JP2010160084A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】測定装置11は、被検物の形状を測定する測定プローブ18と、被検物を載置する上面が水平面に対して所定の傾斜角度で傾斜可能とされ、複数の基準穴31が形成された回転テーブル21を有する傾斜回転テーブル14とを備えている。基準穴31は、回転テーブル21の傾斜軸L2に対し、回転テーブル21の上面から見て線対称となる配置で、回転テーブル21の外周の端部近傍の4箇所以上に形成されている。本発明は、例えば、傾斜回転テーブルを有する測定装置に適用できる。
【選択図】図1
Description
Claims (5)
- 被検物の形状を測定する測定手段と、
前記被検物を載置する上面が水平面に対して所定の傾斜角度で傾斜可能とされ、複数の基準穴が形成されたテーブルと
を備えることを特徴とする測定装置。 - 前記基準穴は、前記テーブルが傾斜する傾斜軸に対し、前記テーブルの上面から見て線対称となる配置で形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記基準穴は、前記テーブルの外周の端部近傍の4箇所以上に形成されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。 - 前記テーブルは、前記被検物が載置される上面に対して垂直な回転軸を中心として、前記上面を回転することができるように構成されている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の測定装置。 - 前記テーブルが傾斜された状態で、前記測定手段により測定された前記基準穴の位置に基づいて前記テーブルの傾斜角度を測定し、測定済みの傾斜角度との差に応じた補正値を算出する補正値算出手段と、
前記補正値算出手段により算出された前記補正値に応じて、前記測定手段による前記被検物の測定結果を補正する補正手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至4に記載の測定装置。
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