JP6184847B2 - 磁気ヘッド素子の表面形状測定方法及びその装置 - Google Patents
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Description
1. メインポール近傍の数十〜百nmの微小エリアまでの確定時間
2. AFM スキャンの測定時間
これまで、測定速度を向上するために、各AFMメーカが上記項目の2番目のAFMスキャンの測定時間の短縮を着目した。しかし、磁気ヘッドの生産におけるインライン検査(測定)では、上記項目の1番目のメインポール近傍エリアまでの確定時間が検査時間全体に占める割合が比較的大きいので、このメインポール近傍エリアまでの確定に要する期間を少しでも短縮できれば、AFMによる磁気ヘッドメインポール近傍の表面段差、表面粗さの測定のスループットを向上させる上で大きな効果がある。
法において、測定対象の磁気ヘッド素子とこの磁気ヘッド素子の表面を走査するカンチレ
バーとの光学像を撮像し、この撮像して得た画像から磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領
域を推定し、書込み磁界発生領域に磁界を発生させた状態でカンチレバーを上下に振動さ
せながらカンチレバーの先端部付近に形成されて表面に磁性膜が形成されている探針の上
下に振動する下端が磁気ヘッド素子の表面から一定の高さで推定した書込み磁界発生領域
を含む第1の領域を走査し、走査して得たデータから第1の領域の内部で前記書込み磁界発生領域の位置を特定し、位置を特定した書込み磁界発生領域の形状として書込み磁界発生領域の段差または表面の粗さを測定する場合には、書込み磁界発生領域での磁界の発生を停止した状態で、書込み磁界発生領域を含む第2の領域をカンチレバーの探針を上下に振動させて磁気ヘッド素子の表面に接触させながら走査するときに、探針に形成した磁性膜の残留磁界を消去しながら走査して書込み磁界発生領域の段差または表面の粗さを測定し、位置を特定した書込み磁界発生領域の形状として書込み磁界が発生している領域の寸法または形状を測定する場合には、書込み磁界発生領域での磁界の発生を停止した状態で、書き込み磁界発生領域を含む第2の領域をカンチレバーの探針を上下に振動させて磁気ヘッド素子の表面に接触させながら走査するときに、探針に形成した磁性膜に残留磁界が残った状態で走査して書込み磁界発生領域の寸法または形状を測定するようにした。
制御部は、磁気ヘッド素子に励磁信号を印加して磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域に書込み磁界を発生させた状態で、光学画像処理部で推定した磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域を含む第1の領域をZステージを制御してカンチレバーの探針が磁気ヘッド素子の表面に対して所定の間隔離れるように設定してカンチレバーを加振部で上下に振動させながらテーブル部で測定対象の磁気ヘッド素子を平面内で移動させたときに変位検出部で検出されるカンチレバーの振動の状態の情報に基づいて磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域の位置を特定し、位置を特定した書込み磁界発生領域の形状を検査することが書込み磁界発生領域の段差または表面の粗さを測定することである場合には、書込み磁界発生領域での書込み磁界の発生を停止した状態で、書込み磁界発生領域を含む第2の領域をカンチレバーの探針を上下に振動させて測定対象の磁気ヘッド素子の表面に接触させながら走査するときに、残留磁界消去手段で探針に形成した磁性膜の残留磁界を消去しながら走査して測定対象の磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域を含む領域の形状を測定し、位置を特定した書込み磁界発生領域の形状を検査することが書込み磁界発生領域の寸法または形状を測定することである場合には、書込み磁界発生領域での書込み磁界の発生を停止した状態で、書込み磁界発生領域を含む第2の領域をカンチレバーの探針を上下に振動させて測定対象の磁気ヘッド素子の表面に接触させながら走査するときに、探針に形成した磁性膜に残留磁界が残った状態で走査して測定対象の磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域を含む領域の形状を測定するようにした。
1を振動させることにより、カンチレバー1を磁気ヘッド素子部5の端面61及び62の側の面に平行な平面内で数〜数十μmの範囲内でMFMモードでスキャンする(S406)。 このスキャンにより、磁気ヘッド素子部5の磁界発生部6から発生する書込み磁界4によるカンチレバー1の振動の変化を半導体レーザ素子109と位置センサ110とを備えて構成される変位検出部120からの出力信号から検出され、磁界発生部4の位置情報が得られる。
消磁しないで測定する場合(S407でNOの場合)は、MFMモードでのスキャンで得られた磁界発生部4の位置情報を用いて、カンチレバー1のスキャン範囲を磁界発生部6の付近の数十〜数百nmの範囲内に設定すると共に、ピエゾドライバ107によりZステージ104を駆動するピエゾ素子(図示せず)を制御することによって、カンチレバー1の探針3の先端を磁気ヘッド素子部5の端面61及び62の側の面に接触させ、設定した磁界発生部6の付近の数十〜数百nmの範囲内を詳細にスキャンしてAFM測定を行う(S408)。
次に、更に測定する箇所があるかをチェックし(S410)、更に測定する箇所がある場合(YES)には、Zステージ104でカンチレバー1を上昇させた状態でピエゾドライバ107でYステージ105を駆動して次のヘッドの測定位置をカメラ103の視野内に移動させて(S411)、S404からの動作を繰返す。一方、更に測定する箇所がない場合(NO)には、Zステージ104でカンチレバー1を上昇させた状態で測定が終了したローバー40を図示していないハンドリングユニットで取出して回収トレイに収納する(S412)。
図7Aに示すように、MFMモードでスキャンした結果からAFMスキャン領域を設定し、磁気ヘッド5の磁界発生部6の外観や、サイズなどを測定する場合、カンチレバー20は、磁気ヘッド素子部5の表面に沿って、AFMモードでスキャンを行う。カンチレバー20の探針3の表面に形成された磁性膜2は、MFMモードでスキャンを行った際に、磁気ヘッド5が発生した外部磁界4により着磁され、残留磁界301を持つ。この状態でAFMモードで磁界発生部6のような磁性材料により形成された部分を測定する際、探針3には太い矢印で示すような原子間力と磁気力が発生するため、実施例1の場合と同様に測定感度の向上を期待できる。
性材料をドーピングした構成にしても良い。
Claims (8)
- 磁気ヘッド素子の形状を測定する方法であって、
測定対象の磁気ヘッド素子と該磁気ヘッド素子の表面を走査するカンチレバーとの光学
像を撮像し、
該撮像して得た画像から前記磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域を推定し、
前記書込み磁界発生領域に磁界を発生させた状態で前記カンチレバーを上下に振動させ
ながら前記カンチレバーの先端部付近に形成されて表面に磁性膜が形成されている探針の
上下に振動する下端が前記磁気ヘッド素子の表面から一定の高さで前記推定した書込み磁
界発生領域を含む第1の領域を走査し、
該走査して得たデータから前記第1の領域の内部で前記書込み磁界発生領域の位置を特定し、
前記位置を特定した前記書込み磁界発生領域の形状として前記書込み磁界発生領域の段差または表面の粗さを測定する場合には、前記書込み磁界発生領域での前記磁界の発生を停止した状態で、前記書込み磁界発生領域を含む第2の領域を前記カンチレバーの前記探針を上下に振動させて前記磁気ヘッド素子の表面に接触させながら走査するときに、前記探針に形成した磁性膜の残留磁界を消去しながら走査して前記書込み磁界発生領域の段差または表面の粗さを測定し、
前記位置を特定した前記書込み磁界発生領域の形状として前記書込み磁界発生領域の寸法または形状を測定する場合には、前記書込み磁界発生領域での前記磁界の発生を停止した状態で、前記書き込み磁界発生領域を含む第2の領域を前記カンチレバーの前記探針を上下に振動させて前記磁気ヘッド素子の表面に接触させながら走査するときに、前記探針に形成した磁性膜に残留磁界が残った状態で走査して前記書込み磁界発生領域の寸法または形状を測定する
ことを特徴とする磁気ヘッド素子の表面形状測定方法。 - 請求項1記載の磁気ヘッド素子の形状を測定する方法であって、前記探針に形成した磁性膜の残留磁界を消去することを、前記磁性膜に該磁性膜の材料の磁気共鳴周波数とほぼ同じ周波数のマイクロ波を照射することにより行うことを特徴とする磁気ヘッド素子の表面形状測定方法。
- 請求項1記載の磁気ヘッド素子の形状を測定する方法であって、前記探針には貴金属又は貴金属の合金の薄膜と前記磁性膜とが積層されて形成されており、前記第1の領域を走査した後に前記探針にレーザを照射して前記探針と前記貴金属又は貴金属の合金の薄膜との間にプラズモンを発生させ、該発生したプラズモンにより前記磁性膜を加熱して前記第1の領域を走査した後に前記磁性膜に残っている残留磁界を消去することを特徴とする磁気ヘッド素子の表面形状測定方法。
- 請求項1記載の磁気ヘッド素子の形状を測定する方法であって、前記探針には熱を吸収する光学多層膜と前記磁性膜とが積層されて形成されており、前記第1の領域を走査した後に前記探針にレーザを照射して前記光学多層膜で熱を吸収し、該吸収した熱により前記磁性膜を加熱して前記第1の領域を走査した後に前記磁性膜に残っている残留磁界を消去することを特徴とする磁気ヘッド素子の表面形状測定方法。
- 磁気ヘッド素子の形状を測定する装置であって、
測定対象の磁気ヘッド素子を載置して平面内で移動可能なテーブル部と、
先端部付近に表面に磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーと、
該カンチレバーを上下に振動させる加振部と、
該テーブル部に載置された前記測定対象の磁気ヘッド素子の上面に対して前記カンチレ
バーの高さ方向の位置を調整するZステージと、
前記カンチレバーに光ビームを照射して該カンチレバーからの反射光を検出することに
より該カンチレバーの振動の状態を検出する変位検出部と、
前記探針に形成した磁性膜の残留磁界を消去する残留磁界消去手段と、
前記テーブル部に載置された前記測定対象の磁気ヘッド素子と前記カンチレバーとの光
学像を撮像する光学撮像部と、
該光学撮像部で撮像して得た画像から前記測定対象の磁気ヘッド素子の書込み磁界発生
領域を推定する光学画像処理部と、
前記Zステージで前記カンチレバーの高さを調整した状態で前記カンチレバーを前記加
振部で上下に振動させながら前記テーブル部で前記測定対象の磁気ヘッド素子を平面内で
移動させることにより前記変位検出部で検出される前記カンチレバーの振動の状態の情報
に基づいて前記測定対象の磁気ヘッド素子の形状を測定する情報処理部と、
前記テーブル部と前記加振部と前記Zステージと前記変位検出部と前記光学撮像部と前
記光学画像処理部と前記情報処理部とを制御すると共に、磁気ヘッド素子に励磁信号を印
加して前記測定対象の磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域に書込み磁界を発生させる制
御部とを備え、
該制御部は、前記測定対象の磁気ヘッド素子に励磁信号を印加して前記測定対象の磁気
ヘッド素子の書込み磁界発生領域に書込み磁界を発生させた状態で、前記光学画像処理部
で推定した前記測定対象の磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域を含む第1の領域を前記
Zステージを制御して前記カンチレバーの前記探針が前記測定対象の磁気ヘッド素子の表面に対して所定の間隔離れるように設定して前記カンチレバーを前記加振部で上下に振動させながら前記テーブル部で前記測定対象の磁気ヘッド素子を平面内で移動させたときに前記変位検出部で検出される前記カンチレバーの振動の状態の情報に基づいて前記測定対象の磁気ヘッド素子の書込み磁界発生領域の位置を特定し、前記位置を特定した前記書込み磁界発生領域の形状を検査することが前記書込み磁界発生領域の段差または表面の粗さを測定することである場合には、前記書込み磁界発生領域での前記書込み磁界の発生を停止した状態で、前記書込み磁界発生領域を含む第2の領域を前記カンチレバーの前記探針を上下に振動させて前記測定対象の磁気ヘッド素子の表面に接触させながら走査するときに、前記残留磁界消去手段で前記探針に形成した磁性膜の残留磁界を消去しながら走査して前記測定対象の磁気ヘッド素子の前記書込み磁界発生領域を含む領域の形状を測定し、前記位置を特定した前記書込み磁界発生領域の形状を検査することが前記書込み磁界発生領域の寸法または形状を測定することである場合には、前記書込み磁界発生領域での前記書込み磁界の発生を停止した状態で、前記書込み磁界発生領域を含む前記第2の領域を前記カンチレバーの前記探針を上下に振動させて前記測定対象の磁気ヘッド素子の表面に接触させながら走査するときに、前記探針に形成した磁性膜に残留磁界が残った状態で走査して前記測定対象の磁気ヘッド素子の前記書込み磁界発生領域を含む領域の形状を測定する
ことを特徴とする磁気ヘッド素子の表面形状測定装置。 - 請求項5記載の磁気ヘッド素子の形状を測定する装置であって、前記残留磁界消去手段は、前記磁性膜に該磁性膜の材料の磁気共鳴周波数とほぼ同じ周波数のマイクロ波を照射することを特徴とする磁気ヘッド素子の表面形状測定装置。
- 請求項5記載の磁気ヘッド素子の形状を測定する装置であって、前記探針には貴金属又は貴金属の合金の薄膜と前記磁性膜とが積層されて形成されており、前記探針にレーザを照射するレーザ照射部を更に備え、前記第1の領域を走査した後に前記探針に前記レーザ照射部からレーザを照射して前記探針と前記貴金属又は貴金属の合金の薄膜との間にプラズモンを発生させ、該発生したプラズモンにより前記磁性膜を加熱して前記第1の領域を走査した後に前記磁性膜に残っている残留磁界を消去することを特徴とする磁気ヘッド素子の表面形状測定装置。
- 請求項5記載の磁気ヘッド素子の形状を測定する装置であって、前記探針には熱を吸収する光学多層膜と前記磁性膜とが積層されて形成されており、前記探針にレーザを照射するレーザ照射部を更に備え、前記第1の領域を走査した後に前記探針に前記レーザ照射部からレーザを照射して前記光学多層膜で熱を吸収し、該吸収した熱により前記磁性膜を加熱して前記第1の領域を走査した後に前記磁性膜に残っている残留磁界を消去することを特徴とする磁気ヘッド素子の表面形状測定装置。
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