JP5218429B2 - 3次元形状測定装置および方法、並びに、プログラム - Google Patents
3次元形状測定装置および方法、並びに、プログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5218429B2 JP5218429B2 JP2009551537A JP2009551537A JP5218429B2 JP 5218429 B2 JP5218429 B2 JP 5218429B2 JP 2009551537 A JP2009551537 A JP 2009551537A JP 2009551537 A JP2009551537 A JP 2009551537A JP 5218429 B2 JP5218429 B2 JP 5218429B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- focus
- pixel
- measure
- target pixel
- dimensional shape
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 41
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 69
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 30
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims description 20
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 18
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 claims description 17
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 10
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 22
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000012887 quadratic function Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/24—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Description
これにより、焦点が合っていない焦点位置で合焦測度のピークが検出され、合焦位置が誤検出されることが防止される。
Claims (5)
- 測定対象物に対して焦点位置の異なる複数の画像の各画素について焦点が合っている度合いを示す合焦測度を算出し、前記合焦測度に基づいて合焦位置を検出することにより前記測定対象物の3次元形状を測定する3次元形状測定装置において、
輝度、色相および彩度のうち少なくとも1つを判定値として用い、注目画素における前記合焦測度の算出に用いる前記注目画素の近傍の所定の範囲内の画素から、前記注目画素の前記判定値との差が許容範囲内である前記判定値を有する有効画素を抽出する有効画素抽出手段と、
抽出された前記有効画素を用いて、前記注目画素における前記合焦測度を算出する合焦測度算出手段と、
前記合焦測度がピークとなる焦点位置を前記合焦位置として検出する合焦位置検出手段と
を備えることを特徴とする3次元形状測定装置。 - 前記合焦位置検出手段は、前記合焦測度がピークとなる焦点位置が複数存在する場合、各焦点位置における前記注目画素の輝度値に基づいて、前記合焦測度がピークとなる複数の焦点位置の中から前記合焦位置を選択する
ことを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。 - 前記画像をフーリエ変換し、所定の周波数範囲の低周波成分およびノイズ成分を除去した後、逆フーリエ変換することにより前記画像の中高周波成分を抽出した前処理画像を生成する前処理手段を
さらに備え、
前記画素抽出手段は、前記前処理画像の前記所定の範囲内の画素から前記有効画素を抽出し、
前記合焦測度算出手段は、前記前処理画像における前記注目画素と前記有効画素との輝度値の差に基づいて、前記注目画素における前記合焦測度を算出する
ことを特徴とする請求項1に記載の3次元形状測定装置。 - 測定対象物に対して焦点位置の異なる複数の画像の各画素について焦点が合っている度合いを示す合焦測度を算出し、前記合焦測度に基づいて合焦位置を検出することにより前記測定対象物の3次元形状を測定する3次元形状測定装置の3次元形状測定方法において、
輝度、色相および彩度のうち少なくとも1つを判定値として用い、注目画素における前記合焦測度の算出に用いる前記注目画素の近傍の所定の範囲内の画素から、前記注目画素の前記判定値との差が許容範囲内である前記判定値を有する有効画素を抽出する有効画素抽出ステップと、
抽出された前記有効画素を用いて、前記注目画素における前記合焦測度を算出する合焦測度算出ステップと、
前記合焦測度がピークとなる焦点位置を前記合焦位置として検出する合焦位置検出ステップと
を含むことを特徴とする3次元形状測定方法。 - 測定対象物に対して焦点位置の異なる複数の画像の各画素について焦点が合っている度合いを示す合焦測度を算出し、前記合焦測度に基づいて合焦位置を検出することにより前記測定対象物の3次元形状を測定する処理を、コンピュータに実行させるプログラムにおいて、
輝度、色相および彩度のうち少なくとも1つを判定値として用い、注目画素における前記合焦測度の算出に用いる前記注目画素の近傍の所定の範囲内の画素から、前記注目画素の前記判定値との差が許容範囲内である前記判定値を有する有効画素を抽出する有効画素抽出ステップと、
抽出された前記有効画素を用いて、前記注目画素における前記合焦測度を算出する合焦測度算出ステップと、
前記合焦測度がピークとなる焦点位置を前記合焦位置として検出する合焦位置検出ステップと
を含む処理をコンピュータに実行させるプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009551537A JP5218429B2 (ja) | 2008-01-28 | 2009-01-28 | 3次元形状測定装置および方法、並びに、プログラム |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008016349 | 2008-01-28 | ||
JP2008016349 | 2008-01-28 | ||
PCT/JP2009/051346 WO2009096422A1 (ja) | 2008-01-28 | 2009-01-28 | 3次元形状測定装置および方法、並びに、プログラム |
JP2009551537A JP5218429B2 (ja) | 2008-01-28 | 2009-01-28 | 3次元形状測定装置および方法、並びに、プログラム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009096422A1 JPWO2009096422A1 (ja) | 2011-05-26 |
JP5218429B2 true JP5218429B2 (ja) | 2013-06-26 |
Family
ID=40912774
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009551537A Active JP5218429B2 (ja) | 2008-01-28 | 2009-01-28 | 3次元形状測定装置および方法、並びに、プログラム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5218429B2 (ja) |
WO (1) | WO2009096422A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011085647A (ja) * | 2009-10-13 | 2011-04-28 | Hitachi Chem Co Ltd | 光導波路基板及びその製造方法 |
JP5655557B2 (ja) * | 2010-07-12 | 2015-01-21 | ソニー株式会社 | 顕微鏡制御装置、画像表示装置、画像管理サーバ、合焦位置情報生成方法、画像表示方法、画像管理方法及び顕微鏡画像管理システム |
EP2634530B1 (en) | 2010-10-27 | 2022-05-04 | Nikon Corporation | Shape measuring device, shape measuring method, and structure manufacturing method |
JP6044125B2 (ja) * | 2012-06-11 | 2016-12-14 | 株式会社リコー | 検出装置および多色画像形成装置 |
US9675430B2 (en) | 2014-08-15 | 2017-06-13 | Align Technology, Inc. | Confocal imaging apparatus with curved focal surface |
JP7071088B2 (ja) * | 2017-10-24 | 2022-05-18 | キヤノン株式会社 | 距離検出装置、撮像装置、距離検出方法、及びプログラム |
JPWO2023074684A1 (ja) * | 2021-10-28 | 2023-05-04 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0926312A (ja) * | 1996-08-02 | 1997-01-28 | Hitachi Ltd | 立体形状検出方法及びその装置 |
JP2001066112A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-03-16 | Mitsutoyo Corp | 画像計測方法及び装置 |
JP2001074422A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Hitachi Ltd | 立体形状検出装置及びハンダ付検査装置並びにそれらの方法 |
JP2006258444A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Opcell Co Ltd | 物体表面形状測定装置 |
-
2009
- 2009-01-28 WO PCT/JP2009/051346 patent/WO2009096422A1/ja active Application Filing
- 2009-01-28 JP JP2009551537A patent/JP5218429B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0926312A (ja) * | 1996-08-02 | 1997-01-28 | Hitachi Ltd | 立体形状検出方法及びその装置 |
JP2001066112A (ja) * | 1999-06-25 | 2001-03-16 | Mitsutoyo Corp | 画像計測方法及び装置 |
JP2001074422A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-23 | Hitachi Ltd | 立体形状検出装置及びハンダ付検査装置並びにそれらの方法 |
JP2006258444A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Opcell Co Ltd | 物体表面形状測定装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPWO2009096422A1 (ja) | 2011-05-26 |
WO2009096422A1 (ja) | 2009-08-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5218429B2 (ja) | 3次元形状測定装置および方法、並びに、プログラム | |
US9607240B2 (en) | Image processing apparatus, image capturing apparatus, image processing method, image capturing method, and non-transitory computer-readable medium for focus bracketing | |
US9542754B2 (en) | Device and method for detecting moving objects | |
US10726539B2 (en) | Image processing apparatus, image processing method and storage medium | |
US10636126B2 (en) | Image processing device, imaging apparatus, image processing method, image processing program, and recording medium | |
JP5374119B2 (ja) | 距離情報取得装置、撮像装置、及びプログラム | |
US8289405B2 (en) | Image processing apparatus and method thereof | |
US20150278996A1 (en) | Image processing apparatus, method, and medium for generating color image data | |
US9204034B2 (en) | Image processing apparatus and image processing method | |
JP6833415B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法、及びプログラム | |
JP6711396B2 (ja) | 画像処理装置、撮像装置、および画像処理方法、並びにプログラム | |
CN107018407B (zh) | 信息处理装置、评价用图、评价系统、以及性能评价方法 | |
JP6025467B2 (ja) | 画像処理装置及び画像処理方法 | |
US7869706B2 (en) | Shooting apparatus for a microscope | |
WO2016113805A1 (en) | Image processing method, image processing apparatus, image pickup apparatus, program, and storage medium | |
US20140152862A1 (en) | Image processing apparatus, image pickup apparatus, image pickup system, image processing method, and non-transitory computer-readable storage medium | |
JP2008042227A (ja) | 撮像装置 | |
JP6075835B2 (ja) | 距離情報取得装置、撮像装置、距離情報取得方法、及び、プログラム | |
JP6378496B2 (ja) | 画像処理装置、制御方法及び記録媒体 | |
JP7009252B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法およびプログラム | |
JP2008058279A (ja) | 距離画像生成装置、距離画像生成方法及びプログラム | |
JP6464553B2 (ja) | レンズ駆動制御装置、電子カメラ及びレンズ駆動制御プログラム | |
JP6558978B2 (ja) | 画像処理装置、画像処理方法及びプログラム | |
JP6314281B1 (ja) | 画像処理方法及び前景領域取得方法 | |
JP5057134B2 (ja) | 距離画像生成装置、距離画像生成方法及びプログラム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120110 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130205 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130218 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160315 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5218429 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |