JP2019158385A - 測定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】移動体の変形に起因してプローブが変位しても高精度に測定値を取得する測定装置を提供する。【解決手段】三次元測定装置１は、ワークを測定するプローブ４０と、プローブ４０を支持した状態で、駆動部３２からの駆動力を受けて移動する移動体２１と、プローブ４０が移動体２１の移動に伴いワークを測定する際の移動体２１の位置を検出する位置検出部８４３と、移動体２１に設けられた検出センサ５０の検出結果に基づいて、移動体２１が移動する際の移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位を取得する変位取得部８４４と、位置検出部８４３によって検出された移動体２１の位置と、変位取得部８４４によって取得されたプローブ４０の変位とに基づいて、ワークの測定値を取得する測定値取得部８４５とを備える。【選択図】図１

Description

本発明は、プローブで被測定物を測定する測定装置に関する。

測定装置として、例えば直交する三軸方向にプローブを移動させて、被測定物の座標等を測定する三次元測定装置が利用されている（特許文献１参照）。この測定装置においては、プローブは、三軸方向に移動可能な移動体に支持されている。そして、測定装置は、例えばプローブが被測定物に接触する際の移動体の位置を検出することで、被測定物の座標等を測定している。

特開２０１２−２７１５号公報

上記の移動体は、モータ等の駆動源からの駆動力を受けて移動するが、移動する際に変形することがある。例えば、プローブによる倣い測定のために移動体が移動する際に、駆動力を受けて移動体が加速することに起因して移動体が弾性変形することがある。そして、移動体が変形すると、移動体に支持されたプローブの位置も変位してしまい、測定値（被測定物の座標等）に誤差が生じてしまう。

そこで、本発明はこれらの点に鑑みてなされたものであり、移動体の変形に起因してプローブが変位しても高精度に測定値を取得することを目的とする。

本発明の一の態様においては、被測定物を測定するプローブと、前記プローブを支持した状態で、駆動源からの駆動力を受けて移動する移動体と、前記プローブが前記移動体の移動に伴い前記被測定物を測定する際の前記移動体の位置を検出する位置検出部と、前記移動体に設けられた検出センサの検出結果に基づいて、前記移動体が移動する際の前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位を取得する変位取得部と、前記位置検出部によって検出された前記移動体の位置と、前記変位取得部によって取得された前記プローブの変位とに基づいて、前記被測定物の測定値を取得する測定値取得部と、を備える、測定装置を提供する。

また、前記測定装置は、前記検出センサとして、前記プローブを支持する支持部に設けられ、前記移動体が移動する際の前記支持部の加速度を検出する加速度センサを備え、前記変位取得部は、前記加速度センサによって検出された加速度に基づいて、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位量を取得することとしてもよい。

また、前記変位取得部は、前記加速度センサによって検出された加速度を積分することで、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位量を取得することとしてもよい。

また、前記変位取得部は、前記支持部の加速度と前記プローブの変位との対応関係を示す対応情報と、前記加速度センサによって検出された加速度とに基づいて、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位量を取得することとしてもよい。

また、前記移動体は、互いに直交する方向に移動する複数の移動部材で構成され、前記加速度センサは、前記複数の移動部材のうちの前記プローブを支持する一の移動部材の前記支持部に設けられていることとしてもよい。

また、前記移動体は、互いに直交する方向に移動する複数の移動部材で構成され、前記加速度センサは、前記複数の移動部材の各々に設けられており、前記変位取得部は、各移動部材の変形に伴う前記プローブの変位を取得することとしてもよい。

また、前記測定装置は、前記検出センサとして、前記移動体が移動する際の前記移動体の変形量を検出する変形量検出センサを備え、前記変位取得部は、前記変形量検出センサによって検出された変形量に基づいて、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位を取得することとしてもよい。

また、前記移動体は、直交三軸方向に移動するために複数の移動部材で構成され、前記変形量検出センサは、前記複数の移動部材のうちの前記駆動源側の移動部材に設けられていることとしてもよい。

また、前記変位取得部は、前記移動体の変形量と前記プローブの変位との対応関係を示す対応情報と、前記変形量検出センサによって検出された変形量とに基づいて、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位を取得することとしてもよい。

また、前記測定装置は、前記検出センサとして、前記プローブを支持する支持部に設けられ、前記支持部の位置を検出する位置検出センサを備え、前記変位取得部は、前記位置検出センサの検出結果に基づいて、前記プローブの変位を取得することとしてもよい。

本発明によれば、移動体の変形に起因してプローブが変位しても高精度に測定値を取得できるという効果を奏する。

本発明の一の実施形態に係る三次元測定装置１の概略構成を示すブロック図である。 測定機本体２の構成の一例を説明するための斜視図である。 移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位の形態を説明するための模式図である。 移動体２１に設けられた加速度センサ５０Ａを説明するための模式図である。 第１変形例を説明するための模式図である。 第２変形例を説明するための模式図である。 三次元測定装置１の構成の変形例を示すブロック図である。

＜三次元測定装置の構成＞
本発明の一の実施形態に係る三次元測定装置の構成について、図１及び図２を参照しながら説明する。

図１は、一の実施形態に係る三次元測定装置１の概略構成を示すブロック図である。図２は、測定機本体２の構成の一例を説明するための斜視図である。三次元測定装置１は、図１に示すように、測定機本体２と、モーションコントローラ７と、ホストコンピュータ８とを有する。

測定機本体２は、図１及び図２に示すように、ベース１０と、移動機構２０と、駆動機構３０と、プローブ４０と、検出センサ５０とを有する。測定機本体２は、図１に示すようにベース１０上に載置されたワークＷを、移動機構２０によって移動するプローブ４０によって測定する。

ベース１０は、図２に示すように、矩形板状に形成されている。ベース１０は、被測定物であるワークＷが載置される載置面１１を有する。ベース１０のＸ軸方向の一端側には、Ｙ軸方向に沿ったガイド部１２が設けられている。ガイド部１２は、移動機構２０（具体的には、移動機構２０のコラム２２）のＹ軸方向への移動をガイドする。

移動機構２０は、プローブ４０を支持した状態で測定空間内を移動させる機構である。移動機構２０は、測定空間内で直交三軸（Ｘ軸、Ｙ軸及びＺ軸）方向に移動する移動体２１（図１）を含む。移動体２１は、図２に示すように、ベース１０上を跨ぐように門型に設けられている。移動体２１は、直交三軸方向に移動するための複数の移動部材で構成されている。具体的には、移動体２１は、コラム２２、ビーム２３、スライダ２４、ラム２５及び支柱２６で構成されている。

コラム２２は、ガイド部１２上に立設されている。コラム２２は、駆動機構３０の駆動部３２（図１）によって、ガイド部１２上をＹ軸方向に沿って移動可能である。移動体２１は、測定を開始する際に、コラム２２を駆動させる駆動部３２によって加速される。

ビーム２３は、Ｘ軸方向に延びるように設けられている。ビーム２３の長手方向の一端側は、コラム２２に支持されており、ビーム２３の長手方向の他端側は、支柱２６に支持されている。ビーム２３は、コラム２２と共にＹ軸方向に移動する。

スライダ２４は、ビーム２３に移動可能に支持されており、Ｚ軸方向に沿って筒状に形成されている。スライダ２４は、駆動部３２によって、ビーム２３上をＸ軸方向に沿って移動可能である。

ラム２５は、スライダ２４の内部に挿通されており、スライダ２４と共にＸ軸方向に移動する。また、ラム２５は、駆動部３２によって、スライダ２４内をＺ軸方向に沿って移動可能である。

駆動機構３０は、移動体２１を駆動して、プローブ４０をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に移動させる。駆動機構３０は、図１に示すように、駆動部３２と、スケールセンサ３４とを有する。

駆動部３２は、例えばモータ等の駆動源を有し、移動体２１のコラム２２、ビーム２３、スライダ２４及びラム２５を移動させる。なお、駆動部３２は、Ｘ軸駆動部、Ｙ軸駆動部及びＺ軸駆動部を含み、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向に独立して移動させることができる。

スケールセンサ３４は、駆動機構３０によって駆動された移動機構２０のＸ、Ｙ、Ｚ軸方向の移動量（移動後の位置）を検出するセンサである。スケールセンサ３４は、例えばリニアエンコーダであり、物差しとなる目盛りであるスケールと、目盛りから位置情報を取得する検出器とを含む。

プローブ４０は、ベース１０に載置されたワークＷを測定するための測定子である。例えば、プローブ４０は、ワークＷに接触しながら移動することで、ワークＷの三次元位置を倣い測定する。プローブ４０は、例えばワークＷへの接触を検出可能なプローブセンサ４２を有する。

検出センサ５０は、移動体２１の変形量（例えば、プローブ４０を支持するラム２５の変形量）を検出するためのセンサである。詳細は後述するが、検出センサ５０は、測定開始時に駆動部３２から駆動力を受けて移動体２１が加速する際に発生する移動体２１の変形量を検出する。検出センサ５０は、例えば移動体２１に設けられている。

モーションコントローラ７は、測定機本体２の駆動制御を実行する。モーションコントローラ７は、図１に示すように、駆動制御部７２と、カウンタ部７４とを有する。
駆動制御部７２は、ホストコンピュータ８からの指令を受けて、駆動機構３０の駆動部３２の駆動制御を実行する。

カウンタ部７４は、スケールセンサ３４やプローブセンサ４２から出力されるパルス信号を計数する。カウンタ部７４は、スケールカウンタ７４２と、プローブカウンタ７４４とを有する。

スケールカウンタ７４２は、スケールセンサ３４から出力されるパルス信号をカウントして、移動体２１のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向における位置（以下、スケール位置とも呼ぶ）を計測する。スケールカウンタ７４２は、計測したスケール位置をホストコンピュータ８に出力する。

プローブカウンタ７４４は、プローブセンサ４２から出力されるパルス信号をカウントして、プローブ４０のＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸方向における位置（以下、プローブ位置とも呼ぶ）を計測する。プローブカウンタ７４４は、計測したプローブ位置をホストコンピュータ８に出力する。

ホストコンピュータ８は、モーションコントローラ７に指令を与えると共に、ワークＷの形状解析等の演算処理を実行する。ホストコンピュータ８は、図１に示すように、記憶部８２と、制御部８４とを有する。

記憶部８２は、制御部８４が実行するためのプログラムや各種データを記憶する。
制御部８４は、記憶部８２に記憶されたプログラムを実行することにより、測定機本体２の動作を制御する。制御部８４は、移動指令部８４２、位置検出部８４３、変位取得部８４４、及び測定値取得部８４５として機能する。

移動指令部８４２は、駆動制御部７２に指令を与えて、移動機構２０の移動体２１（すなわち、コラム２２、ビーム２３、スライダ２４及びラム２５）をＸ、Ｙ、Ｚ軸方向に移動させる。

位置検出部８４３は、移動体２１のＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸方向における移動後の位置（すなわち、スケール位置）を検出する。例えば、位置検出部８４３は、スケールカウンタ７４２の計測結果から、スケール位置を検出する。

変位取得部８４４は、移動体２１が移動する際の移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位を取得する。移動体２１は、駆動部３２からの駆動力を受けて加速しながら移動するが、移動体２１が加速することに起因して、移動体２１が弾性変形することがある。そして、移動体２１の弾性変形に伴い、プローブ４０（具体的には、当該プローブ４０のワークＷに接触する先端位置４０ａ）も変位してしまう。変位取得部８４４は、このようなプローブ４０の変位を取得する。

図３は、移動体２１の変形に伴う先端位置４０ａの変位を説明するための模式図である。図３では、便宜上、プローブ４０の先端位置４０ａのみが示され、プローブ４０の他の部分は省略されている。また、図３（ａ）には変形前の移動体２１が示され、図３（ｂ）には変形後の移動体２１が示されている。
ここでは、移動体２１のラム２５が、駆動部３２からの駆動力を受けて移動体２１が加速する際に、図３（ａ）に示す状態から図３（ｂ）に示す状態に弾性変形している（撓んでいる）。ラム２５の撓み量は、移動体２１の加速度に比例して大きくなる。そして、ラム２５の撓みに連動して、ラム２５に支持されたプローブ４０の先端位置４０ａの位置も、図３（ａ）に示す位置から図３（ｂ）に位置に変位してしまう。このようにプローブ４０の先端位置４０ａが変位してしまうと、ワークＷの測定値に誤差が生じることがある。なお、上記では、ラム２５の変形に起因したプローブ４０の先端位置４０ａの変位について説明したが、これに限定されず、コラム２２、ビーム２３、スライダ２４の変形に起因してプローブ４０の先端位置４０ａが変位しうる。

変位取得部８４４は、移動体２１に設けられた検出センサ５０の検出結果に基づいて、プローブ４０の変位を取得する。検出センサ５０として、例えば図４に示す加速度センサ５０Ａが移動体２１に設けられている。

図４は、移動体２１に設けられた加速度センサ５０Ａを説明するための模式図である。加速度センサ５０Ａは、プローブ４０を支持する支持部であるのラム２５に設けられている。具体的には、加速度センサ５０Ａは、ラム２５の先端側に設けられている。加速度センサ５０Ａは、移動体２１の移動時にラム２５が変形する際のラム２５の加速度を検出する。加速度センサ５０Ａは、移動体２１が直交三軸（Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸）に移動する際の各軸方向におけるラム２５の加速度を取得する。これにより、ラム２５の各軸方向における変形量を適切に求めることができる。

変位取得部８４４は、加速度センサ５０Ａによって検出された加速度に基づいて、移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位量を取得する。例えば、変位取得部８４４は、加速度センサ５０Ａによって検出された加速度を積分することで、移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位量を取得する。具体的には、変位取得部８４４は、加速度センサ５０Ａが検出した加速度を２階積分することでラム２５の撓み量を求めることで、プローブ４０の先端位置４０ａの変位量を取得する。また、加速度センサ５０Ａによって検出された実測データを用いてラム２５の撓み量を求めているので、精度が向上する。

変位取得部８４４は、ラム２５の加速度とプローブ４０の変位との対応関係を示す対応情報と、加速度センサ５０Ａによって検出された加速度とに基づいて、移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位量を取得してもよい。上記の対応情報は、構造体である移動体２１の特性モデル（伝達関数）情報であり、例えば記憶部８２（図１）に記憶されている。変位取得部８４４は、特性モデル情報を参照することで、加速度センサ５０Ａによって検出された加速度に対応するプローブ４０の変位量を取得できる。この場合には、加速度を２階積分して移動体２１の撓み量を算出する必要がないので、プローブ４０の変位量を取得しやすくなる。

なお、上記では、加速度センサ５０Ａが、移動体２１のラム２５に設けられていることとしたが、これに限定されない。例えば、加速度センサ５０Ａが、コラム２２、ビーム２３及びラム２５のそれぞれに設けられてもよい。この場合には、複数の加速度センサ５０Ａが、コラム２２、ビーム２３及びラム２５の各々の各軸方向における変形量を適切に検出することになる。変位取得部８４４は、コラム２２、ビーム２３及びラム２５の各々の変形量に基づいて、コラム２２、ビーム２３及びラム２５の変形に起因したプローブ４０の変位量を高精度に取得する。この際、変位取得部８４４は、移動体２１の移動方向を考慮して、コラム２２、ビーム２３及びラム２５の変形量を調整してもよい。

測定値取得部８４５は、移動体２１の位置（スケール位置）とプローブ４０の位置に基づいて、ワークＷの測定値を取得する。測定値取得部８４５は、移動体２１の変形に伴いプローブ４０が変位した際には、プローブ４０の変位量を考慮して測定値を取得する。すなわち、測定値取得部８４５は、位置検出部８４３によって検出された移動体２１の位置と、変位取得部８４４によって取得されたプローブ４０の変位量とに基づいて、ワークＷの測定値を取得する。具体的には、測定値取得部８４５は、位置検出部８４３が検出した移動体２１の位置を、プローブ４０の変位量で補正することで、ワークＷの測定値を取得する。これにより、仮にプローブ４０でワークＷを測定する際に移動体２１が変形しても、測定誤差の発生を抑制できる。

なお、測定誤差を小さくするために、移動体２１の剛性を高めて移動体２１が加速する際の移動体２１の変形を抑制する方策も考えられる。しかし、移動体２１の剛性を高めるためには移動体２１を大型化する必要があるので、移動体２１の重量が増加してしまう。これに対して、上述した本実施形態のようにプローブ４０の変位を考慮してワークＷの測定値を取得する場合には、移動体２１の剛性を高める必要がないので、移動体２１の重量が増加することもない。

上記では、検出センサ５０が図４に示す加速度センサ５０Ａであることとしたが、これに限定されない。例えば、検出センサ５０は、図５に示すような変形量検出センサ５０Ｂや図６に示す位置検出センサ５０Ｃであってもよい。

（第１変形例）
図５は、第１変形例を説明するための模式図である。なお、図５では、説明の便宜上、プローブ４０が省略されている。
第１変形例においては、加速度センサ５０Ａの代わりに、変形量検出センサ５０Ｂが設けられている。変形量検出センサ５０Ｂは、例えばひずみゲージセンサや変位センサであり、移動体２１が移動する際の移動体２１の変形量を検出する。

変形量検出センサ５０Ｂは、図５に示すように、移動体２１においてコラム２２とビーム２３の連結部の周囲に設けられている。移動体２１の移動を開始する際には、コラム２２が、ガイド部１２（図１）に設けられた駆動部３２から駆動力を受けて加速する。このため、変形量検出センサ５０Ｂは、移動体２１を加速させる駆動部３２の近くに設けられていることになる。これにより、駆動部３２の駆動力を受けて移動体２１が加速する際に発生する移動体２１の変形量を適切に求めることができる。

変位取得部８４４（図１）は、変形量検出センサ５０Ｂによって検出された変形量に基づいて、移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位を取得する。この際、変位取得部８４４は、移動体２１の変形量とプローブ４０の変位との対応関係を示す対応情報と、変形量検出センサ５０Ｂによって検出された変形量とに基づいて、移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位を取得する。上記の対応情報は、構造体である移動体２１の特性モデル（伝達関数）情報であり、例えば記憶部８２（図１）に記憶されている。変位取得部８４４は、特性モデル情報を参照することで、変形量検出センサ５０Ｂによって検出された変形量に対応するプローブ４０の変位量を取得できる。

測定値取得部８４５は、位置検出部８４３が検出した移動体２１の位置に対して、変位取得部８４４によって取得されたプローブ４０の変位量で補正することで、ワークＷの測定値を取得する。これにより、仮にプローブ４０でワークＷを測定する際に移動体２１が変形しても、測定誤差の発生を抑制できる。

（第２変形例）
図６は、第２変形例を説明するための模式図である。なお、図６では、説明の便宜上、プローブ４０が省略されている。
第２変形例においては、加速度センサ５０Ａの代わりに、位置検出センサ５０Ｃが設けられている。位置検出センサ５０Ｃは、移動体２１のラム２５に設けられており、ラム２５の位置を検出する。

位置検出センサ５０Ｃは、図６に示すように、移動体２１のラム２５に設けられている。具体的には、位置検出センサ５０Ｃは、ラム２５の先端側（プローブ４０を支持する側）に設けられている。

変位取得部８４４（図１）は、位置検出センサ５０Ｃの検出結果に基づいて、プローブ４０の変位を取得する。例えば、変位取得部８４４は、ラム２５が変形した際には、変形したラム２５の位置（例えば、変形していない際の基準位置からの変位）を検出することで、プローブ４０の変位量を推定する。このように取得したプローブ４０の変位量を用いることで、第１変形例と同様に、仮にプローブ４０でワークＷを測定する際に移動体２１が変形しても、測定誤差の発生を抑制できる。

上記では、ホストコンピュータ８が、位置検出部８４３等として機能する制御部８４を有することとしたが、これに限定されない。例えば、図７に示すように、制御部８４が、モーションコントローラ７に設けられていてもよい。
図７は、三次元測定装置１の構成の変形例を示すブロック図である。図７に示す三次元測定装置１では、モーションコントローラ７が、記憶部８２及び制御部８４を有する。一方で、ホストコンピュータ８は、移動指令部８４２に命令を行う測定指令部８５と、測定値取得部８４５が取得した測定値を処理する測定値処理部８６を有する。また、図７では、プローブカウンタ７４４（図１参照）の代わりに、カウンタを用いずにプローブの位置を検出するプローブ検出部７５が設けられている。

＜本実施形態における効果＞
上述した三次元測定装置１は、移動体２１に設けられた検出センサ５０（例えば、ラム２５に設けられた加速度センサ５０Ａ）の検出結果に基づいて、移動体２１が移動する際の移動体２１の変形に伴うプローブ４０の変位を取得する。そして、三次元測定装置１は、検出された移動体２１の位置（スケール位置）と、取得されたプローブ４０の変位とに基づいて、ワークＷの測定値を取得する。
これにより、検出センサ５０が検出した実測データに基づいて、プローブ４０の変位量を高精度に求めることができる。そして、求めたプローブ４０の変位量を反映してワークＷの測定値を補正するので、測定誤差を抑制できる。特に、検出センサ５０が検出した実測データを用いて、この結果、移動体２１の変形に起因してプローブ４０が変位しても高精度に測定値を取得できる。

上記では、プローブ４０が、ワークＷに接触する接触式のプローブであることとしたが、これに限定されない。例えば、プローブ４０は、レーザやカメラ等の非接触式のプローブであってもよい。

また、上記では、移動機構２０は、直交三軸方向の各軸方向にプローブ４０を移動させることとしたが、これに限定されない。例えば、移動機構２０は、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸のいいずれか１つ又は２つの軸方向にプローブ４０を移動させてもよい。

また、上記では、移動体２１が図２に示すような門型の構造であることとしたが、これに限定されない。移動体２１は、プローブ４０を支持した状態で移動できれば、他の構造であってもよい。

以上、本発明を実施の形態を用いて説明したが、本発明の技術的範囲は上記実施の形態に記載の範囲には限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。例えば、装置の分散・統合の具体的な実施の形態は、以上の実施の形態に限られず、その全部又は一部について、任意の単位で機能的又は物理的に分散・統合して構成することができる。また、複数の実施の形態の任意の組み合わせによって生じる新たな実施の形態も、本発明の実施の形態に含まれる。組み合わせによって生じる新たな実施の形態の効果は、もとの実施の形態の効果を合わせ持つ。

１ 三次元測定装置
２１ 移動体
３２ 駆動部
４０ プローブ
４０ａ 先端位置
５０ 検出センサ
５０Ａ 加速度センサ
５０Ｂ 変形量検出センサ
５０Ｃ 位置検出センサ
８４３ 位置検出部
８４４ 変位取得部
８４５ 測定値取得部
Ｗ ワーク

Claims (10)

1. 被測定物を測定するプローブと、
   前記プローブを支持した状態で、駆動源からの駆動力を受けて移動する移動体と、
   前記プローブが前記移動体の移動に伴い前記被測定物を測定する際の前記移動体の位置を検出する位置検出部と、
   前記移動体に設けられた検出センサの検出結果に基づいて、前記移動体が移動する際の前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位を取得する変位取得部と、
   前記位置検出部によって検出された前記移動体の位置と、前記変位取得部によって取得された前記プローブの変位とに基づいて、前記被測定物の測定値を取得する測定値取得部と、
   を備える、測定装置。
2. 前記検出センサとして、前記プローブを支持する支持部に設けられ、前記移動体が移動する際の前記支持部の加速度を検出する加速度センサを備え、
   前記変位取得部は、前記加速度センサによって検出された加速度に基づいて、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位量を取得する、
   請求項１に記載の測定装置。
3. 前記変位取得部は、前記加速度センサによって検出された加速度を積分することで、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位量を取得する、
   請求項２に記載の測定装置。
4. 前記変位取得部は、前記支持部の加速度と前記プローブの変位との対応関係を示す対応情報と、前記加速度センサによって検出された加速度とに基づいて、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位量を取得する、
   請求項２に記載の測定装置。
5. 前記移動体は、互いに直交する方向に移動する複数の移動部材で構成され、
   前記加速度センサは、前記複数の移動部材のうちの前記プローブを支持する一の移動部材の前記支持部に設けられている、
   請求項２から４のいずれか１項に記載の測定装置。
6. 前記移動体は、互いに直交する方向に移動する複数の移動部材で構成され、
   前記加速度センサは、前記複数の移動部材の各々に設けられており、
   前記変位取得部は、各移動部材の変形に伴う前記プローブの変位を取得する、
   請求項２から４のいずれか１項に記載の測定装置。
7. 前記検出センサとして、前記移動体が移動する際の前記移動体の変形量を検出する変形量検出センサを備え、
   前記変位取得部は、前記変形量検出センサによって検出された変形量に基づいて、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位を取得する、
   請求項１に記載の測定装置。
8. 前記移動体は、直交三軸方向に移動するために複数の移動部材で構成され、
   前記変形量検出センサは、前記複数の移動部材のうちの前記駆動源側の移動部材に設けられている、
   請求項７に記載の測定装置。
9. 前記変位取得部は、前記移動体の変形量と前記プローブの変位との対応関係を示す対応情報と、前記変形量検出センサによって検出された変形量とに基づいて、前記移動体の変形に伴う前記プローブの変位を取得する、
   請求項７又は８に記載の測定装置。
10. 前記検出センサとして、前記プローブを支持する支持部に設けられ、前記支持部の位置を検出する位置検出センサを備え、
    前記変位取得部は、前記位置検出センサの検出結果に基づいて、前記プローブの変位を取得する、
    請求項１に記載の測定装置。
    

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