JP6013533B2 - 表面センサオフセット - Google Patents
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Description
[RA1 P1]*オフセット=V1
[RA1 P2]*オフセット=V2
[RA1 P3]*オフセット=V3
ただし、P1,P2,P3は、誤差ベクトルV1,V2,V3が測定された時の軸A1の角位置である。
y1=(Δr+Δy/2)/2
y2=(Δr−Δy/2)/2
上記の実施形態では、円形の形状構成物を走査することについて説明したが、これらの方法は、オフセットによって生じる半径方向の誤差が同じであるため、個別の測定地点を利用する場合にも適している。例えば、図12を参照すると、ゲージブロック94の内側の長さ90および/または外側の長さ92を測定できる。同様に、図13を参照すると、リングゲージ102の内径96および/または外径98の直径を測定できる。
Claims (26)
- 表面センサが配備される関節式ヘッドを有し、前記関節式ヘッドは、少なくとも第1および第2の軸を中心とする前記表面センサの回転を与える座標位置決め装置の操作方法であって、
前記表面センサを前記関節式ヘッドの前記第1の軸を中心とする第1の角方向に位置付けて、前記第1の角方向における前記表面センサによって加工物の第1の測定結果を取得するステップであって、前記表面センサを前記関節式ヘッドの前記第2の軸を中心として回転させるための前記関節式ヘッドの作動を含むステップと、
前記表面センサを前記第1の軸を中心とする第2の角方向に位置付けるように、前記関節式ヘッドを動かして、前記第2の角方向における前記表面センサによって前記加工物の少なくとも第2の測定結果を取得するステップであって、前記表面センサを前記関節式ヘッドの前記第2の軸を中心として回転させるための前記関節式ヘッドの作動を含み、前記第1と第2の角方向は相互に異なり、前記表面センサの想定位置からのオフセットが前記第1と第2の測定結果に対して少なくとも部分的に反する影響を有する、ステップと、
前記第1と第2の測定結果を用いて前記表面センサの前記想定位置からの前記オフセットを設定し、前記オフセットを用いて、前記表面センサによって取得されるその後の測定結果の誤差を補正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第2の角方向は前記第1の角方向と異なり、前記表面センサの想定位置からのオフセットが前記第2の測定結果に与える影響は、その第1の測定結果に対する影響と略同等かつ反対であることを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記第2の角方向が前記第1の角方向の略逆であることを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記表面センサがそれ自体に関して第1の方向における測定のみを行うように、前記表面センサを移動させるステップを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記表面センサがそれ自体に関して第1と第2の方向において測定を行うように、加工物に関して前記表面センサを移動させるステップを含むことを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記オフセットを用いて補正するステップは、少なくとも第1の方向における前記表面センサのオフセットを判定するステップを含むことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- 前記オフセットを用いて補正するステップは、少なくとも第2の方向における前記表面センサのオフセットを判定するステップを含むことを特徴とする請求項6に記載の方法。
- 少なくとも第1と第2のオフセット要因を判定するステップを含むことを特徴とする請求項6または7に記載の方法。
- 前記第1のオフセット要因は、前記少なくとも第1の軸の実際の位置と想定位置との差を含み、前記第2のオフセット要因は、前記第1の軸に関する前記表面センサの実際の位置と想定位置の差を含むことを特徴とする請求項8に記載の方法。
- 前記オフセットを用いて補正するステップは、前記第1と第2の測定結果から得られた修正済み測定結果を判定するステップを含むことを特徴とする請求項1から9のいずれかに記載の方法。
- 前記第2の測定結果を取得するステップは、前記表面センサを異なる角方向に置いて行われる、前記第1の測定結果を取得するステップの反復であることを特徴とする請求項1から10のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果の各々を取得するステップは、ある加工物の複数の地点を測定するステップを含むことを特徴とする請求項1から11のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、円形の形状構成物の第1と第2の測定結果を取得するステップを含むことを特徴とする請求項1から12のいずれかに記載の方法。
- 前記表面センサは、前記第1の軸に対して垂直な少なくとも第2の軸を中心として回転自在であることを特徴とする請求項1から13のいずれかに記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記第2の軸の直線位置を保持するステップを含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記第2の角方向は、前記第1の角方向と略反対であることを特徴とする請求項14または15に記載の方法。
- 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記第1と第2の軸の直線位置を移動させるステップを含むことを特徴とする請求項14に記載の方法。
- 前記表面センサが接触プローブの接触先端であることを特徴とする請求項1から17のいずれかに記載の方法。
- 表面センサが配備される関節式ヘッドを有し、前記関節式ヘッドは、少なくとも第1の軸および第2の垂直軸を中心とする前記表面センサの回転を与える座標位置決め装置の操作方法であって、
前記表面センサを、前記関節式ヘッドの前記第1の軸を中心として、前記第1の軸を通って前記第2の垂直軸に平行に延びる線に関して第1の角度で位置付けて、加工物の第1の測定結果を取得するステップと、
前記関節式ヘッドを動かして、前記表面センサを、前記第1の軸を中心として、前記第1の軸を通って前記第2の垂直軸に平行に延びる線に関して第2の角度で位置付けて、前記加工物の第2の測定結果を取得するステップであって、前記第2の角度は前記第1の軸に関して前記第1の角度と反対方向であり、前記表面センサの想定位置からのオフセットが、前記第1と第2の測定結果に少なくとも部分的に反する影響を与える、ステップと、
前記第1と第2の測定結果を用いて前記表面センサの前記想定位置からの前記オフセットを設定し、前記オフセットを用いて、前記表面センサによって取得されるその後の測定結果の誤差を補正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記第1と第2の測定結果を取得するステップは、前記表面センサを、前記第2の垂直軸を中心として回転させるステップを含むことを特徴とする請求項19に記載の方法。
- 前記第2の角度は前記第1の角度と略同等であることを特徴とする請求項19または20に記載の方法。
- 表面センサが配備される関節式ヘッドを有し、前記関節式ヘッドは、少なくとも第1および第2の軸を中心とする前記表面センサの回転を与える座標位置決め装置の操作方法であって、
前記表面センサを前記関節式ヘッドの前記第1の軸を中心とする第1の角方向に位置付けて、前記表面センサを直進運動させることによって加工物の第1の測定結果を取得するステップと、
前記表面センサを少なくとも前記第1の軸を中心とする第2の角方向に位置付けるように前記関節式ヘッドを動かして、前記表面センサを直進運動させることによって少なくとも前記加工物の第2の測定結果を取得するステップであって、前記第2の角方向は前記第1の角方向と異なり、前記表面センサの想定位置からのオフセットが、前記第1および少なくとも第2の測定結果に少なくとも部分的に対向する影響を与える、ステップと、
前記第1および少なくとも第2の測定結果を用いて前記表面センサの前記想定位置からの前記オフセットを設定し、前記オフセットを用いて、前記表面センサによって取得されるその後の測定結果の誤差を補正するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記表面センサの前記第1および少なくとも第2の角方向は、前記第1および少なくとも第2の測定結果の取得中に固定されることを特徴とする請求項22に記載の方法。
- 少なくとも第1および第2の軸を中心として回転自在な表面センサと、前記座標位置決め装置のモータに駆動信号を送って前記表面センサの運動を制御するコントローラと、を備え、
前記コントローラは、前記座標位置決め装置を制御するように構成されて、請求項1から23のいずれかに記載の方法を実行することを特徴とする座標位置決め装置。 - 少なくとも第1の軸を中心として回転自在な表面センサを有する測定システムのコントローラによって実行されたときに、前記測定システムに請求項1から23のいずれかに記載の方法を実行させる命令を含むことを特徴とするコンピュータプログラムコード。
- 請求項25に記載のコンピュータプログラムコードが記録されていることを特徴とするコンピュータ読取可能媒体。
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