JP5648692B2 - 形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法およびプログラム - Google Patents
形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法およびプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5648692B2 JP5648692B2 JP2012540941A JP2012540941A JP5648692B2 JP 5648692 B2 JP5648692 B2 JP 5648692B2 JP 2012540941 A JP2012540941 A JP 2012540941A JP 2012540941 A JP2012540941 A JP 2012540941A JP 5648692 B2 JP5648692 B2 JP 5648692B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shape
- measurement
- area
- region
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 75
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 21
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 236
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims description 113
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 79
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 49
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 49
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 42
- 238000013461 design Methods 0.000 claims description 31
- 238000013213 extrapolation Methods 0.000 claims description 28
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 17
- 230000002950 deficient Effects 0.000 claims description 11
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 4
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 42
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 37
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 35
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 13
- 230000008439 repair process Effects 0.000 description 12
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 11
- 230000036544 posture Effects 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000013598 vector Substances 0.000 description 5
- 238000007493 shaping process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000005242 forging Methods 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 2
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 238000004891 communication Methods 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 238000004590 computer program Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
- G01B5/004—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points
- G01B5/008—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring coordinates of points using coordinate measuring machines
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/20—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring contours or curvatures, e.g. determining profile
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49718—Repairing
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T29/00—Metal working
- Y10T29/49—Method of mechanical manufacture
- Y10T29/49764—Method of mechanical manufacture with testing or indicating
- Y10T29/49771—Quantitative measuring or gauging
Description
Metal Oxide Semiconductor)センサーなどの個体撮像素子を備えている。
座標検出部51は、位置決めされた姿勢の状態における、光プローブ20Aの座標情報と、ステージ31の回転位置情報とを検出して座標算出部53へ供給する。座標算出部53は、光プローブ20Aの座標情報と、ステージ31の回転位置情報を記憶部55に書込み保存する。また、被検物3の測定開始点(最初の測定ポイント)および測定終了点(最後の測定ポイント)等の座標値は、領域設定部58によって、被検物3の指定領域の測定ポイントの座標値に基づいて生成され、記憶部55に書き込まれる。
P2=[x2、y2、z2、θ2、φ2]、
… 、
Pn=[xn、yn、zn、θn、φn]
内挿補間処理部58Aは、算出した近似曲線によって示される各軸の位置情報を、測定時に検出部20を移動させる順に従って記憶部55に設けられた記憶領域に、測定箇所を示す識別情報jに関連付けて書き込み記憶させる。ただし、識別情報jは、lからmまでの自然数とする。また、識別情報jがlである位置が第1の測定位置に対応し、識別情報jがmである位置が第nの測定位置に対応する。
次に、上述の実施形態における三次元形状測定装置100を備えた構造物製造システムについて説明する。図6は、構造物製造システム200のブロック構成図である。構造物製造システム200は、第1の実施形態における三次元形状測定装置100と、設計装置210と、成形装置220と、制御装置(検査装置)230と、リペア装置240とを備える。
成形装置220は、設計装置210から入力された設計情報に基づいて上記構造物を作製する。成形装置220の成形工程には、鋳造、鍛造、または切削等が含まれる。三次元形状測定装置100は、上述の実施形態において説明したように作製された前記構造物の座標を測定する。そして、測定した座標を示す情報(形状情報)を制御装置230へ送信する。
20…検出部、58…領域設定部
Claims (27)
- 三次元形状を有している被検物の表面の形状を測定する形状測定装置であって、
三次元形状を有している被検物の表面の形状を検出する検出部と、
指定領域の形状情報を用いて前記指定領域の外の領域を測定領域として設定する領域設定部と、
を備え、
前記検出部は、前記測定領域に設定される開始点から検出を行い、その後前記指定領域を検出する形状測定装置。 - 前記指定領域と、前記測定領域とは隣接して配置される請求項1に記載の形状測定装置。
- 前記指定領域を拡張することにより、前記測定領域を設定する請求項1又は2に記載の形状測定装置。
- 前記測定領域の開始点と前記指定領域との間に前記被検物の端部が配置される請求項1〜3のいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 前記測定領域の範囲は、あらかじめ定められている請求項1〜4のいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 前記領域設定部は、予め測定された前記指定領域の形状情報を用いて、前記測定領域として設定する請求項1〜5のいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 前記予め測定された形状情報の取得手段とは異なる形状情報の取得手段で前記被検物の表面の形状を測定する請求項6に記載の形状測定装置。
- 前記予め測定された形状情報を複数の形状情報の取得手段で求める請求項6又は7に記載の形状測定装置。
- 前記領域設定部は、前記指定領域における設計情報を用いて、前記測定領域として設定する請求項1〜5のいずれか一項に記載の形状測定装置。
- 前記領域設定部は、前記指定領域の形状情報を用いて、前記指定領域から前記指定領域の外に延長させる方向を定める請求項1〜9のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記指定領域の外の領域を算定する外挿補間処理部をさらに備え、
前記外挿補間処理部は、
前記指定領域端近傍の前記形状情報を用いて、前記被検物の表面の形状に近似する曲線を算定し、該算定された曲線に基づいて前記指定領域の外の領域の延長方向を定める、一次微分演算部、二次微分演算部、又は、線形演算部のいずれかを備え、
前記一次微分演算部は、
前記曲線の傾きと同じ方向に前記指定領域の外の領域の延長方向を定め、
前記二次微分演算部は、
前記曲線の傾きの変化量が一定になる方向に前記指定領域の外の領域の延長方向を定め、
前記線形演算部は、
前記被検物の表面の形状に近似する曲線を直線近似して算定し、該直線を延長する方向に前記指定領域の外の領域の延長方向を定める請求項1〜10のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記指定領域の外の領域を算定する外挿補間処理部をさらに備え、前記外挿補間処理部は、
前記指定領域の端から予め定めた所定の距離まで、
予め定められた所定の制限領域に到達するまで、
或いは、
前記指定領域内の前記被検物の形状情報を用いて、前記被検物が存在しうる限界位置を算定し、前記算定された限界位置が含まれる位置まで、
のいずれかの距離もしくは位置まで、前記指定領域の外の領域を延長する、請求項1〜11のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記領域設定部は、
前記検出部を前記被検物の表面に沿って相対的に移動させながら検出した形状測定データに基づいて内挿補間処理によって形状測定データを得る内挿補間処理部を備え、
前記外挿補間処理は、
前記内挿補間処理によって得られた形状測定データに基づいて外挿補間処理をすることを特徴とする請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 互いに直交するX軸、Y軸、およびZ軸で定める直交座標系において、前記検出部と前記被検物とを相対的に、X軸方向、Y軸方向、およびZ軸方向に沿って駆動する駆動機構を備えることを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 前記駆動機構は、
さらに、前記X軸、Y軸、およびZ軸のうちの少なくとも1つの軸を中心に、前記検出部と前記被検物とを相対的に回転させることを特徴とする請求項14に記載の形状測定装置。 - 前記検出部は、
前記被検物に投影したライン状の光によって、前記被検物の表面に形成される陰影パターンに基づいて前記形状測定データを取得する光切断型検出部と、
前記被検物の形状を撮像した画像データに基づいて前記形状測定データを取得する取得画像変換型検出部と、
前記被検物に接触して前記形状測定データを取得する接触型検出部と、
のうちの少なくとも1つの検出機構を備えることを特徴とする請求項1から請求項15のいずれか1項に記載の形状測定装置。 - 前記指定領域において前記検出部を配置させる状態を示す情報を入力可能な入力部をさらに備えることを特徴とする請求項1から請求項16のいずれか1項に記載の形状測定装置。
- 三次元形状を有している被検物の表面の形状を検出することと、
指定領域の形状情報を用いて前記指定領域の外の領域を測定領域として設定することと、
前記測定領域に設定される開始点から検出を行い、その後前記指定領域を検出することと、
を含む形状測定方法。 - 前記指定領域と、前記測定領域とは隣接して配置されることを含む請求項18に記載の形状測定方法。
- 前記指定領域は、前記指定領域における設計情報を用いて、前記指定領域の外の領域を測定領域として設定することを含む請求項18又は19に記載の形状測定方法。
- 前記指定領域は、予め測定された前記指定領域の形状情報を用いて、前記測定領域として設定することを含む請求項18又は19に記載の形状測定方法。
- 前記指定領域の外の測定領域には、前記検出のスキャン方向に沿って、第1領域と第2領域とを含み、
前記スキャン方向に沿って、前記第1領域、前記測定領域、前記第2領域の順に検出を行うことを含む請求項18〜21のいずれか一項に記載の形状測定方法。 - 形状測定装置が備えているコンピューターに、
三次元形状を有している被検物の表面の形状を検出することと、
指定領域の形状情報を用いて、前記指定領域の外の領域を測定領域を設定することと、
前記測定領域の開始点から検出を行い、その後前記指定領域を検出することと、を実行させるためのプログラム。 - 構造物の形状に関する設計情報を作製することと、
前記設計情報を用いて前記構造物を作製することと、
作製された前記構造物の形状を請求項18から請求項22のいずれか1項に記載の形状測定方法を用いて測定することと、
測定することにより得られた形状情報と、前記設計情報とを比較して検査することと、
を有することを特徴とする構造物の製造方法。 - さらに、前記形状情報と前記設計情報とを比較した結果に基づいて、前記構造物の再加工を実施することを特徴とする請求項24に記載の構造物の製造方法。
- 前記再加工を実施することは、前記構造物を作製することを再実行することであることを特徴とする請求項25に記載の構造物の製造方法。
- 前記再加工を実施することは、前記形状情報と前記設計情報とを比較した結果に基づいて、前記構造物の不良部位を加工することであることを特徴とする請求項26に記載の構造物の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012540941A JP5648692B2 (ja) | 2010-10-27 | 2011-10-27 | 形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法およびプログラム |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010241340 | 2010-10-27 | ||
JP2010241340 | 2010-10-27 | ||
JP2012540941A JP5648692B2 (ja) | 2010-10-27 | 2011-10-27 | 形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法およびプログラム |
PCT/JP2011/074854 WO2012057283A1 (ja) | 2010-10-27 | 2011-10-27 | 形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法およびプログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2012057283A1 JPWO2012057283A1 (ja) | 2014-05-12 |
JP5648692B2 true JP5648692B2 (ja) | 2015-01-07 |
Family
ID=45993986
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012540941A Active JP5648692B2 (ja) | 2010-10-27 | 2011-10-27 | 形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法およびプログラム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9239219B2 (ja) |
EP (1) | EP2634530B1 (ja) |
JP (1) | JP5648692B2 (ja) |
KR (1) | KR101629545B1 (ja) |
CN (1) | CN103180691B (ja) |
TW (1) | TWI510756B (ja) |
WO (1) | WO2012057283A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9772394B2 (en) | 2010-04-21 | 2017-09-26 | Faro Technologies, Inc. | Method and apparatus for following an operator and locking onto a retroreflector with a laser tracker |
US9686532B2 (en) | 2011-04-15 | 2017-06-20 | Faro Technologies, Inc. | System and method of acquiring three-dimensional coordinates using multiple coordinate measurement devices |
JP2014516409A (ja) | 2011-04-15 | 2014-07-10 | ファロ テクノロジーズ インコーポレーテッド | レーザトラッカの改良位置検出器 |
US9482529B2 (en) | 2011-04-15 | 2016-11-01 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
JP2014006149A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Nikon Corp | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、および形状測定プログラム |
JP6020593B2 (ja) * | 2012-11-29 | 2016-11-02 | 株式会社ニコン | 形状測定装置、構造物製造システム、ステージシステム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラムを記録した記録媒体 |
JP6574137B2 (ja) | 2013-02-05 | 2019-09-11 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 部品を測定する方法および装置 |
US9041914B2 (en) | 2013-03-15 | 2015-05-26 | Faro Technologies, Inc. | Three-dimensional coordinate scanner and method of operation |
CN105452802B (zh) * | 2013-07-19 | 2019-02-01 | 株式会社尼康 | 形状测定装置、构造物制造系统、形状测定方法、构造物制造方法、形状测定程序、以及记录介质 |
US20150041094A1 (en) * | 2013-08-06 | 2015-02-12 | Honda Motor Co., Ltd. | Core pin detection |
CN103471554B (zh) * | 2013-09-27 | 2016-01-13 | 唐山市建华自动控制设备厂 | 料面三维成像测控系统 |
WO2016006085A1 (ja) * | 2014-07-10 | 2016-01-14 | 株式会社ニコン | X線装置および構造物の製造方法 |
US10274314B2 (en) * | 2015-05-13 | 2019-04-30 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Shape inspection method, shape inspection apparatus, and program |
JP6866865B2 (ja) * | 2018-03-15 | 2021-04-28 | オムロン株式会社 | 計測処理装置、計測処理方法及びプログラム |
CN110876020A (zh) * | 2018-08-30 | 2020-03-10 | 菱光科技股份有限公司 | 外部触发的线性相机检测系统及其影像曝光处理方法 |
JP2022139778A (ja) * | 2021-03-12 | 2022-09-26 | オムロン株式会社 | 光学式センサ、光学式センサの制御方法及び光学式センサの制御プログラム |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63250506A (ja) * | 1987-04-07 | 1988-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | 加工用センサの位置制御方法 |
JPH10141928A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Mitsutoyo Corp | 非接触画像計測システム |
JP2000346638A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Mitsutoyo Corp | 測定手順ファイル生成方法、測定装置および記憶媒体 |
JP2002071345A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-08 | Hitachi Ltd | 3次元寸法計測装置及びその計測方法 |
JP2006138782A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Nikon Corp | 画像測定機 |
JP2010216939A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2112140B (en) * | 1981-12-16 | 1985-08-07 | Mauser Werke Oberndorf | Coordinate measuring machine |
US5125035A (en) * | 1989-12-18 | 1992-06-23 | Chromalloy Gas Turbine Corporation | Five axis generated hole inspection system |
JP3508368B2 (ja) * | 1996-01-23 | 2004-03-22 | 株式会社ニコン | 画像測定機 |
JPH1178384A (ja) * | 1997-09-12 | 1999-03-23 | Peteio:Kk | 3次元形状データ処理装置並びに被彫刻板及び彫刻装置 |
JP4649704B2 (ja) * | 2000-05-25 | 2011-03-16 | 株式会社ニコン | 形状測定機 |
US20060007449A1 (en) * | 2002-12-13 | 2006-01-12 | Ralf Christoph | Method for measuring a contour of a workpiece by scanning |
JP3923945B2 (ja) * | 2004-01-13 | 2007-06-06 | 三鷹光器株式会社 | 非接触表面形状測定方法 |
EP1596160A1 (en) * | 2004-05-10 | 2005-11-16 | Hexagon Metrology AB | Method of inspecting workpieces on a measuring machine |
JP4782990B2 (ja) * | 2004-05-31 | 2011-09-28 | 株式会社ミツトヨ | 表面倣い測定装置、表面倣い測定方法、表面倣い測定プログラムおよび記録媒体 |
EP2284485B1 (de) * | 2004-12-16 | 2015-09-16 | Werth Messtechnik GmbH | Koordinatenmessgerät sowie Verfahren zum Messen mit einem Koordinatenmessgerät |
US7545512B2 (en) * | 2006-01-26 | 2009-06-09 | Koh Young Technology Inc. | Method for automated measurement of three-dimensional shape of circuit boards |
JP5189806B2 (ja) * | 2006-09-07 | 2013-04-24 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定装置 |
JP4611427B2 (ja) * | 2007-01-24 | 2011-01-12 | 富士通株式会社 | 画像読取装置、画像読取プログラム、画像読取方法 |
EP2183546B1 (en) * | 2007-08-17 | 2015-10-21 | Renishaw PLC | Non-contact probe |
JP5218429B2 (ja) | 2008-01-28 | 2013-06-26 | 株式会社ニコン | 3次元形状測定装置および方法、並びに、プログラム |
KR101251372B1 (ko) * | 2008-10-13 | 2013-04-05 | 주식회사 고영테크놀러지 | 3차원형상 측정방법 |
US9586367B2 (en) * | 2008-11-04 | 2017-03-07 | Lockheed Martin Corporation | Composite laminate thickness compensation |
JP5287266B2 (ja) | 2009-01-09 | 2013-09-11 | 株式会社ニコン | 測定装置 |
TWI440847B (zh) * | 2009-03-30 | 2014-06-11 | Koh Young Tech Inc | 檢測方法 |
US8582824B2 (en) * | 2009-06-25 | 2013-11-12 | Twin Coast Metrology | Cell feature extraction and labeling thereof |
US20120194651A1 (en) | 2011-01-31 | 2012-08-02 | Nikon Corporation | Shape measuring apparatus |
-
2011
- 2011-10-27 JP JP2012540941A patent/JP5648692B2/ja active Active
- 2011-10-27 KR KR1020137013485A patent/KR101629545B1/ko active IP Right Grant
- 2011-10-27 CN CN201180051998.2A patent/CN103180691B/zh active Active
- 2011-10-27 WO PCT/JP2011/074854 patent/WO2012057283A1/ja active Application Filing
- 2011-10-27 EP EP11836416.5A patent/EP2634530B1/en active Active
- 2011-10-27 TW TW100139262A patent/TWI510756B/zh active
-
2013
- 2013-04-26 US US13/871,203 patent/US9239219B2/en active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63250506A (ja) * | 1987-04-07 | 1988-10-18 | Mitsubishi Electric Corp | 加工用センサの位置制御方法 |
JPH10141928A (ja) * | 1996-11-06 | 1998-05-29 | Mitsutoyo Corp | 非接触画像計測システム |
JP2000346638A (ja) * | 1999-06-09 | 2000-12-15 | Mitsutoyo Corp | 測定手順ファイル生成方法、測定装置および記憶媒体 |
JP2002071345A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-08 | Hitachi Ltd | 3次元寸法計測装置及びその計測方法 |
JP2006138782A (ja) * | 2004-11-15 | 2006-06-01 | Nikon Corp | 画像測定機 |
JP2010216939A (ja) * | 2009-03-16 | 2010-09-30 | Nikon Corp | 三次元形状測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103180691A (zh) | 2013-06-26 |
EP2634530A4 (en) | 2017-01-04 |
JPWO2012057283A1 (ja) | 2014-05-12 |
CN103180691B (zh) | 2016-08-10 |
TWI510756B (zh) | 2015-12-01 |
KR20130108398A (ko) | 2013-10-02 |
WO2012057283A1 (ja) | 2012-05-03 |
US9239219B2 (en) | 2016-01-19 |
US20130298415A1 (en) | 2013-11-14 |
EP2634530B1 (en) | 2022-05-04 |
KR101629545B1 (ko) | 2016-06-10 |
EP2634530A1 (en) | 2013-09-04 |
TW201233976A (en) | 2012-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5648692B2 (ja) | 形状測定装置、形状測定方法、構造物の製造方法およびプログラム | |
US11506484B2 (en) | Profile measuring apparatus, structure manufacturing system, method for measuring profile, method for manufacturing structure, and non-transitory computer readable medium | |
US10422619B2 (en) | Identification of geometric deviations of a motion guide in a coordinate-measuring machine or in a machine tool | |
JP6044705B2 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、形状測定方法、構造物製造方法、及び形状測定プログラム | |
JP6020593B2 (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、ステージシステム、形状測定方法、構造物製造方法、プログラムを記録した記録媒体 | |
JP3678915B2 (ja) | 非接触三次元測定装置 | |
JP5350169B2 (ja) | オフセット量校正方法および表面性状測定機 | |
JP2013064644A (ja) | 形状測定装置、形状測定方法、構造物製造システム及び構造物の製造方法 | |
JP3678916B2 (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
US20150107125A1 (en) | Measurement method with improved precision in measurement point capture | |
JP3602965B2 (ja) | 非接触三次元測定方法 | |
JP6205727B2 (ja) | 形状測定方法、構造物製造方法、形状測定プログラム、光学式形状測定装置、及び構造物製造システム | |
JP5205643B2 (ja) | 表面性状測定装置、その接触子モデル生成方法、及びプログラム | |
JP2018066767A (ja) | 形状測定装置、構造物製造システム、及び形状測定方法 | |
JP5064725B2 (ja) | 形状測定方法 | |
JP6287153B2 (ja) | センサユニット、形状測定装置、及び構造物製造システム | |
JP2010185804A (ja) | 形状測定装置、形状測定方法、及びプログラム | |
JP5287266B2 (ja) | 測定装置 | |
TW201422351A (zh) | 雷射加工機 | |
JP4340138B2 (ja) | 非接触式3次元形状測定装置 | |
JP5350082B2 (ja) | 形状測定装置の精度判別装置 | |
JP2012141245A (ja) | 三次元形状測定装置 | |
JP2009014384A (ja) | 試料の表面形状の稜線位置検出装置及び稜線位置検出方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141014 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141027 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5648692 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |