JP5580220B2 - 放射線検査装置、放射線検査方法 - Google Patents
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Description
駆動テーブル3が配置されている。このXY駆動テーブル3は、その表面に基板Wを支持しつつ、XY駆動機構31からの駆動力を受けてXY面内を移動可能に構成されている。したがって、XY駆動テーブル3は、ハウジング11のY軸方向正側(図1右側)の搬入口111まで移動して基板Wを受け取ったり、部品検査のためにハウジング11の略中央に基板Wを位置決めしたり(図1に示す状態)、ハウジング11のY軸方向負側(図1左側)の搬出口112まで検査済み基板Wを運んだりといった動作を行なうことができる。
tan(θx)=dw/H=dc/D …式1
を満たしている。つまり、式1を満たすように基板WおよびX線検出部73をXY面内で移動させることで、入射角度θxを変化させながら、被検体(基板Wおよび電子部品EP)の透過像が撮像される。なお、ここでは、X軸方向にX線入射角度θxを変化させた場合について説明したが、X線撮像装置7は、Y軸方向にも同様にX線入射角度θyを変化させながら、被検体の透過像を撮像可能である。
M(θx)=γ・exp{−μ(115)×t−μ(k+1) ×t−μ(225) ×t} …式2
が成立する。ここで、tは、X線の入射方向における各微小立方体C(k)の厚みであり、演算によって予め求められて、画像処理部103に記憶されている。式2の両辺の自然対数をとると、
ln{M(θx)}=ln(γ)−μ(115) ×t−μ(k+1) ×t−μ(225) ×t …式3
と、各微小立方体C(k)のX線減衰率μ(k)に関する一次方程式が得られる。そして、例えば、−45°≦θ≦45°の範囲で、X線の入射角度θを変えながら、各X線入射角度θで被検体W、EP、SLの透過像を撮像することで、1回の撮像毎に式3と同様の一次方程式を順次得ることができる。
100…コントローラー
103…画像処理部
104…検査判定処理部
3…XY駆動テーブル
5…光学撮像装置
7…X線検査装置
711…X線源
73…X線検出部
731…センサー面
W…基板
EP…電子部品
SL…半田
TR…検査対象範囲
Claims (3)
- 放射線を射出する放射線源、基板および電子部品を有する被検体を支持する支持手段、および前記放射線源から射出されて前記被検体を透過した放射線を検出して前記被検体の透過像を撮像する放射線撮像手段を備え、前記被検体と前記放射線源との位置関係を変えることで、前記被検体の透過像を撮像する際の撮像条件が可変であるとともに、前記被検体の透過像を撮像した結果から前記被検体を含む検査対象範囲の断層画像を示す断層画像情報を求める放射線検査装置であって、
前記検査対象範囲のうち、前記被検体を構成する各部材の配置を示す部材配置情報から断層画像情報が推定可能な第1領域を除いた第2領域の断層画像情報を求めるために必要となる複数の撮像条件を設定する制御手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記被検体と前記放射線源との位置関係を変えながら、設定した前記複数の撮像条件のそれぞれで前記被検体の透過像を撮像して、当該撮像結果から前記第2領域の断層画像情報を求めるとともに、前記被検体の前記部材配置情報から前記第1領域のうち空気および前記基板が存在する領域の放射線減衰率をゼロと推定して前記第1領域の断層画像情報を推定することで、前記検査対象範囲の断層画像情報を求めることを特徴とする放射線検査装置。 - 前記被検体の光学写真を撮像する光学撮像手段をさらに備え、前記制御手段は、前記光学撮像手段が撮像した光学写真から、前記電子部品および前記基板の配置を示す情報を前記部材配置情報として求めるとともに、当該部材配置情報から前記複数の撮像条件を求める請求項1に記載の放射線検査装置。
- 放射線源から射出されて基板および電子部品を有する被検体を透過した放射線を検出して前記被検体の透過像を撮像する際の撮像条件が、前記被検体と前記放射線源との位置関係を変えることで可変であるとともに、前記被検体の透過像を撮像した結果から前記被検体を含む検査対象範囲の断層画像を示す断層画像情報を求める放射線検査方法であって、
前記検査対象範囲のうち、前記被検体を構成する各部材の配置を示す部材配置情報から断層画像情報が推定可能な第1領域を除いた第2領域の断層画像情報を求めるために必要となる複数の撮像条件を設定する第1工程と、
前記被検体と前記放射線源との位置関係を変えながら、前記第1工程で設定した前記複数の撮像条件のそれぞれで前記被検体の透過像を撮像して、当該撮像結果から前記第2領域の断層画像情報を求めるとともに、前記被検体の前記部材配置情報から前記第1領域のうち空気および前記基板が存在する領域の放射線減衰率をゼロと推定して前記第1領域の断層画像情報を推定することで、前記検査対象範囲の断層画像情報を求める第2工程と
を備えたことを特徴とする放射線検査方法。
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