JP5813609B2 - 熱アシスト磁気ヘッド検査方法及び熱アシスト磁気ヘッド検査装置 - Google Patents
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Description
しかしながら、このトラック幅に対し重要な要素となる近接場光の実効的な強度分布や大きさは、光学顕微鏡やSEM による表面形状では測定できないため、検査方法についてはは未解決の重要な課題である。
一方、この近接場光を検出する技術としては、近接場光に走査型のプローブを近付け、近接場光を散乱させることにより検出し形状を知ることができる「近接場光学顕微鏡(SNOM;Scanning Near-field Optical Microscopy,NSOM;Near-field Scanning Optical Microscopy,NOM;Near-field Optical Microscopyなどとも称する)」が 特許文献4に開示されている。
シスト磁気ヘッド素子を搭載してXY平面内で移動可能なXYテーブルと先端部に表面に
磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーとを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、
走査型プローブ顕微鏡手段のXYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成
された端子に交流電流を供給すると共に、熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場
光発光部にパルス駆動電流又はパルス駆動電圧を入射させるプローブユニットと、カンチレバーと熱アシスト磁気ヘッド素子との像を撮像する撮像手段と、撮像手段で撮像したカンチレバーと熱アシスト磁気ヘッド素子との画像を表示する画像表示手段と、探針が熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部から発生した近接場光の発生領域に有るときに探針から発生した散乱光を検出する光検出器を有する散乱光検出手段と、プローブユニットから近接場光発光部にレーザの入射を停止した状態で端子に交流電流を供給して熱アシスト磁気ヘッド素子の表面に磁界を発生させながら表面を前記カンチレバーの探針で走査することにより走査型プローブ顕微鏡手段から出力される出力信号と、端子への交流電流の供給を停止した状態でプローブユニットから近接場光発光部にレーザを入射させて近接場光発光部から近接場光を発生させながら熱アシスト磁気ヘッド素子の表面をカンチレバーの探針で走査して散乱光検出手段から出力される出力信号とを用いて熱アシスト磁気ヘッド素子の検査を行う信号処理手段とを備えて構成した。
図1Aに、本実施例に基づく熱アシスト磁気ヘッド素子を検査する装置の構成を示す。本実施例による熱アシスト磁気ヘッド検査装置100は、 磁気ヘッド素子の製造工程において、多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウェハを加工してスライダ単体(薄膜磁気ヘッドチップ)を切り出す前の工程のローバー40(ヘッドスライダが複数配列されたブロック)の状態で熱アシスト磁気ヘッド素子の発生する近接場光の強度分布を測定することが可能なものである。通常、3cm〜10cm程度の細長いブロック体として多数の薄膜磁気ヘッド素子が形成されたウェハから切り出されたローバー40は、40個〜90個程度のヘッドスライダ(薄膜磁気ヘッド素子)が配列された構成となっている。ローバー40は、発光元となるレーザ素子を内蔵している。
Claims (7)
- 熱アシスト磁気ヘッド素子を搭載してXY平面内で移動可能なXYテーブルと先端部に表面に磁性膜が形成された探針を有するカンチレバーとを備えた走査型プローブ顕微鏡手段と、
該走査型プローブ顕微鏡手段の前記XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された端子に交流電流を供給すると共に、前記熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部にパルス駆動電流又はパルス駆動電圧を印加させるプローブユニットと、
前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッド素子との像を撮像する撮像手段と、
該撮像手段で撮像した前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッド素子との画像を表示する画像表示手段と、
前記探針が前記熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部から発生した近接
場光の発生領域に有るときに前記探針から発生した散乱光を検出する光検出器を有する散
乱光検出手段と、
前記プローブユニットから前記近接場光発光部に前記パルス駆動電流又はパルス駆動電
圧の印加を停止した状態で前記端子に交流電流を供給して前記熱アシスト磁気ヘッド素子
の表面に磁界を発生させながら前記表面を前記カンチレバーの探針で走査することにより
前記走査型プローブ顕微鏡手段から出力される出力信号と、前記端子への交流電流の供給
を停止した状態で前記プローブユニットから前記近接場光発光部に前記パルス駆動電流又
はパルス駆動電圧を印加させて前記近接場光発光部から近接場光を発生させながら前記熱
アシスト磁気ヘッド素子の表面を前記カンチレバーの探針で走査して前記散乱光検出手段
から出力される出力信号とを用いて前記熱アシスト磁気ヘッド素子の検査を行う信号処理
手段と
を備えたことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査装置。 - 請求項1記載の熱アシスト磁気ヘッド検査装置であって、前記探針の表面に形成された
磁性膜の上に、貴金属又は貴金属を含む合金の粒子が形成されていることを特徴とする熱
アシスト磁気ヘッド検査装置。 - 請求項1又は2に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査装置であって、前記信号処理手段は
、前記走査型プローブ顕微鏡手段からの出力信号と前記散乱光検出手段からの出力信号と
を処理して、前記熱アシスト磁気ヘッド素子が発生する磁界の分布と前記近接場光発光部
の近傍に発生した近接場光の分布とを求めることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査
装置。 - 表面に磁性膜が形成された探針を先端部に有するカンチレバーとXY平面内で移動可能
なXYテーブルとを備えた走査型プローブ顕微鏡の前記XYテーブルに熱アシスト磁気ヘ
ッド素子を搭載し、
該XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された端子に交流電流を
供給して前記熱アシスト磁気ヘッド素子に磁界を発生させ、
前記熱アシスト磁気ヘッド素子に磁界を発生させた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素
子の表面を前記走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーの探針で走査して前記発生させた磁
界の分布を求め、
前記XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部
にパルス駆動電流又はパルス駆動電圧を印加させて前記近接場光発光部から近接場光を発
生させ、
前記近接場光発光部から近接場光を発生させた状態で前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表
面を前記走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーの探針で走査して前記近接場光の発生領域
で前記探針から発生した散乱光を対物レンズで集光して検出し、該検出した散乱光から前
記近接場光の発光領域及びその分布を求め、
前記求めた磁界の分布と前記求めた近接場光の発光領域及びその分布の情報に基づいて前
記熱アシスト磁気ヘッドの良否を判定する
ことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。 - 表面に磁性膜が形成された探針を先端部に有するカンチレバーとXY平面内で移動可能
なXYテーブルとを備えた走査型プローブ顕微鏡の前記XYテーブルに熱アシスト磁気ヘ
ッド素子を搭載し、
該XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された近接場光発光部へ
のパルス駆動電流又はパルス駆動電圧の印加を停止した状態で前記熱アシスト磁気ヘッド
素子に形成された端子に交流電流を印加して前記熱アシスト磁気ヘッド素子に磁界を発生
させながら前記熱アシスト磁気ヘッド素子の表面を前記走査型プローブ顕微鏡のカンチレ
バーの探針で第1の方向に走査して前記発生させた磁界の分布を求め、
前記XYテーブルに搭載された熱アシスト磁気ヘッド素子に形成された前記端子への交
流電流の印加を停止した状態で前記近接場光発光部にパルス駆動電流又はパルス駆動電圧
を印加させて前記近接場光発光部から近接場光を発生させながら前記熱アシスト磁気ヘッ
ド素子の表面を前記走査型プローブ顕微鏡のカンチレバーの探針で前記第1の方向と反対
向きの第2の方向に走査して前記近接場光の発生領域で前記探針から発生した散乱光を対
物レンズで集光して検出し、該検出した散乱光から前記近接場光の発光領域及びその分布
を求め、
前記求めた磁界の分布と前記求めた近接場光の発光領域及びその分布の情報に基づいて前
記熱アシスト磁気ヘッドの良否を判定する
ことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。 - 請求項4又は5に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査方法であって、前記探針の表面に形成
された磁性膜の上には貴金属又は貴金属を含む合金の粒子が形成されており、前記探針の
一部が前記近接場光発光部で発生した近接場光中に有るときに前記貴金属又は貴金属を含
む合金の粒子によって局在型表面プラズモン増強効果により増幅された散乱光を発生する
ことを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。 - 請求項4又は5に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査方法であって、前記探針を前記熱アシ
スト磁気ヘッド素子上に設定された検査領域の全面を1回スキャンすることにより、前記
検査領域内における磁界の分布と近接場光の発光領域及びその分布を求めることを特徴と
する熱アシスト磁気ヘッド検査方法。
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