JP2018031754A - 三次元測定装置及び座標補正方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理装置400は、制限手段240により測定子306を制限した状態において、駆動機構220により測定プローブ300を移動させた際に、測定プローブ300の移動量M及びプローブ出力Pをそれぞれ取得する座標取得部406と、座標取得部406の出力に基づいて、測定プローブ300の移動量Mに対するプローブ出力Pの線形座標成分及び非線形座標成分を補正する線形補正要素及び非線形補正要素で構成される補正行列AAを生成する行列生成部408と、補正行列AAを用いてプローブ出力Pを補正するプローブ出力補正部410と、を有し、座標取得部406は、線形補正要素の数と非線形補正要素の数の合計数以上の測定点で測定プローブ300の移動量M及びプローブ出力Pをそれぞれ取得する。
【選択図】図2
Description
110…操作手段
111…ジョイスティック
120…入力手段
130…出力手段
200…三次元測定装置本体
210…定盤
220…駆動機構
221…ビーム支持体
222…ビーム
223…コラム
224…スピンドル
225…X軸駆動機構
226…Y軸駆動機構
227…Z軸駆動機構
228…X軸スケールセンサ
229…Y軸スケールセンサ
230…Z軸スケールセンサ
240、250、260、270、280…制限手段
242A、242B、262…押圧部材
244A、244B…板状部材
246A、246B、256A、256B…柱状部
246AA、246BA、256AA、256BA、266A…接触部
248…ベース部材
264…支持部材
266…当接部材
272、282…凹部
274、284…接触面
300…測定プローブ
302…プローブ本体
304…スタイラス
306…測定子
310…プローブセンサ
312…X軸プローブセンサ
314…Y軸プローブセンサ
316…Z軸プローブセンサ
400…処理装置
402…指令部
404…駆動機構制御部
406…座標取得部
408…行列生成部
410…プローブ出力補正部
412…形状座標演算部
414…記憶部
500…モーションコントローラ
600…ホストコンピュータ
A、AA…補正行列
B…離間方向
D…駆動制御信号
G…接近方向
H…押圧部材の対向方向
I、J…柱状部の軸の方向
M、Mn…移動量
P、Pn…プローブ出力
Pb…基準位置
PM…変換出力
PX…頂点
RT…正四面体
W…被測定物
X…形状座標
本願の請求項9に係る発明は、前記測定子の並進変位を制限する工程を、前記プローブ出力が0となる基準位置において行うようにしたものである。
本願の請求項10に係る発明は、前記測定子の並進変位を制限する工程では、更に、前記測定子の中心を回転中心とする回転変位を制限しないようにしたものである。
Claims (8)
- 被測定物に接触する測定子を有するスタイラスを移動可能に支持し、該測定子の変位に従うプローブ出力を行う測定プローブと、該測定プローブを前記被測定物に対して相対的に移動させる駆動機構と、該プローブ出力と該駆動機構による該測定プローブの移動量とから前記被測定物の形状座標を演算する処理装置と、を備える三次元測定装置において、
前記測定子の並進変位を制限する制限手段を備え、
前記処理装置は、
前記制限手段により該測定子を制限した状態において、前記駆動機構により前記測定プローブを移動させた際に、前記測定プローブの移動量及び前記プローブ出力をそれぞれ取得する座標取得部と、
該座標取得部の出力に基づいて、前記測定プローブの移動量に対する前記プローブ出力の線形座標成分及び非線形座標成分を補正する線形補正要素及び非線形補正要素で構成される補正行列を生成する行列生成部と、
該補正行列を用いて前記プローブ出力を補正するプローブ出力補正部と、を有し、
前記座標取得部は、前記線形補正要素の数と前記非線形補正要素の数の合計数以上の測定点で前記測定プローブの移動量及び前記プローブ出力をそれぞれ取得することを特徴とする三次元測定装置。 - 請求項1において、
前記座標取得部は、前記プローブ出力が0となる基準位置で前記制限手段により前記測定子を制限した状態において、前記測定点における前記基準位置からの前記測定プローブの移動量及び前記プローブ出力とをそれぞれ取得することを特徴とする三次元測定装置。 - 請求項1または2において、
前記制限手段は、更に、前記測定子の中心を回転中心とする回転変位を制限しない構成とされていることを特徴とする三次元測定装置。 - 請求項3において、
前記制限手段は、前記測定子に内接する正四面体の4つの頂点の位置で該測定子に接触する接触部を備えることを特徴とする三次元測定装置。 - 請求項4において、
前記制限手段は、
前記測定子を挟んで対向して配設され該測定子を押圧する2つの押圧部材を備え、
該2つの押圧部材の測定子側にはそれぞれ、前記2つの押圧部材の対向する方向と直交する方向に軸を有する平行な2つの柱状部が設けられ、
一方の前記押圧部材における前記柱状部と他方の前記押圧部材における前記柱状部の軸の方向は互いに直交するように設けられ、該柱状部それぞれに、前記接触部が設けられていることを特徴とする三次元測定装置。 - 請求項5において、
前記柱状部は、円柱状に形成され、軸回りに回転可能とされていることを特徴とする三次元測定装置。 - 請求項4において、
前記測定子の中心に向かって該測定子を押圧する4つの押圧部材を備え、
該押圧部材はそれぞれ、前記接触部を備える球形状の当接部材と、該当接部材を回転可能に支持する支持部材と、を備えることを特徴とする三次元測定装置。 - 被測定物に接触する測定子を有するスタイラスを移動可能に支持し、該測定子の変位に従うプローブ出力を行う測定プローブと、該測定プローブを前記被測定物に対して相対的に移動させる駆動機構と、該プローブ出力と該駆動機構による該測定プローブの移動量とから前記被測定物の形状座標を演算する処理装置と、を備える三次元測定装置の座標補正方法において、
前記測定子の並進変位を制限する工程と、
前記駆動機構により前記測定プローブを移動させた際に、前記測定プローブの移動量及び前記プローブ出力をそれぞれ取得する工程と、
前記測定プローブの移動量に対する前記プローブ出力の線形座標成分及び非線形座標成分を補正する線形補正要素及び非線形補正要素で構成される補正行列を、前記線形補正要素の数と前記非線形補正要素の数の合計数以上取得した前記測定プローブの移動量及び前記プローブ出力を用いて生成する工程と、
該補正行列を用いて前記プローブ出力を補正する工程と、
を含むことを特徴とする座標補正方法。
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