DE102019001539A1

DE102019001539A1 - Messapparat

Info

Publication number: DE102019001539A1
Application number: DE102019001539.8A
Authority: DE
Inventors: Shingo Kiyotani; Kanae KOBAYASHI; Tomohiro Usui; Tatsuya Terauchi
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2018-03-08
Filing date: 2019-03-05
Publication date: 2019-09-12
Also published as: JP2019158385A; US20190277615A1; CN110243322A

Abstract

Eine Koordinaten-Messmaschine (CMM) 1 beinhaltet einen Fühler 40, welcher ein Werkstück W misst; einen sich bewegenden Körper 21, welcher sich bei einem Erhalten einer Antriebskraft von einem Antriebsteil 32 bewegt, während er den Fühler 40 abstützt; ein Positions-Detektionsteil 843, welches eine Position eines sich bewegenden Körpers 21 detektiert, wenn der Fühler 40 das Werkstück W misst, während sich der sich bewegende Körper 21 bewegt; ein Verlagerungs-Erfassungsteil 844, welches ein Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40, wenn sich der sich bewegende Körper 21 bewegt, auf der Basis eines Detektionsresultats eines Detektionssensors 50 erfasst; und ein Messwert-Erfassungsteil 845, welches einen Messwert des Werkstücks W auf der Basis der Position des sich bewegenden Körpers 21, welche durch das Positions-Detektionsteil 843 detektiert wird, und des Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers 40 erfasst, welches durch das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 erfasst wird.

Description

TECHNISCHES GEBIET
Diese Erfindung bezieht sich auf einen Messapparat für ein Messen eines zu messenden Gegenstands bzw. Objekts mit einem Fühler.
HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Als ein Messapparat wurde eine Koordinaten-Messmaschine (CMM), welche Koordinaten und dgl. eines zu messenden Gegenstands misst bzw. vermisst, indem beispielsweise ein Fühler bzw. eine Sonde in den Richtungen von drei orthogonalen Achsen bewegt wird, verwendet (siehe Japanische nicht geprüfte Patentveröffentlichung Nr. 2012-002715). In diesem Messapparat wird der Fühler durch einen sich bewegenden Körper abgestützt bzw. getragen, welcher sich in den Richtungen von drei orthogonalen Achsen bewegt. Auch misst der Messapparat die Koordinaten und dgl. des zu messenden bzw. zu vermessenden Gegenstands, indem eine Position des sich bewegenden Körpers detektiert wird, wenn der Fühler den zu messenden Gegenstand kontaktiert.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
PROBLEME, WELCHE DURCH DIE ERFINDUNG ZU LÖSEN SIND
Der oben erwähnte, sich bewegende Körper, welcher sich bei bzw. nach einem Erhalten bzw. Empfangen einer antreibenden bzw. Antriebskraft bewegt, kann sich verformen, wenn er sich bewegt. Beispielsweise kann, wenn sich der sich bewegende Körper bewegt, um eine abtastende Messung mit dem Fühler durchzuführen, eine elastische Verformung bzw. Deformation des sich bewegenden Körpers aufgrund einer Beschleunigung des sich bewegenden Körpers auftreten, welche durch ein Empfangen der Antriebskraft bewirkt wird. Wenn der sich bewegende Körper verformt wird, kann sich eine Position des Fühlers, welcher durch den sich bewegenden Körper abgestützt wird, ändern, wodurch ein Fehler in einem Messwert (wie beispielsweise Koordinaten des zu messenden Gegenstands) bewirkt wird.
Die Erfindung ist auf diesen Punkt gerichtet und es ist ein Ziel bzw. Gegenstand der vorliegenden Erfindung, einen Messwert mit einer hohen Genauigkeit zu erhalten, selbst wenn der Fühler aufgrund einer Verformung des sich bewegenden Körpers verlagert bzw. verschoben wird.
MITTEL FÜR EIN LÖSEN DER PROBLEME
Ein Messapparat bzw. -gerät gemäß dem ersten Aspekt der vorliegenden Erfindung beinhaltet: einen Fühler, welcher einen zu messenden Gegenstand misst; einen sich bewegenden Körper, welcher sich bei bzw. nach einem Empfangen einer Antriebskraft von einer Antriebsquelle bewegt, während er den Fühler abstützt bzw. trägt; ein Positions-Detektionsteil, welches eine Position eines sich bewegenden Körpers detektiert, wenn der Fühler den zu messenden Gegenstand misst, während sich der sich bewegende Körper bewegt; ein Verlagerungs-Erfassungsteil, welches ein Ausmaß einer Verlagerung bzw. Verschiebung des Fühlers aufgrund einer Verformung des sich bewegenden Körpers, während sich der sich bewegende Körper bewegt, auf der Basis eines Detektionsresultats eines Detektionssensors erfasst bzw. erhält, welcher in dem sich bewegenden Körper vorgesehen ist; und ein Messwert-Erfassungsteil, welches einen Messwert des zu messenden bzw. zu vermessenden Gegenstands bzw. Objekts auf der Basis der Position des sich bewegenden Körpers, welche durch das Positions-Detektionsteil detektiert wird, und des Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers erfasst, welches durch das Verlagerungs-Erfassungsteil erfasst wird.
Auch kann sich der sich bewegende Körper bei bzw. nach einem Erhalten bzw. Empfangen der antreibenden bzw. Antriebskraft bewegen und beschleunigen, und es kann das Verlagerungs-Erfassungsteil das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers aufgrund der Verformung bzw. Deformation des sich bewegenden Körpers erfassen, wenn sich der sich bewegende Körper bewegt und beschleunigt.
Auch kann der sich bewegende Körper ein stab- bzw. stangenförmiges abstützendes Glied aufweisen, welches den Fühler bzw. die Sonde abstützt, und es kann das Verlagerungs-Erfassungsteil ein Ausmaß bzw. eine Größe einer Verlagerung des Fühlers aufgrund einer Verformung des abstützenden Glieds erfassen, wenn sich das abstützende Glied bewegt und beschleunigt.
Auch kann das abstützende Glied den Fühler an dem ersten Ende davon in einer axialen Richtung abstützen, es kann bei einem Empfangen der Antriebskraft der sich bewegende Körper bewirken, dass sich das abstützende Glied bewegt und beschleunigt, während er das zweite Ende des abstützenden Glieds in der axialen Richtung hält, und es kann das Verlagerungs-Erfassungsteil ein Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers aufgrund einer Ablenkung des abstützenden Glieds erfassen, wenn sich das abstützende Glied bewegt und beschleunigt.
Auch kann das Messwert-Erfassungsteil einen Messwert des zu messenden Gegenstands durch ein Korrigieren der Position des sich bewegenden Körpers, welche durch das Positions-Detektionsteil detektiert wird, durch ein Verwenden des Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers erfassen, welches das Verlagerungs-Erfassungsteil erfasst hat.
Der Messapparat kann weiters einen Beschleunigungssensor beinhalten, welcher als der Detektionssensor dient, welcher eine Beschleunigung des abstützenden Glieds detektiert, wenn sich der sich bewegende Körper bewegt, und auf dem abstützenden Glied vorgesehen ist, welches den Fühler abstützt, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers auf der Basis der Beschleunigung erfassen kann, welche durch den Beschleunigungssensor detektiert wird.
Auch kann das Verlagerungs-Erfassungsteil das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers durch ein Integrieren der Beschleunigung erfassen, welche durch den Beschleunigungssensor detektiert wird.
Auch kann das Verlagerungs-Erfassungsteil das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers auf der Basis von (i) einer Übereinstimmungs- bzw. Entsprechungsinformation, welche einen Übereinstimmungs- bzw. Entsprechungszusammenhang zwischen der Beschleunigung des abstützenden Glieds und dem Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers anzeigt, und (ii) der Beschleunigung erfassen, welche durch den Beschleunigungssensor detektiert wird.
Auch kann der sich bewegende Körper eine Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern enthalten, welche sich in Richtungen normal aufeinander bewegen, und es kann der Beschleunigungssensor auf dem abstützenden Glied von einem der Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern vorgesehen sein, welches den Fühler abstützt.
Auch kann der sich bewegende Körper eine Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern enthalten, welche sich in Richtungen normal aufeinander bewegen, ist der Beschleunigungssensor auf jedem der Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern vorgesehen, und erfasst das Verlagerungs-Erfassungsteil das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers aufgrund einer Verformung von jedem der sich bewegenden Glieder.
Auch kann der Messapparat weiters einen Verformungsausmaß-Detektionssensor beinhalten, welcher als der Detektionssensor dient, welcher ein Ausmaß einer Verformung des sich bewegenden Körpers detektiert, wenn sich der sich bewegende Körper bewegt, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers auf der Basis des Ausmaßes einer Verformung erfassen kann, welches durch den Verformungsausmaß-Detektionssensor detektiert wird.
Auch kann der sich bewegende Körper eine Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern für ein Bewegen in Richtungen von drei orthogonalen Achsen enthalten, wobei der Verformungsausmaß-Detektionssensor auf einem sich bewegenden Glied auf der Seite der Antriebsquelle unter der Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern vorgesehen sein kann.
Auch kann das Verlagerungs-Erfassungsteil das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers auf der Basis von (i) Entsprechungsinformation, welche einen Entsprechungszusammenhang zwischen dem Ausmaß einer Verformung des sich bewegenden Körpers und dem Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers anzeigt, und (ii) des Ausmaßes einer Verformung erfassen, welches durch den Verformungsausmaß-Detektionssensor detektiert wird.
Auch kann der Messapparat weiters einen Positions-Detektionssensor beinhalten, welcher als der Detektionssensor dient, welcher eine Position des abstützenden Glieds detektiert und auf dem abstützenden Glied vorgesehen ist, welches den Fühler abstützt, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers auf der Basis eines Detektionsresultats des Positions-Detektionssensors erfassen kann.
EFFEKT DER ERFINDUNG
Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Effekt eines Erhaltens eines Messwerts mit einer hohen Genauigkeit, selbst wenn ein Fühler bzw. eine Sonde aufgrund einer Deformation bzw. Verformung eines sich bewegenden Körpers verlagert bzw. verschoben wird, erzielt bzw. erlangt.
Figurenliste

1 ist ein Blockdiagramm, welches eine schematische Konfiguration einer Koordinaten-Messmaschine (CMM) 1 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt.
2 ist eine perspektivische Ansicht für ein Illustrieren eines Beispiels einer Konfiguration eines Messmaschinenkörpers 2.
3A und 3B sind jeweils ein schematisches Diagramm für ein Illustrieren eines Verschiebungs- bzw. Verlagerungszustands eines Fühlers 40 aufgrund einer Verformung eines sich bewegenden Körpers 21.
4 ist ein schematisches Diagramm für ein Illustrieren eines Beschleunigungssensors 50A, welcher in dem sich bewegenden Körper 21 vorgesehen ist.
5 ist ein schematisches Diagramm für ein Illustrieren einer Abwandlung 1.
6 ist ein schematisches Diagramm für ein Illustrieren einer Abwandlung 2.
7 ist ein Blockdiagramm, welches ein Abwandlungsbeispiel der Konfiguration der CMM 1 zeigt.

DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
<Konfiguration einer Koordinaten-Messmaschine (CMM)>
Eine Konfiguration einer Koordinaten-Messmaschine (CMM) gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird unter Bezugnahme auf 1 und 2 beschrieben werden.
1 ist ein Blockdiagramm, welches eine schematische Konfiguration der CMM 1 gemäß der ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung zeigt. 2 ist eine perspektivische Ansicht für ein Illustrieren eines Beispiels einer Konfiguration bzw. eines Aufbaus eines Messmaschinenkörpers 2. Die CMM 1 beinhaltet, wie dies in 1 gezeigt ist, den Messmaschinenkörper 2, eine Bewegungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung bzw. einen Bewegungs-Controller 7 und einen Host-Computer 8.
Der Messmaschinenkörper 2 beinhaltet, wie dies in 1 und 2 gezeigt ist, eine Basis 10, einen sich bewegenden Mechanismus 20, einen Antriebsmechanismus 30, einen Fühler bzw. eine Sonde 40 und einen Detektionssensor 50. Der Messmaschinenkörper 2 misst bzw. vermisst ein Werkstück W, welches auf der Basis 10 angeordnet ist, wie dies in 2 gezeigt ist, mit dem Fühler 40, welcher durch den sich bewegenden Mechanismus bzw. Bewegungsmechanismus 20 bewegt wird.
Die Basis 10 ist mit einer Form bzw. Gestalt einer rechteckigen bzw. rechtwinkeligen Platte ausgebildet, wie dies in 2 gezeigt ist. Die Basis 10 weist eine Anordnungsoberfläche 11 auf, auf welcher das Werkstück W, welches der zu messende Gegenstand ist, angeordnet ist bzw. wird. Auf dem ersten Ende der Basis 10 in einer X-Achsen-Richtung ist ein Führungsteil 12 entlang einer Y-Achsen-Richtung vorgesehen. Das Führungsteil 12 führt eine Bewegung des Bewegungsmechanismus 20 (spezifisch einer Säule 22 des Bewegungsmechanismus 20) entlang der Y-Achsen-Richtung.
Der sich bewegende bzw. Bewegungsmechanismus 20 ist ein Mechanismus, welcher den Fühler 40 innerhalb eines Messraums bewegt, während er den Fühler 40 abstützt bzw. trägt. Der Bewegungsmechanismus 20 beinhaltet einen sich bewegenden bzw. Bewegungskörper 21 (1), welcher sich in den Richtungen von drei orthogonalen Achsen (einer X-Achse, einer Y-Achse und einer Z-Achse) innerhalb des Messraums bewegt. Der sich bewegende Körper 21 ist in einer Torform vorgesehen, um die Basis 10 zu übergreifen, wie dies in 2 gezeigt ist. Der sich bewegende Körper 21 beinhaltet eine Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern für ein Bewegen in den Richtungen der drei orthogonalen Achsen. Spezifisch enthält der sich bewegende Körper 21 die Säule 22, einen Träger 23, einen Schieber bzw. eine Gleiteinrichtung 24, einen Stößel bzw. Kolben 25 und einen Steher 26.
Die Säule 22 ist vorgesehen, um auf dem Führungsteil 12 zu stehen. Die Säule 22 ist entlang der Y-Achsen-Richtung auf dem Führungsteil 12 durch ein Antriebsteil 32 (1) des Antriebsmechanismus 30 bewegbar. Wenn eine Messung startet, wird der sich bewegende Körper 21 durch das Antriebsteil 32 beschleunigt, welches die Säule 22 antreibt.
Der Träger bzw. Balken 23 ist vorgesehen, um sich in der X-Achsen-Richtung zu erstrecken. Das erste Ende des Trägers 23 in einer longitudinalen bzw. Längsrichtung wird durch die Säule 22 abgestützt bzw. getragen, und das zweite Ende des Trägers 23 in der Längsrichtung wird durch den Steher 26 abgestützt. Der Träger 23 bewegt sich gemeinsam mit der Säule 22 entlang der Y-Achsen-Richtung.
Der Schieber 24 ist bewegbar durch den Träger 23 abgestützt und ist in einer rohrartigen Form bzw. Gestalt entlang einer Z-Achsen-Richtung ausgebildet. Der Schieber 24 ist entlang der X-Achsen-Richtung auf dem Träger 23 durch das Antriebsteil 32 bewegbar.
Der Stößel 25 ist in das Innere des Schiebers 24 eingesetzt und bewegt sich gemeinsam mit dem Schieber 24 in der X-Achsen-Richtung. Auch ist der Stößel 25 in dem Schieber 24 entlang der Z-Achsen-Richtung durch das Antriebsteil 32 bewegbar. In dieser Ausführungsform entspricht der Stößel 25 einem stab- bzw. stangenartigen abstützenden bzw. Supportglied, welches den Fühler 40 abstützt bzw. trägt. Der Stößel 25 stützt den Fühler 40 an dem ersten Ende des Stößels 25 in einer axialen Richtung ab. Der Stößel 25 ist gemeinsam mit dem Schieber 24 entlang der X-Achsen-Richtung bewegbar, während der Schieber 24 das zweite Ende des Stößels 25 in der axialen Richtung hält. Auch ist der Stößel 25 gemeinsam mit dem Träger 23 entlang der Y-Achsen-Richtung bewegbar.
Der Antriebsmechanismus 30 bewegt den Fühler 40 in der X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung durch ein Antreiben des sich bewegenden Körpers 21. Der Antriebsmechanismus 30 weist, wie dies in 1 gezeigt ist, das Antriebsteil 32 und einen Skalensensor 34 auf.
Das Antriebsteil 32 weist eine antreibende bzw. Antriebsquelle, beispielsweise einen Motor und dgl. auf und bewegt die Säule 22, den Träger 23, den Schieber 24 und den Stößel 25 des sich bewegenden Körpers 21. Es sollte festgehalten bzw. angemerkt werden, dass das Antriebsteil 32 ein X-Achsen-Antriebsteil, ein Y-Achsen-Antriebsteil und ein Z-Achsen-Antriebsteil beinhaltet und den Fühler 40 in der X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung getrennt bewegen kann. Bei bzw. nach einem Erhalten einer Antriebskraft von dem Antriebsteil 32 bewegt sich der sich bewegende Körper 21 und beschleunigt.
Der Skalen- bzw. Maßstabsensor 34 ist ein Sensor, welcher ein Ausmaß einer Bewegung in der X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung (eine Position des sich bewegenden Mechanismus 20, nachdem er bewegt wurde) des sich bewegenden Mechanismus 20 detektiert, welcher durch den Antriebsmechanismus 30 angetrieben wird. Der Skalensensor 34 ist beispielsweise eine lineare Codiereinrichtung und beinhaltet (i) eine Skala bzw. einen Maßstab, welche(r) Graduierungen bzw. Einteilungen enthält und als ein Lineal * dient, und (ii) einen Detektor, welcher Positionsinformation von den Einteilungen erhält bzw. erfasst.
Der Fühler 40 ist ein Fühler für ein Messen bzw. Vermessen des Werkstücks W, welches auf der Basis 10 angeordnet ist. Beispielsweise führt der Fühler 40 eine abtastende bzw. Scan-Messung einer 3D Position des Werkstücks W durch ein Bewegen durch, während er das Werkstück W kontaktiert. Der Fühler 40 weist einen Fühlersensor 42 auf, welcher beispielsweise einen Kontakt mit dem Werkstück W detektieren kann.
Der Detektionssensor 50 ist ein Sensor, welcher ein Ausmaß einer Deformation bzw. Verformung des sich bewegenden Körpers 21 (beispielsweise ein Ausmaß einer Verformung des Stößels 25, welcher den Fühler 40 abstützt) detektiert. Der Detektionssensor 50 detektiert, wie dies unten im Detail beschrieben werden wird, das Ausmaß einer Verformung des sich bewegenden Körpers 21, welches auftreten würde, wenn der sich bewegende Körper 21 bei bzw. nach einem Erhalten der Antriebskraft von dem Antriebsteil 32 bei dem Start einer Messung beschleunigt. Der Detektionssensor 50 ist beispielsweise in dem sich bewegenden Körper 21 vorgesehen.
Die Bewegungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 7 führt eine Antriebsregelung bzw. -steuerung des Messmaschinenkörpers 2 durch. Die Bewegungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 7 weist, wie dies in 1 gezeigt ist, ein Antriebs-Regel- bzw. -Steuerteil 72 und ein Zählteil 74 auf. Bei bzw. nach einem Erhalten eines Befehls von dem Host-Computer 8 führt das Antriebs-Regel- bzw. -Steuerteil 72 eine Antriebsregelung bzw. -steuerung des Antriebsteils 32 des Antriebsmechanismus 30 durch.
Das Zählteil 74 zählt Pulssignale, welche von dem Skalensensor 34 und dem Fühlersensor 42 ausgegeben werden. Das Zählteil 74 weist eine Skalen-Zähleinrichtung 742 und eine Fühler-Zähleinrichtung 744 auf.
Die Skalen-Zähleinrichtung 742 zählt die Pulssignale, welche von dem Skalensensor 34 ausgegeben werden, und misst eine Position des sich bewegenden Körpers 21 in der X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung (nachfolgend auch als eine Skalenposition bezeichnet). Die Skalen-Zähleinrichtung 742 gibt die gemessene Skalenposition an den Host-Computer 8 aus.
Die Fühler-Zähleinrichtung 744 zählt die Pulssignale, welche von dem Fühlersensor 42 ausgegeben werden, und misst eine Position des Fühlers 40 in der X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung (nachfolgend auch als eine Fühlerposition bezeichnet). Die Fühler-Zähleinrichtung 744 gibt die gemessene Fühlerposition an den Host-Computer 8 aus.
Der Host-Computer 8 ist ein bearbeitender bzw. Bearbeitungsapparat, welcher Befehle an die Bewegungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 7 gibt und Berechnungen, wie beispielsweise Formanalysen des Werkstücks W durchführt. Der Host-Computer 8 weist beispielsweise ein Speicherteil 82 und ein Regel- bzw. Steuerteil 84 auf, wie dies in 1 gezeigt ist.
Das Speicherteil 82 speichert Programme, um durch das Regel- bzw. Steuerteil 84 ausgeführt zu werden, und verschiedene Arten von Daten. Das Regel- bzw. Steuerteil 84 regelt bzw. steuert einen Betrieb des Messmaschinenkörpers 2 durch ein Ausführen eines Programms, welches in dem Speicherteil 82 gespeichert ist. Das Regel- bzw. Steuerteil 84 fungiert als ein Bewegungs-Befehlsteil 842, ein Positions-Detektionsteil 843, ein Verlagerungs-Erfassungsteil 844 und ein Messwert-Erfassungsteil 845.
Das Bewegungs-Befehlsteil 842 gibt einen Befehl an das Antriebs-Regel- bzw. -Steuerteil 72 aus und bewegt den sich bewegenden Körper 21 (z.B. die Säule 22, den Träger 23, den Schieber 24 und den Stößel 25) des Bewegungsmechanismus 20 entlang der X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung.
Das Positions-Detektionsteil 843 detektiert eine Position nach der Bewegung (d.h. die Skalenposition) des sich bewegenden Körpers 21 in der X-Achsen-, Y-Achsen- und Z-Achsen-Richtung. Beispielsweise detektiert das Positions-Detektionsteil 843 die Skalenposition aus einem Messresultat der Skalen-Zähleinrichtung 742.
Das Verschiebungs- bzw. Verlagerungs-Erfassungsteil 844 erfasst bzw. erhält ein Ausmaß bzw. eine Größe einer Verschiebung bzw. Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund einer Verformung des sich bewegenden Körpers 21, wenn sich der sich bewegende Körper 21 bewegt. Bei bzw. nach einem Erhalten der Antriebskraft von dem Antriebsteil 32 bewegt sich der sich bewegende Körper 21 und beschleunigt und es kann sich der sich bewegende Körper 21 elastisch aufgrund der Beschleunigung des sich bewegenden Körpers 21 verformen. Aufgrund der elastischen Verformung des sich bewegenden Körpers 21 würde der Fühler 40 (spezifisch eine Spitzenposition 40a des Fühlers 40, welche das Werkstück W kontaktiert) verlagert bzw. verschoben werden. Im Hinblick darauf bzw. unter Berücksichtigung desselben erfasst das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21, wenn sich der sich bewegende Körper 21 bewegt und beschleunigt, da bzw. wenn er die Antriebskraft erhält. Beispielsweise erfasst das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 ein Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund einer Verformung (spezifisch Ablenkung) des Stößels 25, wenn sich der Stößel 25 des sich bewegenden Körpers 21 bewegt und beschleunigt.
3A und 3B sind jeweils ein schematisches Diagramm für ein Illustrieren einer Verlagerung der Spitzenposition 40a aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21. In 3A und 3B ist, als ein Gegenstand einer Vereinfachung bzw. Erleichterung, nur die Spitzenposition 40a des Fühlers 40 gezeigt und andere Abschnitte des Fühlers 40 sind weggelassen. Auch zeigt 3A den sich bewegenden Körper 21 vor einer Verformung und es zeigt 3B den sich bewegenden Körper 21 nach einer Verformung. Hier ist bzw. wird, wenn der sich bewegende Körper 21 bei bzw. nach einem Erhalten der Antriebskraft von dem Antriebsteil 32 beschleunigt, der Stößel 25 des sich bewegenden Körpers 21 elastisch von einem Zustand, welcher in 3A gezeigt ist, zu einem Zustand verformt (abgelenkt), welcher in 3B gezeigt ist. Ein Ausmaß bzw. eine Größe einer Ablenkung des Stößels 25 nimmt proportional zu der Beschleunigung des sich bewegenden Körpers 21 zu. Eine Position der Spitzenposition 40a des Fühlers 40, welcher mit dem Stößel 25 abgestützt wird, würde auch in Übereinstimmung mit der Ablenkung des Stößels 25 von der Position, welche in 3A gezeigt ist, zu der Position verschoben bzw. verlagert werden, welche in 3B gezeigt ist. Wenn die Spitzenposition 40a des Fühlers 40 in einer derartigen Weise verlagert wird, können Fehler in Messwerten des Werkstücks W auftreten. Es sollte festgehalten werden, dass die Erläuterung der Verlagerung der Spitzenposition 40a des Fühlers 40 aufgrund der Verformung des Stößels 25 oben gegeben bzw. zur Verfügung gestellt wurde, wobei jedoch die Ausführungsform nicht darauf beschränkt bzw. begrenzt ist. Die Spitzenposition 40a des Fühlers 40 kann aufgrund einer Verformung der Säule 22, des Trägers 23 oder des Schiebers 24 verlagert werden.
Das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 erfasst das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 auf der Basis eines Detektionsresultats des Detektionssensors 50, welcher in dem sich bewegenden Körper 21 vorgesehen ist. Als der Detektionssensor 50 ist bzw. wird ein Beschleunigungssensor 50A in dem sich bewegenden Körper 21 vorgesehen, wie dies in 4 gezeigt ist.
4 ist ein schematisches Diagramm für ein Illustrieren des Beschleunigungssensors 50A, welcher in dem sich bewegenden Körper 21 vorgesehen ist. Der Beschleunigungssensor 50A ist auf dem Stößel 25 vorgesehen, welcher ein abstützendes Glied ist, welches den Fühler 40 abstützt. Spezifisch ist der Beschleunigungssensor 50A an einer Spitzenseite des Stößels 25 vorgesehen. Der Beschleunigungssensor 50A detektiert die Beschleunigung des Stößels 25, wenn sich der Stößel 25 deformiert bzw. verformt, wenn sich der sich bewegende Körper 21 bewegt. Der Beschleunigungssensor 50A erhält bzw. erfasst die Beschleunigung des Stößels 25 in jeder axialen Richtung, wenn sich der sich bewegende Körper 21 in den Richtungen der drei orthogonalen Achsen (der X-Achse, der Y-Achse und der Z-Achse) bewegt. Auf diese Weise kann das Ausmaß einer Verformung des Stößels 25 in jeder axialen Richtung genau erhalten werden.
Das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 erfasst das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21 auf der Basis der Beschleunigung, welche durch den Beschleunigungssensor 50A detektiert wird. Beispielsweise erfasst das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21 durch ein Integrieren der Beschleunigung, welche durch den Beschleunigungssensor 50A detektiert wird. Spezifisch erfasst das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 das Ausmaß einer Verlagerung der Spitzenposition 40a des Fühlers 40 durch ein Erhalten des Ausmaßes einer Ablenkung des Stößels 25 durch ein Integrieren zweiter Ordnung der Beschleunigung, welche durch den Beschleunigungssensor 50A detektiert wird. Auch wird, da das Ausmaß einer Ablenkung des Stößels 25 durch ein Verwenden von gemessenen Daten erhalten wird, welche durch den Beschleunigungssensor 50A detektiert werden, die Genauigkeit verbessert.
Das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 kann das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21 auf der Basis von (i) Übereinstimmungs- bzw. Entsprechungsinformation, welche einen Übereinstimmungs- bzw. Entsprechungszusammenhang zwischen der Beschleunigung des Stößels 25 und dem Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 anzeigt, und (ii) der Beschleunigung erhalten bzw. erfassen, welche durch den Beschleunigungssensor 50A detektiert bzw. festgestellt wird. Die oben erwähnte Entsprechungsinformation ist eine Information eines charakteristischen Modells (Transferfunktion) des sich bewegenden Körpers 21, welcher eine Struktur ist. Die Entsprechungsinformation ist bzw. wird beispielsweise in dem Speicherteil 82 gespeichert (1). Durch eine Bezugnahme auf die Information des charakteristischen Modells bzw. die charakteristische Modellinformation kann das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 entsprechend der Beschleunigung erfassen bzw. erhalten, welche durch den Beschleunigungssensor 50A detektiert wird. In diesem Fall ist es einfacher, das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 zu erfassen, da es keine Notwendigkeit gibt, ein Ausmaß einer Ablenkung des sich bewegenden Körpers 21 durch ein Integrieren zweiter Ordnung der Beschleunigung zu berechnen.
Es sollte festgehalten bzw. angemerkt werden, dass in der obigen Beschreibung der Beschleunigungssensor 50A an dem Stößel 25 vorgesehen bzw. zur Verfügung gestellt wurde, wobei jedoch die Ausführungsform nicht darauf beschränkt bzw. begrenzt ist. Beispielsweise kann der Beschleunigungssensor 50A auf jedem der Säule 22, des Trägers 23 und des Stößels 25 vorgesehen sein. In diesem Fall detektiert eine Mehrzahl der Beschleunigungssensoren 50A entsprechend bzw. geeignet die jeweiligen Ausmaße einer Verformung in jeder axialen Richtung der Säule 22, des Trägers 23 und des Stößels 25. Das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 erfasst mit einer hohen Genauigkeit das Ausmaß einer Verformung des Fühlers 40 aufgrund der Verformungen der Säule 22, des Trägers 23 und des Stößels 25 auf der Basis der jeweiligen Ausmaße einer Verformung der Säule 22, des Trägers 23 und des Stößels 25. Das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 kann die Ausmaße bzw. Größen einer Verformung der Säule 22, des Trägers 23 und des Stößels 25 einstellen, indem eine Bewegungsrichtung des sich bewegenden Körpers 21 berücksichtigt bzw. in Betracht gezogen wird.
Das Messwert-Erfassungsteil 845 erfasst einen Messwert des Werkstücks W auf der Basis der Position des sich bewegenden Körpers 21 (Skalenposition) und der Position des Fühlers 40. Wenn der Fühler 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21 verlagert wird, erfasst das Messwert-Erfassungsteil 845 den Messwert, wobei das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 berücksichtigt wird. D.h., das Messwert-Erfassungsteil 845 erfasst den Messwert des Werkstücks W auf der Basis der Position des sich bewegenden Körpers 21, welche durch das Positions-Detektionsteil 843 detektiert wird, und des Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers 40, welches durch das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 detektiert wird. Spezifisch erfasst das Messwert-Erfassungsteil 845 den Messwert des Werkstücks W durch ein Korrigieren der Position des sich bewegenden Körpers 21, welche durch das Positions-Detektionsteil 843 detektiert wird, durch ein Verwenden des Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers 40, welches das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 erfasst hat. Auf diese Weise kann, selbst wenn sich der sich bewegende Körper 21 bei einem Messen des Werkstücks W mit dem Fühler 40 verformt, das Auftreten eines Messfehlers unterdrückt werden.
Es sollte festgehalten werden, dass, um den Messfehler zu reduzieren, ein Erhöhen einer Steifigkeit bzw. Starrheit des sich bewegenden Körpers 21 als eine Maßnahme in Betracht gezogen bzw. geplant werden kann, um die Verformung des sich bewegenden Körpers 21 zu unterdrücken, wenn er beschleunigt. Wenn die Starrheit des sich bewegenden Körpers 21 zu erhöhen ist, würde ein Vergrößern des sich bewegenden Körpers 21 unvermeidbar sein, und dies würde schließlich in einem Gewichtsanstieg des sich bewegenden Körpers 21 resultieren. Demgegenüber würde, wenn der Messwert des Werkstücks W erfasst wird, während das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 wie in der oben beschriebenen vorliegenden Ausführungsform in Betracht gezogen bzw. berücksichtigt wird, das Gewicht des sich bewegenden Körpers 21 nicht ansteigen, da keine Notwendigkeit besteht, die Starrheit des sich bewegenden Körpers 21 zu erhöhen.
In der obigen Beschreibung diente der Detektionssensor 50 als der Beschleunigungssensor 50A, welcher in 4 gezeigt ist, wobei jedoch die Ausführungsform nicht darauf beschränkt ist. Beispielsweise kann der Detektionssensor 50 ein Verformungsausmaß-Detektionssensor 50B, welcher in 5 gezeigt ist, oder ein Positions-Detektionssensor 50C sein, welcher in 6 gezeigt ist.
(Abwandlung 1)
5 ist ein schematisches Diagramm für ein Illustrieren einer Abwandlung bzw. Variation 1. Es sollte festgehalten werden, dass als ein Gegenstand einer Vereinfachung der Fühler 40 in 5 weggelassen ist. In der Abwandlung 1 ist bzw. wird der Verformungsausmaß-Detektionssensor 50B anstelle des Beschleunigungssensors 50A vorgesehen bzw. zur Verfügung gestellt. Der Verformungsausmaß-Detektionssensor 50B ist beispielsweise ein Dehnungsmessstreifensensor oder ein Verlagerungssensor und detektiert das Ausmaß einer Verformung des sich bewegenden Körpers 21, wenn er sich bewegt.
Der Verformungsausmaß-Detektionssensor 50B ist auf der Säule 22 des sich bewegenden Körpers 21 (spezifisch um ein verbindendes bzw. Verbindungsteil der Säule 22 und des Trägers 23) vorgesehen, wie dies in 5 gezeigt ist. Wenn der sich bewegende Körper 21 ein Bewegen startet, beschleunigt die Säule 22 bei bzw. nach einem Erhalten der Antriebskraft von dem Antriebsteil 32, welches in dem Führungsteil 12 vorgesehen ist (2). Aus diesem Grund kann erwogen bzw. in Betracht gezogen werden, dass der Verformungsausmaß-Detektionssensor 50B nahe dem Antriebsteil 32 vorgesehen wird, welches den sich bewegenden Körper 21 beschleunigt. Auf diese Weise kann das Ausmaß einer Verformung des sich bewegenden Körpers 21, welches auftreten würde, wenn der sich bewegende Körper 21 bei bzw. nach einem Erhalten der Antriebskraft von dem Antriebsteil 32 beschleunigt, genau erfasst werden.
Das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 (1) erfasst ein Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21 auf der Basis des Ausmaßes einer Verformung, welches durch den Verformungsausmaß-Detektionssensor 50B detektiert wird. Das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 erfasst das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21 auf der Basis von (i) Entsprechungsinformation, welche einen Entsprechungszusammenhang zwischen dem Ausmaß einer Verformung des sich bewegenden Körpers 21 und dem Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 anzeigt, und (ii) des Ausmaßes einer Verformung, welches durch den Verformungsausmaß-Detektionssensor 50B detektiert wird. Die oben erwähnte Korrespondenz- bzw. Entsprechungsinformation ist eine Information eines charakteristischen Modells (Transferfunktion) des sich bewegenden Körpers 21, welcher eine Struktur ist. Die Übereinstimmungs- bzw. Entsprechungsinformation ist bzw. wird beispielsweise in dem Speicherteil 82 gespeichert (1). Durch eine Bezugnahme auf die Information des charakteristischen Modells bzw. die charakteristische Modellinformation kann das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 entsprechend dem Ausmaß einer Verformung erfassen, welches durch den Verformungsausmaß-Detektionssensor 50B detektiert wird.
Das Messwert-Erfassungsteil 845 erfasst einen Messwert des Werkstücks W durch ein Korrigieren der Position des sich bewegenden Körpers 21, welche durch das Positions-Detektionsteil 843 detektiert wird, mit dem bzw. um das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40, welches durch das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 erfasst wird. Auf diese Weise kann, selbst wenn sich der sich bewegende Körper 21 bei einem Messen des Werkstücks W mit dem Fühler 40 verformt, das Auftreten eines Messfehlers unterdrückt werden.
(Abwandlung 2)
6 ist ein schematisches Diagramm für ein Illustrieren einer Abwandlung bzw. Variation 2. Es sollte festgehalten werden, dass als ein Gegenstand einer Vereinfachung der Fühler 40 in 6 weggelassen ist. In der Abwandlung 2 ist bzw. wird der Positions-Detektionssensor 50C anstelle des Beschleunigungssensors 50A vorgesehen. Der Positions-Detektionssensor 50C ist auf dem Stößel 25 des sich bewegenden Körpers 21 vorgesehen und detektiert eine Position des Stößels 25.
Der Positions-Detektionssensor 50C ist auf bzw. an dem Stößel 25 des sich bewegenden Körpers 21 vorgesehen, wie dies in 6 gezeigt ist. Spezifisch ist der Positions-Detektionssensor 50C an der Spitzenseite (der Seite, welche den Fühler 40 abstützt bzw. trägt) des Stößels 25 vorgesehen.
Das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 (1) erfasst das Ausmaß einer Verlagerung bzw. Verschiebung des Fühlers 40 auf der Basis eines Detektionsresultats des Positions-Detektionssensors 50C. Beispielsweise beurteilt, wenn der Stößel 25 verformt ist bzw. wird, das Verlagerungs-Erfassungsteil 844 das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 durch ein Detektieren einer Position des verformten Stößels 25 (beispielsweise eine Verlagerung von einer Referenz- bzw. Bezugsposition des Stößels vor der Verformung). Durch ein Verwenden des Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers 40, welches auf diese Weise erhalten wird, kann das Auftreten eines Messfehlers unterdrückt werden, selbst wenn sich der sich bewegende Körper 21 bei einem Messen des Werkstücks W mit dem Fühler 40 verformt.
In der obigen Beschreibung weist der Host-Computer 8 das Regel- bzw. Steuerteil 84 auf, welches als das Positions-Detektionsteil 843 und dgl. fungiert, wobei jedoch die Ausführungsform nicht darauf beschränkt bzw. begrenzt ist. Beispielsweise kann, wie dies in 7 gezeigt ist, das Regel- bzw. Steuerteil 84 in der Bewegungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 7 vorgesehen sein. 7 ist ein Blockdiagramm, welches ein Abwandlungsbeispiel der Konfiguration der CMM 1 zeigt. In der CMM 1, welche in 7 gezeigt ist, weist die Bewegungs-Regel- bzw. -Steuereinrichtung 7 das Speicherteil 82 und das Regel- bzw. Steuerteil 84 auf. Demgegenüber weist der Host-Computer 8 ein Messungs-Befehlsteil 85, welches einen Befehl an das Bewegungs-Befehlsteil 842 gibt, und ein Messwert-Bearbeitungsteil 86 auf, welches den Messwert be- bzw. verarbeitet, welcher durch das Messwert-Erfassungsteil 845 erfasst bzw. erhalten wird. Auch ist anstelle der Fühler-Zähleinrichtung 744 (siehe 1) ein Fühler-Detektionsteil 75, welches die Position des Fühlers 40 detektiert, ohne ein Verwenden einer jeglichen Zähleinrichtung in 7 vorgesehen.
<Effekte der vorliegenden Ausführungsform>
Die oben erwähnte CMM 1 erfasst das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund der Deformation bzw. Verformung (beispielsweise der Ablenkung des Stößels, wenn sich der Stößel bzw. Stempel 25 bewegt und beschleunigt) des sich bewegenden Körpers 21, wenn sich der sich bewegende Körper 21 bewegt, auf der Basis des Detektionsresultats des Detektionssensors 50 (beispielsweise des Beschleunigungssensors 50A, welcher an dem Stößel 25 vorgesehen ist), welcher in dem sich bewegenden Körper 21 vorgesehen ist. Dann erfasst die CMM 1 den Messwert des Werkstücks W auf der Basis der detektierten Position des sich bewegenden Körpers 21 (Skalenposition) und des erfassten Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers 40. Auf diese Weise kann das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21 mit einer hohen Genauigkeit auf der Basis von gemessenen Daten erhalten werden, welche durch den Detektionssensor 50 detektiert werden. Auch kann das Auftreten eines Messfehlers unterdrückt werden, da der Messwert des Werkstücks W durch ein Reflektieren bzw. Wiedergeben des erhaltenen Verlagerungsausmaßes des Fühlers 40 korrigiert wird. Insbesondere kann, durch ein Verwenden der gemessenen Daten, welche durch den Detektionssensor 50 detektiert werden, der Messwert mit einer hohen Genauigkeit erhalten bzw. erfasst werden, selbst wenn der Fühler 40 aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers 21 verlagert bzw. verschoben wird.
In der obigen Beschreibung war der Fühler 40 ein Kontakttyp-Fühler, welcher das Werkstück W kontaktiert, wobei jedoch die Ausführungsform nicht darauf beschränkt ist. Beispielsweise kann der Fühler 40 ein Nicht-Kontakttyp-Fühler, wie beispielsweise eine Laservorrichtung, eine Kamera oder dgl. sein.
Auch bewegte in der obigen Beschreibung der Bewegungsmechanismus 20 den Fühler 40 in jeder Richtung auf den drei orthogonalen Achsen, wobei jedoch die Ausführungsform nicht darauf beschränkt ist. Beispielsweise kann der Bewegungsmechanismus 20 den Fühler 40 in einer oder zwei axialen Richtungen von irgendeiner der X-Achse, Y-Achse und Z-Achse bewegen.
Auch hatte in der obigen Beschreibung der sich bewegende Körper 21 die Torform-Struktur, wie dies in 2 gezeigt ist, wobei jedoch die Ausführungsform nicht darauf beschränkt ist. Der sich bewegende Körper 21 kann andere Strukturen aufweisen, solange er sich in einem Zustand eines Abstützens des Fühlers 40 bewegen kann.
Die vorliegende Erfindung wird auf der Basis der beispielhaften Ausführungsformen erklärt bzw. erläutert. Der technische Rahmen bzw. Geltungsbereich der vorliegenden Erfindung ist nicht auf den Rahmen beschränkt bzw. begrenzt, welcher in den obigen Ausführungsformen erklärt ist, und es ist möglich, verschiedene Abänderungen und Modifikationen innerhalb des Rahmens der Erfindung durchzuführen. Beispielsweise sind die spezifischen Ausführungsformen der Verteilung oder Integration des Apparats nicht auf die obigen Ausführungsformen beschränkt, und es kann alles oder ein Teil davon mit irgendeiner Einheit konfiguriert bzw. aufgebaut sein bzw. werden, welche funktionell oder physisch verteilt oder integriert ist. Weiters sind neue beispielhafte Ausführungsformen, welche durch willkürliche Kombinationen davon erzeugt bzw. generiert werden, in den beispielhaften Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung enthalten. Weiters weisen Effekte der neuen beispielhaften Ausführungsformen, welche durch diese Kombinationen mit sich gebracht werden, auch die Effekte der ursprünglichen beispielhaften Ausführungsformen auf.
Bezugszeichenliste

1: Koordinaten-Messmaschine
21: sich bewegender Körper
32: Antriebsteil
40: Fühler bzw. Sonde
40a: Spitzenposition
50: Detektionssensor
50A: Beschleunigungssensor
50B: Verformungsausmaß-Detektionssensor
50C: Positions-Detektionssensor
843: Positions-Detektionsteil
844: Verlagerungs-Erfassungsteil
845: Messwert-Erfassungsteil
W: Werkstück

Claims

Messapparat (1), umfassend: einen Fühler (40), welcher einen zu messenden Gegenstand misst; einen sich bewegenden Körper (21), welcher sich bei einem Empfangen einer Antriebskraft von einer Antriebsquelle bewegt, während er den Fühler (40) abstützt; ein Positions-Detektionsteil (843), welches eine Position eines sich bewegenden Körpers (21) detektiert, wenn der Fühler (40) den zu messenden Gegenstand misst, während sich der sich bewegende Körper (21) bewegt; ein Verlagerungs-Erfassungsteil (844), welches ein Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund einer Verformung des sich bewegenden Körpers (21), während sich der sich bewegende Körper (21) bewegt, auf der Basis eines Detektionsresultats eines Detektionssensors (50) erfasst bzw. erhält, welcher in dem sich bewegenden Körper (21) vorgesehen ist; und ein Messwert-Erfassungsteil (845), welches einen Messwert des zu messenden Gegenstands auf der Basis der Position des sich bewegenden Körpers (21), welche durch das Positions-Detektionsteil (843) detektiert wird, und des Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers (40) erfasst, welches durch das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) erfasst wird.
Messapparat (1) nach Anspruch 1, wobei sich der sich bewegende Körper (21) nach bzw. bei einem Empfangen der Antriebskraft bewegt und beschleunigt und das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) das Ausmaß einer Verlagerung bzw. Verschiebung des Fühlers (40) aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers (21) erfasst, wenn sich der bewegende Körper (21) bewegt und beschleunigt.
Messapparat (1) nach Anspruch 2, wobei der sich bewegende Körpers (21) ein stab- bzw. stangenförmiges abstützendes Glied (25) aufweist, welches den Fühler (40) abstützt, und das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) ein Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund einer Verformung des abstützenden Glieds (25) erfasst, wenn sich das abstützende Glied (25) bewegt und beschleunigt.
Messapparat (1) nach Anspruch 3, wobei das abstützende Glied (25) den Fühler (40) an einem ersten Ende davon in einer axialen Richtung abstützt, bei einem Empfangen der Antriebskraft der sich bewegende Körper (21) bewirkt, dass sich das abstützende Glied (25) bewegt und beschleunigt, während er ein zweites Ende des abstützenden Glieds (25) in der axialen Richtung hält, und das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) ein Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund einer Ablenkung des abstützenden Glieds (25) erfasst, wenn sich das abstützende Glied (25) bewegt und beschleunigt.
Messapparat (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei das Messwert-Erfassungsteil (845) einen Messwert des zu messenden Gegenstands durch ein Korrigieren der Position des sich bewegenden Körpers (21), welche durch das Positions-Detektionsteil (843) detektiert wird, durch ein Verwenden des Ausmaßes einer Verlagerung des Fühlers (40) erfasst, welches das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) erfasst hat.
Messapparat (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, weiters umfassend einen Beschleunigungssensor (50A), welcher als der Detektionssensor (50) dient, welcher eine Beschleunigung des abstützenden Glieds (25) detektiert, wenn sich der sich bewegende Körper (21) bewegt, und auf dem abstützenden Glied (25) vorgesehen ist, welches den Fühler (40) abstützt, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers (21) auf der Basis der Beschleunigung erfasst, welche durch den Beschleunigungssensor (50A) detektiert wird.
Messapparat (1) nach Anspruch 6, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers (21) durch ein Integrieren der Beschleunigung erfasst, welche durch den Beschleunigungssensor (50A) detektiert wird.
Messapparat (1) nach Anspruch 6, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers (21) auf der Basis von (i) einer Entsprechungsinformation, welche einen Entsprechungszusammenhang zwischen der Beschleunigung des abstützenden Glieds (25) und dem Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) anzeigt, und (ii) der Beschleunigung erfasst, welche durch den Beschleunigungssensor (50A) detektiert wird.
Messapparat (1) nach einem der Ansprüche 6 bis 8, wobei der sich bewegende Körper (21) eine Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern (22, 23, 25) enthält, welche sich in Richtungen normal aufeinander bewegen, und der Beschleunigungssensor (50A) auf dem abstützenden Glied (25) von einem der Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern (22, 23, 25) vorgesehen ist, welches den Fühler (40) abstützt.
Messapparat (1) nach einem der Ansprüche 6 bis 9, wobei der sich bewegende Körper (21) eine Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern (22, 23, 25) enthält, welche sich in Richtungen normal aufeinander bewegen, der Beschleunigungssensor (50A) auf jedem der Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern (22, 23, 25) vorgesehen ist, und das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund einer Verformung von jedem der sich bewegenden Glieder (22, 23, 25) erfasst.
Messapparat (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, weiters umfassend einen Verformungsausmaß-Detektionssensor (50B), welcher als der Detektionssensor (50) dient, welcher ein Ausmaß einer Verformung des sich bewegenden Körpers (21) detektiert, wenn sich der sich bewegende Körper (21) bewegt, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers (21) auf der Basis des Ausmaßes einer Verformung erfasst, welches durch den Verformungsausmaß-Detektionssensor (50B) detektiert wird.
Messapparat (1) nach Anspruch 11, wobei der sich bewegende Körper (21) eine Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern (22, 23, 25) für ein Bewegen in Richtungen von drei orthogonalen Achsen enthält, wobei der Verformungsausmaß-Detektionssensor (50B) auf einem sich bewegenden Glied (22) auf der Seite der Antriebsquelle unter der Mehrzahl von sich bewegenden Gliedern (22, 23, 25) vorgesehen ist.
Messapparat (1) nach Anspruch 11 oder 12, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) aufgrund der Verformung des sich bewegenden Körpers (21) auf der Basis von (i) Entsprechungsinformation, welche einen Entsprechungszusammenhang zwischen dem Ausmaß einer Verformung des sich bewegenden Körpers (21) und dem Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) anzeigt, und (ii) des Ausmaßes einer Verformung erfasst, welches durch den Verformungsausmaß-Detektionssensor (50B) detektiert wird.
Messapparat (1) nach einem der Ansprüche 1 bis 5, weiters umfassend einen Positions-Detektionssensor (50C), welcher als der Detektionssensor (50) dient, welcher eine Position des abstützenden Glieds (25) detektiert und auf dem abstützenden Glied (25) vorgesehen ist, welches den Fühler (40) abstützt, wobei das Verlagerungs-Erfassungsteil (844) das Ausmaß einer Verlagerung des Fühlers (40) auf der Basis eines Detektionsresultats des Positions-Detektionssensors (50C) erfasst.