JP6657552B2 - 平面度測定方法 - Google Patents
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Description
まず、第1の実施形態に係る平面度測定方法について説明する。
まず、図7Aに示すように、ワーク回転軸Lから一方側(プラス極性側)に第1径方向距離R1だけ離れた第1径方向位置r1(例えば、+30mmの位置)に検出器8を移動して測定子9を接触させ、回転テーブル2によりワーク10を回転し、検出器8で測定子9の変位を検出する。検出器8から出力された検出信号は演算処理部12で処理され、第1径方向位置r1におけるワーク10の被測定面の変位を示す第1測定データ(測定結果A)が取得される(図9A参照)。なお、ステップS10は第1測定工程の一例である。
次に、図7Bに示すように、ワーク回転軸Lから一方側(プラス極性側)に第1径方向距離R1とは異なる第2径方向距離R2だけ離れた第2径方向位置r2(例えば、+10mmの位置)に検出器8を移動して測定子9を接触させ、回転テーブル2によりワーク10を回転し、検出器8で測定子9の変位を検出する。検出器8から出力された検出信号は演算処理部12で処理され、第2径方向位置r2におけるワーク10の被測定面の変位を示す第2測定データ(測定結果B)が取得される(図9A参照)。なお、ステップS12は第2測定工程の一例である。
次に、演算処理部12は、ステップS10で得られた測定結果AとステップS12で得られた測定結果Bとからワーク10の被測定面の平面度Yを算出する。具体的には、図9Aに示すように、測定結果A及び測定結果Bからなる全ての測定データの最小値と最大値の幅を平面度Yとして算出する。なお、このステップS14で算出された平面度Yは、従来の真円度測定方法によって求められる平面度に相当するものである。後述するステップS30において、ステップS14で算出した平面度Yを出力する必要がない場合には、ステップS14の処理を省略するようにしてもよい。
次に、図7Cに示すように、ワーク回転軸Lから他方側(マイナス極性側)に第1径方向距離R1だけ離れた位置、すなわち、ワーク回転軸Lに対して第1径方向位置r1に対称な位置である第3径方向位置r1’(例えば、−30mmの位置)に検出器8を移動して測定子9を接触させ、回転テーブル2によりワーク10を回転し、検出器8で測定子9の変位を検出する。検出器8から出力された検出信号は演算処理部12で処理され、第3径方向位置r1’におけるワーク10の被測定面の変位を示す第3測定データ(測定結果A’)が取得される(図9B参照)。このとき取得される第3測定データ(測定結果A’)は、ワーク回転軸Lに対して第1径方向位置r1に対称な位置である第3径方向位置r1’で測定されたものなので、演算処理部12で180度位相をずらした処理が行われるものとする。なお、ステップS16は第3測定工程の一例である。
次に、演算処理部12は、ステップS10で得られた第1測定データ(測定結果A)とステップS16で得られた第3測定データ(測定結果A’)とに基づき、第1径方向位置r1と第3径方向位置r1’との間のワーク回転軸L方向の距離を示す第1オフセット量P1を算出する(図8参照)。具体的には、第1測定データ(測定結果A)と第3測定データ(測定結果A’)における同角度位置の測定値の差を第1オフセット量P1として算出する。なお、ステップS18は第1オフセット量算出工程の一例である。
次に、図7Dに示すように、ワーク回転軸Lから他方側(マイナス極性側)に第2径方向距離R2だけ離れた位置、すなわち、ワーク回転軸Lに対して第2径方向位置r2に対称な位置である第4径方向位置r2’(例えば、−10mmの位置)に検出器8を移動して測定子9を接触させ、回転テーブル2によりワーク10を回転し、検出器8で測定子9の変位を検出する。検出器8から出力された検出信号は演算処理部12で処理され、第4径方向位置r2’におけるワーク10の被測定面の変位を示す第4測定データ(測定結果B’)が取得される(図9B参照)。このとき取得される第4測定データ(測定結果B’)は、ワーク回転軸Lに対して第2径方向位置r2に対称な位置である第4径方向位置r2’で測定されたものなので、演算処理部12で180度位相をずらした処理が行われるものとする。なお、ステップS20は第4測定工程の一例である。
次に、演算処理部12は、ステップS12で得られた第2測定データ(測定結果B)とステップS20で得られた第4測定データ(測定結果B’)とに基づき、第2径方向位置r2と第4径方向位置r2’との間のワーク回転軸L方向の距離を示す第2オフセット量P2を算出する。具体的には、第2測定データ(測定結果B)と第4測定データ(測定結果B’)における同角度位置の測定値の差を第2オフセット量P2として算出する。なお、ステップS22は第2オフセット量算出工程の一例である。
次に、演算処理部12は、ステップ18で算出した第1オフセット量P1とステップS22で算出した第2オフセット量P2とに基づき、第1径方向位置r1と第2径方向位置r2との間のワーク回転軸L方向の距離を示す第3オフセット量P3を算出する(図8参照)。具体的には、次式(1)によって第3オフセット量P3を算出する。なお、ステップS24は補正値算出工程の一例である。
P3=(P1−P2)/2 ・・・(1)
次に、演算処理部12は、ステップS24で算出した第3オフセット量P3を補正値として、ステップS12で得られた第2測定データ(測定結果B)を補正する。具体的には、第2測定データ(測定結果B)の各角度位置における測定値から第3オフセット量P3を減算する。これにより、図9Cに示すように、補正後の第2測定データ(測定結果B0)が得られる。すなわち、このステップS26では、検出器8の移動に伴う第1測定データ(測定結果A)と第2測定データ(測定結果B)とのオフセット誤差が補正される。
次に、演算処理部12は、ステップS10で得られた第1測定データ(測定結果A)とステップS26で得られた補正後の第2測定データ(測定結果B0)とに基づき、補正後の平面度Y’を算出する。これにより、ワーク回転軸Lと検出器移動軸Mとの直角度にずれがない場合と同様の平面度の測定結果が得られる。なお、ステップS26及びステップS28は演算工程の一例である。また、ステップS18からステップS28までの処理は平面度算出工程の一例である。
次に、演算処理部12は、平面度の測定結果として、ステップS28で算出された補正後の平面度Y’を表示部14に対して出力する処理を行う。これにより、表示部14には補正後の平面度Y’が表示され、平面度の測定処理は終了となる。
次に、第2の実施形態に係る平面度測定方法について説明する。以下、上述した実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。
ステップS10〜ステップS18における各処理は、第1の実施形態に係る平面度測定方法と同様にして行われる。
次に、演算処理部12は、ステップS18で算出した第1オフセット量P1と第1径方向位置r1と第3径方向位置r1’との間のワーク回転軸Lに垂直な径方向の距離(第1径方向距離2×R1)とから、回転テーブル2の回転軸Lに対する検出器移動軸Mの傾き角度θを算出する(図8参照)。具体的には、次式(2)によって傾き角度θを算出する。なお、ステップS32は傾き角度算出工程の一例である。
θ=tan-1(P1/(2×R1)) ・・・(2)
次に、演算処理部12は、第1径方向距離R1と第2径方向距離R2との差から、第1径方向位置r1と第2径方向位置r2との間のワーク回転軸Lに垂直な径方向の距離である第3径方向距離R3を算出する(図8参照)。具体的には、次式(3)によって第3径方向距離R3を算出する。
R3=R1−R2 ・・・(3)
次に、演算処理部12は、ステップS32で算出した傾き角度θとステップS34で算出した第3径方向距離R3とから、第1径方向位置r1と第2径方向位置r2との間のワーク回転軸L方向の距離を示す第3オフセット量P3を算出する。具体的には、次式(4)によって第3オフセット量P3を算出する。なお、ステップS36は補正値算出工程の一例である。
P3=R3×tanθ ・・・(4)
ステップS26〜ステップS30における各処理は、第1の実施形態に係る平面度測定方法と同様にして行われる。
次に、第3の実施形態に係る平面度測定方法について説明する。以下、上述した実施形態と共通する部分については説明を省略し、本実施形態の特徴的部分を中心に説明する。
上述した各実施形態では、本発明をテーブル回転型の真円度測定機に適用した場合について説明したが、これに限らず、ワークの周りを検出器が回転する検出器回転型の真円度測定機に対しても本発明を適用することができ、同様な効果を得ることができる。
Claims (3)
- ワークの被測定面に検出器の測定子を接触させ、前記ワークと前記検出器とを回転軸周りに相対回転させながら前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記ワークの被測定面の平面度を測定する平面度測定方法であって、
前記回転軸から前記回転軸に垂直な径方向に第1径方向距離だけ離れた第1径方向位置に前記検出器を移動して前記ワークの被測定面に前記検出器の測定子を接触させ、前記相対回転に伴う前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記第1径方向位置における前記ワークの被測定面の変位を示す第1測定データを取得する第1測定工程と、
前記回転軸から前記径方向に前記第1径方向距離とは異なる第2径方向距離だけ離れた第2径方向位置に前記検出器を移動して前記ワークの被測定面に前記検出器の測定子を接触させ、前記相対回転に伴う前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記第2径方向位置における前記ワークの被測定面の変位を示す第2測定データを取得する第2測定工程と、
前記回転軸に対して前記第1径方向位置とは対称の位置である第3径方向位置に前記検出器を移動して前記ワークの被測定面に前記検出器の測定子を接触させ、前記相対回転に伴う前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記第3径方向位置における前記ワークの被測定面の変位を示す第3測定データを取得する第3測定工程と、
前記第1測定データ、前記第2測定データ、及び前記第3測定データに基づき、前記ワークの被測定面の平面度を算出する平面度算出工程と、
前記回転軸に対して前記第2径方向位置とは対称の位置である第4径方向位置に前記検出器を移動して前記ワークの被測定面に前記検出器の測定子を接触させ、前記相対回転に伴う前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記第4径方向位置における前記ワークの被測定面の変位を示す第4測定データを取得する第4測定工程と、
備え、
前記平面度算出工程は、
前記第1測定データ及び前記第3測定データに基づき、前記第1径方向位置と前記第2径方向位置との間の前記回転軸方向の距離を示す第1オフセット量を算出する第1オフセット量算出工程と、
前記第2測定データ及び前記第4測定データに基づき、前記第2径方向位置と前記第4径方向位置との間における前記回転軸方向の距離を示す第2オフセット量を算出する第2オフセット量算出工程と、
前記第1オフセット量及び前記第2オフセット量に基づき、前記検出器の移動に伴う前記第1測定データと前記第2測定データとのオフセット誤差を示す補正値を算出する補正値算出工程と、
前記補正値により前記第1測定データと前記第2測定データとのオフセット誤差を補正して前記ワークの被測定面の平面度を算出する演算工程と、
を有する、平面度測定方法。 - ワークの被測定面に検出器の測定子を接触させ、前記ワークと前記検出器とを回転軸周りに相対回転させながら前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記ワークの被測定面の平面度を測定する平面度測定方法であって、
前記回転軸から前記回転軸に垂直な径方向に第1径方向距離だけ離れた第1径方向位置に前記検出器を移動して前記ワークの被測定面に前記検出器の測定子を接触させ、前記相対回転に伴う前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記第1径方向位置における前記ワークの被測定面の変位を示す第1測定データを取得する第1測定工程と、
前記回転軸から前記径方向に前記第1径方向距離とは異なる第2径方向距離だけ離れた第2径方向位置に前記検出器を移動して前記ワークの被測定面に前記検出器の測定子を接触させ、前記相対回転に伴う前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記第2径方向位置における前記ワークの被測定面の変位を示す第2測定データを取得する第2測定工程と、
前記回転軸に対して前記第1径方向位置とは対称の位置である第3径方向位置に前記検出器を移動して前記ワークの被測定面に前記検出器の測定子を接触させ、前記相対回転に伴う前記測定子の変位を前記検出器で検出することにより、前記第3径方向位置における前記ワークの被測定面の変位を示す第3測定データを取得する第3測定工程と、
前記第1測定データ、前記第2測定データ、及び前記第3測定データに基づき、前記ワークの被測定面の平面度を算出する平面度算出工程と、
を備え、
前記平面度算出工程は、
前記第1測定データと前記第3測定データとに基づき、前記第1径方向位置と前記第2径方向位置との間の前記回転軸方向の距離を示す第1オフセット量を算出する第1オフセット量算出工程と、
前記第1オフセット量に基づき、前記回転軸に対する前記検出器の移動方向の傾き角度を検出する傾き角度算出工程と、
前記傾き角度に基づき、前記検出器の移動に伴う前記第1測定データと前記第2測定データとのオフセット誤差を示す補正値を算出する補正値算出工程と、
前記補正値により前記第1測定データと前記第2測定データとのオフセット誤差を補正して前記ワークの被測定面の平面度を算出する演算工程と、
を有する、平面度測定方法。 - 前記平面度算出工程は、
前記補正値が予め設定した閾値よりも大きいか否かを判定する判定工程を有し、
前記演算工程は、前記判定工程により前記補正値が前記閾値よりも大きいと判定された場合には前記第1測定データと前記第2測定データとのオフセット誤差を補正して前記ワークの被測定面の平面度を算出し、前記判定工程により前記補正値が前記閾値よりも小さいと判定された場合には前記第1測定データと前記第2測定データとのオフセット誤差を補正せずに前記ワークの被測定面の平面度を算出する、
請求項1又は2に記載の平面度測定方法。
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