WO2014156247A1

WO2014156247A1 - 熱アシスト磁気ヘッド検査装置及び熱アシスト磁気ヘッド検査方法

Info

Publication number: WO2014156247A1
Application number: PCT/JP2014/051278
Authority: WO
Inventors: 慎次郎石井; 真一郎村上
Original assignee: 株式会社日立ハイテクノロジーズ
Priority date: 2013-03-25
Filing date: 2014-01-22
Publication date: 2014-10-02
Also published as: JP2014209399A; CN105051815A

Abstract

　熱アシスト磁気ヘッド検査装置１は、熱アシスト磁気ヘッド１１が発生する磁界をカンチレバー１０の変位量から測定するヘッド磁界検出系３６，３７と、熱アシスト磁気ヘッド１１が発生する近接場光をカンチレバー位置で生じる散乱光から測定する近接場光検出系２０と、近接場光検出系を搭載し２次元方向に移動させる光学系ステージ２と、カンチレバーと磁気ヘッドの位置関係をカメラ３５により撮像して表示する画像表示部を備える。カンチレバーを交換したとき、制御部４は画像表示部を参照してカンチレバーの交換による位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ光学系ステージ２を移動させる。これにより、熱アシスト磁気ヘッドで発生する磁界と近接場光とを測定する場合において、カンチレバー交換時に位置ずれが生じてもこれを自動的に調整する。

Description

熱アシスト磁気ヘッド検査装置及び熱アシスト磁気ヘッド検査方法

　本発明は、熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光の発生状態を検査することのできる熱アシスト磁気ヘッド検査装置及び熱アシスト磁気ヘッド検査方法に関する。

　近年、薄膜磁気ヘッドの発生磁界形状を測定し磁気的な実効トラック幅等を検査するために、原子サイズレベルの高分解能を有する磁気力顕微鏡（ＭＦＭ）などを組み込んだヘッド検査装置が用いられている。磁気力顕微鏡では磁界検出用の磁性探針を取り付けたカンチレバーを有し、これを磁気ヘッド上で走査移動し、探針の変位量を検出することで磁界形状を測定するものである。特許文献１には、ウエハ上に形成された複数のヘッド素子が連なっているローバー状態の薄膜磁気ヘッドを対象とし、ボンディングパッドにより各ヘッド素子に記録信号を入力し、各ヘッド素子から発生される磁界の様子を、上記カンチレバーにて測定する技術が開示されている。

　一方、飛躍的な高容量化を要求されている次世代ハードディスクの新たな技術として、熱アシストによる磁気記録方式が提案されている。近接場光を熱源とした熱アシスト方式の磁気ヘッドを導入することで、２０ｎｍ前後の狭トラック幅記録も実現可能となる。例えば特許文献２には、近接場光の発生効率向上を目的とした熱アシスト磁気記録ヘッドの構成が開示されている。ここでは近接場光発生部として、導波路を伝わる入射光の偏光方向に垂直な方向の幅が、近接場光が発生する頂点部に向かって徐々に小さくなる断面形状を有し、かつ入射光の進行方向において近接場光が発生する頂点部に向かい、幅が、徐々に、もしくは段階的に小さくなる形状になるようにした導電性を有する構造体を用いている。

　熱アシスト磁気ヘッドにおいては、その実効トラック幅を検査するため、ヘッドから発生する近接場光の強度分布等を測定する必要がある。例えば特許文献３には、近接場光を検出する技術として、近接場光発生素子に走査型のプローブを近付け、近接場光を散乱させることにより近接場光とその他の光を区別して検出する近接場光評価装置が開示されている。

特開２００９－２３０８４５号公報特開２０１１－１４６０９７号公報特開２００６－３８７７４号公報

　特許文献１や特許文献３に記載の技術によれば、熱アシスト磁気ヘッドが発生する磁界と近接場光についてそれぞれ単独で測定することは可能であるが、両者の測定位置を関連付けて測定することについては特に考慮されていない。熱アシスト磁気ヘッドの測定では、近接場光発生領域においてカンチレバーの先端部の探針で発生する散乱光を検出する必要があり、磁界と近接場光の測定位置を一致させなければならない。例えばカンチレバーを交換した時など、カンチレバーの取り付け位置がずれることは避けられず、測定された磁界と近接場光の位置関係がずれて、測定精度が悪化する恐れがある。

　本発明の目的は、熱アシスト磁気ヘッドで発生する磁界と近接場光とを測定する場合において、カンチレバー交換時に位置ずれが生じてもこれを自動的に調整する熱アシスト磁気ヘッド検査装置及び熱アシスト磁気ヘッド検査方法を提供することである。

　本発明の熱アシスト磁気ヘッド検査装置は、熱アシスト磁気ヘッドを載置し２次元方向に走査するＸＹステージと、先端に磁性探針を有し所定周波数で励振されるカンチレバーと、カンチレバーを熱アシスト磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するＺステージと、熱アシスト磁気ヘッドが発生する磁界をカンチレバーの変位量から測定するヘッド磁界検出系と、熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光をカンチレバー位置で生じる散乱光から測定する近接場光検出系と、近接場光検出系を搭載し２次元方向に移動させる光学系ステージと、カンチレバーと熱アシスト磁気ヘッドの位置関係をカメラにより撮像して表示する画像表示部と、熱アシスト磁気ヘッドとカンチレバーと近接場光検出系が所定の位置関係になるようＸＹステージと光学系ステージを制御する制御部と、を備え、カンチレバーを交換したとき、制御部は画像表示部を参照してカンチレバーの交換による位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ光学系ステージを移動させる。

　本発明によれば、熱アシスト磁気ヘッドで発生する磁界と近接場光とを測定する場合において、カンチレバー交換時に位置ずれが生じてもこれを自動的に調整することができ、作業効率が向上する。

熱アシスト磁気ヘッド検査装置の一実施例を示す概略構成図（平面図）。熱アシスト磁気ヘッド検査装置の一実施例を示す概略構成図（側面図）。カンチレバー交換時の位置合わせ用画面を示す図。カンチレバー交換時のステージ位置調整を示すフローチャート。磁気ヘッド交換時の位置合わせ用画面を示す図。磁気ヘッド交換時のステージ位置調整を示すフローチャート。

　以下、本発明の実施例を図面を用いて説明する。

　図１と図２は、本発明の熱アシスト磁気ヘッド検査装置の一実施例を示す概略構成図で、図１は平面図（ＸＹ面図）、図２は側面図（ＸＺ面図）である。なお、図２における光学系ステージ２の部分は、図１と同様に平面図としている。熱アシスト磁気ヘッド検査装置１（以下、単に磁気ヘッド検査装置と呼ぶ）は走査型プローブ顕微鏡をベースとし、光学系ステージ２と測定系ステージ３、及び各ステージを制御する制御部４を備え、熱アシスト磁気ヘッド１１（以下、単に磁気ヘッドと呼ぶ）が発生する近接場光の発光状態及び磁界の分布を検査するものである。

　始めに、測定系ステージ３の構成を説明する。測定系ステージ３はＸステージ３１、Ｙステージ３２、及びＺステージ３３を有し、検査対象である磁気ヘッド１１は、Ｙステージ３２上の載置台３０に保持される。磁気ヘッド１１は、ローバー状態から磁気ヘッド単体に切り出したスライダ状態としている。なお、本実施例では、ウエハから磁気ヘッド単体に切り出す前のローバー状態であっても構わない。磁気ヘッド１１にはレーザ素子を内蔵し、熱アシスト用の近接場光を発生する。プローブユニット１２は、検査対象の磁気ヘッド１１に磁界と近接場光とを発生させるための電力を供給する。磁気ヘッド１１が発生する磁界と近接場光は、磁気ヘッド１１の表面（ディスク対向面）をカンチレバー１０を走査させて検出する。

　Ｘステージ３１とＹステージ３２は、ピエゾ素子により磁気ヘッド１１の載置台３０を２次元ＸＹ方向に移動させる。Ｚステージ３３はカンチレバー１０を保持し、ピエゾ素子によりカンチレバー１０をＺ方向に移動させる。Ｚステージ３３を調整することで、カンチレバー１０の先端に形成した磁性探針（以下、単に探針と呼ぶ）が、磁気ヘッド１１の表面から所定高さ（ヘッド浮上高さに相当）に位置するように調整する。なお、カンチレバー１０の高さ調整は、カンチレバー１０から得られる後述する変位信号の大きさに基づいて行う。カンチレバー１０のＺ方向上方には、カンチレバー１０に対する磁気ヘッド１１の位置決めを行うための上カメラ３５が設けられている。

　制御部４はＰＣやモニターで構成され、上カメラ３５で撮像した磁気ヘッド１１の画像に基づいて、測定系ステージ駆動制御回路４２を介してＸステージ３１、Ｙステージ３２を制御して、磁気ヘッド１１が所定の位置にくるように調整する。磁気ヘッド１１の位置決め調整が終了すると、制御部４の指令によりプローブユニット１２から磁気ヘッド１１の電極に給電する。

　カンチレバー１０は、Ｚステージ３３に取り付けている加振部３４により、所定の周波数で所定の振幅で振動させる。磁気ヘッド１１からの磁界を受けるとカンチレバー１０の探針に引力又は斥力の磁気力が生じ、カンチレバー１０のＺ方向の変位量が変化する。ヘッド磁界検出系は、磁気ヘッド１１の発生する磁界形状を、カンチレバー１０の振動状態（変位量）から検出する。カンチレバー１０の変位量は、レーザ光源３６から出射したレーザ光をカンチレバー１０に当て、カンチレバー１０で反射した光を変位センサ３７で検出する。変位センサ３７からの出力信号は、図示しない差動アンプ、ＤＣコンバータ、フィードバックコントローラなどを経て制御部４に送られ、磁界形状が求められる。

　次に、光学系ステージ２の構成を説明する。光学系ステージ２は近接場光検出系２０を搭載し、磁気ヘッド１１の発生する近接場光を測定する。光学系ステージ２は光学系ステージ駆動制御回路４１により、近接場光検出系２０を２次元ＸＹ方向に移動させる。

　近接場光検出系２０は、対物レンズ、ハーフミラー、ＬＥＤ光源、結像レンズを備えた結像レンズ系２３と、中央部にピンホールが形成されたピンホール付ミラー２２と、ピンホール付ミラー２２のピンホールを通過した光を検出する光検出器２１を有する。さらに、ピンホール付ミラー２２で反射された光学像を結像させるリレーレンズ系２４と、リレーレンズ系２４で結像された光学像を検出する横カメラ２５を備える。

　カンチレバー１０の探針が磁気ヘッド１１による近接場光の発生領域に入ると、近接場光による散乱光を発生する。この発生した散乱光のうち結像レンズ系２３に入射した散乱光は、結像レンズの結像面上にカンチレバー１０の探針の散乱光像を形成する。探針の表面の散乱光像は、ピンホール付ミラー２２のピンホールを通過し光検出器２１で検出される。これより、磁気ヘッド１１が発生する近接場光の強度を測定することができる。

　一方、結像レンズ系２３のＬＥＤ光源から出射された光は、対物レンズを透過してカンチレバー１０の探針及び磁気ヘッド１１を照明する。この照明光が照射された領域の像は結像レンズ系２３に入力し、ピンホール付ミラー２２で反射され、リレーレンズ２４を経て横カメラ２５で撮像される。

　光検出器２１で検出した近接場光の信号と、横カメラ２５からの画像信号は制御部４に送られる。制御部４では、光検出器２１の出力信号からカンチレバー１０の振動と同期した信号を取り出し、また横カメラ２５からの画像信号をモニター画面に表示する。横カメラ２５で撮像された画像をモニター画面上で確認しながら、光学系ステージ駆動制御回路４１を介して光学系ステージ２（近接場光検出系２０）のＸＹ位置を調整して、カンチレバー１０の探針で発生した散乱光がピンホールを通過して光検出器２１で検出されるように調整する。

　次に、上記した磁気ヘッド検査装置１において、カンチレバー１０を交換するときの位置合わせ方法について説明する。カンチレバー１０の交換作業において、交換後の取り付け位置にわずかな位置ずれが生じることは避けられない。カンチレバー１０と磁気ヘッド１１の位置ずれについては、上カメラ３５でカンチレバー１０と磁気ヘッド１１の画像を確認し、Ｘテーブル３１とＹテーブル３２により磁気ヘッド１１を移動させることで、カンチレバー１０を磁気ヘッド１１の所望位置に位置決めすることができる。

　さらに、カンチレバー１０と近接場光検出系２０の位置ずれについて調整が必要である。これは、近接場光検出系２０で検出する近接場光の散乱光は、カンチレバー１０の探針位置に発生するからである。この調整方法として、上記したように横カメラ２５でカンチレバー１０の探針位置をモニター画面で確認し、光学系ステージ駆動制御回路４１により光学系ステージ２をＸＹ方向に移動させることで、近接場光検出系２０の検出位置をカンチレバー１０の探針に一致させることができる。しかしながらこの方法は、横カメラ２５からのモニター画面を観察しながらの調整作業であり、上記した上カメラ３５を用いて磁気ヘッド１１の位置決め作業とは別個に行う必要があり、作業効率が良くない。そこで本実施例では、磁気ヘッド１１の位置調整と近接場光検出系２０の位置調整の２つの作業を関連付けて行うことで、近接場光検出系２０の調整作業を自動化し、作業効率を向上させるようにした。以下、その方法を説明する。

　図３は、カンチレバー交換時の位置合わせ用画面を示す図である。いずれも上カメラ３５によりカンチレバー１０を撮像し、制御部４のモニター画面に表示したものである。

　（ａ）はカンチレバー交換前のカメラ画面であり、Ｚ方向上方から見たカンチレバー１０とその近傍の磁気ヘッド１１の表面が映し出されている。ここでは、Ｘステージ３１とＹステージ３２を移動させ、磁気ヘッド１１の所望の測定位置（例えばシールド部１３）がカンチレバー１０の先端部（探針）に一致するよう調整されている状態である。このときのカンチレバー１０の先端位置をＰとし、マーカ５０（Ｘ，Ｙ方向の破線）を位置Ｐに合わせてそのＸＹ座標を記憶する。

　（ｂ）はカンチレバー交換後のカメラ画面であり、交換後のカンチレバー１０’とその近傍の磁気ヘッド１１の表面が映し出されている。この例では、交換後のカンチレバー１０’は画面の左下方向にずれて取り付けられている。このときのカンチレバー１０’の先端位置をＰ’とし、マーカ５０’を位置Ｐ’に合わせてそのＸＹ座標を記憶する。また、Ｘステージ３１とＹステージ３２を移動し、磁気ヘッド１１の所望の測定位置（シールド部１３）が交換後のカンチレバー１０’の先端部（探針）に一致するよう調整した状態である。

　（ｃ）は、カンチレバー交換前後の相対位置関係を示す。交換前のカンチレバー１０の先端位置Ｐは、交換後のカンチレバー１０’の先端位置Ｐ’にずれており、ＸＹ座標でのずれ量はΔＸ，ΔＹである。このずれ量ΔＸ，ΔＹは、マーカ５０，５０’のＸＹ座標として記憶した値の差分値であり、当然ながら、上記（ｂ）の磁気ヘッド１１位置の調整作業におけるＸステージ３１とＹステージ３２の移動量に等しい。

　このずれ量ΔＸ，ΔＹが分かると、制御部４は光学系ステージ駆動制御回路４１により、光学系ステージ２を上記ずれ量ΔＸ，ΔＹだけ移動させる。これにより、近接場光検出系２０の検出位置をカンチレバー１０の探針に一致させることができる。すなわち、カンチレバー交換に伴うＸステージ３１とＹステージ３２の調整量ΔＸ，ΔＹを記憶しておき、これに等しい量だけ光学系ステージ２を移動させればよい。その結果、横カメラ２５からのモニター画面を確認することなく、交換後のカンチレバー１０’に対する近接場光検出系２０の位置を自動的に調整することができる。

　図４は、カンチレバー交換時のステージ位置調整を示すフローチャートである。なお、以下の各工程は制御部４により進行される。
Ｓ１０１でカンチレバー交換作業を開始する。この状態では、交換前のカンチレバー１０に対し、測定系ステージ３（Ｘステージ３１、Ｙステージ３２、Ｚステージ３３）及び光学系ステージ２は最適に位置調整がなされているものとする。

　Ｓ１０２では、上カメラ３５のモニター画面を参照し、交換前のカンチレバー１０の先端位置Ｐをマーカ５０のＸＹ座標として保存する。図３（ａ）参照。
Ｓ１０３では、光学系ステージ駆動制御回路４１の制御値を参照し、光学系ステージ２の現在のＸＹ位置を保存する。

　Ｓ１０４では、作業者はカンチレバー１０を１０’に交換し、Ｚステージ３３に取り付ける。
Ｓ１０５では、上カメラ３５のモニター画面を参照し、交換後のカンチレバー１０’の先端位置Ｐ’にマーカ５０’を移動させ、そのＸＹ座標を登録する。これに合わせて、Ｘステージ３１とＹステージ３２を移動させ、磁気ヘッド１１の所望の測定位置（シールド部１３）がカンチレバー１０’の先端部に一致するよう調整する。図３（ｂ）参照。

　Ｓ１０６では、交換前カンチレバー１０に対するマーカ５０と交換後カンチレバー１０’に対するマーカ５０’の相対位置関係として、ＸＹ座標のずれ量ΔＸ，ΔＹを算出する。なお、モニター画面から読み取られるＸＹ座標の値は、画素（Ｐｉｘｅｌ）単位で表わされている。図３（ｃ）参照。
Ｓ１０７では、画素単位で表わされたＸＹ座標の相対位置関係と、画面拡大率を考慮した１画素の分解能（画素間隔）の値を用いて、実際の距離値で表わされた相対位置関係を算出する。

　Ｓ１０８では、光学系ステージ駆動制御回路４１は、Ｓ１０３で保存した現在の光学系ステージ２の位置に、Ｓ１０７で算出したＸＹ座標の相対位置関係（ずれ量ΔＸ，ΔＹ）を加算した位置に、光学系ステージ２を移動させる。
Ｓ１０９では、カンチレバー交換に伴うステージ位置調整を終了し、引き続き磁気ヘッドの検査工程に進む。

　このように本実施例によれば、カンチレバー交換に伴う光学系ステージ２の位置調整を、カメラ画像を観察することなく自動的に実行することができ、作業効率が向上する。

　実施例１では、カンチレバー交換に伴う光学系ステージ２のＸＹ方向のずれを自動調整するものであった。これに対し実施例２では、検査対象である磁気ヘッドを交換する時、磁気ヘッドの高さ（すなわちスライダの高さ）が変化した際に、光学系ステージ２のＺ方向のずれを自動調整するものである。従って実施例２における光学系ステージ２は、磁気ヘッド１１の発生する近接場光を測定する近接場光検出系２０を搭載し、光学系ステージ駆動制御回路４１により、近接場光検出系２０を３次元ＸＹＺ方向に移動させるものとする。

　磁気ヘッドはスライダ状態で説明するが、ウエハから単体に切り出す前のローバー状態であっても構わない。磁気ヘッド１１が発生する近接場光は、磁気ヘッドの表面（ディスク対向面）のレーザ発光位置に集中し、これをカンチレバー１０で散乱して散乱光として検出するものであるから、近接場光検出系２０の高さは磁気ヘッド１１の高さに合わせねばならない。

　図５は、磁気ヘッド交換時の位置合わせ用画面を示す図である。いずれも横カメラ２５により磁気ヘッド１１の側面とピンホール付きミラー２２を撮像し、制御部４のモニター画面に表示したものである。

　（ａ）は磁気ヘッド交換前のカメラ画面であり、Ｘ方向左方から見た磁気ヘッド１１の側面とピンホール付きミラー２２のピンホール部が映し出されている。符号６０はヘッド表面（ディスク対向面）、６１は近接場光のレーザ発光位置、６２は電極（ボンディングパッド）である。ここでは、光学系ステージ２を移動させ、ピンホール付きミラー２２のピンホール中心部が磁気ヘッド１１の所望の測定位置（例えばレーザー発光位置６１）に一致するよう調整されている状態である。また、図示しないが、実施例１の図３と同様にＸステージ３１とＹステージ３２を移動させ、ＸＹ面において磁気ヘッド１１の所望の測定位置（例えばシールド部１３）がカンチレバー１０の先端部（探針）に一致するよう調整されている。このときのヘッド表面６０の位置にマーカ５０（破線）を合わせて、そのＺ座標を記憶する。

　（ｂ）は磁気ヘッド交換後のカメラ画面であり、交換後の磁気ヘッド１１’とピンホール付ミラー２２のピンホールが映し出されている。この例では、交換後の磁気ヘッド１１’は、画面の下方向にずれて取り付けられている。このときの磁気ヘッド１１’のヘッド表面６０’の位置にマーカ５０’を合わせて、そのＺ座標を記憶する。また、図示しないが、図３と同様にＸステージ３１とＹステージ３２を移動し、磁気ヘッド１１’の所望の測定位置（シールド部１３）がカンチレバー１０の先端部（探針）に一致するよう調整する。これにより、磁気ヘッド１１’のレーザ発光位置６１’とピンホール付ミラー２２のピンホールのＹ方向の位置が一致する。ただし、光学系ステージ２は調整せず、Ｚ方向に関しては磁気ヘッド交換前と同じ位置である。

　（ｃ）は、磁気ヘッド交換前後の相対位置関係を示す。交換前のヘッド表面６０は、交換後のヘッド表面６０’にずれており、Ｚ座標でのずれ量はΔＺである。このずれ量ΔＺは、マーカ５０，５０’のＺ座標として記憶した値の差分値である。

　このずれ量ΔＺが分かると、制御部４は光学系ステージ駆動制御回路４１により、光学系ステージ２を上記ずれ量ΔＺだけＺ方向に移動させる。これにより、近接場光検出系２０の検出位置を磁気ヘッドの表面に一致させることができる。すなわち、磁気ヘッド交換に伴うヘッド表面のずれ量ΔＺを記憶しておき、これに等しい量だけ光学系ステージ２を移動させればよい。その結果、横カメラ２５からのモニター画面を確認することなく、交換後の磁気ヘッド１１’のヘッド表面６０’に対する近接場光検出系２０の位置を自動的に調整することができる。

　図６は、磁気ヘッド交換時のステージ位置調整を示すフローチャートである。なお、以下の各工程は制御部４により進行される。
Ｓ２０１で磁気ヘッド交換作業を開始する。この状態では、交換前の磁気ヘッドに対し、測定系ステージ３（Ｘステージ３１、Ｙステージ３２、Ｚステージ３３）及び光学系ステージ２は最適に位置調整がなされているものとする。

　Ｓ２０２では、横カメラ２５のモニター画面を参照し、交換前の磁気ヘッド１１のヘッド表面６０にマーカ５０を合わせＺ座標として保存する。図５（ａ）参照。
Ｓ２０３では、光学系ステージ駆動制御回路４１の制御値を参照し、光学系ステージ２の現在のＺ位置を保存する。

　Ｓ２０４では、作業者は磁気ヘッド１１を１１’に交換し、載置台３０に取り付ける。
Ｓ２０５では、横カメラ２５のモニター画面を参照し、交換後の磁気ヘッド１１’のヘッド表面６０’にマーカ５０’を移動させ、そのＺ座標を登録する。図５（ｂ）参照。また、Ｘステージ３１とＹステージ３２を移動させ、磁気ヘッド１１’の所望の測定位置（シールド部１３）がカンチレバー１０の先端部に一致するよう調整する。

　Ｓ２０６では、交換前磁気ヘッド１１に対するマーカ５０と交換後磁気ヘッド１１’に対するマーカ５０’の相対位置関係として、Ｚ座標のずれ量ΔＺを算出する。なお、モニター画面から読み取られるＺ座標の値は、画素（Ｐｉｘｅｌ）単位で表わされている。図５（ｃ）参照。
Ｓ２０７では、画素単位で表わされたＹ座標の相対位置関係と、画面拡大率を考慮した１画素の分解能（画素間隔）の値を用いて、実際の距離値で表わされた相対位置関係を算出する。

　Ｓ２０８では、光学系ステージ駆動制御回路４１は、Ｓ２０３で保存した現在の光学系ステージ２の位置に、Ｓ２０７で算出したＺ座標の相対位置関係（ずれ量ΔＺ）を加算した位置に、光学系ステージ２を移動させる。
Ｓ２０９では、磁気ヘッド交換に伴うステージ位置調整を終了し、引き続き磁気ヘッドの検査工程に進む。

　このように本実施例によれば、磁気ヘッド交換に伴う光学系ステージ２の位置調整を、カメラ画像を観察することなく自動的に実行することができ、作業効率が向上する。

　１…熱アシスト磁気ヘッド検査装置、
　２…光学系ステージ、
　３…測定系ステージ、
　４…制御部、
　１０，１０’…カンチレバー、
　１１，１１’…熱アシスト磁気ヘッド、
　１２…プローブユニット、
　２０…近接場光検出系、
　２１…光検出器、
　２２…ピンホール付ミラー、
　２３…結像レンズ系、
　２４…リレーレンズ系、
　２５…横カメラ、
　３０…載置台、
　３１…Ｘステージ、
　３２…Ｙステージ、
　３３…Ｚステージ、
　３４…加振部、
　３５…上カメラ、
　３６…レーザ光源、
　３７…変位センサ、
　４１…光学系ステージ駆動制御回路、
　４２…測定系ステージ駆動制御回路、
　５０，５０’…マーカ、
　６０…ヘッド表面、
　６１…レーザ発光位置、
　６２…電極。

Claims

　熱アシスト磁気ヘッドの発生する磁界と近接場光を検査する熱アシスト磁気ヘッド検査装置において、
　前記熱アシスト磁気ヘッドを載置し２次元方向に走査するＸＹステージと、
　先端に磁性探針を有し所定周波数で励振されるカンチレバーと、
　前記カンチレバーを前記熱アシスト磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するＺステージと、
　前記熱アシスト磁気ヘッドが発生する磁界を前記カンチレバーの変位量から測定するヘッド磁界検出系と、
　前記熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光を前記カンチレバー位置で生じる散乱光から測定する近接場光検出系と、
　前記近接場光検出系を搭載し２次元方向に移動させる光学系ステージと、
　前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッドの位置関係をカメラにより撮像して表示する画像表示部と、
　前記熱アシスト磁気ヘッドと前記カンチレバーと前記近接場光検出系が所定の位置関係になるよう、前記ＸＹステージと前記光学系ステージを制御する制御部と、を備え、
　前記カンチレバーを交換したとき、前記制御部は前記画像表示部を参照して前記カンチレバーの交換による位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ前記光学系ステージを移動させることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査装置。
　熱アシスト磁気ヘッドの発生する磁界と近接場光を検査する熱アシスト磁気ヘッド検査方法において、
　先端に磁性探針を有するカンチレバーを所定周波数で励振するステップと、
　ＸＹステージにより前記熱アシスト磁気ヘッドを載置し２次元方向に走査するステップと、
　Ｚステージにより前記カンチレバーを前記磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するステップと、
　ヘッド磁界検出系により、前記熱アシスト磁気ヘッドが発生する磁界を前記カンチレバーの変位量から測定するステップと、
　近接場光検出系により、前記熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光を前記カンチレバー位置で生じる散乱光から測定するステップと、
　光学系ステージにより前記近接場光検出系を搭載し２次元方向に移動させるステップと、
　前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッドの位置関係をカメラにより撮像して画像表示部に表示するステップと、
　前記熱アシスト磁気ヘッドと前記カンチレバーと前記近接場光検出系が所定の位置関係になるよう前記ＸＹステージと前記光学系ステージを制御するステップと、を備え、
　前記カンチレバーを交換したとき、前記画像表示部を参照して前記カンチレバーの交換による位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ前記光学系ステージを移動させることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。
　請求項２に記載の熱アシスト磁気ヘッド検査方法であって、
　前記カンチレバーを交換したとき、前記熱アシスト磁気ヘッドの位置調整のため前記ＸＹステージを移動させ、該移動量だけ前記光学系ステージを移動させることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。
　熱アシスト磁気ヘッドの発生する磁界と近接場光を検査する熱アシスト磁気ヘッド検査装置において、
　熱アシスト磁気ヘッドを載置し２次元方向に走査するＸＹステージと、
　先端に磁性探針を有し所定周波数で励振されるカンチレバーと、
　前記カンチレバーを前記熱アシスト磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するＺステージと、
　前記熱アシスト磁気ヘッドが発生する磁界を前記カンチレバーの変位量から測定するヘッド磁界検出系と、
　前記熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光を前記カンチレバーで散乱光としピンホールを介して測定する近接場光検出系と、
　前記近接場光検出系を搭載し３次元方向に移動させる光学系ステージと、
　前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッドのＸＹ方向の位置関係を撮像する第１のカメラと、
　前記ピンホールと前記熱アシスト磁気ヘッドのＹＺ方向の位置関係を撮像する第２のカメラと、
　前記第１のカメラと前記第２のカメラの画像を表示する画像表示部と、
　前記熱アシスト磁気ヘッドと前記カンチレバーと前記近接場光検出系が所定の位置関係になるよう、前記ＸＹステージと前記光学系ステージを制御する制御部と、を備え、
　前記カンチレバーを交換したとき、前記制御部は、前記画像表示部に表示された前記第１のカメラの画像を参照して前記カンチレバーの交換によるＸＹ方向の位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ前記光学系ステージをＸＹ方向に移動させるとともに、
　前記熱アシスト磁気ヘッドを交換したとき、前記制御部は、前記画像表示部に表示された前記第２のカメラの画像を参照して前記熱アシスト磁気ヘッドの交換によるＺ方向の位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ前記光学系ステージをＺ方向に移動させることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査装置。
　熱アシスト磁気ヘッドの発生する磁界と近接場光を検査する熱アシスト磁気ヘッド検査方法において、
　先端に磁性探針を有するカンチレバーを所定周波数で励振するステップと、
　ＸＹステージにより前記熱アシスト磁気ヘッドを載置し２次元方向に走査するステップと、
　Ｚステージにより前記カンチレバーを前記磁気ヘッドの表面から所定高さに保持するステップと、
　ヘッド磁界検出系により、前記熱アシスト磁気ヘッドが発生する磁界を前記カンチレバーの変位量から測定するステップと、
　近接場光検出系により、前記熱アシスト磁気ヘッドが発生する近接場光を前記カンチレバー位置で生じる散乱光から測定するステップと、
　光学系ステージにより前記近接場光検出系を搭載し３次元方向に移動させるステップと、
　前記カンチレバーと前記熱アシスト磁気ヘッドのＸＹ方向の位置関係及びＹＺ方向の意位置関係を第１のカメラ及び第２のカメラでそれぞれを撮像して画像表示部に表示するステップと、
　前記熱アシスト磁気ヘッドと前記カンチレバーと前記近接場光検出系が所定の位置関係になるよう前記ＸＹステージと前記光学系ステージを制御するステップと、を備え、
　前記カンチレバーを交換したとき、前記制御部は、前記画像表示部に表示された前記第１のカメラの画像を参照して前記カンチレバーの交換によるＸＹ方向の位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ前記光学系ステージをＸＹ方向に移動させるとともに、
　前記熱アシスト磁気ヘッドを交換したとき、前記制御部は、前記画像表示部に表示された前記第２のカメラの画像を参照して前記熱アシスト磁気ヘッドの交換によるＺ方向の位置ずれ量を算出し、算出した位置ずれ量だけ前記光学系ステージをＺ方向に移動させることを特徴とする熱アシスト磁気ヘッド検査方法。