JP5493360B2 - X線検査方法、x線検査装置およびx線検査プログラム - Google Patents
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Description
図1を参照して、本実施の形態に係るX線検査装置100の構成について説明する。図1は、本実施の形態に係るX線検査装置100の概略ブロック図である。
本実施の形態に係るX線検査装置100の具体的構成について、図2を参照して説明する。図2は、本実施の形態に係るX線検査装置100の構成を説明するための図である。なお、図2において、図1と同一部分には、同一符号を付している。また、図2では、図1に示した部分のうち、X線焦点位置の制御、X線検出器位置の制御、検査対象位置の制御等に直接関係し、説明に必要な部分を抜き出して記載している。
図3は、本実施の形態に係るX線検査の流れをフローチャート形式で示す図である。図3を参照して、本実施の形態に係るX線検査全体の流れについて説明する。
X線検査装置100には、検査対象1の検査に関し、事前に、検査対象1における検査位置等についての教示(ティーチング)をする情報を入力できる。このような情報を入力する処理(ティーチング処理)の内容について、当該処理のフローチャートである図5を参照して説明する。なお、ティーチング処理は、X線検査装置100において、検査情報生成部86によって実現される。また、ティーチング処理において生成された、検査の教示に関する情報は、たとえば撮像条件情報94として記憶部90に記憶される。
図6は、ステップS4におけるBGA貼付け処理のサブルーチンのフローチャートである。
図11では、ステップS409において生成された再構成データのXZ平面についての断面が示されている。断面画像625には、基板の上面が線LHで示され、下面が線LBで示されている。線LHおよび線LBが傾いていることにより、基板が傾いて、載置されていることが示されている。そして、断面画像625には、基板の一方の面に実装する部品を基板に接続するための配線であるはんだボール911〜914と、基板の他方の面に実装された部品921〜926が示されている。
図6に戻って、ステップS411の後、X線検査装置100は、ステップS413で、ステップS411の処理によって生成された各再分割領域について、検査の際に処理対象とするZ軸方向の領域(高さ領域)を決定する。ステップS413における高さ領域の決定について、図13〜図15を参照して説明する。
図17は、ステップS5におけるQFP貼付け処理のサブルーチンのフローチャートである。
Claims (4)
- X線を用いて基板を検査する方法であって、
前記基板を撮影した可視光画像を表示させるステップと、
前記表示された画像に対する、基板に実装された部品の位置を指定する情報の入力を受付けるステップと、
前記入力を受付けた部品の位置の、X線の透視画像に基づいて3次元データを生成するステップと、
前記3次元データを処理することにより、前記基板と前記部品を接続する配線の位置の情報を特定するステップとを備え、
前記配線の位置の情報を特定するステップでは、前記3次元データにおける、垂直方向について所定の範囲のデータが処理対象とされ、
前記所定の範囲は、前記3次元データに基づく画像を、垂直方向に沿う軸に投影させたときの、垂直方向についての画素値のピークに対応する垂直方向の位置を含む、X線検査方法。 - 前記所定の範囲は、前記垂直方向についての画素値のピークに対応する垂直方向の位置を含み、かつ、処理の対象となる3次元データの範囲で想定される基板の傾きによって基板の垂直方向についての位置が変動する範囲である、請求項1に記載のX線検査方法。
- X線を用いて基板を検査するX線検査装置であって、
基板の可視光画像を撮影する可視光画像撮影手段と、
前記表示された画像に対し、基板に実装された部品の位置を指定する情報を入力する入力手段と、
X線の透視画像を撮影するX線画像撮影手段と、
前記入力手段に入力された部品の位置について、前記X線画像撮影手段が撮影したX線の透視画像に基づいて3次元画像を生成する画像生成手段と、
前記3次元画像のデータを処理することにより、前記基板と前記部品を接続する配線の位置の情報を特定する特定手段とを備え、
前記特定手段は、前記3次元データにおける、垂直方向について所定の範囲のデータを処理対象とし、
前記所定の範囲は、前記3次元データに基づく画像を、垂直方向に沿う軸に投影させたときの、垂直方向についての画素値のピークに対応する垂直方向の位置を含む、X線検査装置。 - X線を用いて基板を検査するX線検査装置に基板の検査をさせるための、コンピュータ読取可能なX線検査プログラムであって、
前記X線検査装置に、
前記基板を撮影した可視光画像を表示させるステップと、
前記表示された画像に対する、基板に実装された部品の位置を指定する情報の入力を受付けるステップと、
前記入力を受付けた部品の位置の、X線の透視画像に基づいて3次元データを生成するステップと、
前記3次元データを処理することにより、前記基板と前記部品を接続する配線の位置の情報を特定するステップとを実行させ、
前記配線の位置の情報を特定するステップでは、3次元データにおける、垂直方向について所定の範囲のデータが処理対象とされ、
前記所定の範囲は、前記3次元データに基づく画像を、垂直方向に沿う軸に投影させたときの、垂直方向についての画素値のピークに対応する垂直方向の位置を含む、X線検査プログラム。
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