JP3961258B2

JP3961258B2 - タッチセンサ、および微細形状測定装置用プローブ

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Publication number: JP3961258B2
Application number: JP2001312927A
Authority: JP
Inventors: 章憲齋藤
Original assignee: Mitutoyo Corp
Current assignee: Mitutoyo Corp
Priority date: 2001-10-10
Filing date: 2001-10-10
Publication date: 2007-08-22
Anticipated expiration: 2021-10-10
Also published as: US20030066354A1; JP2003121136A; US7159452B2; DE10247113A1; US6675637B2; DE10247113B4; US20040040373A1

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、たとえば、微細形状測定機や表面粗さ測定機などによって被測定物の微細な表面形状を測定する場合、あるいは、小穴測定機で穴の内面形状を測定する場合などに用いられるプローブ用のタッチセンサ、および微細形状測定装置用プローブに関する。
【０００２】
【背景技術】
従来より、精密機械加工または半導体製造分野での研究、開発および生産現場での検査において、触針を上下に振動させるとともに被測定物に接触させて移動させ、そのときの触針の上下振動変化を電気信号に変換して読み取り、加工面の表面粗さや段差、うねりおよび薄膜の厚さなどの微少な寸法を読み取る微細形状測定機が使用されている。
【０００３】
たとえば、このような微細形状測定機に用いられる触針機構として、特願平１１−２７２４５１号に開示されるタッチセンサがある。図６において、このタッチセンサ１０は、スタイラスホルダ１１と、このスタイラスホルダ１１のスタイラス取付部１３，１４，１５，１６によって保持されかつ先端に被測定物に接触する触針１２Ａを有したスタイラス１２と、スタイラス取付部１３，１４，１５，１６の上下面に固定された圧電素子１９とを備えている。ここで、圧電素子１９には、その中央で分割された加振手段１７と検出手段１８が形成されている。
【０００４】
このような構成において、この加振手段１７に適当な加振周波数の電気的交流信号を印加すると、スタイラス１２はスタイラス軸方向に共振状態で振動する。この共振状態において、スタイラス１２の一端の触針１２Ａが被測定物に接触すると共振状態が変化し、この状態の変化を検出手段１８の出力より検出することができる。
【０００５】
ところで、このようなタッチセンサを使用して、微細形状を読み取る精密測定においては、被測定物と、この被測定物表面に接触する触針との間に作用する測定力を所定値以下に維持し、被測定物および触針にダメージを与えず、かつ、被測定物の表面形状を触針の動きに正確に反映できるようにすることが重要な課題となっている。このような課題に対して、測定力を所定値以下に制御する機構を備えたプローブが用いられている。
【０００６】
たとえば、特願２０００−７０２１６に開示される微細形状測定機用プローブがある。図７において、この微細形状測定機用プローブは、上記のタッチセンサ１０と圧電素子（ＰＺＴ）を利用した微動機構２１が、スタイラス１２の振動軸上で連結され、かつ、これらが移動可能な部材２２に取り付けられている。
【０００７】
このような構成において、加振回路３から加振周波数と加振電圧で定められる電気的交流信号を加振手段１７に印加すると、スタイラス１２がスタイラス軸方向に共振状態で振動する。この状態で、触針１２Ａが被測定物Ｗに接触すると、スタイラス１２の共振状態に変化が生じるため、この変化を検出手段１８によって出力することで、触針１２Ａと被測定物Ｗとの接触を検出できる。検出手段１８による出力が検出信号１として検出回路４へ与えられる。検出回路４は、検出信号１を振幅変化を表す検出信号２に変換する。検出信号２はフィルタ５１に通してノイズが除去された後、検出信号３として信号演算処理部６２へ与えられる。信号演算処理部６２では、検出信号３と測定力を決める閾値との差を演算し、その差を制御回路６１へ与える。制御回路６１は、その差に基づいて、ＰＺＴ駆動回路７２を介して微動機構２１を駆動する。このような微動機構制御系により、微動機構２１と被測定物Ｗを相対的に走査したときも被測定物Ｗの凹凸に対して、検出信号３を一定にすることができる。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、シリコンウェハ等の被測定物を非破壊で測定するためには、測定力をいかに小さくすることができるかが重要となってくる。測定力を小さくするためには、タッチセンサの感度を上げること、あるいは、閾値を上げることがポイントである。これまで測定力の低減化はタッチセンサの構成の工夫によるタッチセンサの高感度化で行ってきたが、微細形状測定機に用いるための性能を十分満足できなかった。
【０００９】
本発明の目的は、測定力を低減して被測定物表面の微細形状を傷つけることなく、非破壊に測定ができるタッチセンサ、および微細形状測定装置用プローブを提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】
ここで、測定力と検出信号３との関係を説明する。図１には、タッチセンサ単体において、非接触・接触時における検出信号３の静的な特性を求める実験システムが示されている。加振回路３から一定の加振周波数を印加させ、スタイラス１２をスタイラス軸方向に振動させた状態で、ＰＺＴ駆動回路７の駆動電圧を徐々に大きくし、スタイラス１２を被測定物Ｗに近づけ、さらにスタイラス１２の触針１２Ａを接触させていくと、触針１２Ａに加わる力は次第に大きくなっていく。同時に触針１２Ａの振動振幅は次第に小さくなっていく。
【００１１】
図２に、触針１２Ａに加わる力（測定力）と検出信号３の関係が示されている。このグラフは横軸に触針１２Ａに加わる力、縦軸に検出信号３が示されている。検出信号３は非接触時に最大であり、検出信号３が小さくなり始めたところを接触開始位置とすれば、この接触開始位置から触針１２Ａに加わる力が大きくなっていくと同時に検出信号３は小さくなっていく。このときの勾配を力感度勾配と呼ぶ。タッチセンサの感度が高いほどグラフ上での傾斜は急になる。すなわち、触針に加わる力（測定力）は、力感度勾配と閾値によって決定されるから、測定力を低減するためには力感度勾配を大きくしたり、閾値を上げればよいことが判る。
【００１２】
従来の微細形状測定機用プローブにおいては、測定力の低減化をタッチセンサの構成の工夫によるタッチセンサの高感度化で行ってきた。たとえば、図６において、スタイラス取付部１３，１４，１５，１６の曲げ剛性をスタイラス１２の軸方向の剛性よりも低くし、また、スタイラス取付部１３，１４，１５，１６をスタイラス１２の軸に対して対称に配置することで、スタイラス１２の軸方向に対しての曲げ振動の発生を防止して、タッチセンサ１０の感度を高めていた。これにより、力感度勾配が高勾配化するので、触針に加わる力（測定力）を低減できる。
【００１３】
本発明者は、タッチセンサの力感度勾配の高勾配化をタッチセンサの構成の工夫により行うのではなく、加振回路から加振手段に印加される電気的交流信号の振幅を調整することにより、前記目的を達成することを考えた。
【００１４】
具体的に、請求項１に記載の発明は、被測定物に接触する触針と、前記触針を共振状態で振動させるための加振手段と、前記加振手段に電気的交流信号を印加して前記触針を共振状態で振動させる加振回路と、前記触針の振動状態に応じた信号を出力する検出手段と、前記検出手段からの信号に基づいて前記触針の振動状態の変化を検出し前記振動状態の変化に応じた検出信号を出力する検出回路とを備えたタッチセンサであって、前記加振回路は、前記加振手段に印加する電気的交流信号の振幅を調整可能に構成されていることを特徴とするものである。
【００１５】
この発明によれば、測定力の調整を、加振回路における電気的交流信号を調整することで行う。例えば、加振電圧を小さくすると、力感度勾配が大きくなるから、これによって測定力を調整できる。ちなみに、加振電圧を小さくすることで力感度勾配が大きくなることは後述する結果（図４）からも明らかである。例えば、測定力を一定とした場合に、加振電圧を小さくして、加振力が小さくなっている状態の方が、検出信号の減衰度合が大きい、すなわち、力感度勾配が大きくなる。したがって、これまでのようにタッチセンサの構成の工夫によりタッチセンサの感度を上げ、力感度勾配を調整する必要はなく、これまでのタッチセンサの感度向上による測定力の低減の限界を打破することができる。
また、測定力の調整を、加振回路における電気的交流信号を調整することで行うので、従来公知のスタイラスが設けられたタッチセンサを用いて本発明を実施することが可能となり、その汎用性が著しく向上し、本発明の目的は達成される。
【００１６】
請求項２に記載の微細形状測定装置用プローブは、請求項１に記載のタッチセンサと、前記タッチセンサを前記被測定物の表面の高さ方向に移動させる微動機構とを備えていることを特徴とするものである。
【００１８】
請求項３に記載の発明は、請求項２に記載の微細形状測定装置用プローブにおいて、前記検出回路から出力される検出信号の振幅と閾値との差を演算し、前記差に基づいて前記微動機構を動作制御する微動機構コントローラを備え、前記微動機構コントローラは、前記加振回路から前記加振手段に印加される電気的交流信号の振幅に基づいて前記閾値を設定することを特徴とするものである。
【００１９】
このような構成によれば、測定力と電気的交流信号および閾値との関係を予め求めておけば、電気的交流信号、検出回路における状態量および触針の振動振幅のいずれかをモニタすることで測定力を微細かつ的確に調整することができる。
【００２０】
請求項４に記載の発明は、請求項２または請求項３に記載の微細形状測定装置用プローブにおいて、前記検出回路から出力される検出信号を入力し、前記検出信号に加わるノイズを除去するローパスフィルタを備え、前記ローパスフィルタの時定数は、前記電気的交流信号の振幅が調整された際、調整による前記振幅の変化に対して所定の関係を有するように調整されて設定されていることを特徴とするものである。
【００２１】
このような構成によれば、検出回路にローパスフィルタを追加することで、非接触時または接触時の検出回路における状態量に加わるノイズを小さくすることができ、閾値を所定値以上に上げ、測定力を調整、つまり、低減化することができる。また、電気的交流信号の調整とローパスフィルタの時定数の調整とを所定の関係で行うことで、電気的交流信号の調整によるノイズの増加をローパスフィルタの時定数の調整により、抑制することができ、閾値を所定値以上に上げた状態で、測定力の調整を行うことができる。つまり、測定力を低減化できる。
【００２２】
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の微細形状測定装置用プローブにおいて、前記所定の関係は、反比例関係であることを特徴とするものである。
【００２３】
このような構成によれば、電気的交流信号の加振電圧が、ローパスフィルタの時定数と反比例関係にあるので、電気的交流信号の加振電圧から、ノイズの増減を容易に推測することができ、さらに、ローパスフィルタの時定数を決定し、効率的に測定力を調整することができる。
【００２４】
請求項６に記載の発明は、請求項４または請求項５に記載の微細形状測定装置用プローブにおいて、前記ローパスフィルタの時定数は、前記電気的交流信号の振幅が調整された際、調整による前記振幅の変化に対して前記所定の関係を有するように自動的に調整されて設定されていることを特徴とするものである。
【００２５】
このような構成によれば、ローパスフィルタの時定数の調整を所定の関係により、測定力の調整が自動的に行われるので、このような所定の関係を利用して、電気的交流信号から自動的にローパスフィルタの時定数を決定し、測定力を調整することができる。
【００２６】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の一実施形態を図面に基づいて説明する。尚、以下の説明では、既に説明した部分または部材と同一または類似の部分等については、同一または類似の符号を付してその説明を省略または簡略する。
図３には、本発明に係るタッチセンサの動作制御構造を組み込んだ微細形状測定装置用プローブ１が示されている。
【００２７】
この微細形状測定装置用プローブ１は、測定装置用プローブ本体２、加振回路３、検出回路４、調整機構５、微動機構コントローラ６およびＰＺＴ駆動回路７を含んで構成される。
【００２８】
測定装置用プローブ本体２は、被測定物Ｗに対して該被測定物Ｗの表面形状を測定するものであり、被測定物Ｗに接触する触針１２Ａを有したタッチセンサ１０と、触針１２Ａを上下方向（被測定物Ｗの表面の高さ方向）へ移動させる微動機構２１とを備えている。
【００２９】
タッチセンサ１０は、前述した図６に示す構造と同一のものが用いられている。なお、圧電素子１９の表面には、図示は省略するが、加振電極と検出電極とが形成され、加振電極に加振電圧を印加するためのリード線を設け、検出電極に検出信号を取り出すためのリード線を設けることで、それぞれ加振手段１７および検出手段１８が構成されている。
微動機構２１は、タッチセンサ１０のスタイラス軸方向に連続して部材２２とタッチセンサ１０との間に介在し、圧電素子（ＰＺＴ）の薄板を積層して構成されたものである。
【００３０】
加振回路３は、加振手段１７が所定の振幅、所定の周波数で動作するような電気信号を発生させる発信器を備え、振幅、周波数は適宜、調整することが可能となっている。
このような構成では、加振回路３から加振手段１７に所定の信号が送られると、スタイラス１２がその軸方向に共振状態で振動する。スタイラス１２の触針１２Ａが被測定物Ｗに接触すると共振状態が変化し、この変化が検出手段１８で検出され、この信号が検出回路４、調整機構５を介して微動機構コントローラ６に出力される。
【００３１】
調整機構５は、検出回路４から出力された検出信号２に加わるノイズを除去する部分であり、ローパスフィルタ５１と、ローパスフィルタ５１の時定数を制御するＤＳＰ（Digital Signal Processor）５２とを備えて構成される。
ＤＳＰ５２は、加振回路３からの電気的交流信号を入力するとともに、電気的交流信号と時定数との相関関係から演算処理を行い、ローパスフィルタ５１に出力し、ローパスフィルタ５１の時定数を調整するものである。具体的には、加振回路３からの電気的交流信号に応じて、ローパスフィルタ５１の時定数を調整し、ローパスフィルタ５１の通過周波数帯域を調整することで、検出信号２に重畳されているノイズの影響を小さくするものである。
【００３２】
微動機構コントローラ６は、調整機構５から出力された検出信号３を受けて、ＰＺＴ駆動回路７を介して、微動機構２１を動作制御する部分であり、制御回路６１、信号演算処理部６２を備えている。
信号演算処理部６２では、加振回路３からの電気的交流信号に基づいて閾値（測定力を決定する値）を設定するパーソナルコンピュータ６３を備えており、調整機構５から出力された検出信号３と該閾値との差を演算し、制御回路６１に出力する。
制御回路６１では、信号演算処理部６２からの信号に基づいて、測定装置用プローブ本体２の微動機構２１の動作制御を行うとともに、調整機構５からの検出信号３と前記閾値とから算出される測定力が一定となるように、ＰＺＴ駆動回路７を介して微動機構２１の動作制御を行う。
【００３３】
次に上述した微細形状測定装置用プローブ１の動作を説明する。
まず、パーソナルコンピュータ６３から制御回路６１に制御信号を出力し、制御回路６１からＰＺＴ駆動回路７に信号を送ることで微動機構２１を動作させ、所定の測定力が作用するように、触針１２Ａを被測定物Ｗに接触させる。尚、所定の測定力が作用しているか否かは、加振回路３によりスタイラス１２を軸方向に振動させた状態で、検出回路４から調整機構５を通った検出信号３が所定の閾値となっているかによって判断される。
【００３４】
ここで、測定装置用プローブ本体２のスタイラス１２を被測定物Ｗに対して移動することで、被測定物Ｗの表面の走査が行われる。被測定物Ｗの表面を走査している間、検出回路４からの検出信号３が測定当初に比較して大きくなってきた場合、被測定物Ｗの表面が触針１２Ａから遠ざかる方向に湾曲していると考えられる。そこで、制御回路６１は、この検出信号３の状態量の変化、すなわち、検出信号３の振幅の変化に基づいて、触針１２Ａを被測定物Ｗの表面に接近させる方向に微動機構２１を動作させる制御信号を出力する。一方、検出信号３が測定当初に比較して小さくなってきた場合、被測定物Ｗの表面が触針１２Ａに接近する方向に湾曲していると考えられるので、制御回路６１は、触針１２Ａが被測定物Ｗの表面から離隔する方向の制御信号を微動機構２１に出力する。
【００３５】
このとき、触針１２Ａが被測定物Ｗに接触している限りにおいて、検出信号３の状態量の変化が最小となるように制御回路６１による制御を行えば、スタイラス１２は被測定物Ｗに対して一定の測定力を維持できる。また、触針１２Ａが被測定物Ｗに接触していない場合は、図２に示すように、検出信号３の振幅が最大値を示すことや、あるいは、微動機構２１を動作させスタイラス１２を上下方向に変化させても検出信号３の状態量変化が生じないことからも、触針１２Ａの被測定物Ｗへの非接触を検知することができる。
【００３６】
次に上述した微細形状測定装置用プローブ１の測定力の調整方法を説明する。
前述したように、測定力は、力感度勾配と閾値によって決定される。力感度勾配は、加振回路３から加振手段１７に加える電気的交流信号の加振電圧を小さくすることで、図４に示すように、高勾配化する。
まず、加振回路３の発信器における加振電圧の設定値を小さく設定し、加振手段１７にこの加振電圧を印加し、スタイラス１２を軸方向に振動させる。検出手段１８はスタイラス１２の振動を検出信号１として出力し、検出回路４は検出信号１を入力しスタイラス１２の振動の振幅変化を表す検出信号２を出力する。
【００３７】
ここで、加振回路３は、調整機構５におけるＤＳＰ５２に電気的交流信号の加振電圧を出力し、ＤＳＰ５２は、加振電圧とローパスフィルタ５１の時定数が反比例の関係であることから、加振電圧に基づいて、ローパスフィルタ５１の時定数を演算し、ローパスフィルタ５１に出力することで、ローパスフィルタ５１の時定数を設定する。検出回路４から出力された検出信号２はこのローパスフィルタ５１を通ることによってノイズが除去された検出信号３となる。具体的には、電気的交流信号の加振電圧を小さくすることで、検出回路４から出力される検出信号２に加わるノイズは増大する。ノイズが増大することで、測定力を決定する閾値は制限され、これまでより低い値に設定しなければならない。ローパスフィルタ５１の時定数を上げることで通過周波数帯域を狭め、ノイズの影響を小さくすることで閾値の調整が制限されないようにしている。
【００３８】
さらに、加振回路３は、信号演算処理部６２におけるパーソナルコンピュータ６３に電気的交流信号の加振電圧を出力し、このパーソナルコンピュータ６３は、予め求められた測定力と加振電圧および閾値との関係により、加振電圧に基づいて閾値を設定する。前述したように、ローパスフィルタ５１の時定数を上げることにより、ノイズが減少して閾値の制約がなくなるので、図５に示すように、閾値をこれまでよりも高い値に設定することができる。
【００３９】
以上のような手順により、測定力は、図５に示すようにこれまでよりも低減した値を示し、触針１２Ａと被測定物Ｗとの接触する際に生じる力は低減し、被測定物Ｗの表面の損傷が防止される。
【００４０】
以上のような本実施形態によれば、以下のような効果がある。
（１）検出信号３の状態量が変化すると、制御回路６１が微動機構２１を被測定物Ｗに対して接近または離隔方向に動作制御するように構成されているので、触針１２Ａを常に一定の測定力で被測定物Ｗの表面に接触することができ、微細形状測定装置用プローブ１による測定を高精度に行うことができる。
【００４１】
（２）触針１２Ａと被測定物Ｗとが接触する際に生ずる測定力の調整を、タッチセンサの構成の工夫にて行うのではなく、電気的交流信号の加振電圧を調整することで行うので、従来公知の加振手段および検出手段が設けられたタッチセンサを用いることができ、種々の形状、大きさのタッチセンサで本発明を実施することができる。
【００４２】
（３）検出回路４から出力された検出信号２はローパスフィルタ５１を通るので、検出信号２に加わるノイズを除去し、本来、ノイズによって制限される信号演算処理部６２における閾値を、より幅広く調整可能にすることで、測定力の調整を行うことができる。
【００４３】
（４）ローパスフィルタ５１の時定数をＤＳＰ５２によって調整できるので、検出信号２に加わるノイズに応じて、つまり、加振回路３からの加振電圧に応じて、ローパスフィルタ５１の時定数を調節することができる。検出回路４から出力された検出信号２に加わるノイズを除去することができるので、閾値の調整範囲を広げ、測定力の調整範囲も同様に広げることができる。
【００４４】
（５）信号演算処理部６２に加振回路３からの加振電圧をモニタするパーソナルコンピュータ６３が設けられているので、予め測定力と加振電圧および閾値を求めておくことで、加振回路３からの加振電圧をモニタし、加振電圧に応じて閾値を設定することができ、測定力を調整することができる。
【００４５】
（６）電気的交流信号の加振電圧の調整および閾値の調整をすることによって、また、制御回路６１を用いて微動機構２１を動作制御することによって、低測定力でかつ一定に表面形状測定を行うことができる。
【００４６】
なお、本発明は、前記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の目的を達成できる範囲での変形、改良等は本発明に含まれるものである。
たとえば、前記実施形態では、タッチセンサ１０のスタイラス１２はスタイラス軸方向の共振状態で振動させるとしたが、スタイラスの一端に取り付けられた触針が圧電素子により振動し、触針と被測定物との接触した際の変化する状態量を検出する検出回路を備えているタッチセンサであればこの形に限定されるものではない。すなわち、一般に原子間力顕微鏡（ＡＦＭ）で使用される梁の曲げ振動を利用するタイプであってもよい。
【００４７】
前記実施形態では、タッチセンサ１０に印加される電気的交流信号の加振電圧によって調整を行ったが、電気的交流信号の加振周波数や加振位相を調整することにより測定力を調整することも可能である。たとえば、加振周波数をスタイラスの共振周波数にするのではなく、スタイラスの共振周波数からずらすことにより調整することも可能である。また、加振回路に発振器を用いて行うのではなく、位相調整を行うことができる自励回路を用いて行う場合において、加振位相を調整することで測定力を調整してもよい。
【００４８】
前記実施形態では、測定力と加振電圧および閾値との関係を予め求めておき、電気的交流信号の加振電圧をパーソナルコンピュータ６３を用いてモニタすることで、閾値を設定し、測定力を調整したが、検出回路における状態量あるいは触針の振動振幅をモニタすることで、測定力を調整してもよい。
【００４９】
【発明の効果】
本発明によれば、タッチセンサの形状や構成の工夫を行うことなく、タッチセンサに印加する電気的交流信号の調整や検出信号に加わるノイズの低減により表面形状測定における測定力の調整が可能になるという効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の作用を説明するための実験システムの図である。
【図２】本発明の作用を説明するための検出信号の変化を表すグラフである。
【図３】本発明に係るタッチセンサの一実施形態を表す模式図である。
【図４】同上実施形態の作用を説明するための検出信号の変化を表すグラフである。
【図５】同上実施形態の作用を説明するための検出信号の変化を表すグラフである。
【図６】従来のタッチセンサの構造を表す概要斜視図である。
【図７】従来のタッチセンサの動作制御を表す模式図である。
【符号の説明】
３加振回路
４検出回路
１０タッチセンサ
１２Ａ触針
１９圧電素子
５１ローパスフィルタ
６３モニタを行うパーソナルコンピュータ
Ｗ被測定物

Claims

被測定物に接触する触針と、前記触針を共振状態で振動させるための加振手段と、前記加振手段に電気的交流信号を印加して前記触針を共振状態で振動させる加振回路と、前記触針の振動状態に応じた信号を出力する検出手段と、前記検出手段からの信号に基づいて前記触針の振動状態の変化を検出し前記振動状態の変化に応じた検出信号を出力する検出回路とを備えたタッチセンサであって、
前記加振回路は、前記加振手段に印加する電気的交流信号の振幅を調整可能に構成されていることを特徴とするタッチセンサ。
請求項１に記載のタッチセンサと、
前記タッチセンサを前記被測定物の表面の高さ方向に移動させる微動機構とを備えていることを特徴とする微細形状測定装置用プローブ。
請求項２に記載の微細形状測定装置用プローブにおいて、
前記検出回路から出力される検出信号の振幅と閾値との差を演算し、前記差に基づいて前記微動機構を動作制御する微動機構コントローラを備え、
前記微動機構コントローラは、前記加振回路から前記加振手段に印加される電気的交流信号の振幅に基づいて前記閾値を設定することを特徴とする微細形状測定装置用プローブ。
請求項２または請求項３に記載の微細形状測定装置用プローブにおいて、
前記検出回路から出力される検出信号を入力し、前記検出信号に加わるノイズを除去するローパスフィルタを備え、
前記ローパスフィルタの時定数は、前記電気的交流信号の振幅が調整された際、調整による前記振幅の変化に対して所定の関係を有するように調整されて設定されていることを特徴とする微細形状測定装置用プローブ。
請求項４に記載の微細形状測定装置用プローブにおいて、
前記所定の関係は、反比例関係であることを特徴とする微細形状測定装置用プローブ。
請求項４または請求項５に記載の微細形状測定装置用プローブにおいて、
前記ローパスフィルタの時定数は、前記電気的交流信号の振幅が調整された際、調整による前記振幅の変化に対して前記所定の関係を有するように自動的に調整されて設定されていることを特徴とする微細形状測定装置用プローブ。