JP7021980B2 - 計測用x線ct装置 - Google Patents
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Description
2…X線源
4…X線検出器
5…ステージ走査機構
6…回転テーブル
8…回転軸
10…スライス面
16、17…(電子)水準器
21…X線ビーム
51…X軸ステージ
52…Y軸ステージ
53…Z軸ステージ
W…測定対象
φ…傾斜角
Claims (3)
- X線源とX線検出器との間に、測定対象を搭載する回転テーブルと、該回転テーブルを測定空間領域の任意位置に移動可能な走査機構を備えた計測用X線CT装置において、
前記回転テーブルの回転軸の傾斜を直接検出するための、前記回転テーブルと一体で姿勢変化するように設けられた第1の水準器を含む傾斜検出手段を設け、
前記X線源から放射されるX線の投影画像から求められる前記回転軸の傾斜を基準として、前記傾斜検出手段により移動に伴う前記走査機構の幾何運動誤差に起因する前記回転軸の傾斜の変化量を直接検出し、前記傾斜検出手段からの出力を用いて形状および寸法測定値を補正することを特徴とする計測用X線CT装置。 - 前記傾斜検出手段が、更に、前記X線検出器の傾斜を検出する第2の水準器を含むことを特徴とする請求項1に記載の計測用X線CT装置。
- X線源とX線検出器との間に、測定対象を搭載する回転テーブルと、該回転テーブルを測定空間領域の任意位置に移動可能な走査機構を備えた計測用X線CT装置において、
前記回転テーブルの回転軸の傾斜を検出する傾斜検出手段を設け、
該傾斜検出手段からの出力を用いて、前記回転軸の傾斜誤差マップを作成し、該傾斜誤差マップを用いて測定値を補正することを特徴とする計測用X線CT装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018039719A JP7021980B2 (ja) | 2018-03-06 | 2018-03-06 | 計測用x線ct装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2018039719A JP7021980B2 (ja) | 2018-03-06 | 2018-03-06 | 計測用x線ct装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2019152611A JP2019152611A (ja) | 2019-09-12 |
JP7021980B2 true JP7021980B2 (ja) | 2022-02-17 |
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Family Applications (1)
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JP2018039719A Active JP7021980B2 (ja) | 2018-03-06 | 2018-03-06 | 計測用x線ct装置 |
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JP (1) | JP7021980B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005296340A (ja) | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Canon Inc | コーンビームx線ct撮影装置とそれを用いた画像取得方法 |
JP2010151775A (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Toshiba It & Control Systems Corp | Ct装置及び較正装置 |
JP2012161471A (ja) | 2011-02-07 | 2012-08-30 | Fujifilm Corp | 放射線画像撮影装置および放射線画像撮影方法 |
US20150260859A1 (en) | 2012-09-10 | 2015-09-17 | Werth Messtechnik Gmbh | Method and device for correcting computed tomographiy measurements, comprising a coordinate measuring machine |
-
2018
- 2018-03-06 JP JP2018039719A patent/JP7021980B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005296340A (ja) | 2004-04-12 | 2005-10-27 | Canon Inc | コーンビームx線ct撮影装置とそれを用いた画像取得方法 |
JP2010151775A (ja) | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Toshiba It & Control Systems Corp | Ct装置及び較正装置 |
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US20150260859A1 (en) | 2012-09-10 | 2015-09-17 | Werth Messtechnik Gmbh | Method and device for correcting computed tomographiy measurements, comprising a coordinate measuring machine |
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