DE112020006804T5

DE112020006804T5 - Röntgenprüfsystem, röntgenprüfverfahren und programm

Info

Publication number: DE112020006804T5
Application number: DE112020006804.8T
Authority: DE
Inventors: Yuji Karita; Hironori Kasahara
Original assignee: Omron Corp; Omron Tateisi Electronics Co
Current assignee: Omron Corp
Priority date: 2020-02-27
Filing date: 2020-12-16
Publication date: 2022-12-29
Also published as: CN115004018A; JP7452091B2; JP2021135153A; WO2021171750A1

Abstract

Röntgenprüfsystem, umfassend: eine Röntgenerzeugungseinheit zur Bestrahlung eines Prüfobjekts mit Röntgenstrahlen, eine Röntgenaufnahmeeinheit zur Aufnahme von Röntgenstrahlen, die das Prüfobjekt durchdringen, eine Speichereinheit zum Speichern von Informationen, die sich zumindest auf das Prüfobjekt beziehen, eine Einheit zur Erstellung dreidimensionaler Daten, die unter Verwendung von Informationen von mehreren Röntgenbildern, die von der Röntgenaufnahmeeinheit aufgenommen werden, dreidimensionale Daten des Prüfobjekts erstellt, eine Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung, die unter Verwendung der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts, bei der die Form der zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt als zweidimensionale Form einer vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche gezeigt wird, ein Bild für Benutzerbestätigung erstellt, und eine Anzeigeeinheit zur Anzeige des von der Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung erstellten Bildes.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Röntgenprüfsystem, Prüfverfahren und Programm unter Verwendung von Röntgenstrahlen.
HINTERGRUNDTECHNIK
Herkömmlich sind Techniken zur Messung dreidimensionaler Form eines Objekts unter Verwendung von Bildern bekannt, die durch Bestrahlung des Objekts mit Beleuchtungslicht aufgenommen werden (z. B. Patentdokument 1), und, indem die gemessene Form mit vorab festgelegten Beurteilungskriterien verglichen wird, werden das Vorhandensein oder Nichtvorhandenseins und die Art von Fehlern in dem Objekt geprüft.
Bei der Ausführung einer solchen Prüfung anhand der dreidimensionalen Form eines Objekts ist es wünschenswert, dass der Benutzer den konkreten Zustand der zu prüfenden Stelle und die Plausibilität des Beurteilungsergebnisses „gut“ oder „mangelhaft“ überprüfen kann. Außerdem ist es wünschenswert, dass bei der Ausführung einer Arbeit zur Festlegung der Beurteilungskriterien (im Folgenden als Lehren bezeichnet) vor der Prüfung der tatsächliche Zustand der zu prüfenden Stelle und die zu prüfende Stelle überprüft werden kann.
Im Hinblick darauf ist in Patentdokument 2 eine Technik vorgeschlagen, bei der die Form der zu prüfenden Stelle in einem Sichtprüfgerät in mehreren Bildern vorgelegt wird, wodurch der Benutzer die zu prüfende Stelle ohne weiteres überprüfen kann. Konkret ist offenbart, dass ein Bild, das den Zustand des von oben der Substratoberfläche überschauten Umfangs des Anzeigegegenstands eines zu prüfenden, mit Bauteilen bestückten Substrats zeigt, ein Bild mit der YZ-Ebene als Vorderseite und ein Bild mit der XZ-Ebene als Vorderseite auf dem gleichen Bildschirm angezeigt werden, wobei ihr Maßstab und Positionen aufeinander abgestimmt sind.
In der vorliegenden Beschreibung wird die vertikale Richtung als Z-Achse, die horizontale Richtung, die die Tiefe angibt, als Y-Achse und die horizontale Richtung, die die Y-Achse im rechten Winkel schneidet, als X-Achse bezeichnet.
In den letzten Jahren sind demgegenüber verschiedene Produkte immer kleiner und präziser, und die Anzahl der Bauteile, die durch eine Sichtprüfung nicht genau geprüft werden können, nimmt zu, da die Dichte der montierten Bauteile, z. B. auf einem mit Bauteilen bestückten Substrat, zunimmt und die Anzahl der Bauteile, die sich im Schatten des Sichtfelds einer Aufnahmevorrichtung befinden, zunimmt. Im Hinblick darauf sind Techniken zur Ausführung der Prüfung von Teilen, die durch Röntgen-CT(Computed Tomography)-Prüfung von außen nicht geprüft werden können, allgemein bekannt (z. B. Patentdokument 3).
ERMITTELTE SCHRIFTEN
PATENTDOKUMENTE

Patentdokument 1: JP 2010-71782 A
Patentdokument 2: JP 2012-149905 A
Patentdokument 3: JP 2017-223468 A

ÜBERSICHT DER ERFINDUNG
ZU LÖSENDE AUFGABE DER ERFINDUNG
Es ist wünschenswert, dass der Benutzer den Zustand der zu prüfenden Stelle auch dann überprüfen kann, wenn eine dreidimensionale Form durch Röntgen-CT-Prüfung erhalten und geprüft wird, wie bei der im obigen Patentdokument 3 angegebenen Technik. Allerdings ist die in Patentdokument 2 angegebene Technik auf die Sichtprüfung unter Verwendung von sichtbarem Licht anwendbar, und das Problem besteht, dass der Zustand der zu prüfenden Stelle und der zu messenden Stelle bei einer Prüfung unter Verwendung von Röntgen-CT-Bildern nicht überprüft werden kann.
Die vorliegende Erfindung erfolgte angesichts des obigen Sachverhalts und zielt darauf ab, eine Technik bereitzustellen, bei der der Benutzer den Zustand der Stelle eines Prüfobjekts ohne weiteres überprüfen kann, wenn eine Prüfung durch Messung dreidimensionaler Form eines Prüfobjekts unter Verwendung mehrerer Röntgenbilder durchgeführt wird.
MITTEL ZUM LÖSEN DER AUFGABE
Um den obigen Zweck zu erreichen, nimmt die vorliegende Erfindung die folgenden Ausbildungen an.
Ein Röntgenprüfsystem gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst:

eine Röntgenerzeugungseinheit zur Bestrahlung eines Prüfobjekts mit Röntgenstrahlen,
eine Röntgenaufnahmeeinheit zur Aufnahme von Röntgenstrahlen, die das Prüfobjekt durchdringen,
eine Speichereinheit zum Speichern von Informationen, die sich zumindest auf das Prüfobjekt beziehen,
eine Einheit zur Erstellung dreidimensionaler Daten, die unter Verwendung von Informationen von mehreren Röntgenbildern, die von der Röntgenaufnahmeeinheit aufgenommen werden, dreidimensionale Daten des Prüfobjekts erstellt,
eine Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung, die unter Verwendung der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts, bei der die Form der zu prüfenden Stelle als zweidimensionale Form einer vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche gezeigt wird, ein Bild für Benutzerbestätigung erstellt, und
eine Anzeigeeinheit zur Anzeige des von der Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung erstellten Bildes.

Das obige Röntgenprüfsystem kann als Röntgenprüfgerät ausgebildet werden, in dem jede Einheit integriert ist. Der Begriff „vom Benutzer gewünschte zu betrachtende Fläche“ ist ferner nicht auf eine von außen sichtbare Fläche beschränkt, sondern umfasst auch einen Schnitt an einer beliebigen Position (und Richtung) in einer durch dreidimensionale Daten definierten Form. Nach dieser Ausbildung ist es möglich, die dreidimensionale Form des Prüfobjekts aus mehreren Bilddaten zu messen, bei denen das Prüfobjekt mit Röntgenstrahlen aufgenommen werden, und eine Stelle, die der Benutzer zu überprüfen wünscht, als zweidimensionale Form anzuzeigen, die aus einer Richtung gezeigt wird, die der Benutzer zu überprüfen wünscht. So kann der Benutzer auch den Zustand einer Stelle, die nicht anhand der Informationen zum Aussehen des Prüfobjekts überprüft werden kann, ohne weiteres überprüfen.
Die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung kann auch umfassen:

eine Referenzflächenspezifizierungseinheit zur Spezifizierung einer vorbestimmten horizontalen tomografischen Position der zu prüfenden Stelle unter Verwendung dreidimensionaler Daten des Prüfobjekts,
eine Einheit zum Erhalten eines horizontalen Projektionsbildes, die ein horizontales Projektionsbild erhält, bei dem eine Projektionsverarbeitung für einen vorbestimmten Abstand in vertikaler Richtung von der horizontalen tomografischen Position vorgenommen wird,
eine Helligkeitsprofilerhaltungseinheit zum Erhalten eines Helligkeitsprofils der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche auf der Basis des horizontalen Projektionsbildes, und
eine Einheit zur Erstellung eines relativen Formprofils, die das Helligkeitsprofil in ein relatives Formprofil umwandelt, das eine physikalische Größe bezüglich der Form der zu prüfenden Stelle als einen relativen Wert angibt.

Hierbei ist die physikalische Größe bezüglich der Form z. B. eine Abmessung, die eine Höhe, eine Breite usw. angibt, eine Neigung, ein Winkel usw. Nach dieser Ausbildung ist es möglich, dem Benutzer unter Verwendung eines Helligkeitsprofils, das aus dem horizontalen Projektionsbild erhalten wird, das auf der Basis dreidimensionaler Daten des Prüfobjekts erhalten werden kann, ein Bild zu zeigen, das die physikalische Größe bezüglich der zweidimensionalen Form, bei der eine Stelle, die der Benutzer zu überprüfen wünscht, aus einer Richtung gezeigt wird, die der Benutzer zu überprüfen wünscht. So ist es bspw. möglich, statt eines Bildes, bei dem die Abmessung mit absoluten Werten angegeben ist, ein Bild, bei dem die Abmessung mit einem relativen Umriss in Bezug auf einen vorgegebenen Punkt angegeben ist, anzuzeigen, und dem Benutzer ein Bild zweidimensionaler Form zu zeigen, ohne das Helligkeitsprofil in Abmessungen umzuwandeln.
Die Helligkeitsprofilerhaltungseinheit kann das Helligkeitsprofil für das horizontale Projektionsbild erhalten, indem eine Projektionsverarbeitung in die Tiefenrichtung der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche in einem Projektionsbereich durchgeführt wird, der unter Verwendung der mindestens in der Speichereinheit gespeicherten Informationen bezüglich des Prüfobjekts berechnet wird.
Nach dieser Ausbildung ist es möglich, den Bereich der Projektionsbearbeitung unter Verwendung von Daten wie Form und Abmessungen bezüglich der zu prüfenden Stelle zu bestimmen, so dass die Stelle des Prüfobjekts, die der Benutzer zu überprüfen wünscht, mit hoher Genauigkeit extrahiert und die Projektionsbearbeitung durchgeführt werden kann. Hierdurch kann das Helligkeitsprofil der Stelle, die der Benutzer zu überprüfen wünscht, mit hoher Genauigkeit extrahiert werden.
Die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung kann ferner eine Maßstabsanpassungseinheit weiter umfassen, die eine Verarbeitung zur Anpassung des Maßstabs der Ordinaten- und Abszissenachse in dem Bild für Benutzerbestätigung unter Verwendung des relativen Formprofils und der in der Speichereinheit gespeicherten Informationen über das Prüfobjekt durchführt.
Nach dieser Ausbildung ist es möglich, unter Verwendung von Abmessungsdaten der zu prüfenden Stelle dem Benutzer ein zweidimensionales Bild anzuzeigen, dass die Form der zu prüfenden Stelle in Abmessungen zeigt. Da die aus dem relativen Formprofil erhaltene zweidimensionale Form lediglich den relativen Umriss der zu prüfenden Stelle anzeigt, ist es möglich, durch die Anzeige der zu prüfenden Stelle in Abmessungen mit übereingestimmten Maßstäben der Ordinaten- und Abszissenachse ein einfach zu erkennendes Bild vorzulegen, dass die Unannehmlichkeiten des Benutzers unterdrückt.
Das Prüfobjekt kann ferner ein mit Bauteilen bestücktes Substrat sein,
die zu prüfende Stelle kann ein gelöteter Teil einer Bauteilelektrode sein,
die vom Benutzer gewünschte zu betrachtenden Fläche kann eine Fläche sein, die die Längs- oder Querrichtung der Bauteilelektrode zeigt,
die vorgegebene horizontale tomografischen Position der zu prüfenden Stelle kann eine Verbindungsfläche zwischen Lot und Substrat sein, und
die physikalische Größe bezüglich der Form zu prüfenden Stelle kann eine Abmessung sein, die die Höhe zeigt.
Nach dieser Ausbildung ist es möglich, auf einem Substrat mit hoher Dichte der montierten Bauteile die Form einer Benetzung (nachstehend Meniskus) des gelöteten Teils an einer Stelle, die von außen nicht überprüft werden kann, ohne weiteres zu überprüfen.
Die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung kann ferner eine Einheit zur Spezifizierung der Anfangsposition eines Lotmeniskus weiter umfassen, die die Anfangsposition des Lotmeniskus auf der Basis des Gradienten des relativen Formprofils und der in der Speichereinheit gespeicherten Informationen spezifiziert. Auf der Basis der so spezifizierten Anfangsposition des Lotmeniskus kann ein Bild angezeigt werden, das eine zweidimensionale Form mit übereingestimmten Maßstäben der Ordinaten- und Abszissenachse der Form im gelöteten Teil der Bauteilelektrode zeigt, die.
Die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung kann ferner eine Elektrodenformschätzungseinheit weiter umfassen, die die Form der Bauteilelektrode auf der Basis des relativen Formprofils und der in der Speichereinheit gespeicherten Informationen schätzt und diese in dem Bild für Benutzerbestätigung wiedergibt. Nach dieser Ausbildung ist es möglich, dass der Benutzer die Form des Lotmeniskus sowie die Lagebeziehung zur Bauteilelektrode überprüft, auch an Stellen, die für den Benutzer nicht sichtbar sind.
Die Speichereinheit kann ferner die Messinformationen der Sichtprüfung, die am mit Bauteilen bestückten Substrat durchgeführt wird, weiter speichern, und
die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung kann eine Einheit zur Zusammensetzung der Elektrodenform, die die Form der Bauteilelektrode aus den Messinformationen erhält, diese entsprechend dem relativen Formprofil in Skala transformiert und in dem Bild für Benutzerbestätigung widerspiegelt, weiter umfassen.
Da die Form der Bauteilelektrode durch die Bilddaten für die Sichtprüfung spezifiziert werden kann, kann der Benutzer durch die Zusammensetzung und Verwendung der hierdurch erhaltenen Form der Bauteilelektrode die Form der Bauteilelektrode und des Lotmeniskus des gelöteten Teils aus dem Bild überprüfen, in dem die Form der tatsächlichen Bauteilelektrode widerspiegelt ist.
Die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung kann weiter umfassen:

die Referenzflächenspezifizierungseinheit zur Spezifizierung der horizontalen tomografischen Position eines vorbestimmten Teils des Messobjekts auf der Basis der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts,
die Einheit zum Erhalten eines horizontalen Projektionsbildes, die ein horizontales Projektionsbild für die dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts erhält, bei dem eine Projektionsverarbeitung für einen vorbestimmten Abstand in vertikaler Richtung von der horizontalen tomografischen Position des vorbestimmten Teils vornimmt,
die Helligkeitsprofilerhaltungseinheit zum Erhalten eines Helligkeitsprofils der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche auf der Basis des horizontalen Projektionsbildes,
eine Einheit zum Erhalten eines vertikalen Projektionsbildes, die ein vertikales Projektionsbild für die dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts erhält, bei dem eine Projektionsverarbeitung in die Tiefenrichtung der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche durchgeführt wird, und
eine Einheit zur Erstellung eines absoluten Formprofils, die das Helligkeitsprofil in ein absolutes Formprofil umwandelt, das eine physikalische Größe bezüglich der Form der zu prüfenden Stelle als einen absoluten Wert angibt.

Nach dieser Ausbildung ist es möglich, dem Benutzer ein Bild zu zeigen, bei dem die Abmessungen bezüglich der zweidimensionalen Form einer Stelle, die der Benutzer zu überprüfen wünscht, aus einer Richtung gezeigt werden, die der Benutzer zu überprüfen wünscht. So kann der Benutzer die Form der zu prüfenden Stelle anhand eines Bildes, das eine zweidimensionale Form zeigt, die mit der tatsächlichen Form der zu prüfenden Stelle übereinstimmt, auf der Weise ohne Unannehmlichkeiten überprüfen.
Die Einheit zum Erhalten des vertikalen Projektionsbildes kann auch den Projektionsbereich für die Projektionsverarbeitung in Tiefenrichtung der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche bestimmen, indem das horizontale Projektionsbild und die in der Speichereinheit gespeicherten Informationen über das Prüfobjekt verwendet werden.
Nach dieser Ausbildung ist es möglich, den Bereich der Projektionsverarbeitung des Bildes zum Erhalten des Helligkeitsprofils mit dem Bereich der Projektionsverarbeitung zum Erhalten des vertikalen Projektionsbilds abzustimmen, so dass es möglich ist, die Position der zu prüfenden Stelle, die als Referenz der ursprünglichen Daten zum Erhalten des absoluten Formprofils dient, übereinzustimmen, und ein absolutes Formprofil mit guter Genauigkeit zu erhalten.
Die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung kann ferner eine Elektrodenformschätzungseinheit weiter umfassen, die die Form der Bauteilelektrode auf der Basis des absoluten Formprofils und der in der Speichereinheit gespeicherten Informationen schätzt und diese in dem Bild für Benutzerbestätigung wiedergibt. Nach dieser Ausbildung ist es möglich, dass der Benutzer die Form des Lotmeniskus sowie die Lagebeziehung zur Bauteilelektrode überprüft, auch an Stellen, die für den Benutzer nicht sichtbar sind.
Die Speichereinheit kann ferner die Messinformationen der Sichtprüfung, die am mit Bauteilen bestückten Substrat durchgeführt wird, weiter speichern, und
die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung kann eine Einheit zur Zusammensetzung der Elektrodenform, die die Form der Bauteilelektrode aus den Messinformationen erhält, diese entsprechend dem absoluten Formprofil in Skala transformiert und in dem Bild für Benutzerbestätigung widerspiegelt, weiter umfassen.
Nach dieser Ausbildung ist es möglich, dass der Benutzer bei der Prüfung des mit Bauteilen bestückten Substrats die Form der gewünschten zu prüfenden Stelle anhand eines Bildes, das eine zweidimensionale Form entsprechend der aus dem mit Röntgenstrahlen aufgenommenen Bild erhaltenen tatsächlichen Form des Lotmeniskus und der aus dem Bild bei der Sichtprüfung erhaltenen tatsächlichen Form der Bauteilelektrode zeigt, ohne weiteres und mit hoher Genauigkeit überprüfen.
Das Röntgenprüfverfahren gemäß der vorliegenden Erfindung umfasst ferner die folgenden Schritte:

Erhalten von mehreren Röntgenbildern, bei denen das Prüfobjekt unter Verwendung von Röntgenstrahlen aufgenommen wird,
Erstellen dreidimensionaler Daten des Prüfobjekts unter Verwendung von Informationen der mehreren Röntgenbilder, bei denen das Prüfobjekt aufgenommen wird,
Erstellen eines Bildschirms für Benutzerbestätigung, die unter Verwendung der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts, der die Form der zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt als zweidimensionale Form der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche zeigt, und

Anzeigen des Bildschirms für Benutzerbestätigung.
Die vorliegende Erfindung kann ferner auch als ein Programm, das einen Computer dazu veranlasst, das obige Verfahren auszuführen, sowie als ein computerlesbares Aufzeichnungsmedium, auf dem ein solches Programm nicht-übertragbar aufgezeichnet ist, aufgefasst werden.
Alle obigen Ausbildungen und Verarbeitungen können miteinander kombiniert werden, um die vorliegende Erfindung auszubilden, sofern sich kein technischer Widerspruch ergibt.
EFFEKTE DER ERFINDUNG
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist es möglich, in einem Fall, in dem die dreidimensionale Form eines Prüfobjekts unter Verwendung von mehreren Röntgenbildern gemessen und geprüft wird, eine Technik bereitzustellen, mit der der Benutzer den Zustand der zu prüfenden Stelle ohne weiteres überprüfen kann.
Figurenliste

1 zeigt eine schematische Ansicht der allgemeinen Ausbildung eines Röntgenprüfgeräts gemäß einem Anwendungsbeispiel der vorliegenden Erfindung.
2 zeigt ein Flussdiagramm, das den Ablauf der Verarbeitung zur Anzeige eines Bestätigungsbildes im Röntgenprüfgerät gemäß dem Anwendungsbeispiel der vorliegenden Erfindung zeigt.
3 zeigt ein Blockdiagramm, das die allgemeine Ausbildung eines Röntgenprüfsystems gemäß Ausführungsform 1 zeigt.
4 zeigt eine Ansicht zur Veranschaulichung der Beziehung zwischen einer zu prüfenden Stelle, deren dreidimensionalen Daten, einem horizontalen Projektionsbild und einem Helligkeitswertprofil gemäß Ausführungsform 1.
5 zeigt eine Ansicht für ein Beispiel der Bildverarbeitung im Röntgenprüfsystem gemäß Ausführungsform 1.
6 zeigt ein Flussdiagramm, das den Ablauf der Verarbeitung zur Anzeige des Bestätigungsbildes im Röntgenprüfgerät gemäß Ausführungsform 1 zeigt.
7 zeigt ein Blockdiagramm, das die allgemeine Ausbildung des Röntgenprüfsystems gemäß Ausführungsform 2 zeigt.
8 zeigt eine Ansicht zur Veranschaulichung der Beziehung zwischen der zu prüfenden Stelle, deren dreidimensionalen Daten, einem vertikalen Projektionsbild und dem Helligkeitswertprofil gemäß Ausführungsform 2.
9 zeigt eine Ansicht für ein Beispiel der Bildverarbeitung im Röntgenprüfsystem gemäß Ausführungsform 2.
10 zeigt ein Flussdiagramm, das den Ablauf der Verarbeitung zur Anzeige des Bestätigungsbildes im Röntgenprüfgerät gemäß Ausführungsform 2 zeigt.
11 zeigt ein Blockdiagramm, das die allgemeine Ausbildung des Röntgenprüfsystems gemäß Ausführungsform 3 zeigt.

AUSFÜHRUNGSFORMEN DER ERFINDUNG
<Anwendungsbeispiel>
(Ausbildung des Anwendungsbeispiels)
Nachfolgend wird ein Beispiel der Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung erläutert. Die vorliegende Erfindung kann bspw. als Röntgenprüfgerät zur Aufnahme eines Prüfobjekts (z. B. eines mit Bauteilen bestückten Substrats) mit Röntgenstrahlen und zur Prüfung des Prüfobjekts auf der Basis der aufgenommenen Bilder angewendet werden. 1 zeigt eine schematische Ansicht der allgemeinen Ausbildung eines Röntgenprüfgeräts 9 gemäß einem vorliegenden Anwendungsbeispiel. Das Röntgenprüfgerät 9 besteht im Überblick aus einem Steuerendgerät 91, einer Röntgenquelle 92, einer Röntgenkamera 93 und einer Bildaufnahme 94.
Das Steuerendgerät 91 kann z. B. aus einem Universalrechner ausgebildet werden, und ist mit jeder Funktion, einer Antriebssteuerung 911, einer Speicherung 912, einer Erstellung 913 dreidimensionaler Daten, einer Prüfung 914, einer Bilderstellung 915, und einer Anzeige 916, versehen.
Der Röntgenquelle 92 bestrahlt ein Prüfobjekt O, das von nicht dargestellten Transportrollen transportiert wird, mit Röntgenstrahlen, und die Röntgenkamera 93 nimmt Röntgenstrahlen auf, die das Prüfobjekt O durchdringen. Die Röntgenquelle 92 kann sich durch eine X-Auflage 921 und eine Y-Auflage 922 bewegen, und die Röntgenkamera 93 kann sich durch eine X-Auflage 931 und eine Y-Auflage 932 bewegen. Die Röntgenquelle 92 und die Röntgenkamera 93 bewegen sich durch diese Auflagen jeweils auf kreisförmigen Bahnen C1, C2, und die Aufnahme wird an verschiedenen Positionen auf den Bahnen durchgeführt.
Das Antriebssteuerung 911 steuert den Antrieb jedes Teils, der das Röntgenprüfgerät 9 ausbildet. Hierdurch nimmt das Röntgenprüfgerät 9 unter Änderung der relativen Positionen des Prüfobjekts O, der Röntgenquelle 92 und der Röntgenkamera 93 aus mehreren Aufnahmepositionen das Prüfobjekt O auf.
In der Speicherung 912 werden zumindest Informationen über das Prüfobjekt O (z. B. bei einem mit Bauteilen bestückten Substrat die Art, Form und Abmessungen der Bauteile usw.), Informationen über Prüfkriterien wie Schwellwerte usw. gespeichert. Außerdem können auch ein Programm zur Steuerung des Prüfgeräts und später beschriebene Daten zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung abgelegt werden.
Die Erstellung 913 dreidimensionaler Form erstellt dreidimensionale Daten des Prüfobjekts O (oder eines Teils davon, einer zu prüfenden Stelle) aus mehreren Röntgenbildern, die wie obig aufgenommen werden. Beim Verfahren zur Erstellung (Konstruktion) solcher Daten sind allgemein bekannte Techniken wie CT (Computertomographie) oder Tomosynthese anwendbar, so dass auf eine detaillierte Erläuterung verzichtet wird. Außerdem vergleicht die Prüfung 914 die in der Erstellung 913 dreidimensionaler Daten und in der Speicherung 912 gespeicherten Prüfkriterien, wodurch eine Prüfung zur Beurteilung, ob das Prüfobjekt O gut oder schlecht ist, durchgeführt wird.
Die Bilderstellung 915 verwendet die von der Erstellung 913 dreidimensionaler Daten erstellten dreidimensionalen Daten, um ein Bild für Benutzerbestätigung (z. B. ein Bild mit der XZ-Ebene des Prüfobjekts als Vorderseite), dass die Form der zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt O als zweidimensionale Form bei Betrachtung aus einer vorgegebenen Richtung zeigt. Die Anzeige 916 besteht aus einer Anzeigevorrichtung, wie z. B. einem Flüssigkristalldisplay, und zeigt das von der Bilderstellung 915 erstellte Bild für Benutzerbestätigung an.
(Verarbeitungsablauf)
Der Ablauf der obigen Verarbeitung durch das Röntgenprüfgerät 9 im vorliegenden Anwendungsbeispiel ist in 2 dargestellt. Zunächst nimmt das Röntgenprüfgerät 9 das Prüfobjekt O aus mehreren verschiedenen Positionen mit Röntgenstrahlen auf und erhält mehrere Röntgenbilddaten (S 901). Als Nächstes erstellt das Röntgenprüfsystem 9 aus den in Schritt S901 erhalten mehreren Röntgenbilddaten dreidimensionale Daten des Prüfobjekts O(S902).
Das Röntgenprüfgerät 9 führt anschließend auf der Basis der in Schritt S902 erstellten dreidimensionalen Daten die Prüfung des Prüfobjekts O durch (S903). Konkret wird z. B. durch den Vergleich der dreidimensionalen Daten mit vorab in der Speicherung 912 gehaltenen Prüfkriterien (Schwellwerten) bezüglich der Form des Prüfobjekts O beurteilt, ob das Prüfobjekt O gut oder schlecht ist. Das Beurteilungsergebnis kann auf der Anzeige 916 angezeigt werden.
Das Röntgenprüfgerät 9 führt weiterhin unter Verwendung der in Schritt S902 erstellten dreidimensionalen Daten eine Vorverarbeitung zur Erstellung des Bildes für Benutzerbestätigung aus (S904). Konkret wird bspw. ein Helligkeitsprofil in einer vom Benutzer gewünschten Richtung (z. B. eine Richtung, in der die XZ-Ebene des Prüfobjekts O die Vorderseite ist) bezüglich der zu prüfenden Stelle aus den dreidimensionalen Daten erhalten.
Dann erstellt das Röntgenprüfgerät 9 auf der Basis der Verarbeitung in Schritt S904 ein Bild für Benutzerbestätigung, dass die Form der zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt O bei der Betrachtung aus der vom Benutzer gewünschten Richtung als zweidimensionale Form zeigt (S905). Konkret wird z. B. ein Bild erstellt, das als relatives Formprofil zeigt, das die Abmessungen bezüglich der Form der zu prüfenden Stelle relativ zeigt.
Das Röntgenprüfgerät 9 zeigt dann das in Schritt S904 erstellte Bild auf dem auf der Anzeige 916 an (Schritt S906) und beendet die Reihe der Verarbeitungen. Hinsichtlich der Anzeige auf der Anzeige 916 kann automatisch ein Bild einer vorbestimmten, zu prüfenden Stelle angezeigt werden oder auf die Eingabe von Anweisungen durch den Benutzer wartend ein Bild entsprechend den Anweisungen angezeigt werden. Es ist auch möglich, zusammen mit den Prüfergebnissen von Schritt S903 ein Bild für Benutzerbestätigung anzuzeigen.
Mit einem solchen Röntgenprüfgerät 9 gemäß dem vorliegenden Anwendungsbeispiel kann der Benutzer auch dann, wenn die Form der zu prüfenden Stelle von außen nicht überprüft werden kann, die Form der betreffenden Stelle ohne weiteres überprüfen. Hierdurch kann das Röntgenprüfgerät ohne weiteres beurteilen, ob die Prüfergebnisse richtig oder falsch sind, Prüfkriterien festlegen oder korrigieren.
<Ausführungsform 1>
Als nächstes werden noch ausführliche Beispiele der vorliegenden Erfindung anhand der 3 bis 6 erläutert. Die Abmessungen, Werkstoffe, Formen und relativen Anordnungen der in dieser Ausführungsform angegebenen Bauteile sind jedoch nicht dazu bestimmt, den Umfang der vorliegenden Erfindung auf diese allein zu beschränken, sofern nichts anderes angegeben ist.
(Systemausbildung)
3 zeigt ein Blockdiagramm, das die funktionale Ausbildung des Röntgenprüfsystems 1 gemäß der Ausführungsform zeigt. Das Röntgenprüfsystem 1 dieser Ausführungsform, das in der Zeichnung nicht dargestellt ist, besteht aus einer CT-Vorrichtung und einem Informationsverarbeitungsendgerät und wird z. B. für die Prüfung eines mit Bauteilen bestückten Substrats verwendet.
Die CT-Vorrichtung ist mit einer Röntgenquelle 11, einer Röntgenkamera 12 und einer Auflage 13 versehen, die das Prüfobjekt hält, und, indem sich jede Ausbildung relativ zueinander bewegt, kann ein Tomogramm von unterschiedlichen Positionen (und Richtungen) des Prüfobjekts erhalten. Da gewünschte allgemein bekannte Techniken für die CT-Vorrichtung angewendet werden können, wird eine detaillierte Erläuterung der Röntgenquelle 11, der Röntgenkamera 12 und der Auflage 13 usw. weggelassen.
Das Informationsverarbeitungsendgerät kann ein Allzweckcomputer sein, der bspw. mit einer Speicherung 24 einschließlich eines Prozessors wie einer CPU (central processing unit), eines DSP (digital signal processor) usw., eines Hauptspeichers wie eines Nur-Lese-Speichers (ROM), eines Arbeitsspeichers mit direktem Zugriff (RAM) usw. und EPROM, eines Hilfsspeichers wie eines Festplattenlaufwerks (HDD), eines Wechselmediums usw., einem Eingang 25 wie einer Tastatur, einer Maus usw., einem Ausgang 26 wie einer Flüssigkristallanzeige usw. versehen ist. Das Informationsverarbeitungsendgerät kann aus einem einzigen Computer oder aus mehreren miteinander verbundenen Computern bestehen.
Ein Betriebssystem (OS), verschiedene Programme, verschiedene Informationen über das Prüfobjekt, verschiedene Prüfkriterien usw. werden im Hilfsspeicher abgelegt, und die darin abgelegten Programme werden in den Arbeitsbereich des Hauptspeichers geladen, um ausgeführt zu werden, und durch die Ausführung der Programme wird jedes Bauteil usw. derart gesteuert, dass ein Funktionsteil realisiert werden kann, der einen vorbestimmten Zweck erfüllt, wie unten beschrieben. Einige oder alle Funktionsteile können durch eine Hardware-Schaltung wie einen ASIC (Application Specific Integrated Circuit) oder ein FPGA (fieldprogrammable grid array) realisiert werden.
Nachfolgend wird jeder Funktionsteil des Informationsverarbeitungsendgeräts erläutert. Das Informationsverarbeitungsendgerät weist eine Steuerung 21, eine Erstellung 22 dreidimensionaler Daten und Erstellung 23 eines Bildes für Bestätigung auf. Die Steuerung 21 steuert jeden Teil der CT-Vorrichtung und des Informationsverarbeitungsendgeräts, nimmt z. B. eine Ansteuersteuerung der Röntgenquelle 11, der Röntgenkamera 12 und der Auflage 13, eine Steuerung der Eingabegeräte des Eingangs 25, und eine Ausgangssteuerung an den Ausgang 26 usw. vor.
Die Erstellung 22 dreidimensionaler Daten erstellt Daten dreidimensionaler Form der zu prüfenden Stelle (im Folgenden einfach als dreidimensionale Daten bezeichnet) auf der Basis von mehreren Tomogrammen von Röntgen des Prüfobjekts, die von der CT-Vorrichtung erhalten werden. Obwohl nicht im Detail beschrieben, erfolgt eine Prüfung, um zu beurteilen, ob das Prüfobjekt gut ist oder nicht, indem die erstellten dreidimensionalen Daten mit vorbestimmten Prüfkriterien verglichen werden.
(Im Hinblick auf Erstellung eines Bildes für Bestätigung)
Die Erstellung 23 eines Bildes für Bestätigung erstellt ein Bild für Benutzerbestätigung, dass die Form der gewünschten zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt als zweidimensionale Form bei der Betrachtung aus einer vorbestimmten Richtung zeigt, unter Verwendung der dreidimensionalen Daten, die durch die Erstellung 22 dreidimensionaler Daten erstellt werden. Die Erstellung 23 eines Bildes für Bestätigung ist weiter mit jedem Funktionsteil, also einer Referenzflächenspezifizierung 231, einer Erhaltung 232 eines horizontalen Projektionsbildes, einer Helligkeitsprofilerhaltung 233, einer Erstellung 234 eines relativen Formprofils, einer Meniskuspositionsbestimmung 235, einer Maßstabsanpassung 236 und einer Elektrodenformschätzung 237 versehen.
Die Referenzflächenspezifizierung 231 spezifiziert eine Referenzfläche (z. B. eine Lotverbindungsfläche) auf der Basis von Bildkenngrößen horizontaler Tomogramme (Bilder von XZ-Ebene) mit unterschiedlichen Z-Achsenkoordinaten in den obigen dreidimensionalen Daten. Als Bildkenngrößen kann bspw. der Grad der Helligkeitsstreuung im Bild (im Folgenden als Helligkeitsverteilung bezeichnet) verwendet werden.
Als konkretes Verarbeitungsverfahren werden bspw. die dreidimensionalen Daten in Z-Achsenrichtung durchsucht und das horizontale Tomogramm mit der größten Helligkeitsverteilung spezifiziert. Die Position, die in -Z-Richtung um einen vorbestimmten Wert gegenüber den Z-Achsenkoordinaten des horizontalen Tomogramms versetzt ist, wird dann als Referenzfläche spezifiziert. Der vorbestimmte Wert, der versetzt werden soll, kann vom Benutzer vorab für jede Art von Bauteilen festgelegt und in der Speicherung 24 gespeichert werden.
Die Erhaltung 232 eines horizontalen Projektionsbildes führt eine Projektionsverarbeitung der dreidimensionalen Daten in einem vorbestimmten Bereich auf der Basis der von der Referenzflächenspezifizierung 231 spezifizierten Referenzfläche durch, und erstellt ein horizontales Projektionsbild, bei dem die Lotform in dem zu prüfenden gelöteten Teil hervorgehoben wird. Konkret wird z. B. in den dreidimensionalen Daten eine Mittelwertprojektion des horizontalen Tomogramms in Z-Richtung um einen vorgegebenen Wert aus den Z-Achsenkoordinaten der Referenzfläche durchgeführt (für jedes Pixel wird durch Berechnung des Mittelwerts des Helligkeitswerts des betreffenden Pixels in allen Bildern gespiegelt). Hier kann der Bereich, in dem die Projektionsverarbeitung durchgeführt wird, auf der Basis von Informationen wie der Höhe, in der das Lot entsprechend dem Bauteil hoch benetzt wird, vorab vom Benutzer festgelegt und in der Speicherung 24 gespeichert werden.
Die Helligkeitsprofilerhaltung 233 führt eine Projektionsverarbeitung des von der Erhaltung 232 eines horizontalen Projektionsbildes erstellten horizontalen Projektionsbildes durch und erhält das Helligkeitsprofil in der Richtung, die der Benutzer überprüfen möchte (in der Querrichtung oder der Längsrichtung, da es sich um ein horizontales Bild handelt)(nachstehend das Helligkeitsprofil in der Querrichtung als Helligkeitsprofil der Querrichtung und das Helligkeitsprofil in der Längsrichtung als Helligkeitsprofil der Längsrichtung bezeichnet). Der Projektionsbereich kann auf der Basis des Helligkeitsprofils in der Richtung, die der Richtung entgegengesetzt ist, die der Benutzer im horizontalen Projektionsbild überprüfen möchte, der in der Speicherung 24 gespeicherten Informationen über die Komponentenkonstruktion (z. B. Lötaugenbreite, Elektrodenbreite usw.) und den Helligkeitsgradienten bestimmt werden. Hier ist das Helligkeitsprofil eine Kontur, die durch Auftragen von Helligkeitswerten auf zweidimensionale Koordinaten erhalten wird.
4 zeigt eine Ansicht zur Veranschaulichung der Beziehung zwischen einer zu prüfenden Stelle, deren dreidimensionalen Daten, einem horizontalen Projektionsbild, Helligkeitsprofil der Querrichtung und Helligkeitsprofil der Längsrichtung. Im Folgenden wird die vom Benutzer gewünschte Richtung in der vorliegenden Beschreibung als Längsrichtung erläutert. Wenn der Benutzer das Helligkeitsprofil in Längsrichtung überprüfen möchte, wird der Bereich des Projektionsverfahrens anhand des Helligkeitsprofils in Längsrichtung bestimmt. In 4 wird die Breite der Elektrode im gelöteten Teil auf der Basis des Helligkeitsprofils in der Querrichtung spezifiziert, und die Projektionsverarbeitung wird in der Längsrichtung für diese Breite durchgeführt. Es ist wünschenswert, dass die Projektion hier durch Maximalwertprojektion erfolgt (Spiegelung des Pixels mit dem höchsten Helligkeitswert).
Die Erstellung 234 eines relativen Formprofils wandelt das von der Helligkeitsprofilerhaltung 233 erfasste Helligkeitsprofil und in ein Profil um, das die relative Form in Z-Achsenrichtung (d. h. der Höhe) zeigt (im Folgenden als relatives Höhenprofil bezeichnet). Konkret wird das Helligkeitsprofil umgewandelt, wobei die Referenzfläche (d. h. die Lotverbindungsfläche) mit 0 % und die Höhe, in der das Lot stark benetzt ist, mit 100 % angegeben wird. Die relative Höhe kann bspw. spezifiziert werden, indem der Wert, der sich aus der Subtraktion des Helligkeitswerts der Referenzfläche vom Wert des Helligkeitsprofils ergibt, durch den Wert geteilt wird, der sich aus der Subtraktion des Helligkeitswerts der Referenzfläche vom Helligkeitswert der Stelle ergibt, an der das Lot stark benetzt wird, und dieser Wert mit 100 multipliziert wird.
Die Helligkeit der Referenzfläche kann z. B. der Durchschnitt der Helligkeit des äußeren Bereichs des Lots des horizontalen Projektionsbildes sein. Der äußere Bereich des Lots kann durch einen Binarisierungsprozess des horizontalen Projektionsbildes usw. ermittelt werden. Die Helligkeit der Stelle, an der das Lot stark benetzt wird, kann vom Benutzer vorab festgelegt werden oder als Standardwert auf 255 gesetzt werden.
Die Meniskuspositionsbestimmung 235 bestimmt die Position des Lotmeniskus im relativen Höhenprofil aus dem Gradienten des relativen Höhenprofils und den in der Speicherung 24 gespeicherten Bauteilkonstruktionsinformationen (Lötaugenlänge). Diese Verarbeitung wird sowohl für Meniskus durchgeführt, die sich bei Betrachtung von außen auf der Oberflächenseite der Elektrode befinden (so genannte vordere Meniskus), als auch für Meniskus, die sich auf der Rückseite der Elektrode befinden und deren Form von außen nicht überprüft werden kann (so genannte hintere Meniskus).
Die Maßstabsanpassung 236 führt die Verarbeitung zur Anpassung des Maßstabs der Ordinate (Z-Richtung, Höhe) und der Abszisse (Meniskuslänge in der Längsrichtung) des relativen Höhenprofils durch. Das relative Höhenprofil wird auf der Basis des Helligkeitsprofils erstellt, und die Koordinaten in der Längsachsenrichtung basieren auf einem völlig anderen Standard als die Koordinaten in der Längsrichtung, deren Abmessungen eindeutig als Bauteildesign-Information definiert sind, z. B. die Lötaugenlänge. Durch die Anpassung des Maßstabs der Längsachsenrichtung an den Maßstab der Längsrichtung ist es daher möglich, ein zweidimensionales Bild zu erstellen, das sich für den Benutzer nicht unangenehm anfühlt. Das relative Höhenprofil, das der Maßstabsanpassung unterzogen wird, wird im Folgenden als relatives Höhenprofil nach der Verarbeitung bezeichnet.
Die Elektrodenformschätzung 237 schätzt die ungefähre Elektrodenform des Bauteils und führt eine Verarbeitung durch, um die geschätzte Elektrodenform dem relativen Höhenprofil nach der Verarbeitung zu überlagern. So wird z. B. der Mindestwert eines Tals zwischen den Meniskuspositionen im relativen Höhenprofil nach der Verarbeitung als die Spitzenposition der Elektrode angenommen. Dann kann die ungefähre Elektrode anhand der in der Speicherung 24 gespeicherten Informationen über die Bauteilkonstruktion (Elektrodendicke) geschätzt werden, indem die Daten des relativen Höhenprofils an der hinteren Meniskusposition anhand der Position der Elektrodenspitze angenähert werden. 5 zeigt ein Beispiel für die Anzeige des relativen Höhenprofils nach der Verarbeitung, wenn die geschätzte Elektrodenform überlagert wird.
(Ablauf der Verarbeitung zur Anzeige für Benutzerbestätigung)
In 6 wird der Ablauf von der Aufnahme des Röntgenbildes des zu prüfenden Substrats bis zur Anzeige des Bildes für Benutzerbestätigung erläutert. Zunächst wird mit der CT-Vorrichtung durch Steuerung der Steuerung 21 ein Röntgentomogramm des Substrats aufgenommen (S101). Dann werden die dreidimensionalen Daten des Substrats von der Erstellung 22 dreidimensionaler Daten (S102) aus den mehreren Röntgentomogrammen erstellt.
Als Nächstes legt der Benutzer über den Eingang 25 fest, auf welchen gelöteten Teil der Bauteile auf dem Substrat (im Folgenden als Lötauge bezeichnet) das Benutzerbestätigungsbild angezeigt werden soll (S103). Die Anzahl der zu setzenden Lötaugen ist nicht auf eins beschränkt, sondern es können mehrere Lötaugen gesetzt werden. Die Erstellung 23 des Bestätigungsbildes führt dann die unten beschriebene Schleife L1 für alle festgelegten Lötaugen aus.
In der Schleife L1 spezifiziert die Referenzflächenspezifizierung 231 zunächst aus den in S102 spezifizierten dreidimensionalen Daten eine Referenzfläche zu spezifizieren, die eine Lotverbindungsfläche ist (S104). Dann führt die Erhaltung 232 eines horizontalen Projektionsbildes von der in Schritt S104 spezifizierten Referenzfläche eine Projektionsverarbeitung an den dreidimensionalen Daten durch und erhält ein horizontales Projektionsbild (S105). Die Helligkeitsprofilerhaltung 233 führt dann weitere Projektionsverarbeitung für das in Schritt S105 erhaltene horizontale Projektionsbild durch und erhält ein Helligkeitsprofil in der Richtung, die der Benutzer überprüfen möchte (S106). Außerdem wandelt die Erstellung 234 eines relativen Formprofils das in Schritt S106 erfasste Helligkeitsprofil in ein relatives Höhenprofil (S107), und die Meniskuspositionsbestimmung 235 bestimmt die Meniskusposition im relativen Höhenprofil (S108). Als nächstes führt die Maßstabsanpassung 236 eine Verarbeitung zur Anpassung des Maßstabs der Ordinaten- und Abszissenachse des relativen Höhenprofils (S109) und erstellt ein relatives Höhenprofil nach der Verarbeitung. Dann schätzt die Elektrodenformschätzung 237 die ungefähre Elektrodenform am gezielten Lötauge und überlagert die geschätzte Elektrodenform dem relativen Höhenprofil nach der Verarbeitung (S110) und die Reihe der Verarbeitungen der Schleife L1 wird beendet. Die Informationen des erstellten Benutzerbestätigungsbildes können von der Erstellung 23 des Bestätigungsbildes in der Speicherung 24 gespeichert werden. Die Einzelheiten der einzelnen Verarbeitungen von Schritt S104 bis Schritt S110 werden weggelassen, da diese bereits bei der Erläuterung der einzelnen Funktionsteile erläutert werden.
Nachdem die obige Schleife L1 für alle Lötaugen abgeschlossen ist, wartet die Steuerung 21 darauf, dass der Benutzer ein Lötauge angibt. Wenn der Benutzer über den Eingang 25 ein beliebiges Lötauge aus den in Schritt S103 festgelegten Lötaugen auswählt (S111), zeigt die Steuerung 21 in der Ausgabeeinheit 26 eine in der Schleife L1 erstellten Bildes für Benutzerbestätigung (S112), und die Routine wird erneut beendet.
Mit dem obigen Röntgenprüfsystem 1 ist es dem Benutzer möglich, die ungefähre Konturform des gelöteten Teils des mit Bauteilen bestückten Substrats, das von außen nicht sichtbar ist, als zweidimensionale Information zu sehen, wenn diese aus einer gewünschten Position und Richtung betrachtet wird. Dies ermöglicht eine einfache Beurteilung der Plausibilität der Prüfergebnisse bei der Röntgenprüfung von bestückten Substraten. Auf der Basis dieser Informationen ist es auch möglich, Prüfkriterien einfach zu lehren.
<Ausführungsform 2>
Anschließend wird das Röntgenprüfsystem 2, das eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung darstellt, anhand der 7 bis 10 erläutert. Da das Röntgenprüfsystem 2 in dieser Ausführungsform viele Ausbildungen mit dem obigen Röntgenprüfsystem 1 gemeinsam aufweist, sind ähnliche Ausbildungen und Funktionen mit demselben Bezugszeichen gekennzeichnet und detaillierte Erläuterung entfallen.
7 zeigt ein schematisches Blockdiagramm der Funktionsausbildung des Röntgenprüfsystems 2. Wie in 7 gezeigt, weist das Röntgenprüfsystem 2 gemäß dieser Ausführungsform die gleiche Ausbildung wie das Röntgenprüfsystem 1 auf, abgesehen von Unterschieden in einigen Funktionsteilen einer Erstellung 30 eines Bildes für Bestätigung.
Die Erstellung 30 eines Bildes für Bestätigung im Röntgenprüfsystem 2 ist mit jedem Funktionsteil, also einer Referenzflächenspezifizierung 231, einer Erhaltung 232 eines horizontalen Projektionsbildes, einer Helligkeitsprofilerhaltung 233, einer Erhaltung 301 eines vertikalen Projektionsbildes, einer Meniskushöhenspezifizierung 302 Meniskushöhe, einer Erstellung 303 eines absoluten Formprofils und einer Elektrodenformschätzung 304 versehen. Unter diesen sind die Referenzflächenspezifizierung 231, die Erhaltung 232 eines horizontalen Projektionsbildes und die Helligkeitsprofilerhaltung 233 gleich wie denen des Röntgenprüfsystems 1, so dass auf eine Erläuterung verzichtet wird.
Die Erhaltung 301 eines vertikalen Projektionsbildes führt eine Projektionsverarbeitung in der Richtung durch, die der Benutzer überprüfen möchte (in diesem Fall die Längsrichtung), und zwar für die dreidimensionalen Daten, die von dem Abschnitt 22 zur Erzeugung dreidimensionaler Daten erstellt werden. Der Bereich der Projektionsverarbeitung (Abstand in der der Längsrichtung entgegengesetzten Richtung) und das Projektionsverfahren sollten derselbe Bereich und dasselbe Verfahren (d. h. Maximalwertprojektion) sein wie die Projektionsverarbeitung, die von der Helligkeitsprofilerhaltung 233 durchgeführt wird. Hierdurch kann der Bereich, der dem Helligkeitsprofil zugrunde liegt, an den Bereich angepasst werden, der dem vertikalen Projektionsbild zugrunde liegt.
Die Meniskushöhenspezifizierung 302 Meniskushöhe spezifiziert die Benetzungshöhe des Meniskus auf der Basis des von der Helligkeitsprofilerhaltung 233 erhaltenen Helligkeitsprofils und des von der Erhaltung 301 eines vertikalen Projektionsbildes erhalten vertikalen Projektionsbildes (im Folgenden auch als Meniskushöhe bezeichnet) spezifiziert.
8 zeigt eine Ansicht zur Veranschaulichung der Beziehung zwischen der zu prüfenden Stelle, seinen dreidimensionalen Daten, dem vertikalen Projektionsbild und dem Helligkeitswertprofil in Längsrichtung des horizontalen Projektionsbildes. In 8 wird zunächst eine Verarbeitung zur Ausrichtung der Abszisse zwischen dem vertikalen Projektionsbild und dem Helligkeitsprofil unter Referenz auf den Spitzenwerts P des Helligkeitsprofils vorgenommen. Als nächstes werden die Abszissenkoordinaten des vertikalen Projektionsbildes, die dem Spitzenwert P des Helligkeitsprofils entsprechen, bestimmt, wird von der Referenzfläche in Richtung der Ordinate auf der Ordinatenlinie in den betreffenden Abszissenkoordinaten abgetastet, und aus dem durch diese Abtastung erhaltenen Gradienten des Helligkeitsprofils wird die Meniskushöhe F spezifiziert. Konkret kann das Helligkeitsprofil des vertikalen Projektionsbildes, das durch Abtasten in der Ordinate erhalten wird, zunächst differenziert werden, und der Punkt, an dem der Wert der ersten Differenzialrechnung am kleinsten ist (d. h. der Punkt, an dem der Gradient des Helligkeitsprofils am größten ist), kann als Meniskushöhe F verwendet werden. Da das vertikale Projektionsbild durch die Projektion dreidimensionaler Daten erhalten wird, kann die tatsächliche Höhe spezifiziert werden, sobald die Koordinaten der Ordinate auf dem vertikalen Projektionsbild bestimmt werden.
Die Erstellung 303 eines absoluten Formprofils nimmt eine Verarbeitung zur Umwandlung des Helligkeitswerts in eine absolute Höhe unter Verwendung der von der Meniskushöhenspezifizierung 302 spezifizierte Benetzungshöhe des Meniskus und des Helligkeitsprofils in Längsrichtung. Konkret wird der Helligkeitswert in eine absolute Höhe umgerechnet, indem die spezifizierte Meniskushöhe dem Spitzenwert des Helligkeitsprofils in Längsrichtung und die Höhe der Referenzfläche (immer 0) dem Helligkeitsprofilwert zugeordnet wird, der der Startposition des Meniskus (d. h. der Grenze zur Referenzfläche) entspricht. Als Umrechnungsverfahren kann z. B. lineare Umwandlung mit ax + by + c = 0 (x = Helligkeit, y = Höhe) angewendet werden. 9 zeigt das Helligkeitsprofil der Längsrichtung und das daraus umgerechnete absolute Höhenprofil.
Die Elektrodenformschätzung 304 schätzt die ungefähre Elektrodenform des Bauteils und führt eine Verarbeitung zur Überlagerung der geschätzte Elektrodenform zum absoluten Höhenprofil durch. Das konkrete Verarbeitungsverfahren ist dasselbe wie das der Elektrodenformschätzung 237 in Ausführungsform 1, abgesehen vom einzigen Unterschied, dass das zur Schätzung verwendete Profil ein absolutes Profil ist, so dass eine detaillierte Erläuterung entfällt.
Unter Bezugnahme auf 10 wird die Verarbeitung von der Aufnahme des Röntgenbildes eines zu prüfenden Substrats bis zur Anzeige eines Bildes für Benutzerbestätigung in dieser Ausführungsform erläutert, und die Erläuterung entfällt für die Schritte, die auf die gleiche Weise wie in Ausführungsform 1 durchgeführt werden.
Konkret sind die Schritte S101 bis S103 gleich wie in Ausführungsform 1, wobei Röntgenbilder aufgenommen, dreidimensionale Daten erstellt werden und der Benutzer Lötaugen anweisen, von deren beliebige Bestätigungsbilder aufgenommen werden sollen. Danach führt die Erstellung 30 eines Bildes für Bestätigung die Schleife L2 zur Erstellung eines Bildes für Bestätigung für jedes der festgelegten Lötaugen aus. In der betreffende Schleife L2 sind die Verarbeitungen von S104 bis S106 gleich wie in Ausführungsform 1.
Nach der Erhaltung des Helligkeitsprofils in Schritt S106 erhält die Erhaltung 301 eines vertikalen Projektionsbildes ein vertikales Projektionsbild aus den in S102 erstellten dreidimensionalen Daten (S201). Die Meniskushöhenspezifizierung 302 spezifiziert dann die Meniskushöhe auf der Basis des Helligkeitsprofils und des vertikalen Projektionsbildes (Schritt S202).
Als nächstes verwendet die Erstellung 303 eines absoluten Formprofils die in Schritt S202 spezifizierte Meniskushöhe und die Helligkeit Profil und wandelt das Helligkeitsprofil in ein absolutes Höhenprofil um (S203). Danach schätzt die Elektrodenformschätzung 304 die Elektrodenform des Bauteils und führt eine Verarbeitung zur Überlagerung der geschätzte Elektrodenform zum absoluten Höhenprofil durch (S204), und die Reihe der Verarbeitungen der Schleife L2 wird beendet.
Die anschließenden Verarbeitungen, Schritte S111 und S112 sind gleich wie in Ausführungsform 1, so dass auf eine Erläuterung verzichtet wird. Mit dem Röntgenprüfsystem 2 mit dieser Ausbildung kann der Benutzer anhand eines Bildes prüfen, das eine Konturform zeigt, die mit der tatsächlichen Form des Lots übereinstimmt, was das Gefühl der Zufriedenheit des Benutzers erhöht. Dies ermöglicht eine effizientere Überprüfung der Plausibilität der Prüfergebnisse und das Lehren von Prüfkriterien.
<Ausführungsform 3>
Eine weitere Ausführungsform des Röntgenprüfsystems 3 wird anhand von 11 erläutert. Da das Röntgenprüfsystem 3 in dieser Ausführungsform viele Ausbildungen mit dem obigen Röntgenprüfsystem 1 gemeinsam aufweist, sind ähnliche Ausbildungen und Funktionen mit demselben Bezugszeichen versehen und detaillierte Erläuterungen entfallen.
11 ist ein schematisches Blockdiagramm, das die Funktionsausbildung des Röntgenprüfsystems 3 zeigt. Wie in 11 zeigt, ist das Röntgenprüfsystem 3 in dieser Ausführungsform so ausgebildet, dass es mit einem Sichtprüfgerät 50 im Hinblick auf die Informationen verknüpft, das eine Sichtprüfung des Prüfobjekts durchführt. Außerdem besteht ein Unterschied zum Röntgenprüfsystem 1 darin, dass eine Elektrodenformerhaltung 401 und eine Elektrodenformzusammensetzung 402 als Funktionsteile der Erstellung 40 eines Bildes für Bestätigung vorgesehen sind.
Das Sichtprüfgerät 50 ist ein Gerät zur Prüfung der Außensicht von mit Bauteilen bestückten Substraten nach der sogenannten Farbmarkierungsmethode. Bei der Farbmarkierungsmethode wird die dreidimensionale Form der Lötfläche als zweidimensionale Farbtoninformation erfasst, indem Licht mehrerer Farben (Wellenlängen) unter verschiedenen Einfallswinkeln auf das Substrat gestrahlt und Bilder derart aufgenommen werden, dass Farbmerkmale (Farben der Lichtquellen in der Richtung der normalen Reflexion von der Kamera aus gesehen) auf der Lotoberfläche entsprechend ihrer Normalrichtung erscheinen.
Diese Prüfung durch dieses Verfahren ermöglicht es, die von außen sichtbare Form der Elektrode und den Neigungsgrad des Meniskus im Lötaugen des Substrats genau zu erfassen.
Bei dem Röntgenprüfsystem 3 ist derart ausgebildet, dass Informationen (z. B. Farbmarkierungsbildinformationen usw.) bezüglich der Sichtprüfung desselben Substrats unter Verwendung des Sichtprüfgeräts 50 erfasst werden können, indem Informationen mit dem Sichtprüfgerät 50 kommuniziert werden. Als Kommunikationsverfahren kann jede beliebige bekannte Technik verwenden und kann drahtgebunden oder drahtlos sein. Zumindest ein Teil der vom Sichtprüfgerät 50 erhalten Informationen kann in der Speicherung 24 gespeichert werden. In einer solchen Ausbildung können zumindest die in der Speicherung 24 gespeicherten Informationen vom Röntgenprüfsystem 3 verwendet werden, selbst wenn die Kommunikation mit dem Sichtprüfgerät 50 gestört ist.
Die Elektrodenformerhaltung 401 erhält die Form der gemessenen Elektrode auf der Basis des Farbmarkierungsbildes der Sichtprüfung, die bereits vom Sichtprüfgerät 50 für das zu prüfende Substrat durchgeführt wird. Die Messung der Elektrodenform auf der Basis des Erfahrungsbildendes kann vom Sichtprüfgerät 50 durchgeführt werden, so dass die Elektrodenform für jedes Lötauge in der Speicherung 24 gespeichert wird. Es ist jedoch auch möglich, lediglich das Farbmarkierungsbild in der Speicherung 24 zu speichern und die Messung der Elektrodenform in der Elektrodenformerhaltung 401 durchzuführen.
Die Elektrodenformzusammensetzung 402 führt eine Verarbeitung zur Überlagerung der von der Elektrodenformerhaltung 401 erhaltenen Elektrodenform (im Folgenden als Ist-Elektrodenform bezeichnet) zur Elektrodenform nach der Verarbeitung durch, die von der Maßstabsanpassung 236 eingestellt wird. Konkret wird die Ist-Elektrodenform in Skala transformiert (Auflösungs- und Koordinatensystemanpassungsverarbeitung), um dem relativen Höhenprofil nach der Verarbeitung zu entsprechen, und dem relativen Höhenprofil nach der Verarbeitung überlagert. Hierdurch kann das an den Ausgang 26 ausgegebene Bild für Benutzerbestätigung die Konturform des gelöteten Teils zeigen, die der Ist-Elektrodenform entspricht.
Die Verarbeitung zur Anzeige des Bildes zur Benutzerbestätigung in dieser Ausführungsform unterscheidet sich von der des Röntgenprüfsystems 1 der Ausführungsform 1 lediglich in den Teilen bezüglich der Erhaltung der Elektrodenform und Überlagerungsverarbeitung, so dass die Erläuterung entfällt.
Mit dem obigen Röntgenprüfsystem 3 dieser Ausführungsform kann der Benutzer die Form der Bauteilelektrode und des Lotmeniskus des gelöteten Teils anhand eines Bildes, das die Ist-Elektrodenform widerspiegelt, überprüfen, wodurch das Gefühl der Zufriedenheit des Benutzers erhöht wird.
<Sonstiges>
Jede der obigen Ausführungsformen stellt lediglich eine beispielhafte Erläuterung der vorliegenden Erfindung dar, und die vorliegende Erfindung ist nicht auf die obigen konkreten Ausführungsformen beschränkt. Im Rahmen des technischen Gedankens sind verschiedene Varianten und Kombinationen der vorliegenden Erfindung möglich. Bspw. kann das Röntgenprüfgerät 2 der obigen Ausführungsform 2 mit dem Röntgenprüfgerät der Ausführungsform 2 kombiniert werden, um ein Bild für Benutzerbestätigung anzuzeigen, bei dem die Ist-Elektrodenform dem absoluten Höhenprofil überlagert wird.
Zumindest ein Teil der Speicherung in jedem der obigen Beispiele kann eine vom Informationsverarbeitungsendgerät getrennte der Speicherung sein, oder sie kann auch mit der Cloud verbunden sein. Umgekehrt kann in jedem der obigen Beispiele das Röntgenprüfsystem als integrierte Vorrichtung bereitgestellt werden, d. h. eine CT-Vorrichtung und eine Konsole als integrierte Einheit. In jedem der obigen Beispiele kann die Substratprüfung zu einem beliebigen Zeitpunkt von Schritt S102 bis Schritt S112 durchgeführt werden, und die Ergebnisse der Prüfung können zusammen auf dem Bildschirm für Benutzerbestätigung in Schritt S112 angezeigt werden.
In Ausführungsform 1 kann die geschätzte Elektrodenform berechnet werden, bevor die Anpassungsverarbeitung des Maßstabs in Schritt S109 durchgeführt wird, und das relative Höhenprofil kann anschließend zusammen mit der Elektrodenform berechnet werden. D. h., die Schritte S109 und S110 können auch vertauscht werden. In Ausführungsform 2 kann die Verarbeitung von Schritt S201 auch vor Schritt S104 oder Schritt S105 durchgeführt werden.
<Nachtrag>
Ein Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ein Röntgenprüfsystem (1), umfassend:

eine Röntgenerzeugungseinheit (11) zur Bestrahlung eines Prüfobjekts mit Röntgenstrahlen,
eine Röntgenaufnahmeeinheit (12) zur Aufnahme von Röntgenstrahlen, die das Prüfobjekt durchdringen,
eine Speichereinheit (24) zum Speichern von Informationen, die sich zumindest auf das Prüfobjekt beziehen,
eine Einheit (22) zur Erstellung dreidimensionaler Daten, die unter Verwendung von Informationen von mehreren Röntgenbildern, die von der Röntgenaufnahmeeinheit aufgenommen werden, dreidimensionale Daten des Prüfobjekts erstellt,
eine Einheit (23) zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung, die unter Verwendung der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts, bei der die Form der zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt als zweidimensionale Form einer vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche gezeigt wird, ein Bild für Benutzerbestätigung erstellt, und
eine Anzeigeeinheit (26) zur Anzeige des von der Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung erstellten Bildes.

Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung ist ferner ein Röntgenprüfverfahren, umfassend die folgenden Schritte:

Erhalten (S101) von mehreren Röntgenbildern, bei denen das Prüfobjekt unter Verwendung von Röntgenstrahlen aufgenommen wird,
Erstellen (S102) dreidimensionaler Daten des Prüfobjekts unter Verwendung von Informationen der mehreren Röntgenbilder, bei denen das Prüfobjekt aufgenommen wird,
Erstellen (L1) eines Bildschirms für Benutzerbestätigung, die unter Verwendung der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts, der die Form der zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt als zweidimensionale Form der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche zeigt, und
Anzeigen (S112) des Bildschirms für Benutzerbestätigung.

Bezugszeichenliste

[0099] 1, 2, 3: Röntgenprüfsystem
9: Röntgenprüfgerät
11, 92: Röntgenquelle
12, 93: Röntgenkamera
921, 931: X-Auflage
922, 932: Y-Auflage
C1, C2: kreisförmige Bahn
O: Prüfobjekt
P: Spitzenwert
F: Benetzungshöhe von Meniskus

ZITATE ENTHALTEN IN DER BESCHREIBUNG
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Zitierte Patentliteratur

JP 201071782 A [0006]
JP 2012149905 A [0006]
JP 2017223468 A [0006]

Claims

Röntgenprüfsystem, umfassend: eine Röntgenerzeugungseinheit zur Bestrahlung eines Prüfobjekts mit Röntgenstrahlen, eine Röntgenaufnahmeeinheit zur Aufnahme von Röntgenstrahlen, die das Prüfobjekt durchdringen, eine Speichereinheit zum Speichern von Informationen, die sich zumindest auf das Prüfobjekt beziehen, eine Einheit zur Erstellung dreidimensionaler Daten, die unter Verwendung von Informationen von mehreren Röntgenbildern, die von der Röntgenaufnahmeeinheit aufgenommen werden, dreidimensionale Daten des Prüfobjekts erstellt, eine Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung, die unter Verwendung der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts, bei der die Form der zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt als zweidimensionale Form einer vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche gezeigt wird, ein Bild für Benutzerbestätigung erstellt, und eine Anzeigeeinheit zur Anzeige des von der Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung erstellten Bildes.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung umfasst: eine Referenzflächenspezifizierungseinheit zur Spezifizierung einer vorbestimmten horizontalen tomografischen Position der zu prüfenden Stelle unter Verwendung dreidimensionaler Daten des Prüfobjekts, eine Einheit zum Erhalten eines horizontalen Projektionsbildes, die ein horizontales Projektionsbild erhält, bei dem eine Projektionsverarbeitung für einen vorbestimmten Abstand in vertikaler Richtung von der horizontalen tomografischen Position vorgenommen wird, eine Helligkeitsprofilerhaltungseinheit zum Erhalten eines Helligkeitsprofils der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche auf der Basis des horizontalen Projektionsbildes, und eine Einheit zur Erstellung eines relativen Formprofils, die das Helligkeitsprofil in ein relatives Formprofil umwandelt, das eine physikalische Größe bezüglich der Form der zu prüfenden Stelle als einen relativen Wert angibt.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Helligkeitsprofilerhaltungseinheit das Helligkeitsprofil erhält, indem eine Projektionsverarbeitung in die Tiefenrichtung der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche in einem Projektionsbereich durchgeführt wird, der unter Verwendung der mindestens in der Speichereinheit gespeicherten Informationen bezüglich des Prüfobjekts berechnet wird.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung eine Maßstabsanpassungseinheit weiter umfasst, die eine Verarbeitung zur Anpassung des Maßstabs der Ordinaten- und Abszissenachse in dem Bild für Benutzerbestätigung unter Verwendung des relativen Formprofils und der in der Speichereinheit gespeicherten Informationen über das Prüfobjekt durchführt.
Röntgenprüfsystem nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüfobjekt ein mit Bauteilen bestücktes Substrat ist, die zu prüfende Stelle ein gelöteter Teil einer Bauteilelektrode ist, die vom Benutzer gewünschte zu betrachtenden Fläche eine Fläche ist, die die Längs- oder Querrichtung der Bauteilelektrode zeigt, die vorgegebene horizontale tomografischen Position der zu prüfenden Stelle eine Verbindungsfläche zwischen Lot und Substrat ist, und die physikalische Größe bezüglich der Form zu prüfenden Stelle eine Abmessung ist, die die Höhe zeigt.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung eine Einheit zur Spezifizierung der Anfangsposition eines Lotmeniskus weiter umfasst, die die Anfangsposition des Lotmeniskus auf der Basis des Gradienten des relativen Formprofils und der in der Speichereinheit gespeicherten Informationen spezifiziert.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung eine Elektrodenformschätzungseinheit weiter umfasst, die die Form der Bauteilelektrode auf der Basis des relativen Formprofils und der in der Speichereinheit gespeicherten Informationen schätzt und diese in dem Bild für Benutzerbestätigung wiedergibt.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Speichereinheit die Messinformationen der Sichtprüfung, die am mit Bauteilen bestückten Substrat durchgeführt wird, weiter speichert, und die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung eine Einheit zur Zusammensetzung der Elektrodenform, die die Form der Bauteilelektrode aus den Messinformationen erhält, diese entsprechend dem relativen Formprofil in Skala transformiert und in dem Bild für Benutzerbestätigung widerspiegelt, weiter umfasst.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung weiter umfasst: die Referenzflächenspezifizierungseinheit zur Spezifizierung der horizontalen tomografischen Position eines vorbestimmten Teils des Messobjekts auf der Basis der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts, die Einheit zum Erhalten eines horizontalen Projektionsbildes, die ein horizontales Projektionsbild für die dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts erhält, bei dem eine Projektionsverarbeitung für einen vorbestimmten Abstand in vertikaler Richtung von der horizontalen tomografischen Position des vorbestimmten Teils vornimmt, die Helligkeitsprofilerhaltungseinheit zum Erhalten eines Helligkeitsprofils der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche auf der Basis des horizontalen Projektionsbildes, eine Einheit zum Erhalten eines vertikalen Projektionsbildes, die ein vertikales Projektionsbild für die dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts erhält, bei dem eine Projektionsverarbeitung in die Tiefenrichtung der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche durchgeführt wird, und eine Einheit zur Erstellung eines absoluten Formprofils, die das Helligkeitsprofil in ein absolutes Formprofil umwandelt, das eine physikalische Größe bezüglich der Form der zu prüfenden Stelle als einen absoluten Wert angibt.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit zum Erhalten des vertikalen Projektionsbildes den Projektionsbereich für die Projektionsverarbeitung in Tiefenrichtung der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche bestimmt, indem das horizontale Projektionsbild und die in der Speichereinheit gespeicherten Informationen über das Prüfobjekt verwendet werden.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, dass das Prüfobjekt ein mit Bauteilen bestücktes Substrat ist, die zu prüfende Stelle ein gelöteter Teil einer Bauteilelektrode ist, die vom Benutzer gewünschte zu betrachtenden Fläche eine Fläche ist, die die Längs- oder Querrichtung der Bauteilelektrode zeigt, die vorgegebene horizontale tomografischen Position der zu prüfenden Stelle eine Verbindungsfläche zwischen Lot und Substrat ist, und die physikalische Größe bezüglich der Form zu prüfenden Stelle eine Abmessung ist, die die Höhe zeigt.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung eine Elektrodenformschätzungseinheit weiter umfasst, die die Form der Bauteilelektrode auf der Basis des absoluten Formprofils und der in der Speichereinheit gespeicherten Informationen schätzt und diese in dem Bild für Benutzerbestätigung wiedergibt.
Röntgenprüfsystem nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Speichereinheit die Messinformationen der Sichtprüfung, die am mit Bauteilen bestückten Substrat durchgeführt wird, weiter speichert, und die Einheit zur Erstellung eines Bildes für Benutzerbestätigung eine Einheit zur Zusammensetzung der Elektrodenform, die die Form der Bauteilelektrode aus den Messinformationen erhält, diese entsprechend dem absoluten Formprofil in Skala transformiert und in dem Bild für Benutzerbestätigung widerspiegelt, weiter umfasst.
Röntgenprüfverfahren, umfassend die folgenden Schritte: Erhalten von mehreren Röntgenbildern, bei denen das Prüfobjekt unter Verwendung von Röntgenstrahlen aufgenommen wird, Erstellen dreidimensionaler Daten des Prüfobjekts unter Verwendung von Informationen der mehreren Röntgenbilder, bei denen das Prüfobjekt aufgenommen wird, Erstellen eines Bildschirms für Benutzerbestätigung, die unter Verwendung der dreidimensionalen Daten des Prüfobjekts, der die Form der zu prüfenden Stelle im Prüfobjekt als zweidimensionale Form der vom Benutzer gewünschten zu betrachtenden Fläche zeigt, und Anzeigen des Bildschirms für Benutzerbestätigung.
Programm, das einen Computer dazu veranlasst, jeden Schritt nach Anspruch 14 auszuführen.