JP2015068740A - 真円度測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】被測定物（ワーク）の直径を測定する場合に、温度変化に起因する誤差の影響を受けることなく高精度に測定を行うことができる真円度測定装置を提供する。【解決手段】円筒状のワーク14の真円度を測定する真円度測定装置10であって、ワーク14を載置するテーブル（載物台）16と、ワーク14の中心軸に対して互いに対峙する状態で設けられ、ワーク14の中心軸に垂直な径方向に対して互いに独立して移動可能に構成され、ワーク14に接触する測定子34,36の変位を検出する第１及び第２の検出器30,32と、ワーク14を中心軸の周りに第１及び第２の検出器30,32に対して相対的に回転させる回転駆動機構18と、第１及び第２の検出器30,32の径方向の位置を同一の位置検出手段40によって検出する位置検出機構と、を備える。【選択図】図１

Description

本発明は、円筒状のワーク（被測定物）の真円度を測定する真円度測定装置に関する。

従来より、円筒状のワークの真円度を測定する真円度測定装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

図８は、特許文献１に開示される従来の真円度測定装置を示した図である。図８に示すように、従来の真円度測定装置は、ベース９１１に鉛直軸周りに回転する回転テーブル９１２が設けられるとともに、ベース９１１にはＺガイド９１３が立設され、Ｚガイド９１３にＺテーブル９１４がＺ方向移動自在に支持されている。Ｚテーブル９１４には、検出器ホルダ９１５、９１６が水平方向（Ｘ方向）移動自在に支持されており、これらの先端９１５ａ、９１６ａにはそれぞれ検出器９１７、９１８が設けられている。検出器９１７、９１８は、回転テーブル９１２の回転中心に対して互いに対峙する状態で設けられている。

測定を行う場合には、ワークＷを回転テーブル９１２の上に載置し固定した状態で、回転テーブル９１２を駆動してワークＷの測定部分の中心を検出器９１７、９１８の回転中心に概略（検出器９１７、９１８の測定可能範囲内）に合わせた後、回転テーブル９１２を回転させてワークＷの円周を測定する。このとき、ワークＷの各点は検出器９１７で検出された後、１８０°回転して検出器９１８でも検出されるので、検出器９１７で検出された測定値と検出器９１８で検出された測定値との平均値を算出し、それをワークＷのその点の測定値（半径）とする。これによって、Ｚテーブル９１４を鉛直方向に案内するＺガイド９１３の水平方向の誤差があっても、２つの測定値の平均によって運動精度の誤差が相殺されるので、Ｚガイド９１３の運動精度の影響を受けずに同軸度や円筒度の測定を行うことができる。

特開平１１−６３９７１号公報

ところで、従来の真円度測定装置において、ワークの直径を測定するためには、２つの検出器の位置（ワークの中心軸に垂直な径方向の位置）を検出する必要がある。

しかしながら、一般に、２つの検出器の位置を検出する位置検出手段は別々のリニアスケールで構成される。このため、温度変化に伴う測定誤差はリニアスケール毎に異なり、温度変化に応じて各リニアスケールの伸縮状況を想定して各検出器の位置を校正しなければならず、複雑な演算作業が必要となり、校正を行わないと測定精度の低下を招くという問題がある。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、円筒状のワークの直径を測定する場合に、温度変化に起因する誤差の影響を受けることなく高精度に測定を行うことができる真円度測定装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明の一態様に係る真円度測定装置は、円筒状のワークの真円度を測定する真円度測定装置であって、ワークを載置するテーブルと、ワークの中心軸に対して互いに対峙する状態で設けられ、ワークの中心軸に垂直な径方向に対して互いに独立して移動可能に構成され、ワークに接触する測定子の変位を検出する第１及び第２の検出器と、ワークを中心軸の周りに第１及び第２の検出器に対して相対的に回転させる回転駆動機構と、第１及び第２の検出器の径方向の位置を同一の位置検出手段によって検出する位置検出機構と、を備える。

本発明の一実施形態において、位置検出手段はリニアスケールで構成されることが好ましい。

また、本発明の一実施形態において、回転駆動機構は、第１及び第２の検出器を中心軸の周りに回転させずに、テーブルに載置されたワークを中心軸の周りに回転させることが好ましい。

また、本発明の一実施形態において、回転駆動機構は、テーブルに載置されたワークを中心軸の周りに回転させずに、第１及び第２の検出器を中心軸の周りに回転させることが好ましい。

本発明によれば、２つの検出器（第１及び第２の検出器）の位置は同一の位置検出手段で検出されるので、円筒状のワークの直径を測定する場合に、温度変化に起因する誤差の影響を一様にしか受けることなく高精度に測定を行うことができる。

本発明の一実施形態に係る真円度測定装置の外観図 図１の真円度測定装置の上面図 検出器ホルダ移動機構の構成例を示した図 図１の真円度測定装置の制御系の構成を示すブロック図 検出器ホルダ移動機構の別の構成例を示した図 検出器ホルダ移動機構の更に別の構成例を示した図 検出器回転型の真円度測定装置の外観図 従来の真円度測定装置の外観図

以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施形態について説明する。

図１は、本発明の一実施形態に係る真円度測定装置の外観図である。図１に示すように、真円度測定装置１０は、台状のベース１２と、ベース１２上に回転可能に設けられ、円筒状のワーク１４を載置する載物台（テーブル）１６と、載物台１６を回転駆動するためのモータ等を有する回転駆動機構１８と、ベース１２の背面に設けられたコラム２０と、コラム２０に沿ってＺ方向（鉛直方向）に移動可能なキャリッジ２２と、キャリッジ２２に取り付けられた検出器ホルダ移動機構２４と、検出器ホルダ移動機構２４にＸ方向（左右方向）に移動可能に取り付けられた第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８と、第１の検出器ホルダ２６に取り付けられた第１の検出器３０と、第２の検出器ホルダ２８に取り付けられた第２の検出器３２と、を備える。

載物台１６は、ワーク１４を載置して回転させるものであり、載物台１６の回転角は、回転駆動機構１８の駆動軸に連結されたエンコーダ６４（図４参照）で検出される。

コラム２０は、載物台１６の回転軸に対して平行に伸びる柱であり、その下端部はベース１２の背面に固定される。すなわち、載物台１６の背面側にコラム２０が配置される。

コラム２０には、キャリッジ２２がＺ方向に移動可能に取り付けられる。キャリッジ２２を移動させるための駆動手段（不図示）としては特に限定されるものではないが、例えば、モータ、ボールネジ、ガイドレール等の組み合わせで構成される。

検出器ホルダ移動機構２４は、キャリッジ２２に取り付けられ、キャリッジ２２と一体となってＺ方向に移動可能とされている。

検出器ホルダ移動機構２４には、第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８が取り付けられている。第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８は、検出器ホルダ移動機構２４の案内面に沿ってＸ方向に互いに独立して移動可能に構成されている。各検出器ホルダ２６、２８をそれぞれＸ方向に移動させるための駆動手段（不図示）としては特に限定されるものではないが、例えば、モータ、ボールネジ、ガイドレール等の組み合わせで構成される。これにより、検出器ホルダ移動機構２４に取り付けられた第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８は、Ｘ方向に互いに独立して移動可能とされている。

第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８は、Ｌ字型の部材で、一方の端が検出器ホルダ移動機構２４に取り付けられ、他方の端にそれぞれ第１の検出器３０及び第２の検出器３２が取り付けられる。

第１の検出器３０は、第１の測定子３４と、差動トランス等の変位検出部と、を有し、第１の測定子３４の変位を示す電気信号を出力する。

第２の検出器３２は、第２の測定子３６と、差動トランス等の変位検出部と、を有し、第２の測定子３６の変位を示す電気信号を出力する。

ワーク１４のつば部分の高さ位置（Ｚ方向位置）の変化を検出するため、第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８は、取り付ける方向を９０度ずつ異なる２方向にすることが可能であることが望ましい。また、第１の検出器３０及び第２の検出器３２は、測定する円筒面の方向を１８０度変えるために、それぞれ第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８に対して方向を変えて取り付け可能であることが望ましい。

図２は、図１の真円度測定装置の上面図である。なお、ここでは、載物台１６の回転軸を含むＸＺ平面を測定平面という。

図２に示すように、コラム２０は、載物台１６の背面に設けられる。第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８は、検出器ホルダ移動機構２４から測定平面に垂直な方向に伸び、第１の検出器３０及び第２の検出器３２は、第１の測定子３４及び第２の測定子３６が測定平面上で変位するように取り付けられる。ワーク１４の測定する円筒面の直径が異なる場合には、第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８が測定平面と平行に移動するので、第１の検出器３０及び第２の検出器３２は、測定平面に沿ってＸ方向（ワーク１４の中心軸に対して垂直な径方向）に移動され、各測定子３４、３６は、測定平面と円筒面の交差する線上で円筒面に接触し、測定平面上で変位する。

また、コラム２０を測定平面に対して垂直に投影した場合に、投影されたコラム２０の中心軸が載物台１６の回転軸と一致するように構成される。すなわち、コラム２０の中心軸と載物台１６の回転軸はＸ方向位置が同一位置となっている。

このように本実施形態においては、第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８は、測定平面に平行なＺ方向に移動可能であるとともに、測定平面に平行且つ載物台１６の回転軸に垂直なＸ方向に沿って互いに独立して移動することが可能である。つまり、第１の検出器３０及び第２の検出器３２は、それぞれ、測定平面に平行な面内（ＸＺ面内）で２次元的に移動可能に構成される。したがって、第１の検出器３０及び第２の検出器３２は、Ｚ方向に移動しても、姿勢は変化せず、Ｚ方向の位置（高さ）のみが変化する。また、第１の検出器３０及び第２の検出器３２をＸ方向に移動しても、姿勢は変化せず、Ｘ方向の位置のみが変化する。言い換えれば、異なる半径の円筒面の真円度を測定するため、第１の検出器３０及び第２の検出器３２をＸ方向と平行に移動しても、第１の検出器３０の第１の測定子３４及び第２の検出器３２の第２の測定子３６は、それぞれ、測定平面でワーク１４と接触する。

図３は、検出器ホルダ移動機構２４の構成例を示した図であり、検出器ホルダ移動機構２４の内部構造を示したものである。

図３に示すように、検出器ホルダ移動機構２４には、第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８をＸ方向に互いに独立して移動させるための駆動手段として第１の送りねじ５０及び第２の送りねじ５２が設けられている。

第１の送りねじ５０は、第１の検出器ホルダ２６の背面側に連結される第１の送りナット５４に係合しており、第１の送りつまみ５６を回転することにより第１の送りねじ５０が回転して、第１の検出器ホルダ２６がＸ方向と平行（図３の左右方向）に移動する。

同様に、第２の送りねじ５２は、第２の検出器ホルダ２８の背面側に連結される第２の送りナット５８に係合しており、第２の送りつまみ６０を回転することにより第２の送りねじ５２が回転して、第２の検出器ホルダ２８がＸ方向と平行（図３の左右方向）に移動する。

なお、第１の送りつまみ５６及び第２の送りつまみ６０の代わりに、第１の送りねじ５０及び第２の送りねじ５２をそれぞれ回転駆動するモータ等を設けて、第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８をＸ方向に互いに独立して移動することも可能である。

更に本実施形態においては、第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置を同一のリニアスケール４０（位置検出手段）によって検出する位置検出機構２５を備えている。リニアスケール４０は、検出器ホルダ移動機構２４にＸ方向に沿って設けられている。なお、第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置とは、リニアスケール４０の中心４０ａを原点とし、原点から各検出器ホルダ２６、２８までの距離を示す。

第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置は、リニアスケール４０に対向して設けられた第１の読み取りヘッド４２及び第２の読み取りヘッド４４によって読み取られるようになっている。

第１の読み取りヘッド４２は、第１の検出器ホルダ２６に配設され、第１の検出器ホルダ２６とともにリニアスケール４０に対向する位置をＸ方向に沿って移動し、リニアスケール４０の目盛りを光学的、磁気的に読み取る。第１の読み取りヘッド４２の読取値は、第１の検出器３０のＸ方向位置となる。

同様に、第２の読み取りヘッド４４は、第２の検出器ホルダ２８に配設され、第２の検出器ホルダ２８とともにリニアスケール４０に対向する位置をＸ方向に沿って移動し、リニアスケール４０の目盛りを光学的、磁気的に読み取る。第２の読み取りヘッド４４の読取値は、第２の検出器３２のＸ方向位置となる。

本実施形態においては、リニアスケール４０の中心（基準点）４０ａは、測定平面に対して垂直に投影した場合に、載物台１６の回転軸と一致するように構成される。言い換えれば、リニアスケール４０の中心４０ａと載物台１６の回転軸とは、Ｘ方向位置が同一位置となっている。したがって、第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置から、ワーク１４の円筒面と測定平面が交差する線上の測定点（各検出器３０、３２の測定子３４、３６が円筒面に接触する位置）間の距離を算出することができる。この結果、ワーク１４の直径を求めることが可能となる。

測定を行う場合には、円筒状のワーク１４は、載物台１６上に、ワーク１４の円筒面の中心軸が載物台１６の回転軸にほぼ一致するように載置する。第１の測定子３４及び第２の測定子３６がワーク１４の測定する位置に接触するように、キャリッジ２２を移動してＺ方向の位置を調整し、第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８を移動してＸ方向の位置を調整する。この状態で、ワーク１４の真円度を測定する。

ワーク１４の真円度の測定方法としては、例えば特許文献１に開示されるように、第１の検出器３０及び第２の検出器３２の検出値（第１の測定子３４及び第２の測定子３６の変位データ）の平均値を用いて測定する方法が好ましく用いられる。これによれば、Ｚ方向の運動精度に影響を受けることなく高精度な測定が可能となる。なお、第１の検出器３０及び第２の検出器３２のいずれか一方の検出値のみを用いて真円度を測定してもよい。

また、ワーク１４の直径は、第１の読み取りヘッド４２及び第２の読み取りヘッド４４の読取値（第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置）と、第１の検出器３０及び第２の検出器３２の検出値（第１の測定子３４及び第２の測定子３６の変位データ）の平均値とを元に算出する。

なお、ワーク１４の真円度や直径の算出方法は従来より周知であるため、ここでは詳細な説明を省略する。

高精度の測定を行う場合には、ワーク１４を回転して、ワーク１４の円筒面の中心軸と載物台１６の回転軸との偏心を測定し、載物台１６に設けられたＸＹ移動機構で、ワーク１４の円筒面の中心軸が載物台１６の回転軸により正確に一致するように調整した後に測定を行う。このとき、第１の測定子３４及び第２の測定子３６は、変位範囲の中心付近であることが望ましい。

図４は、本実施形態の真円度測定装置の制御系の構成を示すブロック図である。図４に示すように、制御部６２には、同一のリニアスケール４０から読み取られた第１の読み取りヘッド４２及び第２の読み取りヘッド４４の読取値（各検出器３０、３２の位置データ）、エンコーダ６４の検出値（載物台１６の回転角度データ）、及び第１の検出器３０及び第２の検出器３２の検出値（各測定子３４、３６の変位データ）が入力される。

制御部６２は、各入力データ（各検出器３０、３２の位置データ、載物台１６の回転角度データ、及び各測定子３４、３６の変位データ）に基づき、ワーク１４の円筒面の真円度や直径を算出し、その算出結果を出力部６６に出力する。

以上のとおり、本実施形態の真円度測定装置１０においては、第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置は同一のリニアスケール４０（位置検出手段）により検出される。このため、温度変化による影響でリニアスケール４０が伸縮しても、リニアスケール４０の伸縮に伴う変位量は一様である。したがって、検出器毎にリニアスケールが別々に設けられる場合に比べて、温度変化に起因する誤差の影響を受けることなく、ワーク１４の直径を高精度に測定することが可能となる。

次に、検出器ホルダ移動機構２４の他の形態について説明する。

図５は、検出器ホルダ移動機構２４の別の構成例を示した図であり、検出器ホルダ移動機構２４の内部構造を示したものである。図５において、これまでに示した図の構成要素と同一又は対応する構成要素には同一の符号を付している。

図５に示す構成例では、検出器ホルダ移動機構２４にマグネット７０を設け、マグネット７０に対向する位置に第１のムービングコイル７２及び第２のムービングコイル７４を設けている。

マグネット７０の中心（基準点）７０ａは、測定平面に対して垂直に投影した場合に、載物台１６の回転軸と一致するように構成される。言い換えれば、マグネット７０の中心７０ａと載物台１６の回転軸とは、Ｘ方向位置が同一位置となっている。

第１のムービングコイル７２は、第１の検出器ホルダ２６の背面に連結されており、マグネット７０と第１のムービングコイル７２との相互作用により、第１のムービングコイル７２とともに第１の検出器ホルダ２６がＸ方向に移動する。

同様に、第２のムービングコイル７４は、第２の検出器ホルダ２８の背面に連結されており、マグネット７０と第２のムービングコイル７４との相互作用により、第２のムービングコイル７４とともに第２の検出器ホルダ２８がＸ方向に移動する。

各ムービングコイル７２、７４には、それぞれ第１のホールセンサ７６及び第２のホールセンサ７８が取り付けられている。第１のホールセンサ７６及び第２のホールセンサ７８は、マグネット７０により形成される磁界を検出する磁気センサであり、各ホールセンサ７６、７８の出力に基づいて第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置を算出することができる。

図５に示した構成例によれば、第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置は、同一のマグネット７０により形成される磁気を各ホールセンサ７６、７８で検出することによって算出することができる。したがって、温度変化による影響でマグネット７０が伸縮しても、温度変化に伴う測定誤差は一様となるので、温度変化に起因する誤差の影響を受けることなく、ワーク１４の直径を高精度に測定することが可能となる。

図６は、検出器ホルダ移動機構２４の更に別の構成例を示した図であり、検出器ホルダ移動機構２４の内部構造を示したものである。図６において、これまでに示した図の構成要素と同一又は対応する構成要素には同一の符号を付している。

図６に示す構成例では、検出器ホルダ移動機構２４に送りねじ８０を設け、送りねじ８０に係合する第１の送りナット８２及び第２の送りナット８４を設けている。

送りねじ８０の中心（基準点）８０ａは、測定平面に対して垂直に投影した場合に、載物台１６の回転軸と一致するように構成される。言い換えれば、送りねじ８０の中心８０ａと載物台１６の回転軸とは、Ｘ方向位置が同一位置となっている。

第１の送りナット８２は、第１の駆動モータ８６の駆動力によって回転動作しながらＸ方向に移動する。第１の送りナット８２は、第１の検出器ホルダ２６の背面に連結される第１の支持部材８８に対して回転自在に支持されている。したがって、第１の送りナット８２が回転動作により、第１の送りナット８２とともに第１の検出器ホルダ２６がＸ方向に移動する。

同様に、第２の送りナット８４は、第２の駆動モータ９０の駆動力によって回転動作しながらＸ方向に移動する。第２の送りナット８４には、第２の検出器ホルダ２８の背面に連結される第２の支持部材９２に対して回転自在に支持されている。したがって、第２の送りナット８４が回転動作により、第２の送りナット８４とともに第２の検出器ホルダ２８がＸ方向に移動する。

第１の駆動モータ８６及び第２の駆動モータ９０の駆動軸には、それぞれ第１のロータリエンコーダ９４及び第２のロータリエンコーダ９６が連結されている。第１のロータリエンコーダ９４及び第２のロータリエンコーダ９６は、それぞれ各駆動モータ８６、９０の回転量（すなわち、各送りナット８２、８４のＸ方向の移動量）を検出する回転量検出手段であり、各ロータリエンコーダ９４、９６の出力に基づいて第１の検出器ホルダ２６及び第２の検出器ホルダ２８のＸ方向位置を算出することができる。

図６に示した構成例によれば、第１の検出器３０及び第２の検出器３２のＸ方向位置は、同一の送りねじ８０に係合した送りナット８２、８４のＸ方向の移動量から求められている。したがって、温度変化による影響で送りねじ８０が伸縮しても、温度変化に伴う測定誤差は一様となるので、温度変化に起因する誤差の影響を受けることなく、ワーク１４の直径を高精度に測定することが可能となる。

なお、本実施形態の真円度測定装置１０は、ワーク回転型の真円度測定装置で構成されているが、本発明はこれに限定されず、ワークを回転させずに検出器を回転又は上下動させて測定を行う検出器回転型の真円度測定装置にも応用できる。

図７は、検出器回転型の真円度測定装置の外観図である。図７に示すように、検出器回転型の真円度測定装置１００は、ベース１１２に水平方向（ＸＹ方向）に移動自在に支持されたＸＹテーブル１１６が設けられるとともに、ベース１１２にコラム１２０が立設され、コラム１２０に設けられたＺガイド１２２にキャリッジ１２４が鉛直方向（Ｚ方向）移動自在に支持されている。キャリッジ１２４の前側にはスピンドル１２６が回転自在に支持されている。スピンドル１２６の下端には支持アーム１２８が固着され、支持アーム１２８には第１のスライドブロック１３０と第２のスライドブロック１３２が水平一軸移動自在に支持されている。第１のスライドブロック１３０の下面には第１の検出器ホルダ１３４が設けられ、第１の検出器ホルダ１３４には第１の検出器１３６及び第１の測定子１３８が取り付けられている。一方、第２のスライドブロック１３２の下面には第２の検出器ホルダ１４０が設けられ、第２の検出器ホルダ１４０には第２の検出器１４２及び第２の測定子１４４が取り付けられている。

ワーク１１４を測定する場合には、まずキャリッジ１２４をＺガイド１２２に沿って移動し、測定子１３８、１４４をワーク１１４に当て、支持アーム１２８を回転させ、その時の測定子１３８、１４４の変位を検出器１３６、１４２で読み取る。

以上のように構成される検出器回転型の真円度測定装置１００においても、本実施形態の真円度測定装置１０と同様に、各検出器１３６、１４２の位置を同一の位置検出手段（本例ではリニアスケール１４６）で検出することにより、温度変化に伴う誤差による影響を一様にしか受けることなく、ワーク１１４の直径を高精度に算出することが可能となる。

以上、本発明の真円度測定装置について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。

１２…ベース、１４…ワーク、１６…載物台、２０…コラム、２２…キャリッジ、２４…検出器ホルダ移動機構、２５…位置検出機構、２６…第１の検出器ホルダ、２８…第２の検出器ホルダ、３０…第１の検出器、３２…第２の検出器、３４…第１の測定子、３６…第２の測定子、４０…リニアスケール、４２…第１の読み取りヘッド、４４…第２の読み取りヘッド、５０…第１の送りねじ、５２…第２の送りねじ、６２…制御部

Claims (4)

1. 円筒状のワークの真円度を測定する真円度測定装置であって、
   前記ワークを載置するテーブルと、
   前記ワークの中心軸に対して互いに対峙する状態で設けられ、前記ワークの中心軸に垂直な径方向に対して互いに独立して移動可能に構成され、前記ワークに接触する測定子の変位を検出する第１及び第２の検出器と、
   前記ワークを前記中心軸の周りに前記第１及び第２の検出器に対して相対的に回転させる回転駆動機構と、
   前記第１及び第２の検出器の前記径方向の位置を同一の位置検出手段によって検出する位置検出機構と、
   を備える真円度測定装置。
2. 前記位置検出手段はリニアスケールで構成される請求項１に記載の真円度測定装置。
3. 前記回転駆動機構は、前記第１及び第２の検出器を前記中心軸の周りに回転させずに、前記テーブルに載置された前記ワークを前記中心軸の周りに回転させる請求項１又は２に記載の真円度測定装置。
4. 前記回転駆動機構は、前記テーブルに載置された前記ワークを前記中心軸の周りに回転させずに、前記第１及び第２の検出器を前記中心軸の周りに回転させる請求項１又は２に記載の真円度測定装置。

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