JP6295299B2 - 座標補正方法及び三次元測定装置 - Google Patents
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Description
本願の請求項11に係る発明は、前記記憶部で、前記第2処理装置で処理された結果として、前記前段補正行列を格納するようにしたものである。
110、110PR…操作手段
111、111PR…ジョイスティック
120、120PR…入力手段
130、130PR…出力手段
200、200PR…三次元測定装置本体
210、210PR…定盤
220、220PR…駆動機構
221、221PR…ビーム支持体
222、222PR…ビーム
223、223PR…コラム
224、224PR…スピンドル
225、225PR…X軸駆動機構
226、226PR…Y軸駆動機構
227、227PR…Z軸駆動機構
228、228PR…X軸スケールセンサ
229、229PR…Y軸スケールセンサ
230、230PR…Z軸スケールセンサ
240…校正基準体(制限手段)
240PR、270PR…制限手段
242A、242B…押圧部材
244A、244B…板状部材
246A、246B…柱状部
246AA、246BA…接触部
248PR…ベース部材
272PR…凹部
274PR…接触面
300、300PR…測定プローブ
302…プローブ本体
304、304PR…スタイラス
306、306PR…測定子
310…プローブセンサ
312…X軸プローブセンサ
314…Y軸プローブセンサ
316…Z軸プローブセンサ
400、400PR…処理装置
402、402PR…指令部
404、404PR…駆動機構制御部
404A…押込駆動機構制御部
404B…倣い駆動機構制御部
406、406PR…座標取得部
408、408PR…行列生成部
410、410PR…プローブ出力補正部
412、412PR…形状座標演算部
414、414PR…記憶部
500、500PR…モーションコントローラ
600、600PR…ホストコンピュータ
A…補正行列
AA…前段補正行列
ALE、BLE、ELE…線形補正要素
ANLE、DNLE、ENLE…非線形補正要素
BB…中間補正行列
CC…前段線形補正行列
D、Dpr…駆動制御信号
DD…前段中間補正行列
EE…後段補正行列
M、Mn、Mpr…移動量
M1〜M11…測定
O…軸方向
P、Pn、Ppr…プローブ出力
Pb…基準位置
PM…変換出力
W…被測定物
XX…形状座標
Claims (13)
- 被測定物に接触する第1測定子を有する第1スタイラスと、該第1スタイラスを移動可能に支持し、該第1測定子の変位に従う第1プローブ出力を行うプローブ本体と、を備える第1測定プローブと、該第1測定プローブを前記被測定物に対して相対的に移動させる第1駆動機構と、該第1プローブ出力と該第1駆動機構による該第1測定プローブの第1移動量とから前記被測定物の形状座標を演算する第1処理装置と、を備える第1の三次元測定装置の座標補正方法において、
前段補正工程として、
第2測定子を有する第2スタイラスを移動可能に支持する前記プローブ本体を備える第2測定プローブを相対的に移動させる第2駆動機構と、前記第2測定子の変位に従う第2プローブ出力と該第2駆動機構による該第2測定プローブの第2移動量とから、該第2移動量に対する該第2プローブ出力を補正可能な前段補正行列を求める第2処理装置と、を備える第2の三次元測定装置の前記第2駆動機構に前記第2測定プローブを配置する工程と、
前記第2測定子の並進変位を制限する工程と、
前記第2駆動機構により前記第2測定プローブを移動させた際に、前記第2移動量及び前記第2プローブ出力をそれぞれ取得する工程と、
前記第2プローブ出力の線形座標成分及び非線形座標成分を補正する第2線形補正要素及び第2非線形補正要素で構成される前記前段補正行列を、該第2線形補正要素の数と該第2非線形補正要素の数の合計数以上取得した前記第2移動量及び前記第2プローブ出力を用いて生成する工程と、
を含み、
後段補正工程として、
前記第1駆動機構に前記第1測定プローブを配置する工程と、
前記第1測定子の並進変位を制限する工程と、
前記第1駆動機構により前記第1測定プローブを移動させた際に、前記第1移動量及び前記第1プローブ出力をそれぞれ取得する工程と、
該第1プローブ出力の線形座標成分を補正する第1線形補正要素で構成される中間補正行列を、前記第1移動量及び前記第1プローブ出力を用いて生成する工程と、
該中間補正行列と前記前段補正行列とに基づき生成された後段補正行列で前記第1プローブ出力を補正する工程と、
を含むことを特徴とする座標補正方法。 - 請求項1において、
前記前段補正工程として、前記第2線形補正要素のみで構成される前段線形補正行列の逆行列を前記前段補正行列に乗算して前段中間補正行列を生成する工程を含み、
前記後段補正工程として、前記前段中間補正行列を用いて前記後段補正行列を生成する工程を含む
ことを特徴とする座標補正方法。 - 請求項2において、
前記中間補正行列と前記前段補正行列とに基づき生成された後段補正行列で前記第1プローブ出力を補正する工程は、前記中間補正行列を前記前段中間補正行列に乗算して前記後段補正行列を生成する工程を含むことを特徴とする座標補正方法。 - 請求項2において、
前記前段補正工程として、更に、
前記第2測定プローブの異なる形態数に対応して該第2測定プローブの形態を変更し、前記第2駆動機構に該第2測定プローブを配置する工程から前記前段補正行列を生成する工程までを繰り返す工程と、
複数の該前段補正行列に基づいて、前記第2線形補正要素または該第2測定プローブの形態と前記前段中間補正行列の非線形補正要素との間の相関関係を生成する工程と、
を含み、
前記中間補正行列と前記前段補正行列とに基づき生成された後段補正行列で前記第1プローブ出力を補正する工程は、
前記相関関係を用いて、前記第2線形補正要素の代わりに前記第1線形補正要素、または前記第2測定プローブの形態の代わりに前記第1測定プローブの形態に対応する前記前段中間補正行列の非線形補正要素を求める工程と、
前記第1線形補正要素と該前段中間補正行列の非線形補正要素とで前記後段補正行列を生成する工程と、
を含むことを特徴とする座標補正方法。 - 請求項4において、
前記第2測定プローブの異なる形態数は前記第2スタイラスの異なる形態数に基づき、且つ前記第1測定プローブの形態は前記第1スタイラスの形態に基づくことを特徴とする座標補正方法。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記第2測定子の並進変位を制限する工程は、該第2測定子の変位が0となる基準位置で該第2測定子の並進変位を制限し、且つ該第2測定子の中心位置を回転中心とする回転変位を制限しない工程とされ、
前記第2駆動機構により前記第2測定プローブを移動させた際に、前記第2移動量及び前記第2プローブ出力をそれぞれ取得する工程は、測定点における前記基準位置からの前記第2測定プローブの第2移動量及び前記第2プローブ出力をそれぞれ取得する工程とされていることを特徴とする座標補正方法。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記第1測定子の並進変位を制限する工程は、校正基準体に該第1測定子を接触させる工程であり、
前記第1駆動機構により前記第1測定プローブを移動させた際に、前記第1移動量及び前記第1プローブ出力をそれぞれ取得する工程は、
前記校正基準体の表面に対する法線方向において前記第1測定子を該表面に1点で接触させ所定の変位量で押し込み後に、該第1測定子を逆向きに移動させ、該表面から離間させる押込駆動工程と、
一定の押込量により前記第1測定子で前記校正基準体を押圧した状態として該校正基準体の表面を往復移動させる倣い駆動工程と、を含むことを特徴とする座標補正方法。 - 請求項7において、
前記校正基準体の表面に対する法線方向は、互いに直交する3方向とそのうちの2方向について測定力が互いに逆向きとなる2方向を合わせた合計5方向とされ、それぞれの方向において前記押込駆動工程がなされることを特徴とする座標補正方法。 - 請求項7または8において、
前記倣い駆動工程における前記第1測定子の一定の押込量は、互いに直交する3平面上それぞれで行われることを特徴とする座標補正方法。 - 被測定物に接触する第1測定子を有する第1スタイラスと、該第1スタイラスを移動可能に支持し、該第1測定子の変位に従う第1プローブ出力を行うプローブ本体と、を備える第1測定プローブと、該第1測定プローブを前記被測定物に対して相対的に移動させる第1駆動機構と、該第1プローブ出力と該第1駆動機構による該第1測定プローブの第1移動量とから前記被測定物の形状座標を演算する第1処理装置と、を備える第1の三次元測定装置において、
前記第1測定子の並進変位を制限する制限手段を備え、
前記第1処理装置は、
第2測定子を有する第2スタイラスを移動可能に支持する前記プローブ本体を備える第2測定プローブを相対的に移動させる第2駆動機構と、前記第2測定子の変位に従う第2プローブ出力と該第2駆動機構による該第2測定プローブの第2移動量とから、該第2移動量に対する該第2プローブ出力の線形座標成分及び非線形座標成分を補正する第2線形補正要素及び第2非線形補正要素で構成される前段補正行列を生成する第2処理装置と、を備える第2の三次元測定装置の該第2処理装置で処理された結果を格納する記憶部と、
前記第1駆動機構により前記第1測定プローブを移動させた際に、前記第1移動量及び前記第1プローブ出力をそれぞれ取得する座標取得部と、
該第1プローブ出力の線形座標成分を補正する第1線形補正要素で構成される中間補正行列を、前記第1移動量及び前記第1プローブ出力を用いて生成する行列生成部と、
該中間補正行列と前記前段補正行列とに基づき生成された後段補正行列で前記第1プローブ出力を補正するプローブ出力補正部と、
を備えることを特徴とする第1の三次元測定装置。 - 請求項10において、
前記記憶部は、前記第2処理装置で処理された結果として、前記前段補正行列を格納することを特徴とする第1の三次元座標測定装置。 - 請求項10において、
前記第2処理装置は、更に、前記第2線形補正要素のみで構成される前段線形補正行列の逆行列を、前記前段補正行列に乗算して前段中間補正行列を生成し、
前記記憶部は、前記第2処理装置で処理された結果として、前記前段中間補正行列を格納し、
前記行列生成部は、更に、前記中間補正行列を前記前段中間補正行列に乗算して前記後段補正行列を生成することを特徴とする第1の三次元測定装置。 - 請求項10において、
前記第1処理装置は、更に、前記第2線形補正要素のみで構成される前段線形補正行列の逆行列を、前記前段補正行列に乗算して前段中間補正行列を生成し、
前記記憶部は、前記第2処理装置で処理された結果として、前記第2測定プローブの異なる形態数に対応する複数の前記前段補正行列に基づいて生成された前記第2線形補正要素または該第2測定プローブの形態と前記前段中間補正行列の非線形補正要素との間の相関関係を格納し、
前記行列生成部は、更に、前記相関関係を用いて、前記第2線形補正要素の代わりに前記第1線形補正要素、または前記第2測定プローブの形態の代わりに前記第1測定プローブの形態に対応する前記前段中間補正行列の非線形補正要素を求め、前記第1線形補正要素と該前段中間補正行列の非線形補正要素とで前記後段補正行列を生成することを特徴とする第1の三次元測定装置。
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Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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EP3470777B1 (en) * | 2017-10-10 | 2021-09-29 | Hexagon Technology Center GmbH | System, method and computer program product for determining a state of a tool positioning machine |
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US11326865B2 (en) | 2020-04-28 | 2022-05-10 | Mitutoyo Corporation | Rotating chromatic range sensor system with calibration objects and method |
US11187521B2 (en) | 2020-04-28 | 2021-11-30 | Mitutoyo Corporation | Rotating chromatic range sensor system with calibration object and method |
US11635291B2 (en) | 2021-04-30 | 2023-04-25 | Mitutoyo Corporation | Workpiece holder for utilization in metrology system for measuring workpiece in different orientations |
Family Cites Families (45)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4945501A (en) * | 1987-01-20 | 1990-07-31 | The Warner & Swasey Company | Method for determining position within the measuring volume of a coordinate measuring machine and the like and system therefor |
GB8906287D0 (en) | 1989-03-18 | 1989-05-04 | Renishaw Plc | Probe calibration |
DE4325602C1 (de) | 1993-07-30 | 1994-09-29 | Leitz Mestechnik Gmbh | Verfahren zum taktilen Vermessen von Werkstücken |
JPH085361A (ja) * | 1993-12-22 | 1996-01-12 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 座標測定機における測定対象の幾何形状設定方法及びその装置 |
JP3620891B2 (ja) * | 1995-05-12 | 2005-02-16 | Hoya株式会社 | 薄膜評価装置および薄膜評価方法 |
JP3474448B2 (ja) * | 1998-09-01 | 2003-12-08 | 株式会社リコー | 座標軸直角度誤差の校正方法及び三次元形状測定装置 |
GB9823228D0 (en) * | 1998-10-24 | 1998-12-16 | Renishaw Plc | Method of calibrating analogue probes |
US6781600B2 (en) * | 2000-04-14 | 2004-08-24 | Picsel Technologies Limited | Shape processor |
GB0106245D0 (en) * | 2001-03-14 | 2001-05-02 | Renishaw Plc | Calibration of an analogue probe |
JP2004108959A (ja) | 2002-09-19 | 2004-04-08 | Ricoh Co Ltd | 形状測定装置 |
GB0228371D0 (en) | 2002-12-05 | 2003-01-08 | Leland E C E | Workpiece inspection method |
GB0309662D0 (en) * | 2003-04-28 | 2003-06-04 | Crampton Stephen | Robot CMM arm |
JP4695374B2 (ja) * | 2003-11-25 | 2011-06-08 | 株式会社ミツトヨ | 表面倣い測定装置および倣いプローブの補正テーブル作成方法 |
JP4675047B2 (ja) * | 2004-02-02 | 2011-04-20 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機の測定座標補正方法及び三次元測定システム |
GB0508402D0 (en) * | 2005-04-26 | 2005-06-01 | Renishaw Plc | Probe calibration |
JP5658863B2 (ja) * | 2005-04-26 | 2015-01-28 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | プローブの較正 |
JP4923441B2 (ja) | 2005-05-26 | 2012-04-25 | 株式会社ジェイテクト | 形状測定器 |
SE531462C2 (sv) | 2005-11-17 | 2009-04-14 | Hexagon Metrology Ab | Inställningsanordning för ett mäthuvud |
JP2007183184A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-07-19 | Mitsutoyo Corp | 倣いプローブの校正方法 |
GB0608235D0 (en) * | 2006-04-26 | 2006-06-07 | Renishaw Plc | Differential calibration |
JP5189806B2 (ja) * | 2006-09-07 | 2013-04-24 | 株式会社ミツトヨ | 表面形状測定装置 |
WO2009024756A1 (en) * | 2007-08-17 | 2009-02-26 | Renishaw Plc | Non-contact measurement apparatus and method |
DE102007051054A1 (de) * | 2007-10-19 | 2009-04-30 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Korrigieren der Messwerte eines Koordinatenmessgeräts und Koordinatenmessgerät |
DE102007057093A1 (de) | 2007-11-20 | 2009-05-28 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Kalibrieren eines Koordinatenmessgerätes |
DE102008049751A1 (de) | 2008-10-01 | 2010-04-08 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Vermessen eines Werkstücks, Kalibrierverfahren sowie Koordinatenmessgerät |
JP5297787B2 (ja) * | 2008-12-18 | 2013-09-25 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
JP5297818B2 (ja) * | 2009-01-06 | 2013-09-25 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
CN102116609B (zh) * | 2009-12-30 | 2013-12-11 | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 | 探针验证系统及方法 |
KR101162432B1 (ko) * | 2010-03-12 | 2012-07-04 | 경북대학교 산학협력단 | 다축 제어 기계의 오차 보정 방법 |
DE102011053117B4 (de) | 2010-09-06 | 2023-02-23 | Hexagon Metrology Gmbh | Verfahren zum Kalibrieren eines Taststiftes eines Koordinatenmessgerätes sowie zur Korrektur von Messergebnissen |
JP5823191B2 (ja) * | 2011-07-05 | 2015-11-25 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機 |
ES2559187T3 (es) | 2011-07-06 | 2016-02-10 | Hexagon Metrology S.P.A. | Método de calibración de un modelo matemático para una máquina de medición de coordenadas para la compensación de errores dinámicos debidos a la deformación |
JP6154605B2 (ja) | 2012-09-04 | 2017-06-28 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
JP6114010B2 (ja) | 2012-11-14 | 2017-04-12 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
EP2735843A1 (en) * | 2012-11-21 | 2014-05-28 | Hexagon Technology Center GmbH | Measuring machine and method for automated measurement of an object |
JP2014108959A (ja) * | 2012-12-04 | 2014-06-12 | Fancl Corp | コウバクニクジュヨウエキスを有効成分とするTNF−α産生調節剤 |
EP2887011B1 (de) * | 2013-12-20 | 2017-02-08 | Hexagon Technology Center GmbH | Koordinatenmessmaschine mit hochpräziser 3D-Druckfunktionalität |
JP6254451B2 (ja) | 2014-02-19 | 2017-12-27 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置及び形状測定誤差の補正方法 |
JP6254456B2 (ja) * | 2014-02-21 | 2017-12-27 | 株式会社ミツトヨ | 三次元測定機及び三次元測定機による補正行列算出方法 |
JP6448242B2 (ja) | 2014-07-18 | 2019-01-09 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置の測定誤差の補正方法及び形状測定装置 |
JP6393156B2 (ja) | 2014-11-06 | 2018-09-19 | 株式会社ミツトヨ | 形状測定装置、及び形状測定方法 |
US9557157B2 (en) * | 2014-12-01 | 2017-01-31 | Steven Eugene Ihlenfeldt | Inertial dimensional metrology |
DE102016102579A1 (de) * | 2016-02-15 | 2017-08-17 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren und Vorrichtung zum Bestimmen einer Vielzahl von Raumkoordinaten an einem Gegenstand |
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