶しておく必要はない。本手法においては、撮影タイミングにおける位置検出値があれば十分であるため、撮影タイミングから離れた時点の位置検出値は破棄し、撮影タイミング近くの位置検出値のみを保持するようにしても構わない。

撮影が全て完了したら、ステップＳ１１８において、再構成部６０が、撮影データおよび各撮影における撮影実座標を用いて再構成処理を行う。これにより、検査対象物Ｓの３次元データを得ることができる。再構成処理自体は公知であるため、ここでの説明は省略する。

検査対象物Ｓの３次元データが得られたら、それに基づいて検査部７０が検査対象物Ｓの正常・異常の判断を行う。検査部７０は、設計通りに検査対象物が製造されているか否かを判断する。Ｘ線を用いた３次元データなので、表面欠陥のみでなく内層欠陥も検知することができる。

［本実施形態の有利な効果］
ステージ制御部３５を介して指定の位置（命令位置）にステージを移動させるようにしても、位置決め誤差によって指定された位置とズレが生じる。本実施形態によれば、Ｘ線源１０やカメラ２０を移動させるステージ（モータ）の位置検出値を定期的に取得し、撮影タイミングにおけるステージの位置検出値から、撮影時のＸ線源１０およびカメラ２０の位置を求めている。モータからの位置検出値は高精度であり、たとえば０．１マイクロメートル単位で取得可能である。このように高精度な情報に基づくので、Ｘ線源１０やカメラ２０の実際の位置も高精度に求めることができる。再構成処理の際に、命令位置を用いるのではなくステージのモータから得られる実際の位置を用いることで、ステージの位置ズレ（繰り返し誤差）が生じた場合であっても、高品質な３次元データを得ることができる。

また、本実施形態による手法はＸＹステージを用いたＸ線検査装置に限らず、ＸＹＺステージを用いた構成や回転ステージ（回転テーブル）を用いたＸ線検査装置にも適用が可能であり、適用範囲が広いという利点がある。

また、モータから検出位置を取得しているので、可動部品が増えても追加のセンサは不要である。したがって、本実施形態の手法は低コストで実現できる。

［変形例］
上記の説明では、検査対象物Ｓを固定して、Ｘ線源１０およびカメラ２０を移動させる構成を採用しているが、Ｘ線源１０およびカメラ２０を固定して検査対象物Ｓを移動させる構成を採用してもよい。より一般的には、検査対象物Ｓ、Ｘ線源１０およびカメラ２０を相対的に移動させる任意の構成を採用できる。移動手段（ステージ）の位置検出値を定期的に取得することで、撮影タイミングにおける検査対象物Ｓ、Ｘ線源１０およびカメラ２０の相対的な位置関係を決定することができる。したがって、上記の説明と同様に、指示した撮影位置と実際の撮影位置のあいだに位置ズレが生じても高品質な３次元データを再構成することができる。

上記の説明では、モータの実座標をモータから直接取得するものとして説明しているが、モータドライバやＰＬＣを介して間接的に取得してもよい。撮影フラグも同様に、カメラから直接取得する以外に、カメラ制御ボードやＰＬＣを介して間接的に取得してもよい。

（第２の実施形態）
図６は、本発明の第２の実施形態に係るＸ線検査装置の構成を示す図である。図７は、本実施形態における検査処理の流れを示すフローチャートである。本実施形態に係るＸ線検査装置は、撮影実座標補正部８０および座標系情報記憶部８１を備え、再構成処理Ｓ１１８の前に撮影実座標の補正処理Ｓ１２０が加えられている点が第１の実施形態と異なる。以下では、第１の実施形態と異なる点について主に説明する。

ステージのモータの位置検出値から得られるＸ線源１０やカメラ２０の位置と、Ｘ線源１０やカメラ２０の実際の位置とは完全に一致しているとは限らない。たとえば、ＸＹステージにおいてＸステージの位置検出値がＸ線源１０やカメラ２０のＸ座標を表すと考えられるが、実際にはＸステージがＸ軸と完全に一致するとは限らず、ステージのモータから得られる位置検出値と実際の位置のあいだにズレが生じる。あるいは、設計上はＸ軸とＹ軸が直交しているが、現物は所定の範囲（たとえば８９．９〜９０．１度）でばらつく。製造精度を上げるとコストがかかるため、全ての軸を高精度に製造するとＸ線検査装置のコスト増加につながる。

そこで、本実施形態では、撮影実座標を補正する処理を加えて、第１の実施形態よりもさらに高品質な３次元データを生成できるようにする。

この補正処理のために、モータから得られる検出座標と現実の空間座標の差分を事前に測定しておき、座標系情報記憶部８１に記憶しておく。差分の測定には、座標系のキャリブレーションに用いられる既存の任意の手法を用いればよい。下記に一例を挙げる。

図８（ａ）に示すように、まず、測定治具Ｂがカメラ２０の中心に写るように、Ｘ線源１０とカメラ２０の位置を調整する。このときの座標から、軸間の相対位置ズレを算出できる。

次に、図８（ｂ）に示すように、各軸について、他の軸を固定して当該軸だけを移動させて測定治具Ｂを撮影する。たとえば、Ｘ線源１０のＸ軸角度が設計通りであれば、治具の写る場所はＸ方向にのみ移動するはずである。もし写る場所がＹ方向に移動していればＸ線源のＸ軸がカメラに対して角度ズレがあることが分かる。このように、移動前後で測定治具Ｂの写る場所がどれだけ変化したかによって、軸間の相対角度ズレを算出できる。

撮影実座標補正部８０は、撮影画像のそれぞれについて撮影実座標算出部５０によって求められた座標を、座標系情報記憶部８１に記憶された差分に応じて補正する。これによって、撮影時におけるＸ線源１０およびカメラ２０の実際の位置をさらに精度良く求めることができる。再構成部６０は、精度のよい位置情報を用いて再構成するため、得られる３次元データはさらに高品質なものとなる。

Ｓ 検査対象物
１０ Ｘ線源
２０ Ｘ線カメラ
４０ リスト生成部
５０ 撮影実座標算出部
６０ 再構成部
７０ 検査部

Claims (6)

1. 検査対象物、Ｘ線源、およびＸ線カメラの相対的な位置を変化させて取得した複数の撮影データから前記検査対象物の３次元データを再構成するＸ線検査装置であって、
   検査対象物、Ｘ線源、およびＸ線カメラの少なくともいずれかを、モータの駆動によって移動させるステージと、
   前記モータの位置検出値を定期的に取得し、当該位置検出値を時刻と関連付けて記憶する位置検出手段と、
   前記Ｘ線カメラによる撮影タイミングを時刻と関連付けて記憶する撮影タイミング取得手段と、
   撮影タイミングにおける前記モータの位置検出値から、撮影タイミングにおける前記検査対象物、前記Ｘ線源、および前記Ｘ線カメラの位置関係を求める撮影位置算出手段と、
   前記Ｘ線カメラによって撮影された撮影データと、当該撮影データの撮影タイミングにおける前記位置関係と、を用いて再構成処理を行う再構成手段と、
   を備えるＸ線検査装置。
2. 前記撮影位置算出手段は、設計情報と前記位置検出手段によって取得された前記モータの位置検出値とに基づいて、前記位置関係を求める、
   請求項１に記載のＸ線検査装置。
3. 前記撮影位置算出手段は、前記設計情報と前記モータの位置検出値とに基づいて求められた前記位置関係を、あらかじめ取得されたキャリブレーション情報に基づいて補正する、
   請求項２に記載のＸ線検査装置。
4. 前記検査対象物は固定されており、
   前記ステージは、前記Ｘ線源および前記Ｘ線カメラを移動させる、
   請求項１から３のいずれか１項に記載のＸ線検査装置。
5. 検査対象物、Ｘ線源、およびＸ線カメラの相対的な位置を変化させて取得した複数の撮影データから前記検査対象物の３次元データを再構成するＸ線検査装置におけるＸ線検査方法であって、
   検査対象物、Ｘ線源、およびＸ線カメラの少なくともいずれかをモータの駆動によって移動させるステージから、前記モータの位置検出値を定期的に取得し、当該位置検出値を時刻と関連付けて記憶する位置取得ステップと、
   前記ステージを駆動して検査対象物、Ｘ線源、およびＸ線カメラの相対位置を変えつつ、前記Ｘ線カメラによって複数の画像を撮影する撮影ステップと、
   前記Ｘ線カメラによる撮影タイミングを時刻と関連付けて記憶する撮影タイミング取得ステップと、
   撮影タイミングにおける前記モータの位置検出値から、撮影タイミングにおける前記検査対象物、前記Ｘ線源、および前記Ｘ線カメラの位置関係を求める撮影位置算出ステップと、
   前記Ｘ線カメラによって撮影された撮影データと、当該撮影データの撮影タイミングにおける前記位置関係と、を用いて再構成処理を行う再構成ステップと、
   を含む、Ｘ線検査方法。
6. 請求項５に記載の方法の各ステップをコンピュータに実行させるためのプログラム。

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