JP6306937B2 - 検査装置 - Google Patents
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Description
22 放射線発生器(撮像部)
24 基板保持部(基板支持部)
26 検出器(撮像部)
46 基板搬送ユニット(搬送手段)
52 筐体
54 搬入口
56 搬出口
58 搬入側遮蔽部材
60 搬出側遮蔽部材
62 開口部
66 第2搬送部(搬送手段)
70 サンギア
72 リングギア
74 プラネタリギア
76 脚部
78 支持部
100 検査装置
Claims (3)
- 被検査体の画像データを取得する撮像部と、
前記被検査体を支持可能であり、前記被検査体を前記撮像部に対して相対移動させる基板支持部と、
内部空間が形成された筐体と、
前記内部空間を、前記被検査体を搬入及び搬出するための搬送空間と前記撮像部が配置された検査空間とに分離する遮蔽部材と、
前記被検査体を前記搬送空間と前記検査空間との間で移動させる搬送手段と、を有し、
前記遮蔽部材は、前記搬送空間内にある前記被検査体の下方に前記搬送空間と前記検査空間とを連通する開口部を有し、
前記搬送手段は、所定の基準位置の周りの少なくとも一部の区間を移動させることにより、前記被検査体を前記搬送空間と前記検査空間との間で移動させるとともに、少なくとも前記搬送空間の近傍における前記被検査体の移動時の軌道が、前記基準位置に向かって凸になるように構成され、
前記撮像部は、前記検査空間内にある前記被検査体に放射線を照射することにより前記被検査体の画像データを取得するように構成され、
前記筐体は、当該筐体の内壁が放射線を吸収する材質で構成され、前記筐体の側面に、前記搬送空間内に前記被検査体を搬入及び搬出する搬入出口が設けられ、
前記遮蔽部材は、放射線を吸収する部材で構成され、前記撮像部から放射された1次放射線、及び、当該1次放射線が前記筐体の内壁で反射した2次放射線が前記搬入出口に入射しないように遮蔽する位置に配置されている
ことを特徴とする検査装置。 - 前記搬送手段は、
前記基準位置を中心に回転するサンギアと、
前記サンギアを囲み、固定されたリングギアと、
前記サンギア及び前記リングギアと噛合し、前記サンギアが回転することにより当該サンギアの周りを移動するプラネタリギアと、
前記プラネタリギアに固定された脚部と、
前記脚部に取り付けられ、前記基板を支持する支持部と、を有することを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記サンギアと前記プラネタリギアとのギア比は3:1であることを特徴とする請求項2に記載の検査装置。
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