JP5124249B2 - 表面形状測定用触針式段差計を用いた段差測定方法及び装置 - Google Patents
表面形状測定用触針式段差計を用いた段差測定方法及び装置 Download PDFInfo
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Description
置に関するものである。
探針を試料に対して予定のx方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧を計測する検出回路の低域通過フィルタのカットオフ周波数を高く設定して横軸x方向の距離と縦軸z方向の変位量とから成る応答性の良いデータを得、
得られた応答性の良いデータを横軸方向の距離x又は時間tで微分してdz/dx又はdz/dtの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、
平坦部領域データ部分の処理が、上の段でのz(t)の平均値zmを求め、z(t)−zmを、検出回路の低域通過フィルタのカットオフ周波数より低い1〜13Hz程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、これにより得られたF[z(t)−zm]にzmを加えることにより行われ、
こうして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得る
ことを特徴としている。
カットオフ周波数70Hzの低域通過フィルタを備え、探針を試料に対して予定のx方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧に基づき横軸x方向の距離と縦軸z方向の変位量とから成る応答性の良いデータを出力する検出回路と、
検出回路で得られた応答性の良いデータを横軸方向の距離x又は時間tで微分してdz/dx又はdz/dtの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、上の段でのz(t)の平均値zmを求め、z(t)−zmを13Hz程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、得られたF[z(t)−zm]にzmを加え、そして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得るコンピュータ装置と
を有することを特徴としている。
2:支点
3:揺動支持棒
4:探針
5:針圧発生装置
6:変位センサ
7:試料ホルダー
8:走査ステージ
9:被測定試料
10:制御手段
11:コンピュータ装置
12:アナログ入出力ボード
13:針圧発生装置用電源
14:駆動装置
15:汎用インターフェースボード
16:検出回路
20:変位センサ
21:検出回路
22:コンピュータ装置
Claims (3)
- 支点に揺動可能に取り付けられた支持体の一端に探針を取付け、この一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、支持体の他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計を用いた段差測定方法において、
探針を試料に対して予定のx方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧を計測する検出回路の低域通過フィルタのカットオフ周波数を高く設定して横軸x方向の距離と縦軸z方向の変位量とから成る応答性の良いデータを得、
得られた応答性の良いデータを横軸方向の距離x又は時間tで微分してdz/dx又はdz/dtの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、
平坦部領域データ部分の処理が、上の段でのz(t)の平均値zmを求め、z(t)−zmを、検出回路の低域通過フィルタのカットオフ周波数より低い1〜13Hz程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、これにより得られたF[z(t)−zm]にzmを加えることにより行われ、
こうして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得る
ことを特徴とする触針式段差計を用いた段差測定方法。 - 応答性の良いデータを得るのに用いる検出回路の低域通過フィルタのカットオフ周波数を70Hzに設定することを特徴とする請求項1に記載の触針式段差計を用いた段差測定方法。
- 支点に揺動可能に取り付けられた支持体の一端に探針を取付け、この一端に隣接して探針の垂直方向変位を検出する変位センサの磁性体コアを取付け、支持体の他端には探針に針圧を加える針圧発生装置の磁性体コアを取付け、探針が捉えた試料の表面形状を支持体の支点回りの回転運動により変位センサで測定する触針式段差計を用いた段差測定装置において、
カットオフ周波数70Hzの低域通過フィルタを備え、探針を試料に対して予定のx方向に一定の速度で掃引する際に変位センサで得られた測定電圧に基づき横軸x方向の距離と縦軸z方向の変位量とから成る応答性の良いデータを出力する検出回路と、
検出回路で得られた応答性の良いデータを横軸方向の距離x又は時間tで微分してdz/dx又はdz/dtの値に基づき、段差でのデータを立上り領域データ部分と、平坦部領域データ部分と、立下り領域データ部分とに分け、上の段でのz(t)の平均値zmを求め、z(t)−zmを13Hz程度のソフトの低域通過フィルタで処理し、得られたF[z(t)−zm]にzmを加え、そして処理した平坦部領域データ部分を立上り領域データ部分及び立下り領域データ部分とに結合して段差形状データを得るコンピュータ装置と
を有することを特徴とする触針式段差計を用いた段差測定装置。
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