JP2017187470A - 表面形状測定装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ワークの形状パラメータを高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性に優れた測定を可能とする表面形状測定装置を提供する。【解決手段】ワークを載置する回転テーブルと、ワークの表面の変位を検出する検出器と、検出器を回転テーブルの回転中心に垂直な移動軸方向に沿ってワークの一方側の第1位置とワークの他方側の第2位置とに移動させる移動機構と、を備え、検出器を第1位置に配置した状態で回転テーブルを回転させながら検出器によりワークの表面形状を示す第1形状データを取得し、且つ検出器を第2位置に配置した状態で回転テーブルを回転させながら検出器によりワークの表面形状を示す第2形状データを取得する。【選択図】図16

Description

本発明は、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出することにより、ワークの表面形状を測定する技術に関する。
従来より、ワーク(測定物)の表面形状を測定する表面形状測定装置として、ワークの真円度等を測定する真円度測定機が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特許文献1に開示された真円度測定機は、本体ベース(ステージ)の上に回転台が設けられるとともに、本体ベースの上にはコラムが立設され、コラムにキャリッジ(滑動体)が鉛直方向(上下方向)に移動自在に設けられている。キャリッジにはアーム(水平腕)が水平方向に移動自在に支持されており、その先端に第1検出器が設けられる。第1検出器は、ワークの表面に接触する測定子(接触子)を有し、差動トランスにより測定子の変位を検出する。また、キャリッジには、アームの水平方向の移動量を検出する第2検出器が設けられている。
この真円度測定機を用いて、ワークの真円度を測定する際には、ワークの測定部分の中心(以下、「ワーク中心」という)が回転台の回転軸心(回転中心)にほぼ一致するように、ワークを回転台の上に載置する。そして、ワークの表面(測定面)に測定子が接触するように、キャリッジを移動して鉛直方向の位置を調整するとともに、アームを移動して水平方向の位置を調整する。この状態で回転台を回転させながらワークの表面に接触する測定子の変位を第1検出器で検出することにより、ワークの表面形状データを取得して、ワークの真円度等を算出する。
また、特許文献1には、真円度測定機によるワークの直径測定方法が開示されている。この直径測定方法では、まずマスタワークを回転台の上に載置し、第1検出器の測定子をマスタワークの右側面に当て、第2検出器の出力を取得し、次いで測定子をマスタワークの左側面に当てて、第2検出器の出力を取得し、第2検出器の出力の差であるマスタワークの測定直径を求め、マスタワークの測定直径とマスタワークの既知直径との差を補正値とする。そして、マスタワークの代わりに測定物であるワークをセットし、マスタワークと同様な測定によりワークの測定直径を求め、ワークの測定直径から上記補正値を減算することで、ワークの真の直径である補正直径を算出している。
また、特許文献2には、テーブル上に載置されたワーク(測定物)の表面に検出器の測定子を接触させ、テーブル又は検出器を回転させてワークに対して検出器を相対的に回転させ、ワークの表面に接触する測定子の変位を検出器で検出することにより、ワークの真円度や円筒度などを測定する真円度測定機が開示されている。
このような真円度測定機を用いてワークの直径を測定する場合、ワークと検出器との相対的な回転の中心となる回転中心(回転軸心)から検出点(測定子がワークに当接する位置)までの正確な距離を把握するために、直径が既知の基準ワーク(基準測定物)で校正を行った後にワークの直径を測定する必要がある。また、校正後に温度変化があった場合には、回転中心から検出点までの距離がずれるため、基準ワークを用いて校正をやり直す必要がある。
また、校正に用いた基準ワークと測定を行うワークとの直径が異なる場合には、測定母線に対する検出点のずれによる誤差が発生し、直径の測定精度が悪くなるという問題がある。なお、本明細書において、「測定母線」とは、回転中心を通り測定子の変位方向に平行な直線をいう。また、測定母線に対する検出点のずれを「心ずれ」といい、このときのずれ量(測定母線と検出点との距離)を「心ずれ量」という。また、心ずれに伴う測定子の変位方向(測定母線と平行な方向)の誤差(検出器による検出値の誤差)を「測定誤差」という。
このような問題に対し、特許文献2には、直径が既知の基準ワークに対して検出器を測定母線と平行な方向に移動して基準測定物の対向する2つの検出点でそれぞれ測定を行い、その測定差に基づいて心ずれ量を算出する方法が開示されている。この方法によれば、真円度測定機により測定されたワークの直径を心ずれ量に基づいて補正することが可能となる。したがって、真円度測定機の心ずれ量に左右されることなく、基準ワークの直径とは異なる直径を有するワークであっても正確な直径を算出することが可能となる。
特開平1−259211号公報 特開2012−145494号公報
しかしながら、特許文献1に開示された直径測定方法では、ワークの直径方向(回転台の回転軸心に対して垂直な径方向)に対向した2点の位置に測定子を接触させることで測定を行っているが、ワークを回転させずに測定を行うため2点のデータしかなく、真円でないものを測定した場合には、真の値(直径)を測定しているとはいえず、測定誤差が大きくなる要因となる。特にワークの真円度が低い場合には、ワークの直径を測定する方向(ワークに対して測定子を接触させる位置)によって測定結果にバラツキが生じやすく、ワークの直径を高精度かつ再現性高く測定することは困難であり、汎用性に欠けるものである。
また、特許文献2に開示された心ずれ量算出方法では、真円度測定機の心ずれ量を算出するためには基準ワークを用いた測定が必要不可欠であり、測定作業が煩雑で面倒であるという問題がある。
また、特許文献2に開示された心ずれ量算出方法では、基準ワークを用いることによって真円度測定機の心ずれ量を算出することが可能であるが、そのためには高い寸法精度で基準ワークの測定が行われることが前提となっている。しかしながら、基準ワークが使用に伴って磨耗して寸法が変わった場合には、心ずれ量の算出に誤差が生じてしまい、ワークの表面形状を精度よく求めることができない問題がある。その結果、ワークの直径の測定精度に悪影響を及ぼす要因となる。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、ワークの表面形状を高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性に優れた測定を可能とする表面形状測定方法、心ずれ量算出方法、及び表面形状測定装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明の第1態様に係る表面形状測定方法は、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出することにより、ワークの表面形状を測定する表面形状測定方法であって、ワークに対して一方側に検出器を配置して、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出したときのワークの表面形状を示す第1形状データを取得する第1形状データ取得ステップと、ワークに対して他方側に検出器を配置して、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出したときのワークの表面形状を示す第2形状データを取得する第2形状データ取得ステップと、を備える。
本発明の第2態様に係る表面形状測定方法は、第1態様において、第1形状データと第2形状データとを照合し、照合した結果に基づいてワークの表面形状を規定する形状パラメータを算出する形状パラメータ算出ステップを備える。
本発明の第3態様に係る表面形状測定方法は、第2態様において、形状パラメータはワークの直径である。
本発明の第4態様に係る表面形状測定方法は、第3態様において、形状パラメータ算出ステップは、第1形状データに基づいて算出されるワークの第1直径と第2形状データに基づいて算出されるワークの第2直径とを平均化処理することによってワークの直径を算出する。
本発明の第5態様に係る表面形状測定方法は、第1態様において、第1形状データと第2形状データとを照合し、照合した結果に基づいてワークの表面形状の測定精度を評価する評価ステップを備える。
本発明の第6態様に係る心ずれ量算出方法は、第1態様〜第5態様のいずれか1つの態様の表面形状測定方法における心ずれ量算出方法であって、表面形状測定方法は、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、ワークの表面に接触する測定子の変位を検出器で検出する方法であり、回転中心を通り測定子の変位方向に平行な直線を測定母線とし、測定子がワークに当接する位置を検出点としたとき、第1形状データと第2形状データとを照合し、照合した結果に基づいて測定母線に対する検出点の距離を示す心ずれ量を算出する心ずれ量算出ステップを備える。
本発明の第7態様に係る心ずれ量算出方法は、心ずれ量算出ステップは、第1形状データ及び第2形状データのいずれか一方を他方に対して180度位相をずらす位相反転処理を行い、位相反転処理後の第1形状データ及び第2形状データのずれ角度を算出し、ずれ角度に基づいて心ずれ量を算出する。
本発明の第8態様に係る心ずれ量算出方法は、心ずれ量算出ステップによって算出された心ずれ量と予め設定した基準値とを比較し、心ずれ量が基準値以下である場合には心ずれがないと判断し、心ずれ量が基準値を超える場合には心ずれがあると判断する心ずれ判断ステップを備える。
本発明の第9態様に係る表面形状測定装置は、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出することにより、ワークの表面形状を測定する表面形状測定装置であって、ワークに対して一方側に検出器を配置して、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出したときのワークの表面形状を示す第1形状データを取得する第1形状データ取得部と、ワークに対して他方側に検出器を配置して、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器でワークの表面の変位を検出したときのワークの表面形状を示す第2形状データを取得する第2形状データ取得部と、を備える。
本発明の第10態様に係る表面形状測定装置は、第9態様において、第1形状データと第2形状データとを照合し、照合した結果に基づいてワークの表面形状を規定する形状パラメータを算出する形状パラメータ算出部を備える。
本発明の第11態様に係る表面形状測定装置は、第10態様において、形状パラメータはワークの直径である。
本発明の第12態様に係る表面形状測定装置は、第11態様において、形状パラメータ算出部は、第1形状データに基づいて算出されるワークの第1直径と第2形状データに基づいて算出されるワークの第2直径とを平均化処理することによってワークの直径を算出する。
本発明の第13態様に係る表面形状測定装置は、第9態様において、第1形状データと第2形状データとを照合し、照合した結果に基づいてワークの表面形状の測定精度を評価する評価部を備える。
本発明の第14態様に係る表面形状測定装置は、第9態様〜第13態様のいずれか1つの態様において、表面形状測定装置は、ワークと検出器とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、ワークの表面に接触する測定子の変位を検出器で検出する装置であって、回転中心を通り測定子の変位方向に平行な直線を測定母線とし、測定子がワークに当接する位置を検出点としたとき、第1形状データと第2形状データとを照合し、照合した結果に基づいて測定母線に対する検出点の距離を示す心ずれ量を算出する心ずれ量算出部を備える。
本発明の第15態様に係る表面形状測定装置は、第14態様において、心ずれ量算出部は、第1形状データ及び第2形状データのいずれか一方を他方に対して180度位相をずらす位相反転処理を行い、位相反転処理後の第1形状データ及び第2形状データのずれ角度を算出し、ずれ角度に基づいて心ずれ量を算出する。
本発明の第16態様に係る表面形状測定装置は、第14態様又は第15態様において、心ずれ量算出部によって算出された心ずれ量と予め設定した基準値とを比較し、心ずれ量が基準値以下である場合には心ずれがないと判断し、心ずれ量が基準値を超える場合には心ずれがあると判断する心ずれ判断部を備える。
本発明によれば、ワークの表面形状を高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性にも優れた測定を可能とする。
第1の実施形態の真円度測定機を示した概略図 第1の実施形態の真円度測定機のブロック図 第1の実施形態の真円度測定機によるワークの直径測定方法の流れを示したフローチャート 図3のフローチャートに示した処理を説明するための図 図3のフローチャートに示した処理を説明するための図 図3のフローチャートに示した処理を説明するための図 図3のフローチャートに示した処理を説明するための図 図3のフローチャートに示した処理を説明するための図 第1測定データのみを用いて得られるワークの表面形状データ(記録図形)の一例を示した図 第2測定データのみを用いて得られるワークWの表面形状データ(記録図形)の一例を示した図 第1測定データ及び第2測定データを用いて得られるワークWの表面形状データ(記録図形)の一例を示した図 第2の実施形態の真円度測定機の構成を示した概略図 演算処理部の機能構成を示した機能ブロック図 真円測定機に心ずれがない状態で測定が行われるときの様子を示した概略図 真円測定機に心ずれがある状態で測定が行われるときの様子を示した概略図 第2の実施形態の真円度測定機を用いた心ずれ量算出方法の一例を示したフローチャート 第2の実施形態の真円度測定機を用いた心ずれ量算出方法を説明するための図 第2の実施形態の真円度測定機を用いた心ずれ量算出方法を説明するための図 第2の実施形態の真円度測定機を用いた心ずれ量算出方法を説明するための図 第2の実施形態の真円度測定機を用いた心ずれ量算出方法を説明するための図 心ずれ量の算出原理を説明するための図であり、第1形状データを示した図 心ずれ量の算出原理を説明するための図であり、第2形状データを示した図 心ずれ量の算出原理を説明するための図であり、位相反転処理後の2つの形状データを示した図 心ずれ量の算出原理を説明するための図であり、第1形状データを示した図 心ずれ量の算出原理を説明するための図であり、第2形状データを示した図 心ずれ量の算出原理を説明するための図であり、位相反転処理後の2つの形状データを示した図 第2の実施形態の真円度測定機を用いた心ずれ量算出方法の他の例を示したフローチャート
以下、添付図面に従って本発明の好ましい実施形態について説明する。
(第1の実施形態)
まず、第1の実施形態について説明する。
図1は、第1の実施形態の真円度測定機10を示した概略図である。図1に示すように、第1の実施形態の真円度測定機10は、本体ベース(基台)12上にワーク(測定物)Wを載置する回転テーブル(回転台)14が設けられている。回転テーブル14は、X方向微動つまみ(不図示)及びY方向微動つまみ(不図示)によってX方向及びY方向に微動送りがされ、X方向傾斜つまみ(不図示)及びY方向傾斜つまみ(不図示)によってX方向及びY方向に傾斜調整がされるようになっている。
なお、X方向、Y方向、Z方向は互いに直交する方向であり、X方向は水平方向(後述のアーム22の移動方向に相当)、Y方向はX方向に直交する水平方向、Z方向は鉛直方向(後述のキャリッジ20の移動方向)である。
回転テーブル14は、軸受(不図示)を介してモータ(回転駆動部)16によって回転可能に支持されている。モータ16の回転軸には後述の回転角度検出部62(図2参照)を構成するロータリーエンコーダ(不図示)が取り付けられ、回転角が高精度に読み込まれるようになっている。軸受には、例えば、超高精度の静圧エアーベアリングが用いられ、回転テーブル14は非常に高い回転精度(例えば、0.005μm)で回転される。回転角度検出部62(ロータリーエンコーダ)は、ワークWの回転角度を検出する手段(回転角度検出手段)の一例であり、モータ16の回転角度を検出することによって回転テーブル14に載置されたワークWの回転角度を検出する。回転角度検出部62(ロータリーエンコーダ)から出力される検出信号(回転角度データ)は後述の演算処理部34に入力される。なお、回転角度検出手段としてはロータリーエンコーダに限らず、例えば、回転テーブル14を駆動するモータ16の駆動信号(パルス数)の情報に基づいてワークWの回転角度を検出するようにしてもよい。
本体ベース12上には、鉛直方向(Z方向)に延びるコラム(支柱)18が立設され、コラム18にはキャリッジ20が鉛直方向(Z方向)に移動自在に支持されている。キャリッジ20には、アーム(径方向移動軸)22が水平一軸方向(X方向)に移動自在に支持されている。アーム22の先端には検出器ホルダ24が取り付けられている。検出器ホルダ24の先端には検出器26が取り付けられている。検出器26には差動変圧器を用いた電気マイクロメータが使用されており、ワークWの表面に接触する測定子28の変位量を検出するようになっている。
検出器26は、回転テーブル14の回転軸心に垂直な径方向(X方向)双方向(図1において左右両方向)の検出機能を有する双方向型検出器で構成される。具体的には、検出器26は、測定子28をX方向双方向に付勢するための付勢部材を有しており、変位可能範囲の中央において平行を保ち、その中央の位置における検出器26の出力を0とし、例えば図1の右側に測定子28が変位した場合にはプラスの値を出力し、左側に測定子28が変位した場合にはマイナスの値を出力する。このような双方向型検出器の構成については周知であり(例えば特許文献1を参照)、ここでは詳細な説明を省略する。
なお、本実施形態では、好ましい態様の1つとして、検出器26が双方向型検出器からなる構成を示したが、これに限らず、片方向のみの検出機能を有する片方向型検出器で構成されてもよい。この場合、ワークWの表面(測定面)に対して測定子28を接触させる方向(向き)に応じて検出器26の向きを変更すればよい。
検出器26の位置(X方向位置、Z方向位置)は、後述の検出器位置検出部60(図2参照)により検出することが可能となっている。検出器位置検出部60は、検出器26をX方向に移動するアーム22の位置を検出するX軸リニアエンコーダ(不図示)と、検出器26をZ方向に移動するキャリッジ20の位置を検出するZ軸リニアエンコーダ(不図示)とを含んで構成される。X軸リニアエンコーダ及びZ軸リニアエンコーダからそれぞれ出力される検出信号(検出器位置データ)は後述の演算処理部34に入力される。これにより、演算処理部34は、ワークWの直径、円筒度、同軸度等の形状パラメータを算出する際に、X軸リニアエンコーダやZ軸リニアエンコーダで検出された検出器位置データから検出器26の位置(X方向位置、Z方向位置)を把握することが可能となっている。
なお、検出器26の位置を検出する手段としては、リニアエンコーダに限らず、検出器26(アーム22)の直線移動を回転運動に変換する機構を介してロータリーエンコーダで検出するようにしてもよい。また、エンコーダの検出方式は特に限定されず、光学式、磁気式、レーザ式、機械式、静電容量式などの各種方式を採用することができる。また、検出器26の位置を検出できれば、エンコーダに限らず、他の任意の構成のものを採用可能である。
本実施形態の真円度測定機10でワークWの真円度等を測定する場合は、ワークWを回転テーブル14に載置した後、最初に回転テーブル14の回転中心とワークWの中心との偏心補正と、回転テーブル14に対するワークWの傾斜補正を行う。
次に、検出器26の測定子28がワークWの表面(側面)に接触した状態で回転テーブル14がモータ16によって1回転され、ワークWの表面1周分のデータが採取される。検出器26から出力された検出信号(変位データ)は演算処理部34に入力される。演算処理部34では、ロータリーエンコーダから入力される回転角度データと、検出器26から入力される変位データとからワークWの真円度などを演算処理し、その演算処理結果を表示部36に表示する。
ところで、第1の実施形態の真円度測定機10は、詳細を後述するように、演算処理部34は、ワークWの直径を高精度かつ再現性高く測定するための各種演算機能を行う機能を有する。
図2は、演算処理部34の機能構成を示した機能ブロック図である。図2に示すように、演算処理部34には、検出器26から出力された検出信号(変位データ)と、検出器位置検出部60(X軸リニアエンコーダ及びZ軸リニアエンコーダ)から出力された検出信号(検出器位置データ)と、回転角度検出部62(ロータリーエンコーダ)から出力された検出信号(回転角度データ)とが入力される。
演算処理部34は、前述の各種演算処理を実行するために、以下の機能部として動作する。すなわち、演算処理部34は、第1形状データ取得部38、第2形状データ取得部40、及び形状パラメータ算出部42等として機能する。
第1形状データ取得部38は、ワークWに対して一方側からワークWの表面に測定子28を接触させた状態で測定が行われたときのワークWの表面形状(測定断面形状)を示す第1形状データを取得する。
第2形状データ取得部40は、ワークWに対して他方側からワークWの表面に測定子28を接触させた状態で測定が行われたときのワークWの表面形状(測定断面形状)を示す第2形状データを取得する。
形状パラメータ算出部42は、第1形状データと第2形状データとを照合し、その照合した結果に基づいてワークWの表面形状を規定する形状パラメータ(例えば、ワークWの直径)を算出する。
形状パラメータ算出部42は、補正値算出部44と、径方向位置算出部46と、径方向位置補正部48と、直径算出部50とを備えている。
補正値算出部44は、真円度測定機10によりマスタワークの直径を測定したときの測定直径とマスタワークの既知直径との差を補正値(校正値)として求める。
径方向位置算出部46は、第1形状データ取得部38及び第2形状データ取得部40でそれぞれ取得された第1形状データ及び第2形状データに基づき、ワークWの表面の径方向位置(ワーク中心からワーク表面までの距離)を算出する。
径方向位置補正部48は、径方向位置算出部46で算出されたワークWの表面の径方向位置を補正する。
直径算出部50は、径方向位置補正部48で補正されたワークWの表面の補正径方向位置に基づきワークWの直径を算出し、さらに補正値算出部44で算出された補正値に基づきワークWの直径を補正する。
次に、第1の実施形態の真円度測定機10を用いたワークWの表面形状測定方法について説明する。この表面形状測定方法は、本発明に係る表面形状測定方法の一例であり、ワークWの表面形状を高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性にも優れた測定を可能とするものである。具体的には、詳細を後述するように、ワークWに対して一方側に検出器26を配置して、ワークWと検出器26とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器26でワークWの表面の変位を検出したときのワークWの表面形状を示す第1形状データと、ワークWに対して他方側に検出器26を配置して、ワークWと検出器26とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器26でワークWの表面の変位を検出したときのワークWの表面形状を示す第2形状データとをそれぞれ取得し、第1形状データと第2形状データとを照合し、その照合した結果に基づいてワークWの直径を求めるようにしたものである。ワークWの直径は、ワークWの表面形状を規定する形状パラメータの一例である。
図3は、第1の実施形態の真円度測定機10を用いたワークWの表面形状測定方法の流れを示したフローチャートである。図4A〜図4Eは、図3のフローチャートに示した処理を説明するための図である。なお、図3に示したフローチャートの開始にあたっては、ワークWの中心と回転テーブル14の回転中心とがほぼ一致するようにワークWが回転テーブル14上に載置され、必要に応じて偏心補正(センタリング調整)や傾斜補正(チルチング調整)が行われているものとする。
まず、測定物であるワーク(測定ワーク)Wの測定に先立って、検出器位置検出部60のX軸リニアエンコーダを校正するための処理が実施される。
具体的には、まず、直径が既知のマスタワーク(基準ワーク)MWを準備し、マスタワークMWを回転テーブル14の上に載置する。そして、ワーク中心が回転テーブル14の回転中心に正確に一致するように偏心を調整した後、図4Aに示すように、マスタワークMWの表面のX方向の一方側(0度位置)に測定子28が接触するように、アーム22をX方向に移動させる。そして、演算処理部34は、検出器26の出力が0点からプラス側(図において右側)にずれた値+α(α>0)を示したときの検出器26のX方向位置rを検出器位置検出部60から取得する。次に、図4Bに示すように、検出器26をマスタワークMWを挟んで反対側に移して、マスタワークMWの表面のX方向の他方側(180度位置)に測定子28が接触するように、アーム22をX方向に移動させる。そして、演算処理部34は、検出器26の出力が0点からマイナス側にずれた値−αを示したときの検出器26のX方向位置rを検出器位置検出部60から取得する。
なお、検出器位置検出部60(X軸リニアエンコーダ)により検出される検出器26のX方向位置は、回転テーブル14の回転中心(ワーク中心)を基準位置(原点)とし、図1の右側をプラス側、左側をマイナス側とする。
次に、演算処理部34は形状パラメータ算出部42の補正値算出部44として機能し、上記のようにして取得した検出器26のX方向位置r、rからマスタワークMWの測定直径d=|r−r|を求める。そして、マスタワークMWの測定直径dとマスタワークMWの既知直径dとの差e=d−d=|r−r|−dを補正値(校正値)とし、この補正値を図示しない記憶部に記憶しておく。これにより、後述する直径算出部50は、記憶部に記憶されている補正値を用いて、ワークWの直径の測定を補正(校正)することができる。
(ステップS10:第1形状データ取得ステップ)
上記処理が終了すると、第1形状データ取得ステップが実施される。
具体的には、図4Cに示すように、マスタワークMWに代えてワークWを回転テーブル14の上に載置し、ワーク中心が回転テーブル14の回転中心により正確に一致するように偏心補正や傾斜補正を行った後、ワークWの表面のX方向の一方側(0度位置)に測定子28が接触するように、アーム22をX方向に移動させる。そして、演算処理部34は第1形状データ取得部38として機能し、検出器26の出力が0点からプラス側(図において右側)にずれた値+αを示したときの検出器26のX方向位置を示す検出器位置データRを検出器位置検出部60から取得する。さらにこの状態で、図4Cに示すように、モータ16により回転テーブル14を回転駆動してワークWを回転させながら、ワークWの表面に接触する測定子28の変位を示す変位データTを検出器26から取得するとともに、測定子28の変位を検出したときのワークWの回転角度を示す回転角度データθを回転角度検出部62から取得する。このとき、ワークWを1回転させる間に多数の測定点(例えば14400点)を測定し、各測定点において検出器26の出力(変位データ)Tを回転角度検出部62の出力(回転角度データ)θに関連付けて記憶しておく。なお、これらのデータR、T、θをまとめて第1形状データAと呼ぶことにする。
(ステップS12:第2形状データ取得ステップ)
次に、図4Dに示すように、検出器26をワークWを挟んで反対側に移して、ワークWの表面のX方向の他方側(180度位置)に測定子28が接触するように、アーム22をX方向に移動させる。そして、演算処理部34は第2形状データ取得部40として機能し、検出器26の出力が0点からマイナス側(図において左側)にずれた値−αを示したときの検出器26のX方向位置を示す検出器位置データRを検出器位置検出部60から取得する。さらにこの状態で、図4Eに示すように、モータ16により回転テーブル14を回転駆動してワークWを回転させながら、ワークWの表面に接触する測定子28の変位を示す変位データTを検出器26から取得するとともに、測定子28の変位を検出したときのワークWの回転角度を示す回転角度データθを回転角度検出部62から取得する。このとき、ワークWを1回転させる間に多数の測定点(例えば14400点)を測定し、各測定点において検出器26の出力(変位データ)Tを回転角度検出部62の出力(回転角度データ)θに関連付けて記憶しておく。なお、これらのデータR、T、θをまとめて第2形状データBと呼ぶことにする。
なお、第1形状データ取得ステップ(ステップS10)と第2形状データ取得ステップ(ステップS12)は、ワークWを挟んで(具体的には、回転テーブル14の回転軸心を挟んで)互いに対向する位置に検出器26を配置して測定が行われたものなので、第1形状データAと第2形状データBとは回転中心を中心とする周方向に180度位相がずれた関係となっている。すなわち、検出器26の位置の違いによって、第1形状データAと第2形状データBとは上述した位相のずれ(位相の反転)が生じたものとなっている。そのため、次の形状パラメータ算出ステップ(ステップS14)が行われる前に、測定位置(すなわち、ワークWに対する検出器26の検出位置)の違いに伴う位相のずれを補正するために、第1形状データA及び第2形状データBのいずれか一方を他方に対して180度位相をずらす処理(位相反転処理)が行われるようになっている。これにより、第1形状データAと第2形状データBの位相は一致したものとなり、回転角度データθに対応する変位データ(検出器26の出力)Tと回転角度データθに対応する変位データ(検出器26の出力)Tとは互いにワークWの表面の同一位置における変位データを示したものとなる。
(ステップS14:形状パラメータ算出ステップ)
次に、演算処理部34は形状パラメータ算出部42として機能し、ステップS10及びステップS12で取得した2つの形状データ(第1形状データA及び第2形状データB)を照合し、その照合した結果に基づいて、ワークWの表面形状を規定する形状パラメータであるワークWの直径を算出する。具体的には以下のようにして行われる。
まず、径方向位置算出部46は、第1形状データAに基づき、回転角度検出部62で検出されたワークWの回転角度θ毎にワークWの表面の径方向の位置(ワーク中心からワーク表面までの距離)S=R+Tを第1径方向位置として算出する。
また、径方向位置算出部46は、第2形状データBに基づき、回転角度検出部62で検出されたワークWの回転角度θ毎にワークWの表面の径方向の位置(ワーク中心からワーク表面までの距離)S=R+Tを第2径方向位置として算出する。
次に、径方向位置補正部48は、径方向位置算出部46で算出したワークWの表面の2つの径方向位置(第1径方向位置S及び第2径方向位置S)に基づき、ワークWの回転角度θ(=θ、θ)毎にワークWの表面の補正径方向位置S=(S+S)/2を算出する。すなわち、2つの径方向位置S、Sを単純平均して求められる中間位置を補正径方向位置Sとして算出する。例えば、θ=45度であるときの第1径方向位置を25mm、θ=45度であるときの第2径方向位置を30mmとしたとき、θ=45度に対応するワークWの表面の補正径方向位置は27.5mmとなる。
ここで、マスタワークMWを測定してからワークWを測定するまでの間に環境温度の変化等により、コラム18や本体ベース12の伸びや歪みが発生し、検出器位置検出部60(X軸リニアエンコーダ)が回転テーブル14の回転中心(ワーク中心)に対して相対的にX方向に誤差vだけずれた場合を考える。この場合、回転角度毎に算出されるワークWの表面の径方向位置はS−v、S+vとなるので、例えば、図5Aに示すように、第1形状データAのみを用いて得られるワークWの表面形状(記録図形)は基準円よりも小さくなる一方で、図5Bに示すように、第2形状データBのみを用いて得られるワークWの表面形状は基準円より大きくなる。そのため、第1形状データA及び第2形状データBのいずれか一方の形状データのみに基づいて算出されるワークWの直径には測定誤差δ=2vが生じることになる。したがって、ワークWの直径を精度良く算出することは困難である。
一方、本実施形態では、回転角度毎に算出したワークWの表面の径方向位置S、Sを単純平均して求められる中間位置を補正径方向位置Sとして求めているので、マスタワークMWを測定してからワークWを測定するまでの間に環境温度の変化等により、コラム18や本体ベース12の伸びや歪みが発生し、検出器位置検出部60(X軸リニアエンコーダ)が回転テーブル14の回転中心(ワーク中心)に対して相対的にX方向に誤差vだけずれても、このときの補正径方向位置はS={(S‐v)+(S+v)}/2として求められるので、誤差vをキャンセルすることができる。したがって、図6に示すように、ワークWの表面形状データ(記録図形)は、誤差vの影響を受けることなく、真の大きさ(基準円の大きさ)に近い形状を得ることができる。したがって、第1形状データA及び第2形状データBのいずれか一方の測定データのみに基づいてワークWの直径を算出する場合に比べて、ワークWの直径を高精度に算出することが可能となる。
なお、本実施形態では、好ましい態様として、ワークWの径方向位置S、Sを単純平均して求められる中間位置を補正径方向位置Sとする態様を示したが、これに限らず、例えば、各径方向位置S、Sを加重平均することによって求めた位置S={a×S+b×S}/2(但し、a+b=1、a>0、b>0)を補正径方向位置とする態様としてもよい。この態様においても誤差vの影響を抑えることができ、第1形状データA及び第2形状データBのいずれか一方の形状データのみに基づいてワークWの直径を算出する場合に比べて、ワークWの直径を精度良く算出することが可能である。
次に、直径算出部50は、径方向位置補正部48で算出したワークWの補正径方向位置Sに基づき、中心法(最小自乗中心法、最大内接円法、最小外接円法など)によりワークWの直径Dを求める。そして、このようにして求めた直径Dから補正値算出部44で算出された補正値eを減算することで、真の直径D=D−eを求める。
(ステップS16:出力ステップ)
次に、演算処理部34は、演算処理結果として、ステップS14で算出した形状パラメータ(ワークWの直径D)を表示部36に出力する。これにより、表示部36にはワークWの直径Dが表示され、本フローチャートは終了となる。
次に、第1の実施形態の効果について説明する。
第1の実施形態の真円度測定機10を用いた表面形状測定方法によれば、ワークWに対して一方側に検出器26を配置して、ワークWと検出器26とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器26でワークWの表面の変位を検出したときのワークWの表面形状を示す第1形状データAを取得する第1形状データ取得ステップと、ワークWに対して他方側に検出器26を配置して、ワークWと検出器26とを回転中心の周りに相対的に回転させつつ、検出器26でワークWの表面の変位を検出したときのワークWの表面形状を示す第2形状データBを取得する第2形状データ取得ステップと、第1形状データAと第2形状データBとを照合し、その照合した結果に基づいて、ワークWの表面形状を規定する形状パラメータであるワークWの直径を算出する形状パラメータ算出ステップと、を備える。これにより、ワークWの真円度が低い場合でも、ワークWを回転することによって得られる2つの形状データA、Bに基づいてワークWの表面形状を規定する形状パラメータ(ワークWの直径)を算出しているので、測定誤差が生じることがなく、しかもワークWに対する検出器26の測定位置(ワークWに対して測定子28を接触させる位置)によって測定結果にバラツキが生じることもない。また、この表面形状測定方法によれば、例えば楕円の長辺や短辺も精度良く算出することが可能となる。したがって、ワークWの表面形状を高精度かつ再現性高く測定することができ、汎用性にも優れた測定が可能となる。
また、第1の実施形態では、第1形状データAと第2形状データBとを照合することにより、その照合した結果に基づいてワークWの表面形状の測定精度を評価することが可能である(評価ステップの一例)。すなわち、第1形状データAと第2形状データBとを重ね合せたとき、ワークWの回転角度θ(=θ、θ)毎におけるワークWの表面の径方向位置S、Sの差(=|S−S|)と予め設定した基準値とを比較し、その差が基準値以下である場合には要求される測定精度を満たしていると判断し、基準値を超える場合には要求される測定精度を満たしていないと判断することもできる。これにより、ユーザは、真円度測定機10におけるワークWの表面形状の測定精度を簡易に判断することが可能となる。この場合、演算処理部34は評価部として機能する。
なお、第1の実施形態では、ステップS16の形状パラメータ算出ステップにおいて、2つの形状データA、Bに基づき、ワークWの回転角度θ(=θ、θ)毎にワークWの表面の径方向位置を補正してからワークWの直径を算出しているが、これに限らず、例えば、次のような算出方法とすることもできる。
すなわち、径方向位置算出部46は、上述した実施形態と同様にして、ステップS12で取得した第1形状データAに基づき、ワークWの表面の第1径方向位置S=R+Tを算出するとともに、ステップS14で取得した第2形状データBに基づき、ワークWの表面の第2径方向位置S=R+Tを算出する。径方向位置算出部46で算出された第1径方向位置S及び第2径方向位置Sは直径算出部50に入力される(図2参照)。
次に、直径算出部50は、径方向位置算出部46で算出したワークWの表面の第1径方向位置Sに基づき、中心法(最小自乗中心法、最大内接円法、最小外接円法など)によりワークWの直径(第1直径)Dを算出する。
また、直径算出部50は、径方向位置算出部46で算出したワークWの表面の第2径方向位置Sに基づき、中心法(最小自乗中心法、最大内接円法、最小外接円法など)により求められるワークWの直径(第2直径)Dを算出する。
さらに直径算出部50は、上記のようにして求めたワークWの第1直径D及び第2直径Dに基づき、ワークWの直径D=(D+D)/2を算出する。すなわち、ワークWの第1直径D及び第2直径Dを単純平均することによってワークWの直径Dを算出する。そして、このようにして求めた直径Dから補正値算出部44で算出された補正値eを減算することで、真の直径D=D−eを求める。
また、第1の実施形態では、好ましい態様として、ワークWの直径Dを第1直径D及び第2直径Dを単純平均することによって求める態様を示したが、これに限らず、ワークWの第1直径D及び第2直径Dを加重平均することによって直径D={p×D+q×D}/2(但し、p+q=1、p>0、q>0)を求める態様を採用することもできる。
なお、第1の実施形態では、真円度測定機10を用いてワークWの表面形状を規定する形状パラメータ(ワークWの直径)を測定する場合について説明したが、これに限らず、例えば、後述の第2の実施形態の真円度測定機100を用いて測定を行ってもよいし、その他の真円度測定機を用いて測定を行ってもよい。
(第2の実施形態)
次に、第2の実施形態について説明する。なお、前述の第1の実施形態と重複する部分もあるが、あらためて全体を通して説明する。
図7は、第2の実施形態の真円度測定機100の構成を示した概略図である。
図7に示すように、第2の実施形態の真円度測定機100は、本体ベース(基台)112上にワーク(測定物)Wを載置する回転テーブル(回転テーブル)114が設けられている。回転テーブル114は、X方向微動つまみ(不図示)及びY方向微動つまみ(不図示)によってX方向及びY方向に微動送りがされ、X方向傾斜つまみ(不図示)及びY方向傾斜つまみ(不図示)によってX方向及びY方向に傾斜調整がされるようになっている。
なお、X方向、Y方向、Z方向は互いに直交する方向であり、X方向は水平方向(後述のアーム122の移動方向に相当)、Y方向はX方向に直交する水平方向、Z方向は鉛直方向(後述のキャリッジ120の移動方向)である。
回転テーブル114は、軸受(不図示)を介してモータ(回転駆動部)116によって回転可能に支持されている。モータ116の回転軸にはロータリーエンコーダ(不図示)が取り付けられ、回転角が高精度に読み込まれるようになっている。軸受には、例えば、超高精度の静圧エアーベアリングが用いられ、回転テーブル114は非常に高い回転精度(例えば、0.005μm)で回転される。ロータリーエンコーダは、ワークWの回転角度を検出する手段(回転角度検出手段)の一例であり、モータ116の回転角度を検出することによって回転テーブル114に載置されたワークWの回転角度を検出する。ロータリーエンコーダから出力される検出信号(回転角度データ)は後述の演算処理部134に入力される。なお、回転角度検出手段としてはロータリーエンコーダに限らず、例えば、回転テーブル114を駆動するモータ116の駆動信号(パルス数)の情報に基づいてワークWの回転角度を検出するようにしてもよい。
本体ベース112上には、鉛直方向(Z方向)に延びるコラム(支柱)118が立設され、コラム118にはキャリッジ120が鉛直方向(Z方向)に移動自在に支持されている。キャリッジ120には、アーム(径方向移動軸)122が水平一軸方向(X方向)に移動自在に支持されている。アーム122の先端には検出器ホルダ124が取り付けられている。検出器ホルダ124の先端には検出器126が取り付けられている。検出器126には差動変圧器を用いた電気マイクロメータが使用されており、ワークWの表面に接触する測定子128の変位量を検出するようになっている。
検出器126は、回転テーブル114の回転軸心に垂直な径方向(X方向)双方向(図7において左右両方向)の検出機能を有する双方向型検出器で構成される。双方向型検出器の構成は周知であるため、ここでは詳細な説明を省略する。なお、検出器126としては、双方向の検出機能を有するものに限定されず、片方向のみの検出機能を有するものでもよい。この場合、ワークWの側面に対して測定子128を接触させる方向(向き)に応じて検出器126の向きを変更すればよい。
検出器126の位置(X方向位置、Z方向位置)は、検出器126をX方向に移動するアーム122の位置を検出するX軸リニアエンコーダ(不図示)と、検出器126をZ方向に移動するキャリッジ120の位置を検出するZ軸リニアエンコーダ(不図示)とにより検出することが可能となっている。X軸リニアエンコーダ及びZ軸リニアエンコーダからそれぞれ出力される検出信号(検出器位置データ)は後述の演算処理部134に入力される。これにより、演算処理部134は、ワークWの直径、円筒度、同軸度等の形状パラメータを算出する際に、X軸リニアエンコーダやZ軸リニアエンコーダで検出された検出器位置データから検出器126の位置(X方向位置、Z方向位置)を把握することが可能となっている。
なお、検出器126の位置を検出する手段としては、リニアエンコーダに限らず、検出器126(アーム122)の直線移動を回転運動に変換する機構を介してロータリーエンコーダで検出するようにしてもよい。また、エンコーダの検出方式は特に限定されず、光学式、磁気式、レーザ式、機械式、静電容量式などの各種方式を採用することができる。また、検出器126の位置を検出できれば、エンコーダに限らず、他の任意の構成のものを採用可能である。
第2の実施形態の真円度測定機100でワークWの真円度等を測定する場合は、ワークWを回転テーブル114に載置した後、最初に回転テーブル114の回転中心とワークWの中心との偏心補正と、回転テーブル114に対するワークWの傾斜補正を行う。
次に、検出器126の測定子128がワークWの表面(側面)に接触した状態で回転テーブル114がモータ116によって1回転され、ワークWの表面1周分のデータが採取される。検出器126から出力された検出信号(変位データ)は演算処理部134に入力される。演算処理部134では、ロータリーエンコーダから入力される回転角度データと、検出器126から入力される変位データとからワークWの真円度などを演算処理し、その演算処理結果を表示部136に表示する。
ところで、第2の実施形態の真円度測定機100では、詳細を後述するように、演算処理部134は、直径が既知の基準ワーク(基準測定物)を用いることなく、真円度測定機100の心ずれ量を精度よく求められるようにするための各種演算処理を行う機能を有する。
図8は、演算処理部134の機能構成を示した機能ブロック図である。図8に示すように、演算処理部134は、前述の各種演算処理を実行するために、以下の機能部として動作する。すなわち、演算処理部134は、第1形状データ取得部138、第2形状データ取得部140、及び心ずれ量算出部142等として機能する。
第1形状データ取得部138は、ワークWに対して一方側からワークWの表面に測定子128を接触させた状態で測定が行われたときのワークWの表面形状(測定断面形状)を示す第1形状データを取得する。
第2形状データ取得部140は、ワークWに対して他方側からワークWの表面に測定子128を接触させた状態で測定が行われたときのワークWの表面形状(測定断面形状)を示す第2形状データを取得する。
心ずれ量算出部142は、第1形状データと第2形状データとを照合し、その照合した結果に基づいて真円度測定機100の心ずれ量を算出する。
なお、演算処理部134は、心ずれ量算出部142で算出された心ずれ量の算出結果に基づいて真円度測定機100の心ずれの有無を判断する心ずれ判断部144として機能する場合もある。
次に、第2の実施形態の真円度測定機100を用いた心ずれ量算出方法について説明する。
図9は、真円度測定機100に心ずれがない状態で測定が行われるときの様子を示した概略図である。図10は、真円度測定機100に心ずれがある状態で測定が行われるときの様子を示した概略図である。なお、ここでは、ワークWの中心Cは回転テーブル114の回転中心Oに一致しているものとする。また、ワークWの中心Cとは、検出器126に対してワークWを相対的に回転させたときに得られるワークWの表面形状(測定断面形状)の最小二乗円の中心とする。
図9に示すように、検出器126の測定子128がワークWの表面に接触した状態でワークWを回転させて測定が行われる場合、検出器126の測定子128はワークWの表面の凹凸に応じて測定母線Mと平行なX方向に変位可能となっており、この測定子128の変位が検出器126で検出される。そして、演算処理部134は、ロータリーエンコーダから出力された回転角度データと、検出器126から出力された変位データとからなるワークWの表面形状を示す形状データを取得し、この形状データに基づいて各種演算処理を行い、ワークWの表面形状を規定する形状パラメータ(直径等)を算出し、ワークWの形状の解析を実行する。
ここで、図9に示すように、測定子128がワークWの表面に当接する検出点Pが測定母線Mと一致している場合には、ワークWの表面形状を示す形状データを精度よく取得することができ、結果的に、ワークWの形状パラメータを精度よく求めることが可能となる。
しかしながら、真円度測定機100の製造時における装置固有の誤差、温度変化などの環境変化や経時変化等、種々の要因によって、測定子128がワークWの表面に当接する検出点Pが、図10に示すように、測定母線Mと一致せずに、測定母線Mに対して垂直な方向に位置ずれが生じてしまい、理想的な検出点Pとは異なる検出点P’で測定子128が接触する場合がある。この場合、理想的な検出点Pと実際の検出点P’との間のX方向(測定子28の変位方向)に垂直なY方向の距離σが測定母線Mと検出点P’とのずれ量である心ずれ量を表している(以下、心ずれ量σという。)。そして、このような心ずれ量σが存在している場合、理想的な検出点Pと実際の検出点P’との間に測定子128の変位方向(X方向)に位置ずれが生じ、この差(距離)εだけ測定誤差が生じる(以下、測定誤差εという。)。
すなわち、真円度測定機100に心ずれがない状態の場合には理想的な検出点Pで測定が行われるので、ワークWの形状パラメータの一例である直径はG0として求められるのに対し、真円度測定機100に心ずれがある状態の場合には理想的な検出点Pとは異なる検出点P’で測定が行われるのでワークWの直径はG0よりも小さいG1として求められる。この場合、次式 G1=G0−2εの関係が成り立つ。
したがって、真円度測定機100に心ずれがある状態で測定が行われると、真円度測定機100で得られるワークWの表面形状の測定精度が悪くなる要因となる。つまり、真円度測定機100の心ずれ量σによりワークWの表面形状の測定精度が左右されることになる。
なお、製造時における装置固有の誤差は、出荷時等の各種調整手段を適用することで、誤差を許容できるレベルまで押さえ込むことが可能であるが、経時変化や環境変化に起因する変動は時間の経過とともに変化するため、心ずれ量σに伴う測定誤差εを完全に排除することは困難である。
本実施形態の心ずれ量算出方法は、詳細を後述するように、ワークWを挟んで互いに対向する位置でそれぞれ測定が行われたときのワークWの表面形状を示す第1形状データ及び第2形状データを取得し、第1形状データと第2形状データとを照合し、その照合した結果に基づいて真円度測定機100の心ずれ量σを算出するようにしたものである。以下、詳細を説明する。
図11は、第2の実施形態の真円度測定機100を用いた心ずれ量算出方法の一例を示したフローチャートである。図12A及び図12Bと図13A及び図13Bは、図11に示した心ずれ量算出方法を説明するための図である。なお、図11に示したフローチャートの開始にあたっては、ワークWの中心Cと回転テーブル114の回転中心Oとがほぼ一致するようにワークWは回転テーブル114上に載置され、必要に応じて偏心補正(センタリング調整)や傾斜補正(チルチング調整)が行われているものとする。また、検出器位置検出部(X軸リニアエンコーダ)を校正するための処理も事前に行われているものとする。
(ステップS110:第1形状データ取得ステップ)
まず、図12A及び図12Bに示すように、ワークWに対して一方側(右側)からワークWの表面(右側面)に検出器126の測定子128を接触させた状態で、回転テーブル114によりワークWと検出器126とを相対的に回転させながら検出器126で測定子128の変位を検出する。このとき、演算処理部134は第1形状データ取得部138として機能し、ワークWの表面1周分の第1形状データAを取得する。
(ステップS112:第2形状データ取得ステップ)
次に、図13A及び図13Bに示すように、アーム122の移動により検出器126をX方向(測定母線Mと平行な方向)に移動させ、ワークWに対して他方側(左側)からワークWの表面(左側面)に検出器126の測定子128を接触させた状態で、回転テーブル114によりワークWと検出器126とを相対的に回転させながら検出器126で測定子128の変位を検出する。このとき、演算処理部134は第2形状データ取得部140として機能し、ワークWの表面1周分の第2形状データBを取得する。
(ステップS114、S116、S118:心ずれ量算出ステップ)
次に、演算処理部134は心ずれ量算出部142として機能し、第1形状データAと第2形状データBとを照合し、その照合した結果に基づいて真円度測定機100の心ずれ量σを算出する。
ここで、真円度測定機100の心ずれ量σの算出原理について、図14A〜図14C及び図15A〜図15Cを参照して説明する。図14A〜図14C及び図15A〜図15Cは心ずれ量σの算出原理を説明するための図であり、図14A〜図14Cは心ずれがない場合の測定結果、図15A〜図15Cは心ずれがある場合の測定結果をそれぞれ示したものである。
まず、真円度測定機100に心ずれがない場合には、例えば、図14Aに示す第1形状データAと図14Bに示す第2形状データBとが得られる。この場合、第1形状データAと第2形状データBとは回転中心Oを中心とする周方向に180度位相がずれた関係となっている。すなわち、第1形状データAと第2形状データBは、ワークWを挟んで互いに対向する位置を検出点P1、P2(図12B及び図13B参照)とする測定でそれぞれ得られたものであり、この検出点P1、P2の位置の違いによって上述した位相のずれが生じたものとなっている。したがって、第1形状データA及び第2形状データBのいずれか一方を他方に対して回転中心Oを中心とする周方向に180度位相をずらす処理(位相反転処理)を行った後、図14Cに示すように、第1形状データAと第2形状データBとを重ね合せると両者は互いに一致したものとなる。すなわち、位相反転処理後の2つの形状データA、Bが互いに一致する場合には、真円度測定機100には心ずれがないものと判断することができる。
一方、真円度測定機100に心ずれがある場合には、例えば、図15Aに示す第1形状データAと図15Bに示す第2形状データBとが得られる。この場合、第1形状データA及び第2形状データBを取得したときの検出点P1、P2の位置の違いに伴う位相のずれを補正するために上述した位相反転処理を行った後、図15Cに示すように、第1形状データAと第2形状データBとを重ね合せると両者は互いに一致しないものとなる。すなわち、位相反転処理後の2つの形状データA,Bが不一致となる場合には、真円度測定機100には心ずれがあるものと判断することができる。これは、心ずれがある状態で前述の測定(ステップS110及びステップS112)が行われた場合には、2つの検出点P1、P2が回転中心Oを挟んで互いに対向する位置に存在しないことによるものである。
ここで、図15Cにおいて位相反転処理後の2つの形状データA、Bのずれ角度をθとし、図12Bにおいて回転中心Oと検出点P1とを結ぶ直線をNとし、直線Nと測定母線Mとがなす角度をα(以下、心ずれ角度αという。)としたとき、α=θ/2 の関係が成り立つ。
したがって、位相反転処理後の2つの形状データA、Bのずれ角度θを算出することにより、そのずれ角θに基づいて心ずれ角度α(=θ/2)を求めることができる。また、図12Bにおいて、回転中心Oから検出点P1までのX方向距離をKとすると、真円度測定機100の心ずれ量σは、次式 σ=K×tanα によって求めることができる。なお、回転中心Oから検出点P1までのX方向距離Kは、上述したX軸リニアエンコーダから入力される検出器位置データから求められるものである。
また、ずれ角度θの算出方法としては、例えば、上述した位相反転処理後の2つの形状データA、Bのいずれか一方を他方に対して等角度ずつ回転させながら両者の形状データが一致するか否かを確認し、両者の形状データが一致したときの回転角度をずれ角度θとして算出することが好ましい。なお、両者の形状データが必ずしも一致する場合のみならず、両者の形状データが同一であるとみなせる場合(すなわち、両者の形状データの誤差が予め設定した閾値以下である場合)の回転角度をずれ角度θとして算出するようにしてもよい。
また、両者の形状データが一致するか否かの判定方法として、位相反転処理後の2つの形状データA、Bの各サンプリング点に対して差分を求め、その差分の合計値が最小になるときの回転角度をずれ角度θとして算出するようにしてもよい。
また、位相反転処理が行われる前の2つの形状データA、Bに対し、上述した方法と同様に、いずれか一方を他方に対して等角度ずつ回転させながら両者の形状データが一致するか否かを確認し、両者の形状データが一致したときの回転角度に180度を加算もしくは減算した値をずれ角度θとして算出するようにしてもよい。
図11に戻って再びフローチャートの説明を行うと、ステップS110及びステップS112において第1形状データA、第2形状データBをそれぞれ取得した後、演算処理部134は心ずれ量算出部142として機能し、以下の処理を実行する。
すなわち、演算処理部134は、ワークWを挟んで互いに対向する位置である検出点P1、P2の位置の違いによる位相のずれを補正するために、第1形状データA及び第2形状データBのいずれか一方を他方に対して180度位相をずらす位相反転処理を行う(ステップS114)。
次に、演算処理部134は、位相反転処理後の2つの形状データA、Bのずれ角度θを算出し(ステップS116)、さらに、ずれ角度θに基づいて心ずれ量σを算出する(ステップS118)。
ここで、上述したように、真円度測定機100に心ずれがない場合には、図14Cに示すように、位相反転処理後の2つの形状データA、Bは互いに一致したものとなる。一方、真円度測定機100に心ずれがある場合には、図15Cに示すように、位相反転処理後の2つの形状データA、Bは互いに一致せず、そのときの形状データA、Bのずれ角度θの1/2が上述した心ずれ角度α(図12B参照)に相当する。したがって、真円度測定機100の心ずれ量σは、次式σ=K×tan(θ/2)により算出することができる。なお、この式において、Kは回転中心Oから検出点P1までのX方向距離である。
次に、演算処理部134は、演算処理結果として、ステップS118で算出した心ずれ量σの算出結果を表示部136に出力する(ステップS120)。これにより、表示部136には真円度測定機100の心ずれ量σが表示され、本フローチャートは終了となる。
次に、第2の実施形態の効果について説明する。
第2の実施形態の真円度測定機100を用いた心ずれ量算出方法によれば、ワークWを挟んで互いに対向する位置でそれぞれ測定が行われたときのワークWの表面形状を示す第1形状データA及び第2形状データBを取得し、第1形状データAと第2形状データBとを照合し、その照合した結果に基づいて真円度測定機100の心ずれ量σを算出する。これにより、直径が既知の基準ワークを用いることなく、簡単な測定作業で、真円度測定機100の心ずれ量σを精度よく求めることが可能となる。
また、第2の実施形態では、上述したように真円度測定機100の心ずれ量σを精度よく求めることができるため、その結果を利用してワークWの表面形状を規定する形状パラメータ(真円度、円筒度、直径等)を精度よく算出することが可能となる。例えば、形状パラメータの一例であるワークWの直径D(=G0)を求める場合には、次式 D=2√(K2+σ2)によってワークWの直径Dを算出することができる。なお、記号√(*)は、*の平方根を表す。
ここで、上述した式において、ワークWの直径Dは心ずれ量σの大きさに応じて誤差が変化することを示している。すなわち、心ずれ量σが考慮されずにワークWの直径Dが算出された場合には心ずれ量σに応じた分だけ直径に誤差が生じる結果となる。これに対して、本実施形態では、心ずれ量σを考慮した上でワークWの直径Dを求めることができるので、その結果として、ワークWの直径Dを正確に求めることが可能となる。
また、第2の実施形態では、2つの形状データA、Bに基づいて算出した心ずれ量σの算出結果が表示部136に出力されるようにしたが、ユーザが真円度測定機100の測定精度を簡易に判定できるように、算出した心ずれ量σの大きさに応じて真円度測定機100の心ずれの有無を判断するようにしてもよい。
図16は、第2の実施形態の真円度測定機100を用いた心ずれ量算出方法の他の例を示したフローチャートである。図16において、図11に示した処理と共通する処理は同一の符号を付して、その説明を省略する。
図16に示した心ずれ量算出方法では、心ずれ量σの算出が行われた後(ステップS118)、演算処理部134は心ずれ判断部144(図8参照)として機能し、心ずれ量σと予め設定した基準値とを比較し、心ずれ量σが基準値以下であるか否かを判断する(ステップS122)。そして、心ずれ量σが基準値を超える場合(Noの場合)には「心ずれあり」と判断し(ステップS124)、心ずれ量σが基準値以下である場合(Yesの場合)には「心ずれなし」と判断する(ステップS126)。その後、演算処理部134は、ステップS124又はステップS126の判断結果を表示部136に出力し(ステップS128)、本フローチャートは終了となる。ステップS122、ステップS124、及びステップS126は心ずれ判断ステップの一例である。
図16に示した心ずれ量算出方法によれば、ユーザが真円度測定機100の測定精度を簡易に判定することが可能となる。したがって、真円度測定機100に要求される測定精度に応じて上述した基準値を設定することにより、「心ずれなし」と判断された場合には、本来必要としない確認、校正作業が不要となるので測定効率を向上させることができる。一方、「心ずれあり」と判断された場合には、測定精度に影響を与える可能性があることから心ずれ量σの校正処理、あるいは、ワークWの表面形状を示す形状パラメータの補正処理などを適宜行うことが可能となる。
(その他)
上述した各実施形態では、検出器26、126の種類としては差動トランス方式に限定されず、少なくともワークWの表面の変位を検出することができるものであれば、接触式あるいは非接触式の種々の検出器が用いられてもよい。例えば、レーザー式の変位センサ等も使用することができる。
また、上述した各実施形態では、ワークWの表面形状を規定する形状パラメータの一例としてワークWの直径を算出する場合を説明したが、形状パラメータの種類は特に限定されず、ワークWの直径以外の形状パラメータを算出するようにしてもよい。
また、上述した各実施形態では、好ましい態様の1つとして、第1形状データA及び第2形状データBは、それぞれワークWを1回転させたときに多数の測定点(例えば14400点)で測定されたときの1周分の測定データである場合を示したが、これに限らず、その一部の測定点で測定された測定データであってもよい。例えば、歯車の歯の表面の形状を評価する場合には、歯車の谷部を除いて歯車の歯部の表面の変位データのみを取得すればよい。すなわち、ワークWを1回転させたときの1周分の測定データを多数の測定点で連続的に取得することを必ずしも必要とするものではなく、測定対象となるワークWの形状、要求される測定精度に応じて、測定点の数、間隔等が適宜調整されることが好ましい。また、測定データを取得する範囲(ワークWの回転範囲)も必ずしも1周分に限らず、その一部の範囲であってもよい。
また、上述した各実施形態では、本発明をテーブル回転型の真円度測定機に適用した場合について説明したが、これに限らず、測定物の周りを検出器が回転する検出器回転型の真円度測定機に対しても本発明を適用することができ、同様な効果を得ることができる。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明は、以上の例には限定されず、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、各種の改良や変形を行ってもよいのはもちろんである。
10…真円度測定機、12…本体ベース、14…回転テーブル、16…モータ、18…コラム、20…キャリッジ、22…アーム、24…検出器ホルダ、26…検出器、28…測定子、34…演算処理部、38…第1形状データ取得部、40…第2形状データ取得部、42…形状パラメータ取得部、44…補正値算出部、46…径方向位置算出部、48…径方向位置補正部、50…直径算出部、60…検出器位置検出部、62…回転角度検出部、100…真円度測定機、112…ベース、114…回転テーブル、116…モータ、118…コラム、120…キャリッジ、122…アーム、124…検出器ホルダ、126…検出器、128…測定子、134…演算処理部、136…表示部、138…第1形状データ取得部、140…第2形状データ取得部、142…心ずれ量算出部、144…心ずれ判断部、M…測定母線

Claims (3)

  1. ワークを載置する回転テーブルと、
    前記ワークの表面の変位を検出する検出器と、
    前記検出器を前記回転テーブルの回転中心に垂直な移動軸方向に沿って前記ワークの一方側の第1位置と前記ワークの他方側の第2位置とに移動させる移動機構と、を備え、
    前記検出器を前記第1位置に配置した状態で前記回転テーブルを回転させながら前記検出器により前記ワークの表面形状を示す第1形状データを取得し、且つ前記検出器を前記第2位置に配置した状態で前記回転テーブルを回転させながら前記検出器により前記ワークの表面形状を示す第2形状データを取得する、
    表面形状測定装置。
  2. 前記第1形状データと前記第2形状データとを照合する照合手段を備える、
    請求項1に記載の表面形状測定装置。
  3. 前記照合手段の照合結果に基づいて、前記第1位置と前記第2位置とを結ぶ直線が前記回転中心からずれているか否かを判断する判断手段を備える、
    請求項2に記載の表面形状測定装置。
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Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5932006B1 (ja) * 2014-12-15 2016-06-08 Dmg森精機株式会社 接触式位置測定器を用いた面取り穴径の測定方法
JP6784539B2 (ja) * 2016-08-31 2020-11-11 株式会社ミツトヨ 真円度測定機
WO2019161188A1 (en) * 2018-02-18 2019-08-22 The L.S. Starrett Company Metrology device with automated compensation and/or alert for orientation errors
US10969760B2 (en) * 2018-04-12 2021-04-06 Faro Technologies, Inc. Coordinate measurement system with auxiliary axis
US11874101B2 (en) 2018-04-12 2024-01-16 Faro Technologies, Inc Modular servo cartridges for precision metrology
DE202018002681U1 (de) * 2018-06-06 2019-09-09 PREMETEC Automation GmbH Taktiles Wellenmessgerät
JP2020020670A (ja) * 2018-08-01 2020-02-06 株式会社ミツトヨ 真円度測定装置、測定ガイドシステムおよび測定ガイド方法
CN109974563B (zh) * 2019-05-06 2024-03-12 广西玉柴机器股份有限公司 一种气缸体缸孔环槽深度检测专用检具
CN110398193B (zh) * 2019-07-29 2021-04-13 长春光华学院 一种薄壁圆筒零件圆柱度检测装置及其检测方法
JP7257942B2 (ja) * 2019-11-29 2023-04-14 日立Astemo株式会社 表面検査装置および形状矯正装置、並びに表面検査方法および形状矯正方法
JP7360591B2 (ja) 2020-02-18 2023-10-13 株式会社東京精密 ワークの径測定方法及び真円度測定機
JP7361259B2 (ja) * 2020-02-18 2023-10-16 株式会社東京精密 真円度測定機
JP2021148498A (ja) * 2020-03-17 2021-09-27 株式会社東京精密 内面形状測定機、及び内面形状測定機のアライメント方法
JP7529607B2 (ja) 2021-03-29 2024-08-06 株式会社東京精密 歯車の位相歯車検査装置および位相差測定方法
CN115200538B (zh) * 2022-03-23 2023-07-28 湖南省第四工程有限公司 一种基于钢结构施工状态的在线监测方法及系统

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1163971A (ja) * 1997-08-15 1999-03-05 Tokyo Seimitsu Co Ltd 真円度測定機
JP2000501505A (ja) * 1995-12-07 2000-02-08 テイラー ホブソン リミテッド 表面形状測定
US20030164699A1 (en) * 2002-03-01 2003-09-04 Deblock Mark John Method and apparatus for separating electrical runout from mechanical runout
CN101055165A (zh) * 2007-05-14 2007-10-17 上海大学 对径及平行多位测量轧辊圆度误差和机床主轴运动误差的方法
JP2012145494A (ja) * 2011-01-13 2012-08-02 Tokyo Seimitsu Co Ltd 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH01259211A (ja) 1988-04-08 1989-10-16 Tokyo Seimitsu Co Ltd 真円度測定機の直径測定装置
IT1232879B (it) * 1989-07-21 1992-03-05 Prima Ind Spa Dispositivo e metodo per la misurazione automatica delle dimensioni di solidi di rivoluzione
GB2294327A (en) * 1994-10-18 1996-04-24 Rank Taylor Hobson Ltd Roundness measuring
US6427353B1 (en) * 1998-05-28 2002-08-06 Rockwell Automation Technologies, Inc. High speed acquisition and calculation of dimensional variables with vibration and skew error reduction
JP2005037353A (ja) * 2003-06-27 2005-02-10 Mitsutoyo Corp 幅測定方法および表面性状測定機
US7036238B2 (en) 2003-12-22 2006-05-02 Mitutoyo Corporation Width-measuring method and surface texture measuring instrument
JP2006125924A (ja) * 2004-10-27 2006-05-18 Tokyo Seimitsu Co Ltd 真円度/円柱形状測定装置
JP4582446B2 (ja) * 2004-11-18 2010-11-17 株式会社東京精密 測定装置
EP2037211B1 (en) * 2007-06-29 2017-05-10 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Surface shape measuring device, and surface shape measuring method
JP5439157B2 (ja) * 2009-12-22 2014-03-12 三菱重工業株式会社 歯車測定方法
JP2012058057A (ja) * 2010-09-08 2012-03-22 Tresa Co Ltd 三次元座標測定機用ゲージ及び三次元座標測定機の精度評価方法
JP5489017B2 (ja) * 2012-04-06 2014-05-14 株式会社東京精密 真円度測定装置における心ずれ量算出方法
EP2954285B1 (en) * 2013-02-05 2022-04-06 Renishaw Plc. Method and apparatus for measuring a part
TWM477342U (zh) * 2013-09-25 2014-05-01 China Steel Corp 加工機台之量測裝置
JP2015068740A (ja) * 2013-09-30 2015-04-13 株式会社東京精密 真円度測定装置
US9581424B2 (en) * 2014-12-09 2017-02-28 Tokyo Seimitsu Co., Ltd. Roundness measuring apparatus

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000501505A (ja) * 1995-12-07 2000-02-08 テイラー ホブソン リミテッド 表面形状測定
JPH1163971A (ja) * 1997-08-15 1999-03-05 Tokyo Seimitsu Co Ltd 真円度測定機
US20030164699A1 (en) * 2002-03-01 2003-09-04 Deblock Mark John Method and apparatus for separating electrical runout from mechanical runout
CN101055165A (zh) * 2007-05-14 2007-10-17 上海大学 对径及平行多位测量轧辊圆度误差和机床主轴运动误差的方法
JP2012145494A (ja) * 2011-01-13 2012-08-02 Tokyo Seimitsu Co Ltd 真円度測定装置及びその心ずれ量補正方法

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