JP6212148B2 - 測定プローブ - Google Patents
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Landscapes
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- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
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Description
110…操作部
111…ジョイスティック
120…入力手段
130…出力手段
200…三次元測定機
210…定盤
220…駆動機構
221…ビーム支持体
222…ビーム
223…コラム
224…スピンドル
300…測定プローブ
302…プローブ本体
304…スタイラスモジュール
306…プローブハウジング
308…取り付け部
309…接続端子
310…回路配置部
310A…上端部
312…下フランジ
312B…下端周辺部
312C、314B…対峙部
314…固定部材
314A…開口部
314C…凹部
316…下部部材
318…本体カバー
320、420…信号処理回路
322、324、422、424…支持部材
324A…中心部
324B…腕部
324C…周辺部
325、425…検出素子
325A…検出部
325B…端子部
326、426…連結シャフト
328…フランジ部材
330…永久磁石
332、348…球
334…オーバートラベル機構
336、436…スタイラス
338、356…フランジ部
340、358…V溝
342…磁性部材
344…延在部
346…スタイラスホルダ
350…コイルばね
360…ロッド部
362、462…接触部
364、464…第1処理部
364X、364Y…減算部
364Z、372…加算部
366、466…第2処理部
368X、368Y、368Z…乗算部
370X、370Y、370Z…二乗部
374…平方根演算部
376、476…基準値設定部
378、478…比較部
475…フィルター部
500…モーションコントローラ
600…ホストコンピュータ
Dp…変位
F…測定力
Kx、Ky、Kz…所定の係数
Mi1、Mi2、Mi3…絶縁部材
O…軸方向、軸心
Sout…タッチ信号
Vax、Vay、Vaz…変位出力信号
VM…粘性材料
Vs…所定の基準値
Vsx、Vsy、Vsx…二乗信号
Vs1…第1基準値
Vs2…第2基準値
Vout…合成信号
Vx、Vy、Vz…変位信号
W…被測定物
Claims (8)
- 被測定物と接触する接触部を有するスタイラスと、前記スタイラスを軸心上に支持可能なプローブハウジングと、該接触部の移動を検出可能な検出素子と、該検出素子の出力を処理する信号処理回路と、を備える測定プローブであって、
回転対称形状であって、前記スタイラスの姿勢変化を許容する支持部材を、該プローブハウジングの軸方向に複数備え、
該複数の支持部材のうちで、変形可能な腕部を備える少なくとも1つの支持部材に、4つの前記検出素子が4回対称の位置に配置され、
前記信号処理回路は、該検出素子の出力を処理して前記接触部の互いに直交する3方向それぞれへの変位成分を示す3つの変位信号を出力する第1処理部と、前記3つの変位信号を合成した合成信号を出力する第2処理部と、該合成信号の信号レベルと所定の基準値とを比較する比較部と、を備え、
該合成信号の信号レベルが該所定の基準値以上のときには、タッチ信号が出力され、
前記第1処理部は、前記4つの検出素子から出力された4つの出力の全てを加算する第1の加算部と、前記軸心周りに互いに90度位相が異なる2つの前記検出素子の出力に対してそれぞれ、180度位相が異なる該検出素子の出力を減算する減算部と、を備え、
前記第2処理部は、前記3つの変位信号をそれぞれ二乗する二乗部と、前記二乗部から出力された二乗信号をすべて加算する第2の加算部と、を備えることを特徴とする測定プローブ。 - 請求項1において、
前記第2処理部は、更に、前記第2の加算部の出力の平方根を演算して前記合成信号を出力する平方根演算部を備えることを特徴とする測定プローブ。 - 請求項1又は2において、
前記第2処理部は、更に、前記3つの変位信号の信号レベルにそれぞれの所定の係数を乗算する乗算部を備えることを特徴とする測定プローブ。 - 請求項3において、
前記それぞれの所定の係数は、前記3方向における第1基準値から該第1基準値よりも大きな第2基準値に達した際の前記接触部の変位量の違いを較正するように設定されることを特徴とする測定プローブ。 - 請求項4において、
前記スタイラスは複数用意され、
前記所定の係数は、前記スタイラス毎に変更されることを特徴とする測定プローブ。 - 請求項1乃至5のいずれかにおいて、
前記信号処理回路は、前記比較部の前段に、ローパスフィルタ、ハイパスフィルタ、もしくはバンドパスフィルタを備えることを特徴とする測定プローブ。 - 請求項1乃至6のいずれかにおいて、
前記信号処理回路は、測定力をかけていない状態の接触部の基準位置から、該接触部に任意の方向で一定の変位且つ一定の測定力がかけられた際に、前記タッチ信号を出力することを特徴とする測定プローブ。 - 請求項1乃至7のいずれかにおいて、
前記信号処理回路は、更に、前記接触部が前記軸方向に直交する方向へ測定力を与えた際に、前記スタイラスの撓み量に従い、前記軸方向に直交する変位量を補正することを特徴とする測定プローブ。
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