JP2014199689A - 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】磁気力顕微鏡の動作条件を最適化して、微弱な磁界強度の測定に対応すること。【解決手段】磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッド(ローバー1)を載置し2次元方向に走査するXYステージ11,12と、先端に磁性探針を有し所定周波数で励振されるカンチレバー7と、カンチレバーを磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するZステージ13と、磁気ヘッドの発生磁界により生じるカンチレバーの変位量を検出して変位信号を出力する変位検出部44と、変位信号の分布に基づいて磁気ヘッドの実効トラック幅を求める演算手段と、磁気ヘッドのサイズに応じて、カンチレバーの振幅と磁気ヘッドの表面からの高さを設定する制御部30と、を備える。【選択図】図1
Description
本発明は、薄膜磁気ヘッドの磁界形状により実効トラック幅等を検査する磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法に関する。
近年、薄膜磁気ヘッドの発生磁界形状を測定し磁気的な実効トラック幅等を検査するために、原子サイズレベルの高分解能を有する磁気力顕微鏡(MFM)などを組み込んだ磁気ヘッド検査装置が用いられている。磁気力顕微鏡では磁界検出用の磁性探針を取り付けたカンチレバーを有し、これを磁気ヘッド上で走査移動し、探針の変位量を検出することで磁界形状を測定するものである。特許文献1には、ウエハ上に形成された複数のヘッド素子が連なっているローバー状態の薄膜磁気ヘッドを対象とし、ボンディングパッドにより各ヘッド素子に記録信号を入力し、各ヘッド素子から発生される磁界の様子を、上記カンチレバーにて測定する技術が開示されている。
ハードディスクの面記録密度の更なる向上のため、信号記録に用いられる薄膜磁気ヘッドは微細化され、またその書込みトラック幅も微小化されている。これに伴い、磁気ヘッドの実効トラック幅などをより高精度に測定することが要求されている。上記した磁気力顕微鏡を組み込んだヘッド検査装置は、基本的に高分解能での磁界測定を可能とするものであるが、磁気ヘッドの微細化に伴い磁気ヘッドから発生する磁界強度も微弱になることから、十分な測定感度が得られない場合がある。そこで、磁気力顕微鏡の動作条件を見直して、微弱な磁界強度の測定に対応することが課題とされている。
本発明の目的は、磁気力顕微鏡の動作条件を最適化して、微弱な磁界強度の測定に対応する磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法を提供することである。
本発明の磁気ヘッド検査装置は、磁気ヘッドを載置し2次元方向に走査するXYステージと、先端に磁性探針を有し所定周波数で励振されるカンチレバーと、前記カンチレバーを前記磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するZステージと、前記磁気ヘッドの発生磁界により生じる前記カンチレバーの変位量を検出して変位信号を出力する変位検出部と、前記変位信号の分布に基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を求める演算手段と、前記磁気ヘッドのサイズに応じて、前記カンチレバーの振幅と前記磁気ヘッドの表面からの高さを設定する制御部と、を備える。
本発明によれば、微弱な磁界強度の測定に対応でき、微小なトラック幅を有する磁気ヘッドを高精度に検査することができる。
図1は、本発明の一実施の形態に係る磁気ヘッド検査装置の概略構成を示す図である。磁気ヘッド検査装置は、磁気力顕微鏡(MFM)を用いて、磁気ヘッド単体に切り出す前工程のローバー状態の磁気ヘッドについて実効トラック幅などを測定するものである。ローバー1は、通常、3cm〜5cm程度の細長いブロック体としてウエハから切り出されたもので、40個〜60個程度の磁気ヘッドが配列された構成となっている。
検査ステージ10は、ローバー1をX,Y方向に移動可能なXステージ11、Yステージ12から構成されている。Yステージ12の上面には、ローバー1の載置部が設けられて、ローバー1は載置部の上面に形成された段差部に当接されることで、その長軸がX軸に平行に位置決めされる。
Zステージ13は、磁気力顕微鏡(MFM)のカンチレバー7を保持し、Z方向に移動させるものである。検査ステージ10のXステージ11,Yステージ12、Zステージ13は、それぞれピエゾステージで構成されている。図示していないが、Yステージ12の上方には位置ずれ量測定用のカメラが設けられている。所定の位置決めが終了すると、ローバー1は載置部に吸着保持され、図示していないプローブカードのプローブ先端がローバー1側面の端子に接続される。これによってローバー1の磁気ヘッドの記録用コイルに励磁用信号を供給する。
ピエゾドライバ20は、Xステージ11、Yステージ12、及びZステージ13をそれぞれ駆動制御する。制御部30は、モニターを含むパーソナルコンピュータ(PC)で構成され、ピエゾドライバ20を制御する。Yステージ12上に載置されたローバー1の上方には、先端の尖った磁性探針を自由端とするカンチレバー7が対向して配置されている。カンチレバー7は、Zステージ13の下側に設けられた励振部材に取り付けられている。励振部材はピエゾ素子で構成され、ピエゾドライバ20からの励振電圧によって機械的共振周波数近傍の周波数の交流電圧が印加され、磁性探針は上下方向に振動される。磁気ヘッドからの磁界を受けると磁性探針に引力又は斥力の磁気力が生じ、カンチレバー7のZ方向の変位量が変化する。
磁気力顕微鏡(MFM)においてカンチレバー7の変位量を検出する変位検出部は、半導体レーザ素子41と、反射ミラー42,43と、2分割光ディテクタ素子からなる変位センサ44とで構成される。半導体レーザ素子41から出射した光は、反射ミラー42で反射されカンチレバー7上に照射される。カンチレバー7で反射された反射光は、反射ミラー43でさらに反射されて変位センサ44に導かれる。変位センサ44から2つの検出信号が出力され、差動アンプ50は2つの信号の差分信号から変位信号を生成する。差動アンプ50から出力される変位信号は、カンチレバー7の変位に応じた信号であり、カンチレバー7は振動しているので交流信号となる。DCコンバータ60は、RMS−DCコンバータ(Root Mean Squared value to Direct Current converter)で構成され、差動アンプ50から出力される変位信号を実効値の直流信号に変換する。DCコンバータ60から出力される変位信号は、フィードバックコントローラ70に出力される。フィードバックコントローラ70は、現在のカンチレバー7の変位信号を制御部30とピエゾドライバ20に送る。
制御部(PC)30は、変位信号よりカンチレバー7の振動の大きさをモニターするとともに、変位信号から磁気ヘッドの実効トラック幅を演算する。また制御部30は、変位信号に応じてピエゾドライバ20に対し、Zステージ13の制御信号を送る。すなわち、検査時のカンチレバー7がローバー1表面から所定の高さに位置するよう、Zステージ13のZ方向位置を調整する。これにより、カンチレバー7の振動の大きさが最適化され、測定精度が確保される。ここでカンチレバー7の高さ位置は、磁気ヘッドのサイズに応じて変更して設定する。従来の設定では、例えばハードディスクドライブのヘッド浮上高さに一律に設定していたが、ヘッドのサイズが微小化している場合には、カンチレバー7の高さを小さく設定する。
発振器80は、カンチレバー7を励振するための発振信号をピエゾドライバ20に供給する。また制御部30はピエゾドライバ20に対して、磁気ヘッドのサイズに応じてカンチレバー7の振幅を規制する振幅制御信号を送る。ピエゾドライバ20は、発振器80からの発振信号と制御部30からの振幅制御信号に基づいて、カンチレバー7を所定の周波数と規制された励振電圧で振動させる。
このように、磁気ヘッドのサイズに応じてカンチレバー7の高さを小さい値に保持し、またカンチレバー7の振幅を小さく設定することで、磁気ヘッドからの微弱な磁界信号を感度良く測定し、磁気ヘッドの実効トラック幅を高精度に求めることができる。
図2は、本実施例の検査方式の概要を示す図であり、(a)は、磁気ヘッド近傍の構成を拡大して示す図であり、(b)は、カンチレバーの変位信号の一例を示す図である。図2(a)に示すように、カンチレバー7は、ローバー1(磁気ヘッド)の表面から所定の高さH(例えばヘッド浮上高さ)にカンチレバー7の磁性探針の先端部が位置するように、Zステージ13によって位置決めされる。カンチレバー7は、ローバー1(磁気ヘッド)に対して相対的にスキャン方向71にスキャンされる。この実施例では、Xステージ11及びYステージ12によってローバー1が移動される。
このとき、磁気ヘッドはAC励磁されているので、カンチレバー7はAC励磁に同期した磁気力を受けて変位する。カンチレバー7の変位状態は図2(b)の変位信号のようになり、この変位信号を検出することによって、磁気ヘッドの実効トラック幅を求めることができる。なお、磁気ヘッドをAC励磁することなく通常のMFMとして検査することによって、磁気ヘッドのポール幅を求めることができる。
本実施例では、磁気ヘッドのサイズに応じてカンチレバー7の高さHと振幅を最適に設定して測定するものである。これは、励振状態にあるカンチレバー7の振幅を小さくすると、磁気ヘッドから受ける磁気力が相対的に増大し、カンチレバーの変位信号すなわち測定感度を向上させることができるからである。以下その説明を行う。
図3は、カンチレバーの動作条件の最適化を説明する図である。磁気ヘッドのサイズPが縮小された状態において、(a)は、カンチレバー7の励振電圧Vを大きく設定した場合、(b)カンチレバーの励振電圧Vを小さく設定した場合に、カンチレバーの受けるヘッド磁界を示している。
カンチレバーの振幅W、ヘッド面からのカンチレバーの高さH、カンチレバーが磁界を横切る時間Tとするとき、変位信号となるアンプ出力Aは(1)式で表わされる。
A=k・{T/(H・W)} (1)
ここにカンチレバーの振幅Wはカンチレバーの励振電圧Vに比例し、kは定数である。
A=k・{T/(H・W)} (1)
ここにカンチレバーの振幅Wはカンチレバーの励振電圧Vに比例し、kは定数である。
ここで、パラメータW、H、Tの間には次のような関係がある。
(イ)振幅Wが大きくなると高さHは大きくなり、Wが小さくなるとHは小さくなる。カンチレバーの振幅Wが大きくなると、カンチレバーがヘッド面と接触するのを避けるために高さHを大きくしてヘッド面から遠ざけねばならない。一方振幅Wが小さくなると、振動時にヘッド面と接触しない範囲で高さHを小さくし、カンチレバーをヘッド面に近づけることができる。
(イ)振幅Wが大きくなると高さHは大きくなり、Wが小さくなるとHは小さくなる。カンチレバーの振幅Wが大きくなると、カンチレバーがヘッド面と接触するのを避けるために高さHを大きくしてヘッド面から遠ざけねばならない。一方振幅Wが小さくなると、振動時にヘッド面と接触しない範囲で高さHを小さくし、カンチレバーをヘッド面に近づけることができる。
(ロ)高さHが大きくなると時間Tは小さくなり、Hが小さくなるとTは大きくなる。測定対象のローバー状態の磁気ヘッドから発生する磁界は、円弧状に分布する(破線で示す)。カンチレバーの高さHが大きいと、カンチレバーは円弧領域の周辺部を通過するため、磁界を横切る時間Tは小さくなる。一方高さHが小さいと、円弧領域の中心部を通過するため、時間Tは大きくなる。
以上より、振幅Wを小さくすることで、高さHも小さく設定でき、時間Tは大きくなる。これらの関係から、(1)式に従いアンプ出力Aは増大する。
以上より、振幅Wを小さくすることで、高さHも小さく設定でき、時間Tは大きくなる。これらの関係から、(1)式に従いアンプ出力Aは増大する。
図4は、カンチレバー7の励振電圧Vと差動アンプの出力Aの関係を示す図である。励振電圧Vを下げることでアンプ出力Aは増大し、最大点を過ぎると破線のように減衰する。この最大点は磁気ヘッドのサイズPに依存し、磁気ヘッドのサイズPが小さくなるほど最適な励振電圧はVp2からVp1へ小さくなる。
図5は、カンチレバーの動作条件の設定を示すフローチャートである。
S101において、検査する磁気ヘッドのサイズPの情報を制御部30に入力する。
S101において、検査する磁気ヘッドのサイズPの情報を制御部30に入力する。
S102において、制御部30はヘッドサイズPに応じて、カンチレバー7の最適励振電圧Vpをピエゾドライバ20に設定する。
S103において、制御部30はヘッドサイズPに応じて、カンチレバー7のヘッド表面からの高さHを設定する。
S103において、制御部30はヘッドサイズPに応じて、カンチレバー7のヘッド表面からの高さHを設定する。
S104において、ピエゾドライバ20はカンチレバー7を励振電圧Vpで振動させる。またピエゾドライバ20はZステージ13に対し、カンチレバー7のヘッド表面からの高さがHとなるよう駆動する。
S105において、XYステージにより磁気ヘッドをスキャンし、カンチレバーの変位信号から磁界形状を測定する。
S105において、XYステージにより磁気ヘッドをスキャンし、カンチレバーの変位信号から磁界形状を測定する。
このように本実施例によれば、磁気ヘッドのサイズに応じてカンチレバー7の振幅を小さく設定し、またカンチレバー7の高さを小さく設定することで、磁気ヘッドからの微弱な磁界信号を感度良く測定し、磁気ヘッドの実効トラック幅を高精度に求めることができる。
1…ローバー(磁気ヘッドが配列されたブロック)、
7…カンチレバー、
10…検査ステージ、
11…Xステージ、
12…Yステージ、
13…Zステージ、
20…ピエゾドライバ、
30…制御部(PC)、
41…半導体レーザ素子、
42,43…反射ミラー、
44…変位センサ、
50…差動アンプ、
60…DCコンバータ、
70…フィードバックコントローラ、
80…発振器。
7…カンチレバー、
10…検査ステージ、
11…Xステージ、
12…Yステージ、
13…Zステージ、
20…ピエゾドライバ、
30…制御部(PC)、
41…半導体レーザ素子、
42,43…反射ミラー、
44…変位センサ、
50…差動アンプ、
60…DCコンバータ、
70…フィードバックコントローラ、
80…発振器。
Claims (3)
- 磁気ヘッドを載置し2次元方向に走査するXYステージと、
先端に磁性探針を有し所定周波数で励振されるカンチレバーと、
前記カンチレバーを前記磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するZステージと、
前記磁気ヘッドの発生磁界により生じる前記カンチレバーの変位量を検出して変位信号を出力する変位検出部と、
前記変位信号の分布に基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を求める演算手段と、
前記磁気ヘッドのサイズに応じて、前記カンチレバーの振幅と前記磁気ヘッドの表面からの高さを設定する制御部と、
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。 - 請求項1に記載の磁気ヘッド検査装置であって、
前記制御部は、前記磁気ヘッドのサイズが小さくなるに従い、前記カンチレバーの振幅と前記磁気ヘッドの表面からの高さを小さく設定することを特徴とする磁気ヘッド検査装置。 - 先端に磁性探針を有するカンチレバーを所定周波数で励振するステップと、
XYステージにより磁気ヘッドを載置し2次元方向に走査するステップと、
Zステージにより前記カンチレバーを前記磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するステップと、
前記磁気ヘッドの発生磁界により生じる前記カンチレバーの変位量を検出して変位信号を出力するステップと、
前記変位信号の分布に基づいて前記磁気ヘッドの実効トラック幅を求めるステップと、
前記磁気ヘッドのサイズに応じて、前記カンチレバーの振幅と前記磁気ヘッドの表面からの高さを設定するステップと、
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド検査方法。
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JP2013073998A JP2014199689A (ja) | 2013-03-29 | 2013-03-29 | 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法 |
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003085717A (ja) * | 2001-09-14 | 2003-03-20 | Toshiba Corp | 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 |
JP2009230845A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-10-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法 |
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2013
- 2013-03-29 JP JP2013073998A patent/JP2014199689A/ja active Pending
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JP2009230845A (ja) * | 2008-02-28 | 2009-10-08 | Hitachi High-Technologies Corp | 磁気ヘッド検査方法、磁気ヘッド検査装置、及び磁気ヘッド製造方法 |
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