JP5287266B2 - 測定装置 - Google Patents
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- 被検物の形状を測定する測定手段と、
前記被検物を載置する上面が水平面に対して所定の傾斜角度で傾斜可能とされ、複数の基準穴が形成されたテーブルと
を備えることを特徴とする測定装置。 - 前記基準穴は、前記テーブルが傾斜する傾斜軸に対し、前記テーブルの上面から見て線対称となる配置で形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の測定装置。 - 前記基準穴は、前記テーブルの外周の端部近傍の4箇所以上に形成されている
ことを特徴とする請求項1または2に記載の測定装置。 - 前記テーブルは、前記被検物が載置される上面に対して垂直な回転軸を中心として、前記上面を回転することができるように構成されている
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の測定装置。 - 前記テーブルが傾斜された状態で、前記測定手段により測定された前記基準穴の位置に基づいて前記テーブルの傾斜角度を測定し、前記テーブルが傾斜された状態を維持したままテーブルを所定角度回転させ、前記測定手段により測定された前記基準穴の位置に基づいて前記テーブルの傾斜角度を測定し、前記所定角度回転させる前と後とのテーブルの傾斜角度の差に応じた補正値を算出する補正算出手段と、
前記補正値算出手段により算出された前記補正値に応じて、前記測定手段による前記被検物の測定結果を補正する補正手段と
をさらに備えることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の測定装置。 - 前記基準穴は前記テーブルを貫通するように形成されている、もしくは、前記基準穴は前記テーブルの上面から所定の深さを有する止まり穴である
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の測定装置。 - 前記測定手段は、前記披検物の形状を二次元または三次元で測定する
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載の測定装置。 - 前記測定手段は、接触もしくは非接触で前記披検物の形状を測定する
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれかに記載の測定装置。 - 前記測定手段は、前記基準穴を計測して前記テーブルの傾斜角度を測定する
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれかに記載の測定装置。 - 前記測定手段が、X方向、Y方向、およびZ方向のそれぞれに自在に動かすことができる
ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれかに記載の測定装置。 - 前記測定手段が回転および傾動することができる
ことを特徴とする請求項1乃至10のいずれかに記載の測定装置。 - 前記測定手段が、門型フレームに支持されている
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれかに記載の測定装置。 - 前記基準穴は、前記テーブルの外周の端部近傍の3箇所に形成されている
ことを特徴とする請求項1,2、および4乃至12のいずれかに記載の測定装置。 - 前記テーブルに形成された複数の前記基準穴のうち一部が前記披検物に覆われた状態で、前記テーブルを傾斜させ、前記被検物の形状を測定することができる
ことを特徴とする請求項1乃至13のいずれかに記載の測定装置。
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