JP6031732B1 - 表面形状測定装置の心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、第1の実施形態について説明する。
上記処理が終了すると、第1形状データ取得ステップが実施される。
次に、図4Dに示すように、検出器26をワークWを挟んで反対側に移して、ワークWの表面のX方向の他方側(180度位置)に測定子28が接触するように、アーム22をX方向に移動させる。そして、演算処理部34は第2形状データ取得部40として機能し、検出器26の出力が0点からマイナス側(図において左側)にずれた値−αを示したときの検出器26のX方向位置を示す検出器位置データR2を検出器位置検出部60から取得する。さらにこの状態で、図4Eに示すように、モータ16により回転テーブル14を回転駆動してワークWを回転させながら、ワークWの表面に接触する測定子28の変位を示す変位データT2を検出器26から取得するとともに、測定子28の変位を検出したときのワークWの回転角度を示す回転角度データθ2を回転角度検出部62から取得する。このとき、ワークWを1回転させる間に多数の測定点(例えば14400点)を測定し、各測定点において検出器26の出力(変位データ)T2を回転角度検出部62の出力(回転角度データ)θ2に関連付けて記憶しておく。なお、これらのデータR2、T2、θ2をまとめて第2形状データBと呼ぶことにする。
次に、演算処理部34は形状パラメータ算出部42として機能し、ステップS10及びステップS12で取得した2つの形状データ(第1形状データA及び第2形状データB)を照合し、その照合した結果に基づいて、ワークWの表面形状を規定する形状パラメータであるワークWの直径を算出する。具体的には以下のようにして行われる。
次に、演算処理部34は、演算処理結果として、ステップS14で算出した形状パラメータ(ワークWの直径D)を表示部36に出力する。これにより、表示部36にはワークWの直径Dが表示され、本フローチャートは終了となる。
次に、第2の実施形態について説明する。なお、前述の第1の実施形態と重複する部分もあるが、あらためて全体を通して説明する。
まず、図12A及び図12Bに示すように、ワークWに対して一方側(右側)からワークWの表面(右側面)に検出器126の測定子128を接触させた状態で、回転テーブル114によりワークWと検出器126とを相対的に回転させながら検出器126で測定子128の変位を検出する。このとき、演算処理部134は第1形状データ取得部138として機能し、ワークWの表面1周分の第1形状データAを取得する。
次に、図13A及び図13Bに示すように、アーム122の移動により検出器126をX方向(測定母線Mと平行な方向)に移動させ、ワークWに対して他方側(左側)からワークWの表面(左側面)に検出器126の測定子128を接触させた状態で、回転テーブル114によりワークWと検出器126とを相対的に回転させながら検出器126で測定子128の変位を検出する。このとき、演算処理部134は第2形状データ取得部140として機能し、ワークWの表面1周分の第2形状データBを取得する。
次に、演算処理部134は心ずれ量算出部142として機能し、第1形状データAと第2形状データBとを照合し、その照合した結果に基づいて真円度測定機100の心ずれ量σを算出する。
上述した各実施形態では、検出器26、126の種類としては差動トランス方式に限定されず、少なくともワークWの表面の変位を検出することができるものであれば、接触式あるいは非接触式の種々の検出器が用いられてもよい。例えば、レーザー式の変位センサ等も使用することができる。
Claims (6)
- ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、前記検出器で前記ワークの表面に接触する測定子の変位を検出することにより、前記ワークの表面形状を測定する表面形状測定装置の心ずれ算出方法であって、
前記ワークに対して一方側に前記検出器を配置して、前記ワークと前記検出器とを前記回転中心の周りに相対的に回転させつつ、前記検出器で前記ワークの表面に接触する前記測定子の変位を検出したときの前記ワークの表面形状を示す第1形状データを取得する第1形状データ取得ステップと、
前記ワークに対して他方側に前記検出器を配置して、前記ワークと前記検出器とを前記回転中心の周りに相対的に回転させつつ、前記検出器で前記ワークの表面に接触する前記測定子の変位を検出したときの前記ワークの表面形状を示す第2形状データを取得する第2形状データ取得ステップと、
前記回転中心を通り前記測定子の変位方向に平行な直線を測定母線とし、前記測定子が前記ワークに当接する位置を検出点としたとき、前記第1形状データと前記第2形状データとを照合し、前記照合した結果に基づいて前記測定母線に対する前記検出点の距離を示す心ずれ量を算出する心ずれ量算出ステップと、
を備える表面形状測定装置の心ずれ量算出方法。 - 前記心ずれ量算出ステップは、前記第1形状データ及び前記第2形状データのいずれか一方を他方に対して180度位相をずらす位相反転処理を行い、前記位相反転処理後の前記第1形状データ及び前記第2形状データのずれ角度を算出し、前記ずれ角度に基づいて前記心ずれ量を算出する、
請求項1に記載の表面形状測定装置の心ずれ量算出方法。 - 前記心ずれ量算出ステップによって算出された前記心ずれ量と予め設定した基準値とを比較し、前記心ずれ量が前記基準値以下である場合には心ずれがないと判断し、前記心ずれ量が前記基準値を超える場合には心ずれがあると判断する心ずれ判断ステップを備える、
請求項1又は2に記載の表面形状測定装置の心ずれ量算出方法。 - ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、前記検出器で前記ワークの表面に接触する測定子の変位を検出することにより、前記ワークの表面形状を測定する表面形状測定装置であって、
前記ワークに対して一方側に前記検出器を配置して、前記ワークと前記検出器とを前記回転中心の周りに相対的に回転させつつ、前記検出器で前記ワークの表面に接触する前記測定子の変位を検出したときの前記ワークの表面形状を示す第1形状データを取得する第1形状データ取得部と、
前記ワークに対して他方側に前記検出器を配置して、前記ワークと前記検出器とを前記回転中心の周りに相対的に回転させつつ、前記検出器で前記ワークの表面に接触する前記測定子の変位を検出したときの前記ワークの表面形状を示す第2形状データを取得する第2形状データ取得部と、
前記回転中心を通り前記測定子の変位方向に平行な直線を測定母線とし、前記測定子が前記ワークに当接する位置を検出点としたとき、前記第1形状データと前記第2形状データとを照合し、前記照合した結果に基づいて前記測定母線に対する前記検出点の距離を示す心ずれ量を算出する心ずれ量算出部と、
を備える表面形状測定装置。 - 前記心ずれ量算出部は、前記第1形状データ及び前記第2形状データのいずれか一方を他方に対して180度位相をずらす位相反転処理を行い、前記位相反転処理後の前記第1形状データ及び前記第2形状データのずれ角度を算出し、前記ずれ角度に基づいて前記心ずれ量を算出する、
請求項4に記載の表面形状測定装置。 - 前記心ずれ量算出部によって算出された前記心ずれ量と予め設定した基準値とを比較し、前記心ずれ量が前記基準値以下である場合には心ずれがないと判断し、前記心ずれ量が前記基準値を超える場合には心ずれがあると判断する心ずれ判断部を備える、
請求項4又は5に記載の表面形状測定装置。
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