JP6448242B2 - 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置 - Google Patents
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Description
1.図11に示すように、スタイラス12の軸に垂直な方向から倣いプローブ10の先端球14を、例えばPZTでなる変位発生機構Dに接触させて、所定量だけ押し込む。また、変位発生機構Dの変位を測定するための変位センサEを配置する。
図13(A)の倣いプローブの物理モデルを考えると、図13(B)のようになる。ここで、10aはプローブ本体である。
C…弧
S…被測定物搭載部
1…三次元(座標)測定機
2…コラム
3…移動テーブル
8…スライダ
10…倣いプローブ
11…先端球変位検出部
12…スタイラス
14…先端球
18…XYZ軸駆動制御部
19b…スケール部
19bx…X軸スケール部
19by…Y軸スケール部
19bz…Z軸スケール部
20…コンピュータ
211…記憶部
212…演算部
212a、212g…補正用フィルタ
212b、212c…乗算器
212d、212e…加算器
212f…ノイズ除去用フィルタ
Claims (8)
- スタイラスの一端に設けられた被測定物に接触する先端球により倣い測定を行う倣いプローブを備えた形状測定装置において、
前記倣いプローブの前記先端球の変位を先端球変位検出部により検出し、
前記被測定物と前記倣いプローブを相対的に移動させる移動機構の変位を検出し、
前記被測定物に対する前記先端球の接触方向と前記スタイラスの軸方向とのなす角度を算出し、
前記角度に基づいて、前記先端球から前記先端球変位検出部までの周波数伝達特性の影響により生じる誤差を含む、前記先端球変位検出部により検出された前記先端球の変位を補正した値を補正値として出力し、
前記補正値と前記移動機構の変位とを加算して測定値を算出することを特徴とする、形状測定装置の測定誤差の補正方法。 - 前記角度に基づいて前記先端球変位検出部により検出された前記先端球の変位を補正した値を補正値として出力する際に、
前記角度の正弦値を算出し、
前記先端球から前記先端球変位検出部までの周波数伝達特性の逆特性に基づいて前記先端球変位検出部により検出された前記先端球の変位を補正し、
補正された前記変位に前記正弦値を乗算した値と、1から前記正弦値を減算した値に前記先端球の変位を乗算した値を加算して、前記補正値として出力することを特徴とする、請求項1に記載の形状測定装置の測定誤差の補正方法。 - 前記周波数伝達特性の逆特性が、推定値であることを特徴とする、請求項2に記載の形状測定装置の測定誤差の補正方法。
- 前記補正された前記変位又は前記測定値から不要の周波数成分を除去するためのフィルタ処理を行うことを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の形状測定装置の測定誤差の補正方法。
- スタイラスの一端に設けられた被測定物に接触する先端球により倣い測定を行う倣いプローブを備えた形状測定装置において、
前記倣いプローブの前記先端球の変位を検出する先端球変位検出部と、
前記被測定物と前記倣いプローブを相対的に移動させる移動機構の変位を検出するスケール部と、
前記被測定物に対する前記先端球の接触方向と前記スタイラスの軸方向とのなす角度を算出する手段と、
前記角度に基づいて、前記先端球から前記先端球変位検出部までの周波数伝達特性の影響により生じる誤差を含む、前記先端球変位検出部により検出された前記先端球の変位を補正した値を補正値として出力する手段と、
前記補正値と前記スケール部により検出された前記移動機構の変位とを加算して測定値を算出する手段と、
を備えたことを特徴とする形状測定装置。 - 前記角度に基づいて前記先端球変位検出部により検出された前記先端球の変位を補正した値を補正値として出力する手段が、
前記角度の正弦値を算出し、
前記先端球から前記先端球変位検出部までの周波数伝達特性の逆特性に基づいて前記先端球変位検出部により検出された前記先端球の変位を補正し、
補正された前記変位に前記正弦値を乗算した値と、1から前記正弦値を減算した値に前記先端球の変位を乗算した値を加算して、前記補正値として出力する手段であることを特徴とする、請求項5に記載の形状測定装置。 - 前記周波数伝達特性の逆特性が、推定値であることを特徴とする、請求項6に記載の形状測定装置。
- 前記補正された前記変位又は前記測定値から不要の周波数成分を除去するためのフィルタ処理を行うフィルタを備えたことを特徴とする、請求項5乃至7のいずれかに記載の形状測定装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014148333A JP6448242B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置 |
US14/732,056 US9683839B2 (en) | 2014-07-18 | 2015-06-05 | Method of correcting measurement error of shape measuring apparatus, and shape measuring apparatus |
EP15174304.4A EP2975359B1 (en) | 2014-07-18 | 2015-06-29 | Method of correcting measurement error of shape measuring apparatus, and shape measuring apparatus |
CN201510425447.8A CN105277148B (zh) | 2014-07-18 | 2015-07-17 | 形状测定装置的测定误差的校正方法以及形状测定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014148333A JP6448242B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016024051A JP2016024051A (ja) | 2016-02-08 |
JP6448242B2 true JP6448242B2 (ja) | 2019-01-09 |
Family
ID=53491390
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014148333A Active JP6448242B2 (ja) | 2014-07-18 | 2014-07-18 | 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9683839B2 (ja) |
EP (1) | EP2975359B1 (ja) |
JP (1) | JP6448242B2 (ja) |
CN (1) | CN105277148B (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012205599A1 (de) * | 2012-04-04 | 2013-10-10 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Reduzieren von Fehlern einer Drehvorrichtung bei der Bestimmung von Koordinaten eines Werkstücks oder bei der Bearbeitung eines Werkstücks |
JP6219141B2 (ja) * | 2013-11-27 | 2017-10-25 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定方法 |
JP2015203567A (ja) * | 2014-04-10 | 2015-11-16 | オークマ株式会社 | 計測システム |
JP6393156B2 (ja) * | 2014-11-06 | 2018-09-19 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
JP6630535B2 (ja) * | 2015-10-22 | 2020-01-15 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の制御方法 |
WO2017138409A1 (ja) | 2016-02-10 | 2017-08-17 | 株式会社リコー | 情報表示装置 |
EP3474268A4 (en) * | 2016-06-20 | 2019-11-13 | Kyocera Corporation | DISPLAY APPARATUS, DISPLAY SYSTEM, MOBILE BODY, AND DISPLAY METHOD |
JP2018031754A (ja) | 2016-08-26 | 2018-03-01 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定装置及び座標補正方法 |
JP6295299B2 (ja) | 2016-08-26 | 2018-03-14 | 株式会社ミツトヨ | 座標補正方法及び三次元測定装置 |
JP6341962B2 (ja) | 2016-08-26 | 2018-06-13 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定装置及び座標補正方法 |
EP3502611B1 (en) * | 2017-12-21 | 2023-08-16 | Hexagon Technology Center GmbH | Machine geometry monitoring |
JP7065724B2 (ja) | 2018-07-31 | 2022-05-12 | 株式会社ミツトヨ | 測定制御装置及びプログラム |
JP6738883B2 (ja) * | 2018-11-28 | 2020-08-12 | 株式会社ミツトヨ | プローブユニット及び測定システム |
JP7478073B2 (ja) * | 2020-10-02 | 2024-05-02 | 株式会社ミツトヨ | 誤差特定装置、誤差特定方法及びプログラム |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US4603487A (en) * | 1985-11-22 | 1986-08-05 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method of compensating a profiling direction of a profiling machine |
GB0016533D0 (en) * | 2000-07-06 | 2000-08-23 | Renishaw Plc | Method of and apparatus for correction of coordinate measurement errors due to vibrations in coordinate measuring machines (cmms) |
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JP4705792B2 (ja) * | 2005-03-17 | 2011-06-22 | 株式会社ミツトヨ | 軸間角度補正方法 |
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JP6030339B2 (ja) * | 2012-05-17 | 2016-11-24 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置 |
JP6154605B2 (ja) | 2012-09-04 | 2017-06-28 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
JP6114010B2 (ja) | 2012-11-14 | 2017-04-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
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JP6254451B2 (ja) * | 2014-02-19 | 2017-12-27 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
JP6393156B2 (ja) * | 2014-11-06 | 2018-09-19 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
-
2014
- 2014-07-18 JP JP2014148333A patent/JP6448242B2/ja active Active
-
2015
- 2015-06-05 US US14/732,056 patent/US9683839B2/en active Active
- 2015-06-29 EP EP15174304.4A patent/EP2975359B1/en active Active
- 2015-07-17 CN CN201510425447.8A patent/CN105277148B/zh active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN105277148A (zh) | 2016-01-27 |
US20160018218A1 (en) | 2016-01-21 |
US9683839B2 (en) | 2017-06-20 |
EP2975359A1 (en) | 2016-01-20 |
CN105277148B (zh) | 2019-08-06 |
JP2016024051A (ja) | 2016-02-08 |
EP2975359B1 (en) | 2020-04-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170607 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180411 |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Written amendment |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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