JP6664074B2 - 平面度測定装置 - Google Patents

Description

本発明は、平面度測定装置に係り、特に被測定物であるワークを回転させてワークの平面度を測定する平面度測定装置に関する。

ワークを回転させてワークの平面度を測定する平面度測定装置は、回転可能なテーブルにワークを載置し、ワークの測定面に検出器の測定子を接触させ、ワークの回転に伴う基準値からの測定子の変位量を検出器によって検出することにより、測定面の平面度を測定する。また、レーザ変位センサからのレーザ光をワークの測定面に照射し、その反射光を撮像素子で受光することにより、測定面の平面度を非接触で測定する装置もある。

例えば、特許文献１に開示された加工装置は、回転テーブル（テーブル）と、回転テーブルを回転駆動する回転駆動手段（スピンドル）と、回転テーブルに固定された被加工物（ワーク）の加工面を非接触で走査して加工面の平面度を計測する平面度計測手段と、を有し、回転駆動手段によって回転テーブルを回転させながら、被加工物の加工面の平面度を平面度計測手段によって測定している。

一般に平面度測定装置のテーブルは、回転精度に誤差が生じているので、この回転精度の誤差を予め取り除いた後、ワークの測定を実施している。なお、テーブルの回転精度とは、テーブルに連結されてテーブルを回転させるスピンドルの回転精度と等価である。

特許第４６８３８４９号公報

しかしながら、従来の平面度測定装置のように、ワークの測定前にテーブルの回転精度の誤差成分を取り除く作業（以下、「偏心較正作業」と言う。）を実施したとしても、テーブルの回転精度の誤差成分を確実に除去することは困難であった。

この問題は、平面度測定装置に生じる特有のものである。以下に説明すると、平面度測定装置は、ワークの形状的な中心（形状中心であってテーブルで回転させる中心）をテーブルの回転中心に調芯した後、テーブルを回転させてワークの平面度を測定する。平面度測定装置は、その精度にもよるが、平面形状を厳密に測定するために、また、テーブルの回転運動の運動誤差がワーク個体の測定精度に影響を与えないようにするために、測定対象のワークを滑らかに回転運動させて測定する。特に、運動誤差の小さい高精度なテーブルは、回転時の摺動抵抗を小さくするために静圧軸受で支持するように構成されているが、その分、剛性が小さくなってしまうため、テーブルの回転精度に誤差が生じる場合がある。

また、ワークの中でも、時として形状中心が、ワークの重心位置と一致しないワークがある。このようなワークの場合、ワークの形状中心をテーブルの回転中心に調芯しても、ワークの重心位置がテーブルの回転中心に一致しないため、テーブルの剛性の点でどうしても軸触れを起こしてしまい、この場合には、測定精度に大きく影響する。

このように、測定時のスピンドル（テーブル）の回転軸（ワークの測定時における回転状態のスピンドルの回転軸）が、偏心較正作業時のスピンドルの回転軸（ワークの測定開始前における回転停止状態のスピンドルの回転軸：以下「Ａ軸」と称する。）に対して傾斜（軸触れも傾斜と等価）した場合、ワークの測定面の形状が理想的な平面であっても回転軸（Ａ軸）に垂直な平面をトレースすることではなくなるため、トレース形状が楕円形状になってしまう。このように、従来の平面度測定装置は、スピンドルの回転軸が測定時に傾斜するという特有の問題を抱えているため、精度の高い測定を実施することが困難な場合があった。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、平面度測定装置が持つ特有の問題、つまり、スピンドルの回転軸が測定時に傾斜した際に、スピンドルの回転軸の傾斜量を検知し、検知したスピンドルの回転軸の傾斜量に基づいて測定精度の向上を図ることができる平面度測定装置を提供することを目的とする。

本発明の平面度測定装置は、本発明の目的を達成するために、ワークが載置されるテーブルと、テーブルに連結され、テーブルを回転させるスピンドルと、テーブルに載置されたワークの表面に接触する測定子の変位量を検出する検出器と、ワークの測定開始前における回転停止状態のスピンドルの回転軸と、ワークの測定時における回転状態のスピンドルの回転軸との相対的な傾斜量Ｂを検知する検知部と、を備える。

本発明の平面度測定装置の検知部によれば、ワークの測定開始前における回転停止状態のスピンドルの回転軸（Ａ軸）と、ワークの測定時における回転状態のスピンドルの回転軸との相対的な傾斜量Ｂを検知する。これにより、本発明によれば、平面度測定装置が持つ特有の問題、つまり、スピンドルの回転軸が測定時に傾斜した際に、スピンドルの回転軸の傾斜量を検知することができる。なお、スピンドルの回転軸の傾斜量Ｂは、Ａ軸に対する傾斜量でもよく、Ａ軸に直交する軸に対する傾斜量であってもよい。

ここでＡ軸とは、ワークの測定開始前における回転停止状態のスピンドルの回転軸を指す。つまりＡ軸は、測定前に実施される偏心較正作業によって基準値に誤差補正されたスピンドルの回転軸を指す。また、ワークは、ワークの形状中心が、テーブルの回転中心と等価なスピンドルの回転軸の中心に合された状態でテーブルに載置される。しかしながら、スピンドルの回転軸は前述の如く、平面度測定装置の特有の問題に起因して、ワークの測定時にＡ軸に対して傾斜するので、この傾斜量Ｂが測定精度に影響を与える場合がある。このため本発明では、回転状態のスピンドルの回転軸の傾斜量Ｂを、ワークを測定しながら検知部によって検知している。なお、本発明に記載の傾斜量Ｂとは、例えばＡ軸の単位長さに対するスピンドルの回転軸のＡ軸に直交する方向の傾斜量（離間量）を指す。

本発明の一態様は、テーブルは、テーブルの回転中心とワークの形状中心とを調芯する調芯手段を有することが好ましい。

本発明の一態様によれば、平面度測定装置では、テーブル回転中心(ないしは測定子の回転中心)とワークの形状中心とを合わせることが求められる。調芯手段により、回転中心と形状中心とを合わせることができ、真円度を高精度に測定する環境を設定することが可能となる。その上で、形状中心と重心が一致していないワークなどでは、傾斜量を検知する検知手段により、測定子の変位量を精度よく補正することが可能となる。

本発明の一態様は、スピンドルは、エアベアリングによって回転自在に支持されることが好ましい。

本発明の一態様によれば、エアベアリングは、摺動抵抗が極めて小さく、エアベアリングの摺動抵抗に伴うノイズが極めて小さいという特徴がある一方で、剛性が小さくなるという欠点がある。形状中心と重心が一致していないワークでは、ベアリングの剛性不足に伴うテーブルの傾斜量を補正することで、高精度な真円度測定を実現する。

本発明の一態様は、傾斜量Ｂと測定子の変位量とに基づいてワークの平面度を算出する演算部を備えることが好ましい。

本発明の一態様によれば、検知部によって検知した傾斜量Ｂと、検出器によって検出した測定子の変位量と、に基づいて演算部がワークの平面度を算出する。

本発明の一態様は、演算部は、検出器によって検出された測定子の角度位置毎の変位量Ｃを、傾斜量Ｂに基づいて算出された測定子の検出位置におけるスピンドルの回転軸の傾斜量Ｄに基づいて補正することによりワークの平面度を算出することが好ましい。

本発明の一態様の演算部によれば、傾斜量Ｂに基づいて算出された測定子の検出位置におけるスピンドルの回転軸の傾斜量Ｄに基づき、検出器によって検出された測定子の角度位置毎の変位量Ｃを補正する。これにより、ワークを測定する際に生じるテーブルの回転精度の誤差成分を取り除いた測定を実施することができるので、ワークの測定精度が向上する。

本発明の一態様は、演算部は、変位量Ｃから傾斜量Ｄを減算して得られた角度位置毎の補正値Ｅに基づき、ワークの平面度を算出することが好ましい。

本発明の一態様の演算部によれば、変位量Ｃから傾斜量Ｄを減算して得られた角度位置毎の補正値Ｅに基づき、ワークの平面度を算出するので、測定精度が向上する。

本発明の一態様は、演算部は、傾斜量Ｂが、設定した閾値よりも大きい場合には、傾斜量Ｄで変位量Ｃが補正された補正値Ｅに基づいてワークの平面度を算出し、閾値よりも小さい場合には、傾斜量Ｄで変位量Ｃを補正することなく変位量Ｃに基づいてワークの平面度を算出することが好ましい。

本発明の一態様によれば、検知部によって検知される傾斜量Ｂに、測定精度に影響を与えない閾値を設定している。そして、検知部によって検知された傾斜量Ｂが、その設定値よりも小さい場合には、傾斜量Ｄで変位量Ｃを補正することなく変位量Ｃをそのまま使用してワークの平面度を算出する。一方、検知部によって検知された傾斜量が、その設定値を超えた場合には、傾斜量Ｄで変位量Ｃが補正された補正値Ｅに基づいてワークの平面度を算出する。これにより、測定精度に影響を与えるテーブルの回転精度の誤差成分を取り除いた測定を実施することができるので、ワークの測定精度が向上する。

本発明の一態様は、演算部は、変位量Ｃ又は補正値Ｅに基づいて、ワークの形状をリアルタイムで算出することが好ましい。

本発明の一態様の演算部によれば、検出器によって絶えず検出されている変位量Ｃに基づき、又は補正値Ｅに基づいて、ワークの平面度を角度位置毎に算出していく。これにより、ワークの平面度をテーブルの回転と同時（リアルタイム）に算出することができる。

本発明の一態様は、検知部は、回転停止状態のスピンドルの回転軸に直交する方向の互いに異なる位置に配置され、テーブル又はスピンドルまでの距離又は変位量を検出する第１センサ及び第２センサを有し、第１センサ及び第２センサの検出結果に基づいて傾斜量Ｂを検知する。

本発明の一態様の検知部によれば、第１センサ及び第２センサによって検出されたテーブル又はスピンドルまでの距離又は変位量の検出結果に基づいて傾斜量Ｂを検知することができる。

本発明の一態様は、第１センサ、第２センサ及び検出器の検出結果に基づいて、演算部は、振動成分を検出結果から削除して平面度を算出することが好ましい。

本発明の一態様は、第１センサ、第２センサ及び検出器の検出結果に基づいて、演算部は、偏心成分を検出結果から削除して平面度を算出することが好ましい。

本発明の平面度測定装置によれば、平面度測定装置が持つ特有の問題、つまり、スピンドルの回転軸が測定時に傾斜した際に、スピンドルの回転軸の傾斜量を検知し、検知したスピンドルの回転軸の傾斜量に基づいて測定精度の向上を図ることができる。

本発明の実施形態の平面度測定装置の外観斜視図 平面度測定装置の構成を示したブロック図 傾斜量に基づくワーク測定方法の一例を示したフローチャート ワークの偏心較正作業を示した説明図 図４の偏心較正作業後に行われるワークの測定形態を示した説明図 傾斜量が閾値よりも小さい場合のワーク測定方法を示した説明図 傾斜量が閾値よりも大きい場合のワーク測定方法を示した説明図 スピンドルに振動が発生した場合の較正方法を示した説明図 スピンドルの測定時の回転軸がＡ軸に対して偏芯した場合の較正方法を示した説明図

以下、添付図面に従って本発明に係る平面度測定装置の好ましい実施形態について詳説する。

図１は、本発明の実施形態の平面度測定装置１０の外観斜視図である。図２は、平面度測定装置１０の構成を示したブロック図である。

〔平面度測定装置１０の全体構成〕
図１、図２の如く平面度測定装置１０は、箱型のベース１２と、ベース１２の上面に回転可能に設けられ、円盤状のワーク１４を載置するテーブル１６と、ベース１２の内部に設けられ、テーブル１６を回転駆動するモータ１８（図２参照）が内蔵されたスピンドル２０と、ベース１２の上面にＺ方向（鉛直方向）に立設されたコラム２２と、コラム２２に沿ってＺ方向に移動可能なキャリッジ２４と、キャリッジ２４にＸ方向（水平方向）に移動可能に取り付けられたアーム２６と、アーム２６の端部に取り付けられた検出器ホルダ２８と、検出器ホルダ２８に取り付けられ、先端に測定子３０を有する検出器３２と、を備える。

テーブル１６は、ワーク１４を載置して回転されるものであり、テーブル１６の回転角は、スピンドル２０に連結されたエンコーダ５２から出力される回転角信号によって検出される。

コラム２２は、テーブル１６の回転中心であるスピンドル２０の回転軸Ａ（Ａ軸）に対してＺ方向に平行に立設された柱であり、その下端部がベース１２の上面に固定される。コラム２２には、キャリッジ２４がＺ方向に移動可能に取り付けられる。コラム２２に対してキャリッジ２４をＺ方向に移動させるための駆動手段としては特に限定されるものではないが、例えば、モータ、ボールネジ、ガイドレール等の組み合わせで構成される。

なお、上記のスピンドル２０の回転軸Ａ（Ａ軸）とは、ワーク１４の測定開始前における回転停止状態のスピンドル２０の回転軸を指す。つまり回転軸Ａは、ワーク測定前に実施される偏心較正作業によって基準値に誤差補正されたスピンドル２０の回転軸を指す。しかし、スピンドル２０の回転軸は、テーブル１６にワーク１４が載置されると、平面度測定装置１０の特有の問題に起因して回転軸Ａに対して傾斜する場合があり、この傾斜量（後述する傾斜量Ｂ）が測定精度に影響を与える場合がある。この件については後述する。

アーム２６は、キャリッジ２４にＸ方向に沿って取り付けられ、キャリッジ２４と一体となってＺ方向に移動される。また、アーム２６の先端には、検出器ホルダ２８の一端が取り付けられている。更に、アーム２６は、キャリッジ２４に対してＸ方向に移動可能に取り付けられる。キャリッジ２４に対してアーム２６をＸ方向に移動させるための駆動手段としては特に限定されるものではないが、モータ、ボールネジ、ガイドレール等の組み合わせで構成される。以上の構成により、アーム２６に取り付けられた検出器ホルダ２８は、コラム２２に沿ったＺ方向、及びアーム２６に沿ったＸ方向に移動可能に構成される。

検出器ホルダ２８は、Ｌ字型の部材であり、一端がアーム２６に連結され、他端に検出器３２が取り付けられる。

検出器３２は、ワーク１４の表面に接触する測定子３０と、差動トランス等の変位量検出部（不図示）と、を有し、測定子３０の変位量を示す電気信号をアナログ電圧値として出力する。検出器３２の検出方向は鉛直方向である。

また、テーブル１６には、Ｘ方向微動つまみ３４及びＹ方向微動つまみ３６を備えたＸＹ駆動機構（調芯手段）が備えられる。Ｘ方向微動つまみ３４及びＹ方向微動つまみ３６は、それぞれスピンドル２０に連結されており、Ｘ方向微動つまみ３４及びＹ方向微動つまみ３６を操作することによってテーブル１６をＸ方向及びＹ方向（Ｘ方向に直交する水平方向）に微動送りすることができる。これにより、テーブル１６の水平位置が微調整される。更に、テーブル１６には、Ｘ方向傾斜つまみ（不図示）及びＹ方向傾斜つまみ（不図示）が設けられており、Ｘ方向傾斜つまみ及びＹ方向傾斜つまみを操作することによって、テーブル１６をＸ方向及びＹ方向に傾斜させることができる。これにより、テーブル１６の傾斜方向の姿勢が微調整される。このような水平方向及び傾斜方向の微調整作業によって、つまりテーブル１６の偏心較正作業によって、テーブル１６の回転精度の誤差が取り除かれる。

また、ワーク１４をテーブル１６に載置して、ワーク１４の測定面の形状中心である中心軸を、テーブル１６の回転中心であるスピンドル２０の回転軸Ａに合わせる調芯作業について説明する。この調芯作業は、まず、ワーク１４を、テーブル１６上に、ワーク１４の測定面の中心軸がスピンドル２０の回転軸Ａにほぼ一致するように載置する。次に、測定子３０がワーク１４の測定面に接触するように、キャリッジ２４を移動して上下方向の位置を調整し、アーム２６を移動して径方向の位置を調整する。

この状態で、ワーク１４を回転して、ワーク１４の測定面の中心軸とスピンドル２０の回転軸Ａとの偏心を測定し、テーブル１６に設けられたＸＹ移動機構のＸ方向微動つまみ３４及びＹ方向微動つまみ３６を操作して、ワーク１４の測定面の中心軸をスピンドル２０の回転軸Ａに正確に一致させる。この調芯作業を実施することにより、真円度を高精度に測定する環境を設定することが可能となる。その上で、形状中心と重心が一致していないワーク１４などでは、後述するように、傾斜量Ｂを検知する検知手段によって、測定子３０の変位量を精度よく補正することが可能となる。

<平面度測定装置１０の演算処理装置４０>
図２の如く、平面度測定装置１０は、演算処理装置４０を有する。

演算処理装置４０には、検出器３２から出力される測定子３０の変位量を示す電気信号（アナログ電圧値）が入力される。演算処理装置４０は、増幅器４２、Ａ／Ｄ変換器４４、演算処理部４６、及び動作プログラムが記憶されたメモリ４８を有し、更に測定結果を表示するディスプレイ５０を備える。

測定子３０をワーク１４に接触させて得られた電気信号は、検出器３２から演算処理装置４０に送信される。演算処理装置４０では、電気信号をまず増幅器４２によって増幅し、この後、Ａ／Ｄ変換器４４によってデジタル信号に変換し、演算処理部４６によって演算処理する。

<平面度測定装置１０によるワーク１４の測定方法の一例>
まず、ワーク１４の測定に先立ち、平面度測定装置１０の誤差補正と、検出器３２の感度較正と、テーブル１６の偏心較正作業と、を実施し、平面度測定装置１０を基準値に設定する。つまり、テーブル１６にマスターピースを載置して、このマスターピースを検出器３２で測定して得られる平面度が規定値となるように平面度測定装置１０を基準値に設定する。

この後、被測定物であるワーク１４をテーブル１６の上面に載置し、ワーク１４の測定面の中心軸をスピンドル２０の回転軸Ａに合わせる調芯作業と、スピンドル２０の回転軸Ａに対するワーク１４の傾斜補正を行う。これにより、スピンドル２０の回転軸Ａとワーク１４の中心とが一致したものとして設定される。

次に、検出器３２の測定子３０をワーク１４の上面に接触させた状態で、テーブル１６をスピンドル２０によって１回転させ、ワーク１４の測定面の１周分のデータを検出器３２からアナログ電圧値として採取する。アナログ電圧値として得られた電気信号は、上述したように増幅器４２で増幅され、Ａ／Ｄ変換器４４でデジタル信号に変換されて、演算処理部４６に入力される。演算処理部４６は、エンコーダ５２から出力される回転角度データであって、テーブル１６の回転方向において分割された複数の角度位置毎の回転角度データと、前述の角度位置毎に検出器３２で検出された変位量と、に基づいてワーク１４の平面度を演算し、演算結果をディスプレイ５０に表示する。

ところで、スピンドル２０の測定時の回転軸は、前述の如く、テーブル１６にワーク１４が載置されると、平面度測定装置１０の特有の問題に起因して回転軸Ａに対し傾斜する場合があり、この傾斜量Ｂが測定精度に影響を与える場合がある。よって、ワーク１４の測定精度を高めるためには、傾斜量Ｂを検知することが重要な要素となる。

そこで、実施形態の平面度測定装置１０は、傾斜量Ｂを検知するために、テーブル１６にワーク１４を載置した状態で、スピンドル２０によってテーブル１６を１回転させたときのＡ軸に対するスピンドル２０の回転軸の傾斜量Ｂを、回転方向において分割された複数の角度位置毎に検知する検知部５４を備えている。すなわち、検知部５４は、ワーク１４の測定開始前における回転停止状態のスピンドル２０の回転軸（Ａ軸）と、ワーク１４の測定時における回転状態のスピンドル２０の回転軸との相対的な傾斜量Ｂを検知する。

<検知部５４の一例>
検知部５４は図２の如く、スピンドル２０の下方位置において、Ａ軸方向に直交する方向の互いに異なる位置に配置された第１センサ５６と第２センサ５８とを有する。第１センサ５６は、Ａ軸を０点基準にしてマイナス（−）方向に離間した位置Ｒ１に配置され、スピンドル２０の底面２０Ａまでの距離又は変位量を非接触で検出する。また、第２センサ５８は、Ａ軸に対してプラス（＋）方向に離間した位置Ｒ２であって、位置Ｒ１とＡ軸とを結ぶ線分の延長線上の位置Ｒ２に配置され、スピンドル２０の底面２０Ａまでの距離及び変位量を非接触で検出する。演算処理部４６は、第１センサ５６及び第２センサ５８によって検出された距離又は変位量（検出結果）に基づいて傾斜量Ｂを算出する。すなわち、検知部５４は、第１センサ５６、第２センサ５８及び演算処理部４６を備えている。なお、Ａ軸方向に直交する方向における測定子３０の検出位置は、Ａ軸に対してプラス（＋）方向に離間した位置Ｒ３に設定される。

第１センサ５６と第２センサ５８のそれぞれの検出方向は鉛直方向であり、平面度測定装置１０の検出器３２の測定方向と平行である。また、検出器３２、第１センサ５６及び第２センサ５８のそれぞれの検出点をＡ軸方向に直交する面に投影したときに、それぞれの検出点は同一線上に位置している。なお、第１センサ５６及び第２センサ５８として、渦電流型のセンサ又は差動変圧器型のセンサ等の非接触式変位センサを適用することが好ましいが、接触式のセンサであっても適用することができる。

<演算処理部４６による傾斜量Ｂの検知方法>
演算処理部４６は、第２センサ５８によって検出された基準値からの変位量（距離でもよい）から、第１センサ５６によって検出された基準値からの変位量（距離でもよい）を減算し、この変位量減算値を、位置Ｒ２から位置Ｒ１を減算した距離減算値で除算する。これによって検知部５４は、傾斜量Ｂを検知することができる。

具体的に説明すると、エンコーダ５２から出力される回転角度データの複数の角度位置毎に検出される変位量であって、第１センサ５６によって検出される基準値からの変位量をＤ１、第２センサ５８によって検出される基準値からの変位量をＤ２としたときに、演算処理部４６は下記の式（１）にて傾斜量Ｂを算出する。

Ｂ＝（Ｄ２−Ｄ１）／（Ｒ２−Ｒ１）…（１）
これにより、実施形態の平面度測定装置１０によれば、Ａ軸に対するスピンドル２０の測定時の回転軸の傾斜量Ｂを検知することができる。なお、位置Ｒ１はＡ軸を０点基準とした負の値であり、位置Ｒ２はＡ軸を０点基準とした正の値である。

<傾斜量Ｂに基づくワーク１４の測定方法>
実施形態の演算処理部４６は、ワーク１４の平面度を算出する演算部として機能する。すなわち、演算部である演算処理部４６は、検出器３２によって検出された測定子３０の角度位置毎の変位量Ｃを、傾斜量Ｂに基づいて算出された測定子３０の検出位置におけるスピンドル２０の回転軸の傾斜量Ｄに基づいて補正することによりワーク１４の平面度を算出する。具体的には、変位量Ｃから傾斜量Ｄを減算して得られた角度位置毎の補正値Ｅに基づき、ワーク１４の平面度を算出する。

図３は、傾斜量Ｂに基づくワーク測定方法の一例を示したフローチャートである。

まず、テーブル１６に載置されたワーク１４の上面（測定面）に検出器３２の測定子３０を接触させてテーブル１６を回転させる（Ｓｔｅｐ（Ｓ）１００）。

次に、演算処理部４６は以下の変位量を取得する。すなわち、テーブル１６の角度位置毎に第１センサ５６によって検出される基準値からの変位量（検出値）Ｄ１、第２センサ５８によって検出される基準値からの変位量（検出値）Ｄ２、及び検出器３２によって検出される変位量（検出値）Ｃを取得する（Ｓ１１０）。

次に、演算処理部４６は、上記の（１）式にて傾斜量Ｂを算出した後、傾斜量Ｂに基づいて算出された測定子３０の検出位置におけるスピンドル２０の回転軸の傾斜量Ｄを、下記の式（２）にて算出する。式（２）のＲ３は、測定子３０による検出位置である。

Ｄ＝（Ｄ２−Ｄ１）×（Ｒ２−Ｒ１）／（Ｒ３−Ｒ１）＝Ｂ×（Ｒ３−Ｒ１）…（２）
次に、演算処理部４６は、変位量Ｃから傾斜量Ｄを減算して得られた角度位置毎の補正値Ｅを、下記の式（３）にて算出する（Ｓ１２０）。

Ｅ＝Ｃ−Ｄ…（３）
そして、演算処理部４６は、角度位置毎の補正値Ｅからワーク１４の平面度を算出する（Ｓ１３０）。これにより、ワーク１４を測定する際に生じるテーブル１６の回転精度の誤差成分を取り除いた測定を実施することができるので、ワーク１４の測定精度が向上する。

また、演算処理部４６においては、補正値Ｅに基づいて、ワーク１４の平面度をリアルタイムで算出することが好ましい。

すなわち、演算処理部４６は、検出器３２によって絶えず検出されている変位量Ｃから、検知部５４によって絶えず算出されている傾斜量Ｄを減算する。これによって得られる補正値Ｅに基づいて、ワーク１４の平面度を角度位置毎に測定していく。これにより、ワーク１４の平面度をテーブル１６の回転と同時（リアルタイム）に算出することができる。また、後述するように傾斜量Ｂが閾値よりも小さい場合には、補正値Ｅで補正することなく、変位量Ｃをそのまま用いてワーク１４の平面度を角度位置毎に測定していく。ここで、例えば、傾斜量Ｂがある閾値よりも小さい場合には、それを正として、平面度を補正せずにそのまま算出することもある。すなわち、本発明においては、演算処理部４６は、必ずしも使用しない場合がある。

<ワーク１４の他の測定方法>
図４は、ワーク１４の偏心較正作業の一例を示した説明図であり、図５は、図４の偏心較正作業後に行われるワーク１４の測定形態を示した説明図である。

図４に示すテーブル１６の偏心較正作業は、前述の如くテーブル１６を水平方向及び傾斜方向に微調整等することにより、第１センサ５６によって検出された位置Ｒ１における楕円形状の平面度データＦＤ（Flatness Data）１を基準の真円に較正する。そして、第２センサ５８によって検出された位置Ｒ２における楕円形状の平面度データＦＤ２を基準の真円に較正する。これによって、偏心較正作業が終了する。

この後、図５の如く、較正した値を基準値としてワーク１４を測定する。この測定は上記実施形態の測定手順と同様である。図５では、Ａ軸に対するスピンドル２０の測定時の回転軸が符号Ａ１で示されている。演算処理部４６は、テーブル１６の角度位置毎の第１センサ５６によって検出される基準値からの変位量Ｄ１、第２センサ５８によって検出される基準値からの変位量Ｄ２、検出器３２によって検出される変位量Ｃ、及び位置Ｒ１、Ｒ２、Ｒ３に基づき、角度位置毎の補正値Ｅを算出し、それらの補正値Ｅからワーク１４の平面度を算出する（式（１）、（２）、（３）参照）。すなわち、図５では、変位量Ｃで測定されたワーク１４の楕円形状の平面度データが補正値Ｅによって補正されることが示されている。

図６は、傾斜量Ｂに閾値を設定し、傾斜量Ｂが閾値よりも小さい場合のワーク測定方法を示した説明図である。図７は、傾斜量Ｂが閾値よりも大きい場合のワーク測定方法を示した説明図である。

演算処理部４６で検知した傾斜量Ｂが、設定した閾値よりも小さい場合には、図６の如く、補正値Ｅで補正することなく変位量Ｃに基づいてワーク１４の平面度を算出する。図６の平面度データＦＤ１、ＦＤ２は、基準の真円に近い円形状なので較正する必要がないことを示している。

また、傾斜量Ｂが設定した閾値よりも大きい場合には、図７の如く、傾斜量Ｄで変位量Ｃが補正された補正値Ｅ（（３）式参照）に基づいてワーク１４の平面度を算出する。図７の平面度データＦＤ１、ＦＤ２は、基準の真円に対して形状の異なる楕円形なので較正する必要があることを示している。

上記形態を実施するためには、測定精度に影響を与えない傾斜量Ｂの閾値を設定し、この閾値をメモリ４８（図２参照）に記憶させておく。そして、検知部５４によって検知された傾斜量Ｂがその閾値よりも小さい場合には、図６の如く、検出器３２によって検出される変位量Ｃをそのまま使用してワーク１４の平面度を算出する。一方、検知部５４によって検知された傾斜量Ｂが、その設定値を超えた場合には、図７の如く、補正値Ｅに基づいてワーク１４の平面度を算出する。これにより、測定精度に影響を与えるテーブル１６の回転精度の誤差成分を取り除いた測定を実施することができるので、ワーク１４の測定精度が向上する。

なお、上述の実施形態では、スピンドル２０の回転軸Ａ１の傾斜量Ｂを検知部５４で検知することで、テーブル１６の測定時の回転軸Ａ１の傾斜量Ｂを間接的に検知したが、テーブル１６の測定時の回転軸Ａ１の傾斜量を直接的に検知してもよい。つまり、第１センサ５６及び第２センサ５８によってテーブル１６までの距離又は変位量を検出し、その検出結果に基づいて傾斜量Ｂを検知してもよい。

<検知部５４を用いた他の較正方法>
図８は、スピンドル２０に突発的な振動が発生した場合の較正方法を示した説明図である。

平面度測定装置１０では、スピンドル２０の回転時に静圧軸受であるエアベアリング２１とスピンドル２０との間の隙間に起因して突発的な振動が発生し、この振動に起因して平面度データＤ１、Ｄ２及び変位量Ｃに振動成分であるＥＤ（Error Data）が重畳する。この場合、演算処理部４６は、同一の角度位置において発生したＥＤを測定データから除外する処理を行う。つまり、演算処理部４６は、第１センサ５６及び第２センサ５８によって検出されたＥＤを変位量Ｃから削除するように変位量Ｃを較正し、その演算結果を出力する。これにより、ＥＤを除去したワーク１４の測定が可能となる。

ここで、実施形態の平面度測定装置１０のスピンドル２０は、エアベアリング２１によって回転自在に支持されているが、摺動抵抗が極めて小さく、エアベアリング２１の摺動抵抗に伴うノイズが極めて小さいという特徴がある一方で、剛性が小さくなるという欠点がある。形状中心と重心が一致していないワーク１４では、エアベアリング２１の剛性不足に伴うテーブル１６の傾斜量Ｂを補正することで、高精度な真円度測定を実現することができる。

図９は、スピンドル２０の測定時の回転軸Ａ１がＡ軸に対して偏芯した場合の較正方法を示した説明図である。

第１センサ５６及び第２センサ５８によって検出された平面度データＤ１、Ｄ２の中心が、偏心較正作業で設定された基準値の中心からそれぞれ同量分ずれている場合、演算処理部４６は、軸Ａに対して回転軸Ａ１は傾斜しておらず、その差分だけ偏心していると判断し、その偏心成分を削除した演算結果を出力する。

以上のように検知部５４を構成する第１センサ５６及び第２センサ５８から出力される検出値を有効利用することによって、傾斜量Ｂを検知するだけでなく、スピンドル２０に生じる突発的な振動や偏芯量を取り除いた演算結果を得ることができる。よって、ワーク１４の形状を精度よく測定することができる。

なお、検知部５４は、スピンドル２０の回転軸Ａに対してスラスト方向である水平の２点で傾斜量Ｂを求めたが、これに限定されない。例えば、スピンドル２０の回転軸Ａに対してラジアル方向である上下の２点に第１センサ５６及び第２センサ５８を付け足すことも可能である。すなわち、スピンドル２０の回転軸Ａ１の傾斜量Ｂは、Ａ軸に直交する軸を基準した傾斜量Ｂに限定されず、例えばＡ軸を基準とした傾斜量Ｂであってもよい。

１０…平面度測定装置、１２…ベース、１４…ワーク、１６…テーブル、１８…モータ、２０…スピンドル、２１…エアベアリング、２２…コラム、２４…キャリッジ、２６…アーム、２８…検出器ホルダ、３０…測定子、３２…検出器、３４…Ｘ方向微動つまみ、３６…Ｙ方向微動つまみ、４０…演算処理装置、４２…増幅器、４４…Ａ／Ｄ変換器、４６…演算処理部、４８…メモリ、５０…ディスプレイ、５２…エンコーダ、５４…検知部、５６…第１センサ、５８…第２センサ

Claims (12)

1. ワークが載置されるテーブルと、
   前記テーブルに連結され、前記テーブルを回転させるスピンドルと、
   前記テーブルに載置された前記ワークの表面に接触する測定子の変位量を検出する検出器と、
   前記ワークの偏心較正作業後の前記スピンドルの回転軸と、前記ワークの測定時における回転状態の前記スピンドルの回転軸との相対的な傾斜量Ｂを検知する検知部と、
   を備える、平面度測定装置。
2. ワークが載置されるテーブルと、
   前記テーブルに連結され、前記テーブルを回転させるスピンドルと、
   前記テーブルに載置された前記ワークの表面に接触する測定子の変位量を検出する検出器と、
   前記ワークの測定開始前における回転停止状態の前記スピンドルの回転軸と、前記ワークの測定時における回転状態の前記スピンドルの回転軸との相対的な傾斜量Ｂを検知する検知部と、
   前記傾斜量Ｂと前記測定子の変位量とに基づいて前記ワークの平面度を算出する演算部と、
   を備え、
   前記演算部は、前記検出器によって検出された前記測定子の角度位置毎の変位量Ｃを、
   前記傾斜量Ｂに基づいて算出された前記測定子の検出位置における前記スピンドルの回転
   軸の傾斜量Ｄに基づいて補正することにより前記ワークの平面度を算出する、
   平面度測定装置。
3. 前記傾斜量Ｂと前記測定子の変位量とに基づいて前記ワークの平面度を算出する演算部を備える、請求項１に記載の平面度測定装置。
4. 前記演算部は、前記検出器によって検出された前記測定子の角度位置毎の変位量Ｃを、前記傾斜量Ｂに基づいて算出された前記測定子の検出位置における前記スピンドルの回転軸の傾斜量Ｄに基づいて補正することにより前記ワークの平面度を算出する、請求項３に記載の平面度測定装置。
5. 前記演算部は、前記変位量Ｃから前記傾斜量Ｄを減算して得られた角度位置毎の補正値Ｅに基づき、前記ワークの平面度を算出する、請求項２又は４に記載の平面度測定装置。
6. 前記演算部は、前記傾斜量Ｂが、設定した閾値よりも大きい場合には、前記傾斜量Ｄで変位量Ｃが補正された前記補正値Ｅに基づいてワークの平面度を算出し、前記閾値よりも小さい場合には、前記傾斜量Ｄで前記変位量Ｃを補正することなく前記変位量Ｃに基づいてワークの平面度を算出する、請求項５に記載の平面度測定装置。
7. 前記演算部は、前記変位量Ｃ又は前記補正値Ｅに基づいて、前記ワークの平面度をリアルタイムで算出する、請求項５又は６に記載の平面度測定装置。
8. 前記検知部は、回転停止状態の前記スピンドルの回転軸に直交する方向の互いに異なる位置に配置され、前記テーブル又は前記スピンドルまでの距離又は変位量を検出する第１センサ及び第２センサを有し、前記第１センサ及び第２センサの検出結果に基づいて前記傾斜量Ｂを検知する、請求項２から７のいずれか１項に記載の平面度測定装置。
9. 前記第１センサ、前記第２センサ及び前記検出器の検出結果に基づいて、前記演算部は、振動成分を前記検出結果から削除して平面度を算出する、請求項８に記載の平面度測定装置。
10. 前記第１センサ、前記第２センサ及び前記検出器の検出結果に基づいて、前記演算部は、偏心成分を前記検出結果から削除して平面度を算出する、請求項８に記載の平面度測定装置。
11. 前記テーブルは、前記テーブルの回転中心と前記ワークの形状中心とを調芯する調芯手段を有する、請求項１から１０のいずれか１項に記載の平面度測定装置。
12. 前記スピンドルは、エアベアリングによって回転自在に支持される、請求項１から１１のいずれか１項に記載の平面度測定装置。

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