JP2023112578A - 検査システム、検査用情報処理端末及びプログラム - Google Patents

Abstract

【課題】パッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品が実装された基板について、ユーザーが検査対象箇所の状態を容易に確認できる技術を提供する。【解決手段】パッケージ底面に前記部品実装基板とのはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品を実装した基板の検査システムであって、Ｘ線撮影手段によって撮影された複数のＸ線画像の情報を用いて、前記基板の三次元データを作成する三次元データ作成手段と、前記三次元データを用いて、はんだ接合部のはんだの形状をユーザー所望の観察面の二次元形状として示す確認用画像を作成する確認用画像作成手段と、前記ユーザー確認用画像作成手段が作成した画像を表示する表示手段と、を有する検査システム。【選択図】図３

Description

本発明は、検査システム、検査用情報処理端末及びプログラムに関し、特にＸ線ＣＴを用いて取得した三次元データに基づき、はんだ付け状態を確認する技術に関する。

近年、各種製品の小型化、精密化が進んでおり、例えば部品実装基板などでも部品実装密度が増大し、外観検査装置の撮像視野の影になる部位が増えることにより、外観検査では正確には検査できない部品が増加している。そして、これに対して、Ｘ線ＣＴ検査により外観では検査できない部分の検査を実施する技術が公知となっている（例えば特許文献１）。

また、特許文献２には、このように三次元情報を用いた検査を実施する場合において、検査の対象となった箇所（外観からは確認できない箇所）の状態を、ユーザーが確認できるようにすることが開示されている。具体的には、三次元形状データに基づいて、ユーザー所望の観察方向から見た検査対象箇所の形状に係る物理量を相対値として示すプロファイル画像を作成し、これを画面表示することが開示されている。このような技術によれば、外観からは確認できない検査対象箇所であっても、当該部位が具体的にどのようになっているか、良・不良の判定結果が妥当であるかどうかを、ユーザーは画面を参照することで容易に確認することができる。

特開２０１７－２２３４６８号公報 特開２０２１－１３５１５３号公報

ところで、部品実装基板に用いられる電子部品には、例えばＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）などのようにパッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成されたものがある。そして、このような電子部品については、特許文献２に記載の技術を用いたとしても、部品と基板との間のはんだ接合部についての適切なユーザー確認用画像を作成できない。図１７に、このような従来技術によるユーザー確認用画像とＢＧＡのはんだ接合部の状態との対応関係を示す。図１７に示すように、特許文献２の技術により作成されるはんだ接合部のプロファイル形状では、はんだぬれの実際の形状と対応しづらい、良品と不良品のプロファイル形状に差異が確認できない、などの問題がある。

本発明は、上記のような実情に鑑みてなされたものであり、パッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品が実装された基板について、ユーザーが検査対象箇所の状態を容易に確認できる技術を提供することを目的とする。

前記の目的を達成するために、本発明は以下の構成を採用する。即ち、
電子部品が表面実装された部品実装基板の検査システムであって、
前記電子部品は、パッケージ底面に前記部品実装基板とのはんだ接合用のメタルバンプが形成されたものであり、
前記部品実装基板に対してＸ線を照射するＸ線発生手段と、
前記部品実装基板を透過したＸ線を撮影するＸ線撮影手段と、
前記Ｘ線撮影手段によって撮影された複数のＸ線画像の情報を用いて、少なくとも前記部品実装基板と前記電子部品とのはんだ接合部を含む領域の三次元データを作成する、三次元データ作成手段と、
前記三次元データを用いて、前記はんだ接合部のはんだの形状をユーザー所望の観察面の二次元形状として示す確認用画像を作成する、確認用画像作成手段と、
前記ユーザー確認用画像作成手段が作成した前記確認用画像を含む画面を表示する表示手段と、を有する、検査システムである。

なお、上記の検査システムは、各手段が一体となった検査装置として構成されていてもよい。また「ユーザー所望の観察面」とは、例えば電子部品と部品実装基板の接合部の側面（横方向から見た面）などが想定される。ただし、当該対象面は外観から視認可能な面に限定される意味ではなく、三次元データによって定義される形状における任意の位置（及び方向）の断面も含まれる。

このような構成によれば、ＢＧＡなどのようにパッケージ底面にメタルバンプが形成されているような部品が実装された部品実装基板であっても、ユーザーが確認したい検査対象箇所のはんだ形状を、ユーザーが確認したい観察面の二次元形状として表示することができる。

また、前記確認用画像作成手段は、
前記三次元データにおける、前記はんだ接合部における前記電子部品側の基準となる水平断層位置である部品側基準面と、前記部品実装基板側の基準となる水平断層位置である基板側基準面と、を特定する基準面特定手段と、
前記部品側基準面と前記基板側基準面との間における、前記三次元データを構成する各水平断層のはんだの面積と重心位置とを算出する、水平断層はんだ面積算出手段と、
算出された前記各水平断層のはんだの面積と重心位置とに基づいて、前記観察面における前記はんだの輪郭形状を示す第１プロファイル画像を作成する第１プロファイル画像作成手段と、を備えており、
前記確認用画像には、前記第１プロファイル画像が含まれるのであってもよい。

なお、部品側基準面と基板側基準面とは、はんだボールの中心面となる水平断層位置に基づいて特定されるようになっていてもよい。このような構成によれば、検査対象箇所についてのユーザー所望の観察面におけるはんだの輪郭形状を容易に確認することが可能になる。

また、前記検査システムは、良品である前記部品実装基板の一以上の前記はんだ接合部を撮像したＸ線画像に基づいて作成された一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における面積に係る良品基準である第１良品基準を算出する第１良品基準算出手段をさらに有しており、
前記第１プロファイル画像作成手段は、前記はんだの輪郭形状と前記良品基準とを示す前記第１プロファイル画像を作成するものであってもよい。

ここで、「一以上の前記はんだ接合部」は、一の部品実装基板における一のランド（におけるはんだ付け部）であってもよいし、複数のランドを含むグループであってもよい。複数のランドとする場合には、同じ計測条件（検査基準）が設定されているランド同士をグループ化することが望ましい。また、用いられる良品としての実装基板は複数であってもよいし、一つであっても構わない。このような構成であると、ユーザーは、検査対象箇所のはんだの輪郭形状が、良品基準を満たしているか否か（即ち検査結果が出ている場合には、その結果が妥当であるか否か）を容易に確認することができる。

また、前記第１良品基準算出手段は、前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における面積の良品としての上限を示す第１上限近似曲線及び下限を示す第１下限近似曲線を算出し、
前記第１プロファイル画像作成手段は、前記第１上限近似曲線に基づいて作成される第１上限プロファイル及び前記第１下限近似曲線に基づいて作成される第１下限プロファイルの少なくともいずれかと、前記はんだの輪郭形状とを重畳して示す前記第１プロファイル画像を作成するものであってもよい。

このような構成によれば、ユーザーは、検査対象箇所の良品と不良品との差異を容易に確認することができるとともに、はんだの輪郭形状と検査基準の上限閾値及び下限閾値との関係を明確に確認することができる。

また、前記検査システムは、前記部品実装基板における前記はんだ接合部の良否判定に係る検査基準を記憶する記憶手段と、
前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記良品の前記はんだの各水平断層における面積の平均値による近似曲線と、前記第１上限近似曲線との一致率である第１上限側一致率及び前記第１下限近似曲線との一致率である第１下限側一致率、を算出する第１検査基準初期値算出手段と、
前記第１上限側一致率及び前記第１下限側一致率を、それぞれ前記検査基準の少なくとも一部として設定する、第１検査基準設定手段と、を有するものであってもよい。

このような構成によれば、システムにおいて自動で検査基準の初期値設定が行われるため、検査基準の設定について不慣れなユーザーであっても、検査システムを運用することが可能になる。

また、前記良品基準算出手段は、前記はんだ接合部の前記部品側基準面と前記基板側基準面との間の所定位置を境として、前記電子部品側と前記部品実装基板側、それぞれの前記第１良品基準を算出し、
前記第１プロファイル画像作成手段は、前記はんだ接合部の前記電子部品側の輪郭形状に対しては前記電子部品側の前記第１良品基準を示し、前記はんだ接合部の前記部品実装基板側の輪郭形状に対しては前記部品実装基板側の前記第１良品基準を示す、前記第１プロファイル画像を作成する、ものであってもよい。

ＢＧＡのようなパッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品の場合、良品であってもボール中心面を境に基板側と部品側とで、計測値（水平断層の面積、長径）の傾向が異なる。このため、上記のような構成によれば、基板側と部品側それぞれの良品基準の精度を高くすることができ、ユーザーは当該精度のよい良品基準と検査対象箇所のはんだの輪郭形状との関係を容易に確認することが可能になる。

また、前記確認用画像作成手段は、
前記三次元データにおける、前記はんだ接合部における前記電子部品側の基準となる水平断層位置である部品側基準面と、前記部品実装基板側の基準となる水平断層位置である基板側基準面と、を特定する基準面特定手段と、
前記部品側基準面と前記基板側基準面との間における、前記三次元データを構成する各水平断層のはんだの長径と重心位置とを算出する、水平断層はんだ長径算出手段と、
前記各水平断層のはんだの前記長径の半値と前記重心位置とに基づいて、前記観察面における前記はんだの輪郭形状を示す第２プロファイル画像を作成する第２プロファイル画像作成手段と、を備え、
前記確認用画像には、前記第２プロファイル画像が含まれるものであってもよい。

ＢＧＡのようなパッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品において、部品側のはんだと基板側のはんだとの接合部分が横ずれする不良（いわゆる「まくら不良」）が生じた場合、水平断層画像におけるはんだの面積と重心位置と用いる方法では、ユーザー所望の観察面のはんだの輪郭形状を正しく示すことができない。この点、上記のような構成であれば、まくら不良のような不良品であっても、ユーザーは検査対象箇所のはんだの輪郭形状を容易に確認することができる。

また、前記検査システムは良品である前記部品実装基板の一以上の前記はんだ接合部を撮像したＸ線画像に基づいて作成された一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における長径に係る良品基準である第２良品基準を算出する第２良品基準算出手段をさらに有しており、
前記第２プロファイル画像作成手段は、前記はんだの輪郭形状と前記第２良品基準とを示す前記第２プロファイル画像を作成するものであってもよい。

また、前記第２良品基準算出手段は、前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における長径の良品としての上限を示す第２上限近似曲線及び下限を示す第２下限近似曲線を算出し、
前記第２プロファイル画像作成手段は、前記第２上限近似曲線に基づいて作成される第２上限プロファイル及び前記第２下限近似曲線に基づいて作成される第２下限プロファイルの少なくともいずれかと、前記はんだの輪郭形状とを重畳して示す前記第２プロファイル画像を作成する、ものであってもよい。

また、前記検査システムは前記部品実装基板における前記はんだ接合部の良否判定に係る検査基準を記憶する記憶手段と、
前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記良品の前記はんだの各水平断層における長径の平均値による近似曲線と、前記第２上限近似曲線との一致率である第２上限側一致率及び前記第２下限近似曲線との一致率である第２下限側一致率、を算出する第２検査基準初期値算出手段と、
前記第２上限側一致率及び前記第２下限側一致率を、それぞれ前記検査基準の少なくとも一部として設定する、第２検査基準設定手段と、を有するものであってもよい。

また、前記第２良品基準算出手段は、前記はんだ接合部の前記部品側基準面と前記基板側基準面との間の所定位置を境として、前記電子部品側と前記部品実装基板側、それぞれの前記第２良品基準を算出し、
前記プロファイル画像作成手段は、前記はんだ接合部の前記電子部品側の輪郭形状に対しては前記電子部品側の前記第２良品基準を示し、前記はんだ接合部の前記部品実装基板側の輪郭形状に対しては前記部品実装基板側の前記第２良品基準を示す、前記第２プロファイル画像を作成するものであってもよい。

また、前記検査システムは、前記部品側基準面と前記基板側基準面との間における、前記三次元データを構成する前記各水平断層のはんだの真円度を算出する水平断層はんだ真円度算出手段と、
前記各水平断層位置を一方の軸とし、前記真円度を他方の軸とした二次元グラフエリアに、前記真円度をプロットした真円度プロファイルを表示する第３プロファイル画像を作成する、第３プロファイル画像作成手段と、をさらに有していてもよい。

また、前記検査システムは、良品である前記部品実装基板の一以上の前記はんだ接合部を撮像したＸ線画像に基づいて作成された一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における真円度の良品としての上限を示す第３上限近似曲線及び下限を示す第３下限近似曲線を算出する第３良品基準算出手段と、
前記部品実装基板における前記はんだ接合部の良否判定に係る検査基準を記憶する記憶手段と、
前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記良品の前記はんだの各水平断層における面積及び長径の平均値から算出される前記真円度の平均値による近似曲線と、前記第３上限近似曲線との一致率である第３上限側一致率及び、前記第３下限近似曲線との一致率である第３下限側一致率、を算出する第３検査基準初期値算出手段と、
前記第３上限側一致率及び前記第３下限側一致率を、それぞれ前記検査基準の少なくとも一部として設定する、第３検査基準設定手段と、をさらに有するものであってもよい。

まくら不良はその形状の特徴から、良否判定基準として真円度が用いられることが一般的となっている。このため、上記のような構成とすることで、ユーザーはまくら不良に対応する現実的な検査基準と、当該検査基準に応じた検査対象箇所のプロファイル（各水平断層における真円度を示すプロファイル）を容易に確認することが可能になる。即ち、まくら不良の場合の良否判定の結果の妥当性をより容易に確認することが可能になる。なお、第３上限近似曲線は前記の第１及び第２上限近似曲線に基づいて、第３下限近似曲線は前記の第１及び第２上限近似曲線に基づいて求めるようにしてもよい。

また、前記確認用画像作成手段は、前記三次元データの前記部品側基準面と前記基板側基準面との間における各水平断層画像に二値化処理を施し、当該二値化処理した結果をユーザー所望の観察面の奥行方向に投影した垂直投影画像を作成する、垂直投影画像作成手段をさらに備え、前記確認用画像には、前記垂直投影画像作成手段が含まれていてもよい。このような構成であれば、ユーザーは検査対象箇所のユーザー所望の観察方向から見たはんだ形状を二値化画像で確認することができる。

また、前記検査システムは、前記部品実装基板における前記はんだ接合部の良否判定に係る検査基準を取得する検査基準取得手段をさらに有しており、
前記確認用画像作成手段は、前記二次元形状について、前記検査基準に照らして不良と判定される箇所が存在する場合には、当該不良と判定される箇所を強調表示して示すものであってもよい。

このような構成であれば、検査対象箇所の形状が検査基準を満たすものでない場合には、ユーザーは当該検査基準を満たさない箇所を容易かつ明確に確認することが可能になる。

また、前記確認用画像作成手段は、前記はんだ接合部全体のはんだの形状を示す第１の前記確認用画像の他、前記電子部品側の前記はんだの形状のみを示す第２の前記確認用画像と、前記はんだ接合部の前記部品実装基板側の前記はんだの形状のみを示す第３の前記確認用画像と、前記第２の前記確認用画像及び前記第３の前記確認用画像を同時に示す第４の前記確認用画像とを作成し、前記表示手段は、前記第１から第４のいずれかの前記確認用画像を含む画面を表示するものであってもよい。なお、ここでいう、前記電子部品側、前記部品実装基板側、とは、例えば、前記部品側基準面と前記基板側基準面との間の所定位置を境として定義することができる。このような構成であると、はんだ接合部の部品側と基板側とで個別の確認用画像を作成し、ユーザー所望の部分のみを示すことも可能になる。

また、本発明は、前記三次元データ作成手段と前記確認用画像作成手段とを備え、前記の検査システムの少なくとも一部を構成する、検査用情報処理端末、としても捉えることができる。

また、本発明は、コンピュータを前記の検査用情報処理端末として機能させるためのプ
ログラム、そのようなプログラムを非一時的に記録したコンピュータ読取可能な記録媒体として捉えることもできる。

なお、上記構成及び処理の各々は技術的な矛盾が生じない限り互いに組み合わせて本発明を構成することができる。

本発明によれば、パッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品が実装された基板について、ユーザーが検査対象箇所の状態を容易に確認できる技術を提供することができる。

図１は、本発明の適用例に係るＸ線検査装置の概略構成を示す模式図である。 図２は、本発明の適用例に係るＸ線検査装置における確認用画像表示処理の流れを示すフローチャートである。 図３は、実施形態１に係るＸ線検査システムの概略構成を示すブロック図である。 図４は、実施形態１において検査対象となるはんだ接合部について説明する図である。 図５Ａは、実施形態１に係るＸ線検査システムにおいて表示される確認用画像の一例を示す第１の図である。図５Ｂは、実施形態１に係るＸ線検査システムにおいて表示される確認用画像の一例を示す第２の図である。図５Ｃは、実施形態１に係るＸ線検査システムにおいて表示される確認用画像の一例を示す第３の図である。 図６は、実施形態１に係るＸ線検査システムにおける確認用画像表示処理の流れを示すフローチャートである。 図７は、実施形態２に係るＸ線検査システムの概略構成を示すブロック図である。 図８は、実施形態２において、良品の三次元形状データに基づいて良品基準を算出する処理を説明する図である。 図９Ａは、実施形態２に係るＸ線検査システムにおいて表示される確認用画像の一例を示す第１の図である。図９Ｂは、実施形態２に係るＸ線検査システムにおいて表示される確認用画像の一例を示す第２の図である。 図１０Ａは、実施形態２において、良品の三次元形状データに基づいて良品基準を算出する他の処理の例を示す図である。図１０Ｂは、実施形態２に係るＸ線検査システムにおいて表示される確認用画像の一例を示す第３の図である。図１０Ｃは、実施形態２に係るＸ線検査システムにおいて表示される確認用画像の一例を示す第４の図である。 図１１は、実施形態２に係るＸ線検査システムにおいて行われる処理の一部の流れを示すフローチャートである。 図１２は、実施形態２に係るＸ線検査システムにおける確認用画像表示処理の流れを示すフローチャートである。 図１３は、実施形態３に係るＸ線検査システムの概略構成を示すブロック図である。 図１４は、実施形態３に係るＸ線検査システムにおいて行われる処理の一部の流れを示すフローチャートである。 図１５は、実施形態４に係るＸ線検査システムの概略構成を示すブロック図である。 図１６Ａは、実施形態４において検査対象となるはんだ接合部について説明する図である。図１６Ｂは、実施形態４に係るＸ線検査システムにおいて表示される確認用画像の一例を示す図である。 図１７は、本発明が対象とする部品のはんだ接合部の状態と従来技術による確認用画像の対応関係を示す説明図である。

＜適用例＞
（適用例の構成）
以下、本発明の実施形態の一例について説明する。本発明は、例えば、ＢＧＡなどのパッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品が実装された部品実装基板をＸ線撮影し、当該撮影画像に基づいて当該部品実装基板を検査するための、Ｘ線検査装置として適用することができる。図１は本適用例に係るＸ線検査装置９の概略構成を示す模式図である。Ｘ線検査装置９は概略、制御端末９１と、Ｘ線源９２、Ｘ線カメラ９３とを有する撮影部９４とを含んで構成される。なお、以下の実施形態の説明において、座標系を取り扱う際には、鉛直方向をＺ軸とし、水平方向のうち奥行きを示す方向をＹ軸、水平方向のうちＹ軸と直角に交わる方向をＸ軸として説明を行う。また、Ｚ軸については下方向が＋方向、Ｙ軸については手前方向が＋方向、Ｘ軸については右方向が＋方向（いわゆる画像座標系）として説明を行う。

制御端末９１は、例えば汎用のコンピュータなどによって構成されることができ、駆動制御部９１１、記憶部９１２、三次元データ作成部９１３、検査部９１４、画像作成部９１５、表示部９１６の各機能部を備えている。

Ｘ線源９２は図示しない搬送ローラによって搬送される部品実装基板ＯにＸ線を照射し、Ｘ線カメラ９３は部品実装基板Ｏを透過したＸ線を撮影する。Ｘ線源９２はＸステージ９２１およびＹステージ９２２によって移動可能であり、Ｘ線カメラ９３はＸステージ９３１およびＹステージ９３２によって移動可能である。Ｘ線源９２およびＸ線カメラ９３はこれらのステージによってそれぞれ円軌道Ｃ１、Ｃ２を移動し、軌道上の複数の位置で撮影が行われる。

駆動制御部９１１は、Ｘ線検査装置９を構成する各部の駆動を制御する。これにより、Ｘ線検査装置９は、部品実装基板Ｏ、Ｘ線源９２、Ｘ線カメラ９３の相対位置を変化させて、複数の撮影位置から部品実装基板Ｏを撮影する。

記憶部９１２には、少なくとも部品実装基板Ｏに係る情報（例えば、実装される部品の種類、形状、寸法など）、閾値などの検査基準に係る情報、が記憶されている。また、検査装置を制御するためのプログラム、後述するユーザー確認用画像作成のためのデータなどが格納されていてもよい。

三次元データ作成部９１３は、上記のようにして撮影された複数のＸ線画像から、部品実装基板Ｏ（或いはその一部である検査対象箇所）の三次元データを作成する。当該データの作成（構築）方法については、ＣＴ（Ｃｏｍｐｕｔｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ）やトモシンセシスなどの公知技術を適用可能であるため、詳細な説明は省略する。また、検査部９１４は、作成された三次元データと記憶部９１２に記憶されている検査基準とを比較することによって、部品実装基板Ｏの良不良を判定する検査を実行する。

画像作成部９１５は、三次元データ作成部９１３が作成した三次元データを用いて、部品実装基板Ｏにおける検査対象箇所の形状を、所定の方向（例えば、部品実装基板のＸＺ平面を正面とする方向）から観察した場合の二次元形状として示すユーザー確認用画像を作成する。また、表示部９１６は、例えば液晶ディスプレイなどの表示装置を含んで構成され、画像作成部９１５が作成したユーザー確認用画像を表示する。

（処理の流れ）
本適用例におけるＸ線検査装置９が行う上記の処理の手順を図２に示す。まず、Ｘ線検査装置９は、部品実装基板Ｏを複数の異なる位置からＸ線撮影し、複数のＸ線画像データを取得する（Ｓ９０１）。次に、Ｘ線検査装置９は、ステップＳ９０１で取得した複数のＸ線画像データから、部品実装基板Ｏの三次元データを作成する（Ｓ９０２）。

Ｘ線検査装置９は、続けて、ステップＳ９０２で作成した三次元データに基づいて、部品実装基板Ｏの検査を行う（Ｓ９０３）。具体的には、例えば、予め記憶部９１２に保持されている、部品実装基板Ｏの形状に係る検査基準（閾値）と、三次元データとを比較することにより、部品実装基板Ｏの良否を判定する。また、当該判定結果を表示部９１６において表示するようにしてもよい。

Ｘ線検査装置９は、さらに、ステップＳ９０２で作成した三次元データを用いて、後述するユーザー確認用画像を作成するための前処理を実施する（Ｓ９０４）。具体的には、例えば、三次元データから画像作成対象箇所の部品側の基準となる水平断層位置である部品側基準面と、基板側の基準となる水平断層位置である基板側基準面とを特定する。そして、部品側基準面と基板側基準面との間における各水平断層のはんだの面積と重心位置とを算出する。

そして、Ｘ線検査装置９は、ステップＳ９０４の処理に基づいて、部品実装基板Ｏにおける所望の検査対象箇所のはんだ形状をユーザー所望の方向から観察した場合の二次元形状として示すユーザー確認用画像を作成する（Ｓ９０５）。具体的には、例えば、対象箇所のユーザー所望の観察方向から見た場合のはんだの輪郭形状を示すプロファイル画像を作成する。

そして、Ｘ線検査装置９は、ステップＳ９０５で作成した画像を、表示部９１６に表示し（ステップＳ９０６）、一連の処理を終了する。なお、表示部９１６への表示は、所定の検査対象箇所の画像を自動的に表示するのであってもよいし、ユーザーからの指示入力を待ったうえで、指示に従った画像を表示するのであってもよい。また、ステップＳ９０３の検査結果と共に、ユーザー確認用画像を表示するようにしてもよい。

本適用例に係るこのようなＸ線検査装置９によれば、ＢＧＡなどのパッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品が実装された基板について、ユーザーが検査対象箇所の状態を容易に確認することができる。これにより、Ｘ線検査装置において、検査結果の良否の判断、検査基準の設定、修正などを容易に行うことが可能になる。

＜実施形態１＞
次に、図３から図６に基づいて、本発明を実施するための形態のさらに詳細な例について説明する。ただし、この実施形態に記載されている構成要素の寸法、材質、形状、その相対配置などは、特に記載がない限りは、この発明の範囲をそれらのみに限定する趣旨のものではない。

（システム構成）
図３は、本実施形態に係る、Ｘ線検査システム１の機能構成を示す概略ブロック図である。本実施形態に係るＸ線検査システム１は、Ｘ線撮影装置１１と検査端末１２と、データサーバ１３とを含んで構成されており、ＢＧＡなどのパッケージ底面にはんだ付け用のメタルバンプが形成された部品実装基板の検査に用いられる検査システムである。Ｘ線撮影装置１１と検査端末１２とデータサーバ１３とは図示しない通信手段により相互に通信可能に接続されている。

Ｘ線撮影装置１１は、Ｘ線源１１１、Ｘ線カメラ１１２、及び、基板を保持するステージ１１３、及びこれらを制御する制御部（図示せず）を備えており、これらの各構成が相対的に移動することによって、基板の異なる位置（及び向き）のＸ線画像を撮影できるようになっている。Ｘ線撮影装置１１については所望の公知技術を採用することができるため、Ｘ線源１１１、Ｘ線カメラ１１２及びステージ１１３などの詳細な説明は省略する。

検査端末１２は、図示しないが、例えばＣＰＵやＤＳＰ等のプロセッサ、記憶手段、キーボードやマウス等の入力手段、液晶ディスプレイ等の出力手段、を備える汎用コンピュータとすることができる。なお、検査端末１２は、単一のコンピュータで構成されてもよいし、互いに連携する複数台のコンピュータによって構成されてもよい。

なお、上記記憶手段は、例えば、読み込み専用メモリ（ＲＯＭ）、ランダムアクセスメモリ（ＲＡＭ）等の主記憶部と、ＥＰＲＯＭ、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）、リムーバブルメディア等の補助記憶部とを含んでいる。記憶手段の補助記憶部には、オペレーティングシステム（ＯＳ）、各種プログラム等が格納され、該プログラムを主記憶部の作業領域にロードして実行し、プログラムの実行を通じて検査端末１２が制御されることによって、後述するような、所定の目的を果たす機能部を実現することができる。なお、一部又は全部の機能部はＡＳＩＣやＦＰＧＡのようなハードウェア回路によって実現されてもよい。

データサーバ１３は、（検査内容に応じた）Ｘ線撮影装置１１における撮影条件、検査対象基板に係る情報（例えば、部品の種類、形状、寸法など）、検査項目や閾値などの検査条件に係る情報、などが記憶されるとともに、後述するように検査端末１２において生成される保存データが記憶される領域が設けられている。なお、検査端末１２を制御するためのプログラムがデータサーバ１３に格納されていてもよい。

（検査端末の機能部について）
次に、検査端末１２が備える各機能部について説明する。検査端末１２は、入出力に係る機能部として、例えばキーボードやマウスなどの入力手段を含む入力部１２１と、例えば液晶ディスプレイなどの出力手段を含む出力部１２２を備えている。また、三次元データ作成部１２３、検査部１２４、確認用画像作成部１２５を備えている。

三次元データ作成部１２３は、Ｘ線撮影装置１１から取得した検査対象基板の複数のＸ線画像に基づいて、検査対象箇所の三次元形状のデータ（以下、単に三次元データともいう。）を作成する。なお、Ｘ線画像のデータは、Ｘ線撮影装置１１から直接画像データを取得してもよいし、Ｘ線撮影装置１１から一旦データサーバ１３に送信され、データサーバ１３において保存されているデータを取得するのであってもよい。

検査部１２４は、データサーバ１３から検査基準を含む検査情報を取得し、作成された三次元データと検査基準とを比較することにより、検査対象基板の良不良を判定する検査を実行する。

（確認用画像作成部について）
確認用画像作成部１２５は、三次元データ作成部１２３が作成した三次元データを用いて、検査対象における検査対象箇所のはんだ形状をユーザー所望の方向から観察した場合の二次元形状として示す、確認用画像を作成する。そして、確認用画像作成部１２５は当該画像を作成するため、さらに、基準面特定部１２５１、面積重心位置算出部１２５２、輪郭形状画像作成部１２５３、垂直投影画像作成部１２５４、の各機能部を備えている。

基準面特定部１２５１は、上述の三次元データにおける、はんだ接合部（以下、ランドともいう）における部品側の基準となる水平断層位置である部品側基準面と、基板側の基準となる水平断層位置である基板側基準面と、を特定する。具体的には、まず三次元データにおいて（はんだの）ボール中心面となる水平断層位置を探索する。ボール中心面は、例えば、検査対象箇所のランドの水平断層画像について、最も輝度のバラツキ（輝度分散）が大きくなる水平断層位置とすることができる。図４に、検査対象となるはんだ接合部における、ボール中心面、部品側基準面、基板側基準面の対応関係を説明する図を示す。

次に、特定したボール中心面となる水平断層位置から、三次元形状データの＋Ｚ方向に対して走査を行い、基板接合面となる水平断層位置を探索する。具体的には、例えば、基板上の所定の領域の配線パターンを（所定の特徴量などで）検出するようにし、当該配線パターンが最も多く検出された水平断層位置を、基板接合面とすればよい。そして、探索された基板接合面から－Ｚ方向に所定分オフセットされた水平断層位置を、基板側基準面（基板側のはんだ接合面）として特定する。なお、オフセットする値は、パッド厚などの基板設計情報に基づいて予め設定しておくことができる。

さらに、ボール中心面となる水平断層位置から、－Ｚ方向に対して部品接合面となる水平断層位置を探索する。探索は上記の基板接合面と同様に行うことができる。そして、探索された部品接合面から＋Ｚ方向に所定分オフセットされた水平断層位置を、部品側基準面（部品側のはんだ接合面）として特定する。

面積重心位置算出部１２５２は、三次元データにおける、基板側基準面と部品側基準面との間の範囲における各水平断層画像に二値化処理を施すとともに、各水平断層におけるはんだの面積と重心位置を算出する。なお、以下では特に限定しない限り「各水平断層」とは、基板側基準面と部品側基準面との間の範囲における各水平断層、のことを指す。二値化方法は判別分析法などの適宜の公知技術を採用することができる。

輪郭形状画像作成部１２５３は、算出された各水平断層のはんだ面積と重心位置に基づいて、ユーザー所望の観察面におけるはんだの輪郭形状を示す輪郭形状（プロファイル）画像を作成する。ここで、作成される輪郭形状画像は、ボール中心面から部品側基準面までのはんだ部分のみを示す部品側輪郭形状画像と、ボール中心面から基板側基準面までのはんだ部分のみを示す基板側輪郭形状画像とに分割表示可能となっている。

垂直投影画像作成部１２５４は、各水平断層の二値化画像をユーザー所望の観察面の奥行方向に投影処理を行った垂直投影画像を作成する。投影方法は例えば、最大値投影（最も輝度の高い画素を投影）とすることができる。ここで、作成される垂直投影画像は、ボール中心面から部品側基準面までのはんだ部分のみを示す部品側垂直投影画像と、ボール中心面から基板側基準面までのはんだ部分のみを示す基板側垂直投影画像とに分割表示可能となっている。

図５Ａから５Ｃの各図に、輪郭形状画像と垂直投影画像の一例を示す。左側が垂直投影画像であり、右側が輪郭形状画像である。図５Ａは、一のはんだ接合部における、基板側基準面と部品側基準面との間の範囲全体のはんだの二次元形状を示す輪郭形状画像と垂直投影画像の一例を示している。なお、輪郭形状画像の横軸は、ランド半径に対する面積から算出された半径（＝√（面積／π））の割合（％）を示している。重心位置を基準にして左右のプロット位置を決定し、これを各水平断層（縦軸）においてプロットしたものが輪郭を示すラインとなる。図５Ｂは、部品側輪郭形状画像と部品側垂直投影画像の一例を示し、図５Ｃは基板側輪郭形状画像と基板側垂直投影画像の一例を示している。

確認用画像作成部１２５は、これらの輪郭形状画像と垂直投影画像を含む確認用画像を
作成する。そして、入力部１２１を介してユーザーから確認用画像の表示指示があった場合には、出力部１２２としての液晶ディスプレイに確認用画像が表示される。

（確認用画像表示処理の流れ）
次に、図６を参照して、本実施形態において、検査対象である基板のＸ線画像撮影から確認用画像を表示するまでの処理の流れを説明する。まず、Ｘ線撮影装置１１によって基板のＸ線画像が撮影される（Ｓ１０１）。そして、三次元データ作成部１２３が複数のＸ線画像から基板の（或いは検査対象箇所の）三次元データを作成する（Ｓ１０２）。

次に、ユーザーは入力部１２１を介して、基板における部品のはんだ接合部のうち、確認用画像を表示させたいランドを設定する（Ｓ１０３）。なお、設定するランドの数は一つに限らず、複数のランドを設定することもできる。そして、確認用画像作成部１２５が、設定された全てのランドに対して、以下で説明するループＬ１の処理を実行する。

ループＬ１では、まず、基準面特定部１２５１が、ステップＳ１０２で作成された三次元データから、ボール中心面を特定し（Ｓ１０４）、基板側基準面及び部品側基準面を特定する（Ｓ１０５、Ｓ１０６）。なお、ステップＳ１０５とステップＳ１０６の処理は順番が前後しても構わない。そして、面積重心位置算出部１２５２が、基板側基準面と部品側基準面との間の範囲における各水平断層画像に対して、次のループＬ２の処理を行う。具体的には範囲内の各水平断層画像に対して二値化処理を施すとともに、各水平断層におけるはんだの面積と重心位置を算出する（Ｓ１０７）。そして、全ての水平断層におけるはんだの面積と重心位置が算出されるとループＬ２の処理は終了し、ループＬ２で算出された情報に基づいて確認用画像作成部１２５が確認用画像を作成する（Ｓ１０８）。そして、ステップＳ１０４からステップＳ１０８までの処理を設定された全てのランド分行うとループＬ１が終了する。なお、作成された確認用画像の情報は、確認用画像作成部１２５によりデータサーバ１３に保存されるようにしておくとよい。また、ステップＳ１０４からステップＳ１０８の各処理の詳細については、上記の機能部についての説明の際に説明済みであるため、省略する。

上記のループＬ１の処理が終了後、任意のタイミングでユーザーが入力部１２１を介して、ステップＳ１０３で設定したランドの中から、任意のランドを選択すると（Ｓ１０９）、出力部１２２は、指定されたランドに対してループＬ１で作成した確認用画像を液晶ディスプレイなどの表示デバイスに表示させる処理を実行し（Ｓ１１０）、一旦、本ルーティンを終了する。

上記したようなＸ線検査システム１によると、ＢＧＡなどのパッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品が実装された基板の検査対象箇所について、所望の方向から見た場合のおおよその輪郭形状を、二次元情報として視認することが可能になる。このため、部品実装基板のＸ線検査において、検査結果の妥当性を容易に判断することが可能になる。また、これを踏まえて検査基準の設定を行うことが可能になる。

＜実施形態２＞
（システムの概要）
続けて、本発明に係る他の実施形態であるＸ線検査システム２について、図７から図１２に基づいて説明する。本実施形態に係るＸ線検査システム２は、上述のＸ線検査システム１と多くの構成を共通にしているため、同様の構成及び機能については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

図７は、本実施形態に係るＸ線検査システム２の機能構成を示す概略ブロック図である。図７に示すように、本実施形態に係るＸ線検査システム２は、検査端末２２の機能部と
して良品基準算出部２２１が備わっている他は、Ｘ線検査システム１と同様の構成を有している。また、Ｘ線検査システム２では、輪郭形状画像作成部２２２及び垂直投影画像作成部２２３が作成する各画像がＸ線検査システム１のものとは異なる。

（良品基準の算出）
良品基準算出部２２１は、良品の部品実装基板を撮像したＸ線画像に基づいて作成される良品の三次元データから、検査対象箇所のはんだについての良品基準を算出する。以下では、良品基準算出の具体的な処理について、図８を参照しながら行う。図８は、良品の三次元形状データに基づいて良品基準を算出する処理を説明する図である。

良品基準算出部２２１は、まず、良品三次元データの一つ以上のランド（例えば、１５のランド）に対して、ランド毎の基板側基準面から部品側基準面の間の範囲の各水平断層のはんだ面積を算出する処理を行う。即ち、良品の部品実装基板（の一以上のランド）に対して、上述のステップＳ１０１からステップＳ１０７の処理を実行する。そして、算出したランド毎の各断層の面積を、対応する断層位置にプロットする（図８中央のグラフエリア参照）。さらに、プロットされた面積の平均値と標準偏差を各断層で算出し、断層位置と面積の関係を示す２本の近似曲線を算出する（図８右側のグラフエリア参照）。

２本の近似曲線はそれぞれ、例えばＳ＝Ａ×Ｚ^２＋Ｂ×Ｚ＋Ｃの関数により算出される曲線であり、一方は良品として収まる上限の基準を示す上限近似曲線、他方は良品として収まる下限の基準を示す下限近似曲線である。ここで、Ｓはグラフの横軸の値であり、Ｚは縦軸の値である。上限近似曲線は、各水平断層における一つ以上のランドの面積の値（即ちＳ）を「面積の平均値＋ｎ×標準偏差」として、下限近似曲線は、各水平断層における一つ以上のランドの面積の値（即ちＳ）を「面積の平均値－ｎ×標準偏差」として算出することができる。ｎはバラツキの幅を調整する値であり、任意の値を設定することができるが、例えばｎ＝３とすることができる。

そして、良品基準算出部２２１は算出された上限近似曲線と下限近似曲線に基づいて各断層位置における、良品と判定される上限と下限の面積を算出する。当該上限、下限の面積が良品基準に相当する。

なお、上記において、良品基準を算出する際に選択する一つ以上のランドは、同じ計測条件が設定されているランドでグループ化することが望ましい。ＢＧＡのようなパッケージ底面にはんだ接合用のメタルバンプが形成された電子部品は、複数のメタルバンプを格子状に配列させる実装が主流であり、部品サイズが大きくなりやすい傾向にある。そのため、視野位置によるＸ線照射角度の変化の影響を受けやすく、同じ部品内であっても、視野位置によって、メタルバンプのはんだ接合状態の見え方が異なる場合が多い。そのような場合にはランド毎に異なる計測条件を設定するのが一般的であり、同じ計測条件を持つランドグループを集計対象とすることで、上述の近似曲線算出の精度を向上させることができる。

また、ＢＧＡのような大きな部品は、基板反りの影響を受けやすいため、同じ部品内であっても、視野位置によって基板側基準面となる断層位置が異なることがある。このため、上記式におけるＺ（即ち、断層位置）は、基板側基準面からの相対位置とすることが望ましい。

（確認用画像の作成）
本実施形態における輪郭形状画像作成部２２２は、検査対象箇所のはんだの輪郭形状に、良品基準算出部２２１が算出した良品基準をプロットした良品基準プロファイルを重畳して示す輪郭形状画像を作成する。図９Ａ及び図９Ｂに本実施形態に係る確認用画像の一
例を示す。

図９Ａは、垂直投影画像と上限側の良品基準プロファイルが重畳表示された輪郭形状画像を示す図であり、図９Ｂは、垂直投影画像と下限側の良品基準プロファイルが重畳表示された輪郭形状画像を示す図である。なお、良品基準プロファイルを重畳表示する場合には、各断層位置において、検査対象箇所の輪郭形状を示すプロファイル値と、良品基準プロファイル値の大小関係を比較し、良品基準を満たさない部位を、輪郭形状画像と垂直投影画像のそれぞれで強調表示することができる。図９Ｂに示す例では、検査対象箇所のはんだ形状の一部が、下限側の良品基準よりも小さい面積となっている（即ち、下限基準を逸脱し、良品基準を満たさない）ため、当該部位については強調表示が行われている。

なお、良品基準算出部２２１は、ボール中心面から部品側基準面までのはんだ部分（以下、単に部品側はんだ、ともいう）と、ボール中心面から基板側基準面までのはんだ部分（以下、単に基板側はんだ、ともいう）とで、別々に良品基準を算出してもよい。図１０Ａに、部品側はんだと基板側はんだとで別々に良品基準を算出する際の近似曲線の一例を示す。また、図１０Ｂは、部品側輪郭形状画像に部品側はんだの良品基準プロファイルを重畳した場合の、部品側垂直投影画像及び部品側輪郭形状画像の例を示す図である。また、図１０Ｃは、基板側輪郭形状画像に基板側はんだの良品基準プロファイルを重畳した場合の、基板側垂直投影画像及び基板側輪郭形状画像の例を示す図である。

（処理の流れ）
次に、図１１及び図１２を参照して、本実施形態において、良品の基板に基づいて良品基準を算出する処理（以下では、学習段階などともいう）の流れと、検査時（以下では検査段階などともいう）において良品基準を反映させた確認用画像を表示するまでの処理の流れを説明する。

図１１は、本実施形態の学習段階の処理の流れを示すフローチャートである。図１１に示すように、学習段階では、まずＸ線撮影装置１１によって良品基板のＸ線画像が撮影される（Ｓ２０１）。そして、三次元データ作成部１２３が複数のＸ線画像から基板の良品三次元データを作成する（Ｓ２０２）。

次に、良品基準算出部２２１が、良品基準を算出する全てのランドグループ（例えば、予めユーザーにより設定される）に対して、以下で説明するループＬ３の処理を実行する。具体的には、同一の計測条件が設定されているランドグループ毎に、該ランドグループ内の全てのランドに対して、以下で説明するループＬ４の処理を実行する。ループＬ４では、まず、ステップＳ２０２で作成された三次元データから、ボール中心面を特定し（Ｓ２０３）、基板側基準面及び部品側基準面を特定する（Ｓ２０４、Ｓ２０５）。なお、ステップＳ２０４とステップＳ２０５の処理は順番が前後しても構わない。続けて、良品基準算出部２２１は、基板側基準面と部品側基準面との間の範囲における各水平断層画像に対して、次のループＬ５の処理を行う。具体的には範囲内の各水平断層画像に対して二値化処理を施すとともに、各水平断層におけるはんだの面積と重心位置を算出する（Ｓ２０６）。

良品基準算出部２２１は、全ての水平断層におけるはんだの面積と重心位置が算出されるとループＬ５の処理を終了する。そして、全てのランドに対してループＬ４の処理を終えると、良品基準算出部２２１は、ループＬ４およびループＬ５で算出された情報に基づいて、上限近似曲線及び下限近似曲線を算出する（Ｓ２０７）。そして、全てのランドグループについて、ステップＳ２０７の処理（即ち、上限近似曲線及び下限近似曲線の算出）が終了すると、ループＬ３の処理を終了し、学習段階の一連のルーティンを終了する。なお、ステップＳ２０７で作成された近似曲線（或いはさらにそこから算出される良品基
準プロファイル）の情報は、データサーバ１３に保存されるようにしておくとよい。また、上記のステップＳ２０３からステップＳ２０６で実行される処理については、基準面特定部１２５１及び面積重心位置算出部１２５２の行う処理と同様である。

次に、図１２に基づいて、本実施形態における検査段階の処理の流れについて説明する。ただし、本実施形態における検査段階の処理の流れは、実施形態１に係るＸ線検査システム１での処理とほぼ同様であるため、Ｘ線検査システム１と同様の処理については同一の符号を付し、説明を省略する。図１２に示すように、本実施形態における検査段階の処理の流れは、Ｘ線検査システム１での処理と比べて、ステップＳ１０９とステップＳ１１０の間にステップＳ３０１の処理が含まれている点のみが異なっている。即ち、ループＬ１の処理が終了し、Ｓ１０９でユーザーが任意のタイミングで確認用画像を表示させたいランドを選択した後に、確認用画像作成部１２５は、良品基準プロファイルを重畳表示した輪郭形状画像を含む確認用画像を作成する（Ｓ３０１）。この際、検査対象箇所のはんだにおいて良品基準を逸脱している部位がある場合には、当該部位を強調表示した輪郭形状画像及び垂直投影画像が作成される。そして、ステップＳ１１０において作成された確認用画像を表示する。

以上のような、本実施形態に係るＸ線検査システム２によれば、輪郭形状画像に、良品基板に基づいて学習を行った良品基準のプロファイルを重畳表示し、良品基準を満たさないはんだの部位に当たる断層を強調表示することができる。これにより、ＢＧＡのようにパッケージ底面にメタルバンプが形成されるような部品であっても、ユーザーは良品と不良品の輪郭形状の差異を容易に確認することができる。

＜実施形態３＞
続けて、さらに他の実施形態であるＸ線検査システム３について、図１３、図１４に基づいて説明する。本実施形態に係るＸ線検査システム３は、上述のＸ線検査システム２と多くの構成及び処理を共通にしているため、同様の構成、機能及び処理については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

図１３は、本実施形態に係るＸ線検査システム３の機能構成を示す概略ブロック図である。図１３に示すように、本実施形態に係るＸ線検査システム３は、検査基準値算出部３２１及び、検査基準設定部３２２の機能部を備える他は、Ｘ線検査システム２と同様の機能構成となっている。

検査基準値算出部３２１は、良品基準算出部２２１が算出した上限近似曲線及び下限近似曲線と、良品三次元データのランド毎の各水平断層の面積の平均値による近似曲線との一致率を算出する。良品三次元データのランド毎の各水平断層の面積平均値は、良品基準算出部２２１が算出するのであってもよいし、検査基準値算出部３２１が算出するのであってもよい。なお、本実施形態においては、上限近似曲線と良品三次元データのランド毎の各水平断層の面積の平均値との一致率を上側一致率と称する。また、下限近似曲線と良品三次元データのランド毎の各水平断層の面積の平均値との一致率を下側一致率と称する。

そして、検査基準設定部３２２は、検査基準値算出部３２１が算出した上側一致率と下側一致率を、それぞれ当該部品（の当該ランド）の検査基準として設定する。具体的にはデータサーバ１３に格納される検査基準の値として、算出された上側一致率及び下側一致率の値を保存（初期登録）する、或いは既にある検査基準に上書きする。

一般に一致率という評価指標は、内部の情報処理（アルゴリズム）に依存する値であり、物理的な値ではないため、ユーザーが一致率を検査に運用するのは、比較的困難であり
、特に初期設定時に適切な検査基準値を決定することは容易ではない。一方、ユーザーが（良品の）バラツキ幅を定める倍数をもとに統計的に良否判定することは、一般的によく使用される方法である。この点、上側一致率、下側一致率の算出に用いられる上下限近似曲線は、上述のように標準偏差の倍数ｎを用いてバラツキの幅が調整される。即ち、ユーザーが学習段階でｎの値を設定しておくことで、学習後には検査基準値算出部３２１が上下限一致率を算出したうえで、これを検査基準設定部３２２が検査基準値として設定するため、一致率のように、ユーザーにとって運用が困難な検査基準であっても、検査基準値を容易に設定することができる。

（処理の流れ）
次に、図１４に基づいて、本実施形態における学習段階の処理の流れについて説明する。ただし、本実施形態における学習段階の処理の流れは、実施形態２に係るＸ線検査システム２での処理とほぼ同様であるため、Ｘ線検査システム２と同様の処理については同一の符号を付し、説明を省略する。図１４に示すように、本実施形態における学習段階の処理の流れは、Ｘ線検査システム２での処理と比べて、ステップＳ４０１とステップＳ４０２の処理が加わった点のみが異なっている。なお、当該処理の追加に伴い、図１４では、ループＬ３に相当するループ処理をループＬ６としている。

本実施形態の学習段階での処理の流れは、一連のループＬ４の処理が終了すると、Ｓ２０７で上下限近似曲線が算出された後、検査基準値算出部３２１が、上側一致率及び下側一致率を算出する（Ｓ４０１）。そして、検査基準設定部３２２が、上側一致率と下側一致率をそれぞれ当該部品の検査基準として設定して（Ｓ４０２）、ループＬ６の処理を終え、学習段階の処理の一連のルーティンを終了する。

以上のような、本実施形態に係るＸ線検査システム３によれば、検査基準設定部が自動的に検査基準を設定するため、検査基準の設定について不慣れなユーザーであっても、検査システムを運用することができる。また、一旦検査基準が設定された後は、基板検査のオペレーションを通じて、設定された検査基準を微調整していけばよいため、より適切な検査基準をユーザーの手により設定することもできる。

＜実施形態４＞
続けて、さらに他の実施形態であるＸ線検査システム４について説明する。上記の各実施形態では、はんだの輪郭形状画像を作成するために、三次元データの各水平断層の面積（と重心位置）を用いていた。また、検査基準についても、各水平断層の面積の値を対象としたものとなっていた。しかしながら、部品の実装時に部品側のはんだと基板側のはんだとが横ずれしてしまう不良（いわゆる「まくら不良」）のような場合には、上記の各実施形態では、はんだの輪郭形状をユーザー所望の観察方向から見た二次元形状として適切に示すことができない。本実施形態に係るＸ線検査システム４は、このようなまくら不良が存在する場合にも対応可能な構成となっている。

図１５は、Ｘ線検査システム４の機能構成を示す概略ブロック図である。図１５に示すように、本実施形態に係るＸ線検査システム４は、上述のＸ線検査システム３と多くの構成及び処理を共通にしているため、同様の構成、機能及び処理については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。

Ｘ線検査システム４は、Ｘ線検査システム３と比べ、良品真円度算出部４２４の機能部をさらに備えている。また、良品基準算出部４２１と検査基準値算出部４２２、検査基準設定部４２３、確認用画像作成部４２５の機能も、Ｘ線検査システム３のものと少し異なっている。確認用画像作成部４２５は、基準面特定部１２５１、長径重心位置算出部４２５２、輪郭形状画像作成部４２５３、垂直投影画像作成部１２５４に加えて、真円度算出
部４２５５、真円度画像作成部４２５６を備えている。

Ｘ線検査システム４の基準面特定部１２５１の機能は他の実施形態のＸ線検査システムものと同様であるが、基準面特定部１２５１が特定した基準面によって特定される範囲の三次元データに対して、長径重心位置算出部４２５２が行う処理が、他の実施形態のＸ線検査システムとは異なっている。具体的には、他の実施形態のＸ線検査システムの面積重心位置算出部１２５２が、各水平断層におけるはんだの面積と重心位置を算出するものであったのに対して、長径重心位置算出部４２５２は、基板側基準面と部品側基準面との間の範囲における各水平断層画像に二値化処理を施すとともに、各水平断層におけるはんだの「長径」と重心位置を算出する。ここで、長径は例えば、二値化結果を楕円近似した時の長軸の長さとすることができる。

そして、輪郭形状画像作成部４２５３は、算出された各水平断層のはんだの「長径の半値」と重心位置とに基づいて、ユーザー所望の観察面におけるはんだの輪郭形状を示す輪郭形状画像を作成する。このように作成された輪郭形状画像であれば、まくら不良のはんだ接合部であっても適切な輪郭形状を示すことができる。

また、垂直投影画像作成部１２５４は、長径重心位置算出部４２５２によって処理された各水平断層の二値化画像をユーザー所望の観察面の奥行方向に投影処理を行った垂直投影画像を作成する。

また、真円度算出部４２５５は、各水平断層におけるはんだの真円度を算出する。具体的には真円度は、４×面積÷（π×長径^２）の式によって算出される。そして、真円度画像作成部４２５６は、各水平断層の位置を一方の軸とし、真円度を他方の軸とした二次元グラフエリアに算出された真円度をプロットした曲線を示す、真円度画像を作成する。

図１６Ａ及び、図１６Ｂに、本実施形態における輪郭形状画像、垂直投影画像、真円度画像の例を示す。図１６Ａは、まくら不良がある場合のはんだ接合部のイメージを示しており、図１６Ｂは当該はんだ接合部を対象とした、輪郭形状画像、垂直投影画像、真円度画像の例である。図１６Ｂに示すように、真円度画像は横軸が各水平断層の位置（基板側基準面からの相対位置）、縦軸が真円度（％）、となっている。また、本実施形態における輪郭形状画像の横軸は、ランド半径に対する長径の半値の割合（％）を示しており、各水平断層の重心位置を基準に、左右のプロット位置が決定される。なお、図１６Ｂに示す各画像は、はんだ接合部の基板側基準面と部品側基準面との間全体を示すものであるが、本実施形態における各画像も、はんだ接合部の部品側と基板側とを分割して表示可能となっている。

良品基準算出部４２１は、良品の部品実装基板を撮像したＸ線画像に基づいて作成される良品の三次元データから、検査対象箇所のはんだについての一の良品基準を算出する。ここで、基準の算出の際に用いるパラメータが、各水平断層のはんだ「面積」ではなく、「長径」である点を除けば、良品基準算出部４２１は他の実施形態における良品基準算出部２２１と同様の機能部であるため、詳細な説明は省略する。

なお、本実施形態における輪郭形状画像作成部４２５３は、検査対象箇所のはんだの輪郭形状に、良品基準算出部４２１が算出した良品基準をプロットした良品基準プロファイルを重畳して示す輪郭形状画像を作成する（図１６Ｂ参照）。また、良品基準プロファイルを重畳表示する場合には、各断層位置において、検査対象箇所の輪郭形状を示すプロファイル値と、良品基準プロファイル値の大小関係を比較し、良品基準を満たさない部位を強調表示することができる。

良品真円度算出部４２４は、良品の部品実装基板を撮像したＸ線画像に基づいて作成される良品の三次元データから、検査対象箇所のはんだについての他の良品基準である良品真円度を算出する。また、良品真円度算出部４２４は、はんだの各水平断層における真円度の良品としての上限を示す真円度上限近似曲線及び下限を示す真円度下限近似曲線を算出する。

真円度画像作成部４２５６は、はんだの水平断層位置を一方の軸とし、真円度を他方の軸とした二次元グラフエリアに、検査対象箇所のはんだの真円度をプロットした、真円度画像を作成する。また、真円度画像には、良品真円度算出部４２４が算出した良品真円度をプロットした良品真円度プロファイルを重畳して示してもよい。

また、良品真円度プロファイルを重畳表示する場合には、各断層位置において、検査対象箇所の真円度を示すプロファイル値と、良品真円度プロファイル値を比較し、良品としての基準を満たさない部位を、真円度画像と垂直投影画像のそれぞれで強調表示することができる（図１６Ｂ参照）。まくら不良についてはその形状の特徴から、良否判定基準として真円度を使用することが一般的であるため、真円度の基準を満たさない場合に、垂直投影画像にも強調表示を行うことが望ましい。

検査基準値算出部４２２は、良品真円度算出部４２４が算出した真円度上限近似曲線及び下限を示す真円度下限近似曲線と、良品三次元データのランド毎の各水平断層の面積及び長径から算出される真円度の平均値による近似曲線との各一致率（本実施形態における上側一致率及び下側一致率）を算出する。良品三次元データのランド毎の各水平断層の真円度平均値は、良品真円度算出部４２４が算出するのであってもよいし、検査基準値算出部４２２が算出するのであってもよい。即ち、検査基準値算出部４２２も、用いるパラメータが面積でなく真円度である点を除けば、Ｘ線検査システム３における検査基準値算出部３２１と同様の機能部であるため、詳細な説明は省略する。

検査基準設定部は、検査基準値算出部４２２が算出した上側一致率と下側一致率を、それぞれ当該部品（の当該ランド）の検査基準として設定する。また、これに替えて或いはこれに加えて良品基準算出部４２１が算出した上限側近似曲線及び下限側近似曲線を検査基準として設定してもよい。

本実施形態に係るＸ線検査システム４によれば、まくら不良のような不良品であっても、ユーザーは良品と不良品の輪郭形状の差異を容易に確認することができる。

＜その他＞
上記各実施形態は、本発明を例示的に説明するものに過ぎず、本発明は上記の具体的な形態には限定されない。本発明はその技術的思想の範囲内で種々の変形及び組み合わせが可能である。例えば、上記の各実施形態では、検査端末が表示手段を備える構成であったが、検査端末には表示手段を備えず、有線又は無線方式により通信接続される別体の表示手段に確認用画像を含む画面を表示させるようになっていてもよい。

また、上記実施形態４の確認用画像作成部４２５が、さらに面積重心位置算出部１２５２を備えるようにしてもよい。即ち面積に関する良品基準、長径に関する良品基準、真円度に関する良品基準をそれぞれ算出し、各良品基準に係る近似曲線を確認用画像に表示可能な構成としてもよい。

また、上記の各実施形態では、確認用画像はいずれも垂直投影画像を含むものであったが、確認用画像は必ずしも垂直投影画像を含むものでなくても構わない。即ち、垂直投影画像作成部を備えないＸ線検査システムであってもよい。

また、上記各実施形態のデータサーバの少なくとも一部を検査端末が備える記憶手段としてもよい。また、逆に、上記各例において、Ｘ線検査システムは一体の装置、即ちＣＴ装置とコンソールが一体となったものとして提供されてもよい。また、上記各例において、ステップＳ１０２からステップＳ１０９までの間のいずれかのタイミングで、基板の検査（良否判定）が実行されてもよく、ステップＳ１１０で表示される確認用画面に、当該検査結果を合わせて表示するようにしてもよい。

＜付記＞
電子部品が表面実装された部品実装基板の検査システム（１）であって、
前記電子部品は、パッケージ底面に前記部品実装基板とのはんだ接合用のメタルバンプが形成されたものであり、
前記部品実装基板に対してＸ線を照射するＸ線発生手段（１１１）と、
前記部品実装基板を透過したＸ線を撮影するＸ線撮影手段（１１２）と、
前記Ｘ線撮影手段によって撮影された複数のＸ線画像の情報を用いて、少なくとも前記部品実装基板と前記電子部品とのはんだ接合部を含む領域の三次元データを作成する、三次元データ作成手段（１２３）と、
前記三次元データを用いて、前記はんだ接合部のはんだの形状をユーザー所望の観察面の二次元形状として示す確認用画像を作成する、確認用画像作成手段（１２５）と、
前記確認用画像作成手段が作成した画像を表示する表示手段（１２２）と、を有する、検査システム。

１、２、３、４・・・Ｘ線検査システム
９・・・Ｘ線検査装置
１１・・・Ｘ線撮影装置
１２、２２、３２、４２・・・検査端末
１３・・・データサーバ
１１１、９２・・・Ｘ線源
１１２、９３・・・Ｘ線カメラ
１１３・・・ステージ
１２５、４２５・・・確認用画像作成部
９２１、９３１・・・Ｘステージ
９２２、９３２・・・Ｙステージ
Ｃ１、Ｃ２・・・円軌道
Ｏ・・・部品実装基板

Claims (18)

1. 電子部品が表面実装された部品実装基板の検査システムであって、
   前記電子部品は、パッケージ底面に前記部品実装基板とのはんだ接合用のメタルバンプが形成されたものであり、
   前記部品実装基板に対してＸ線を照射するＸ線発生手段と、
   前記部品実装基板を透過したＸ線を撮影するＸ線撮影手段と、
   前記Ｘ線撮影手段によって撮影された複数のＸ線画像の情報を用いて、少なくとも前記部品実装基板と前記電子部品とのはんだ接合部を含む領域の三次元データを作成する、三次元データ作成手段と、
   前記三次元データを用いて、前記はんだ接合部のはんだの形状をユーザー所望の観察面の二次元形状として示す確認用画像を作成する、確認用画像作成手段と、
   前記確認用画像作成手段が作成した前記確認用画像を含む画面を表示する表示手段と、を有する、検査システム。
2. 前記確認用画像作成手段は、
   前記三次元データにおける、前記はんだ接合部における前記電子部品側の基準となる水平断層位置である部品側基準面と、前記部品実装基板側の基準となる水平断層位置である基板側基準面と、を特定する基準面特定手段と、
   前記部品側基準面と前記基板側基準面との間における、前記三次元データを構成する各水平断層のはんだの面積と重心位置とを算出する、水平断層はんだ面積算出手段と、
   算出された前記各水平断層のはんだの面積と重心位置とに基づいて、前記観察面における前記はんだの輪郭形状を示す第１プロファイル画像を作成する第１プロファイル画像作成手段と、を備え、
   前記確認用画像には、前記第１プロファイル画像が含まれる、
   ことを特徴とする、請求項１に記載の検査システム。
3. 良品である前記部品実装基板の一以上の前記はんだ接合部を撮像したＸ線画像に基づいて作成された一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における面積に係る良品基準である第１良品基準を算出する第１良品基準算出手段をさらに有しており、
   前記第１プロファイル画像作成手段は、前記はんだの輪郭形状と前記良品基準とを示す前記第１プロファイル画像を作成する、
   ことを特徴とする、請求項２に記載の検査システム。
4. 前記第１良品基準算出手段は、前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における面積の良品としての上限を示す第１上限近似曲線及び下限を示す第１下限近似曲線を算出し、
   前記第１プロファイル画像作成手段は、前記第１上限近似曲線に基づいて作成される第１上限プロファイル及び前記第１下限近似曲線に基づいて作成される第１下限プロファイルの少なくともいずれかと、前記はんだの輪郭形状とを重畳して示す前記第１プロファイル画像を作成する、
   ことを特徴とする、請求項３に記載の検査システム。
5. 前記部品実装基板における前記はんだ接合部の良否判定に係る検査基準を記憶する記憶手段と、
   前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記良品の前記はんだの各水平断層における面積の平均値による近似曲線と、前記第１上限近似曲線との一致率である第１上限側一致率及び前記第１下限近似曲線との一致率である第１下限側一致率、を算出する第１検査基準初期値算出手段と、
   前記第１上限側一致率及び前記第１下限側一致率を、それぞれ前記検査基準の少なくとも一部として設定する、第１検査基準設定手段と、を有する、
   ことを特徴とする、請求項４に記載の検査システム。
6. 前記第１良品基準算出手段は、前記はんだ接合部の前記部品側基準面と前記基板側基準面との間の所定位置を境として、前記電子部品側と前記部品実装基板側、それぞれの前記第１良品基準を算出し、
   前記第１プロファイル画像作成手段は、前記はんだ接合部の前記電子部品側の輪郭形状に対しては前記電子部品側の前記第１良品基準を示し、前記はんだ接合部の前記部品実装基板側の輪郭形状に対しては前記部品実装基板側の前記第１良品基準を示す、前記第１プロファイル画像を作成する、
   ことを特徴とする、請求項３から５のいずれか一項に記載の検査システム。
7. 前記確認用画像作成手段は、
   前記三次元データにおける、前記はんだ接合部における前記電子部品側の基準となる水平断層位置である部品側基準面と、前記部品実装基板側の基準となる水平断層位置である基板側基準面と、を特定する基準面特定手段と、
   前記部品側基準面と前記基板側基準面との間における、前記三次元データを構成する各水平断層のはんだの長径と重心位置とを算出する、水平断層はんだ長径算出手段と、
   前記各水平断層のはんだの前記長径の半値と前記重心位置とに基づいて、前記観察面における前記はんだの輪郭形状を示す第２プロファイル画像を作成する第２プロファイル画像作成手段と、を備え、
   前記確認用画像には、前記第２プロファイル画像が含まれる、
   ことを特徴とする、請求項１から６のいずれか一項に記載の検査システム。
8. 良品である前記部品実装基板の一以上の前記はんだ接合部を撮像したＸ線画像に基づいて作成された一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における長径に係る良品基準である第２良品基準を算出する第２良品基準算出手段をさらに有しており、
   前記第２プロファイル画像作成手段は、前記はんだの輪郭形状と前記第２良品基準とを示す前記第２プロファイル画像を作成する、
   ことを特徴とする、請求項７に記載の検査システム。
9. 前記第２良品基準算出手段は、前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における長径の良品としての上限を示す第２上限近似曲線及び下限を示す第２下限近似曲線を算出し、
   前記第２プロファイル画像作成手段は、前記第２上限近似曲線に基づいて作成される第２上限プロファイル及び前記第２下限近似曲線に基づいて作成される第２下限プロファイルの少なくともいずれかと、前記はんだの輪郭形状とを重畳して示す前記第２プロファイル画像を作成する、
   ことを特徴とする、請求項８に記載の検査システム。
10. 前記部品実装基板における前記はんだ接合部の良否判定に係る検査基準を記憶する記憶手段と、
    前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記良品の前記はんだの各水平断層における長径の平均値による近似曲線と、前記第２上限近似曲線との一致率である第２上限側一致率及び前記第２下限近似曲線との一致率である第２下限側一致率、を算出する第２検査基準初期値算出手段と、
    前記第２上限側一致率及び前記第２下限側一致率を、それぞれ前記検査基準の少なくとも一部として設定する、第２検査基準設定手段と、を有する、
    ことを特徴とする、請求項９に記載の検査システム。
11. 前記第２良品基準算出手段は、前記はんだ接合部の前記部品側基準面と前記基板側基準面との間の所定位置を境として、前記電子部品側と前記部品実装基板側、それぞれの前記第２良品基準を算出し、
    前記第２プロファイル画像作成手段は、前記はんだ接合部の前記電子部品側の輪郭形状に対しては前記電子部品側の前記第２良品基準を示し、前記はんだ接合部の前記部品実装基板側の輪郭形状に対しては前記部品実装基板側の前記第２良品基準を示す、前記第２プロファイル画像を作成する、
    ことを特徴とする、請求項８から１０のいずれか一項に記載の検査システム。
12. 前記部品側基準面と前記基板側基準面との間における、前記三次元データを構成する各水平断層のはんだの真円度を算出する水平断層はんだ真円度算出手段と、
    前記各水平断層位置を一方の軸とし、前記真円度を他方の軸とした二次元グラフエリアに、前記真円度をプロットした真円度プロファイルを表示する第３プロファイル画像を作成する第３プロファイル画像作成手段と、をさらに有する
    ことを特徴とする、請求項７から１１のいずれか一項に記載の検査システム。
13. 良品である前記部品実装基板の一以上の前記はんだ接合部を撮像したＸ線画像に基づいて作成された一以上の良品三次元データに基づいて、前記はんだの各水平断層における真円度の良品としての上限を示す第３上限近似曲線及び下限を示す第３下限近似曲線を算出する第３良品基準算出手段と、
    前記部品実装基板における前記はんだ接合部の良否判定に係る検査基準を記憶する記憶手段と、
    前記一以上の良品三次元データに基づいて、前記良品の前記はんだの各水平断層における面積及び長径の平均値から算出される前記真円度の平均値による近似曲線と、前記第３上限近似曲線との一致率である第３上限側一致率及び、前記第３下限近似曲線との一致率である第３下限側一致率、を算出する第３検査基準初期値算出手段と、
    前記第３上限側一致率及び前記第３下限側一致率を、それぞれ前記検査基準の少なくとも一部として設定する、第３検査基準設定手段と、をさらに有する、
    ことを特徴とする、請求項１２に記載の検査システム。
14. 前記確認用画像作成手段は、
    前記三次元データの前記部品側基準面と前記基板側基準面との間における各水平断層画像に二値化処理を施し、当該二値化処理した結果をユーザー所望の観察面の奥行方向に投影した垂直投影画像を作成する、垂直投影画像作成手段をさらに備え、
    前記確認用画像には、前記垂直投影画像作成手段が含まれる、
    ことを特徴とする、請求項２から１３のいずれか一項に記載の検査システム。
15. 前記部品実装基板における前記はんだ接合部の良否判定に係る検査基準を取得する検査基準取得手段をさらに有しており、
    前記確認用画像作成手段は、前記二次元形状について、前記検査基準に照らして不良と判定される箇所が存在する場合には、当該不良と判定される箇所を強調表示して示す、
    ことを特徴とする、請求項１から１４のいずれか一項に記載の検査システム。
16. 前記確認用画像作成手段は、前記はんだ接合部全体のはんだの形状を示す第１の前記確認用画像の他、前記はんだ接合部の前記電子部品側の前記はんだの形状のみを示す第２の前記確認用画像と、前記はんだ接合部の前記部品実装基板側の前記はんだの形状のみを示す第３の前記確認用画像と、前記第２の前記確認用画像及び前記第３の前記確認用画像を同時に示す第４の前記確認用画像とを作成し、
    前記表示手段は、前記第１から第４のいずれかの前記確認用画像を含む画面を表示する、
    ことを特徴とする、請求項１から１５のいずれか一項に記載の検査システム。
17. 前記三次元データ作成手段と前記確認用画像作成手段とを備え、請求項１から１６のいずれか一項に記載の検査システムの少なくとも一部を構成する、検査用情報処理端末。
18. コンピュータを、請求項１７に記載の検査用情報処理端末として機能させるためのプログラム。

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