JP5223876B2 - X線検査装置、x線検査方法、x線検査プログラムおよびx線検査システム - Google Patents
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Description
より好ましくは、識別情報は、基板の種類に固有の識別情報である。
V(Z)=ΣxΣy(Ixy−Iavg)、
ただし、Ixyは、断層画像内の画素p(x,y)の輝度値、Iavgは断層画像内の全画素の平均値を表わす。
図10を参照して、まず、検査動作が開始するとステップS801で良否判定部78は、ステップS409で読み出されたクリームはんだの厚みと予め規定されている断層画像を形成する高さ方向のボクセル数とから、検査に用いる断層画像の総数Nを特定する。また良否判定部78は、検査対象1の再構成処理により生成される3次元の再構成データを取得する。
F1=dpmi2/dpma2 …式(1)、
F2=b2/a2 …式(2)、
ただし、dpmaは重心と境界との間の距離の最大値、dpmiは重心と境界との間の距離の最小値、aは楕円の長径、およびbは楕円の短径を表わす。
上記説明はBGAが実装された基板の検査について行なったが、X線検査装置100が検査できる対象物はBGAが実装された基板に限定されず、他の部品の検査にも同様に活用することができる。なぜなら、部品間の接合不良は境界面で発生するものであるため、その境界面を予め検査範囲として特定できるからである。そのため、境界面から検査範囲を設定し、その範囲での検査で同様にして接合不良を判定することが可能となる。境界面としては、たとえば検査対象であるBGAが実装された基板である場合には、BGAに設けられるはんだボールと基板に印刷されたクリームはんだとの境界面、基板表面とクリームはんだとの境界面、が挙げられる。検査対象が、チップやその他の部品、すなわち、BGAのようにはんだボールが設けられていない部品が実装された基板である場合、当該部品の電極と基板に印刷されたクリームはんだとの境界面が挙げられる。
上記説明はBGAが実装された基板でのBGAと基板とのはんだの接合状態の検査について行なったが、X線検査装置100での検査の内容ははんだの接合状態に限定されず、他の検査にも同様に活用することができる。他の検査としては、たとえば、BGAと基板とを結合するはんだ内のボイドの有無の検査が挙げられる。なぜなら、ボイドは物質同士の境界面での化学反応により発生するため、BGAに設けられるはんだボールと基板に印刷されたクリームはんだとの境界面がボイドの発生しやすい高さとして特定できるからである。そのため、マスク厚として入力されたクリームはんだの厚みから同様にして検査範囲を設定し、その範囲での検査でボイドの有無を検査することが可能となる。
上記説明はティーチング動作にてユーザからマスク厚の入力を受付けることによってクリームはんだの厚みを得て検査範囲を設定する例について行なったが、クリームはんだの厚みの取得はユーザからの入力に限定されず、他の方法で取得することもできる。他の例として、先に、第1段階〜第3段階として説明したBGAを基板へ接続する工程が、図12のような、一連の装置群からなるシステムにて自動で行なわれる場合が考えられる。すなわち、図12を参照して、当該システムには、基板上のパターンにクリームはんだを印刷するためのクリームはんだ印刷機200と、はんだ印刷状態を検査するための検査機300と、クリームはんだが塗布された基板のパターン上にBGAを実装するためのチップマウンタ400と、BGAの搭載状態を検査するための検査機500と、リフロー炉600と、はんだ付け状態を外観検査するための検査機700と、X線検査装置100とが含まれ、この順に基板が搬送されて、上述の第1段階〜第3段階の一連の工程によりBGAが接続される。また、各工程の装置間には検査機300,500,700,100がこの順で含まれ、前工程を経た基板を測定することで、前工程の良否を判定する。図12に示されるように、当該システムにはさらにサーバ800が含まれてもよく、これらは、通信回線900で接続されている。通信回線900は、たとえば1Gbit程度のLAN(Local Area Network)ケーブルであってもよいし、インターネット等の電話回線を利用したものであってもよいし、無線通信回線であってもよい。
Claims (13)
- X線を用いて対象物を検査するX線検査装置であって、
前記対象物は、基板と、前記基板に塗布されたはんだによって前記基板に電気的に結合して搭載される部品とを含み、
前記対象物に向けて前記X線を出力するためのX線出力手段と、
前記対象物に複数の方向から入射し、前記対象物を透過した前記X線の強度分布を表わす透視画像を撮像するためのX線検出手段と、
前記複数の方向からの前記X線の前記透視画像に基づいて、前記基板の、前記部品の搭載される面の法線を横切る、前記部品と前記基板との間の領域についての断層画像を再構成するための再構成手段と、
前記基板に塗布されたはんだの厚みを取得するための取得手段と、
前記はんだの厚みに基づいて、前記部品の搭載される面から法線方向の距離で規定される位置を前記対象物の検査位置として特定するための特定手段と、
前記検査位置にある断層画像を用いて前記対象物の前記はんだによる結合の良否を判定するための検査手段と、
前記基板に塗布されたはんだの厚みを基板の識別情報と関連付けて記憶するための記憶手段と、
前記基板を識別するための識別手段とを備え、
前記特定手段は、前記対象物とする基板の前記識別情報に関連付けられたはんだの厚みを前記記憶手段から読み出して前記対象物の検査位置を特定する、X線検査装置。 - 前記特定手段は、少なくとも、前記部品の搭載される面から法線方向の、前記はんだの厚みに対応した距離で規定される位置を含み、前記基板と前記部品との間の距離よりも短い範囲を前記検査位置として特定する、請求項1に記載のX線検査装置。
- 前記特定手段は、前記基板の前記部品の搭載される面の表面から前記はんだの厚みに対応した前記部品の搭載される面の法線方向の位置までの範囲を前記検査位置として特定する、請求項2に記載のX線検査装置。
- 前記取得手段は、前記基板に塗布されたはんだの厚みの入力を受付けるための入力手段を含む、請求項1〜3のいずれかに記載のX線検査装置。
- 前記取得手段は、前記基板に塗布されたはんだの厚みを示すデータを他の装置から取得する、請求項1〜3のいずれかに記載のX線検査装置。
- 前記他の装置は、基板上のはんだの厚みを測定する装置における、前記基板上のはんだの厚みの測定結果を記憶する装置である、請求項5に記載のX線検査装置。
- 前記識別情報は、前記基板に固有の識別情報である、請求項1〜6のいずれかに記載のX線検査装置。
- 前記識別情報は、前記基板の種類に固有の識別情報である、請求項1〜6のいずれかに記載のX線検査装置。
- 前記検査手段は、前記検査位置にある断層画像に表れるはんだ部の面積、その真円度、およびその他の特徴量のうちのいずれか一つまたはこのうちでのいくつかの組み合わせを用いて前記はんだによる結合の良否を判定する、請求項1〜8のいずれかに記載のX線検査装置。
- X線を用いて対象物を検査するX線検査方法であって、
前記対象物は、基板と、前記基板に塗布されたはんだによって前記基板に電気的に結合して搭載される部品とを含み、
前記対象物に含まれる前記基板を識別するステップと、
前記対象物に含まれる前記基板に塗布されたはんだの厚みを取得するステップと、
前記対象物に向けて前記X線を出力するステップと、
前記対象物に複数の方向から入射し、前記対象物を透過した前記X線の強度分布を表わす透視画像を撮像するステップと、
前記複数の方向からの前記X線の前記透視画像に基づいて、前記基板の、前記部品の搭載される面の法線を横切る、前記部品と前記基板との間の領域についての断層画像を再構成するステップと、
前記はんだの厚みに基づいて、前記部品の搭載される面から法線方向の距離で規定される位置を前記対象物の検査位置として特定するステップと、
前記検査位置にある断層画像を用いて前記対象物の前記はんだによる結合の良否を判定するステップとを備え、
前記特定するステップでは、基板の識別情報と関連付けて当該基板に塗布されたはんだの厚みを記憶する記憶装置から前記対象物とする基板の前記識別情報に関連付けられたはんだの厚みを読み出して前記対象物の検査位置を特定する、X線検査方法。 - X線源とX線検出器と演算部とを有するX線検査装置に、X線を用いた対象物の検査を実行させるX線検査プログラムであって、
前記対象物は、基板と、前記基板に塗布されたはんだによって前記基板に電気的に結合して搭載される部品とを含み、
前記演算部が、前記対象物に含まれる前記基板を識別するステップと、
前記演算部が、前記対象物に含まれる前記基板に塗布されたはんだの厚みを取得するステップと、
前記X線源が、前記対象物に向けて前記X線を出力するステップと、
前記前記対象物に複数の方向から入射し、前記対象物を透過した前記X線の強度分布を表わす透視画像を撮像するステップと、
前記X線検出器が、前記複数の方向からの前記X線の前記透視画像に基づいて、前記基板の、前記部品の搭載される面の法線を横切る、前記部品と前記基板との間の領域についての断層画像を再構成するステップと、
前記演算部が、前記はんだの厚みに基づいて、前記部品の搭載される面から法線方向の距離で規定される位置を前記対象物の検査位置として特定するステップと、
前記演算部が、前記検査位置にある断層画像を用いて前記対象物の前記はんだによる結合の良否を判定するステップとを実行させ、
前記特定するステップでは、基板の識別情報と関連付けて当該基板に塗布されたはんだの厚みを記憶する記憶装置から前記対象物とする基板の前記識別情報に関連付けられたはんだの厚みを読み出して前記対象物の検査位置を特定する、X線検査プログラム。 - はんだが塗布された基板の検査をする第1の検査装置と、X線を用いて対象物を検査するX線検査装置とを含み、
前記X線検査装置での検査の対象物は、前記基板と、前記基板に塗布されたはんだによって前記基板に電気的に結合して搭載される部品とを含み、
前記第1の検査装置は、
前記基板上の検査位置ごとに塗布されたはんだの量を測定し、その測定結果を当該基板を識別するための識別情報と関連付けた測定結果データを基板ごとに作成するための検査手段と、
前記測定結果データを送信するための通信手段とを備え、
前記X線検査装置は、
前記対象物に向けて前記X線を出力するためのX線出力手段と、
前記対象物に複数の方向から入射し、前記対象物を透過した前記X線の強度分布を表わす透視画像を撮像するためのX線検出手段と、
前記複数の方向からの前記X線の前記透視画像に基づいて、前記基板の、前記部品の搭載される面の法線を横切る、前記部品と前記基板との間の領域についての断層画像を再構成するための再構成手段と、
前記基板を識別するための識別手段と、
前記第1の検査装置から、前記識別された基板に塗布されたはんだの厚みを示す前記測定結果データを受信するための通信手段と、
前記測定結果データに含まれる前記基板に塗布されたはんだの厚みに基づいて、前記部品の搭載される面から法線方向の距離で規定される位置を前記対象物の検査位置として特定するための特定手段と、
前記検査位置にある断層画像を用いて前記対象物の前記はんだによる結合の良否を判定するための検査手段とを備える、X線検査システム。 - 前記第1の検査装置の前記検査手段は、前記基板上の検査箇所ごとに塗布されたはんだの量を測定して、前記検査箇所ごとの測定結果データを作成し、
前記X線検査装置の前記特定手段は、前記基板上の検査箇所ごとに前記検査位置を特定する、請求項12に記載のX線検査システム。
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