JP2777525B2 - 表面粗さ測定装置 - Google Patents
表面粗さ測定装置Info
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- JP2777525B2 JP2777525B2 JP5107669A JP10766993A JP2777525B2 JP 2777525 B2 JP2777525 B2 JP 2777525B2 JP 5107669 A JP5107669 A JP 5107669A JP 10766993 A JP10766993 A JP 10766993A JP 2777525 B2 JP2777525 B2 JP 2777525B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、表面粗さ測定装置に係
り、特に断面曲線からうねり曲線線分を抽出するローパ
スフィルタ部分の改良に関する。
り、特に断面曲線からうねり曲線線分を抽出するローパ
スフィルタ部分の改良に関する。
【０００２】
【従来の技術】各種機械加工品の表面加工精度の評価等
に利用される表面粗さ測定機は、図５(a) または(b) の
ように構成されている。これらは、触針式の例である。
図５(a) は、被測定物の表面をトレースする触針１、こ
の触針１により検出される振動を電気信号に変換して増
幅する検出器２、この検出器２の出力をフィルタリング
するアナログフィルタ３、フィルタリング処理を施した
信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ４、
変換されたデジタルデータを処理するデータ処理部５に
より構成されている。図５(b) は、アナログフィルタを
用いず、データ処理部５の中でディジタル的にフィルタ
リング処理を行う場合である。
に利用される表面粗さ測定機は、図５(a) または(b) の
ように構成されている。これらは、触針式の例である。
図５(a) は、被測定物の表面をトレースする触針１、こ
の触針１により検出される振動を電気信号に変換して増
幅する検出器２、この検出器２の出力をフィルタリング
するアナログフィルタ３、フィルタリング処理を施した
信号をディジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ４、
変換されたデジタルデータを処理するデータ処理部５に
より構成されている。図５(b) は、アナログフィルタを
用いず、データ処理部５の中でディジタル的にフィルタ
リング処理を行う場合である。
【０００３】検出器２により検出される信号波形は、図
６(a) に示す断面曲線と呼ばれるものであり、この断面
曲線には、図６(b) (c) に示すような低周波のうねり曲
線と高周波の粗さ曲線とが含まれる。表面粗さに相当す
る小さい凹凸成分に対応するのが粗さ曲線である。断面
曲線からうねり曲線を求めるにはローパスフィルタが用
いられ、表面粗さを求めるにはハイパスフィルタが用い
られる。うねり曲線を求めるローパスフィルタを用いた
場合には、元の信号（断面曲線）からこのローパスフィ
ルタの出力（うねり曲線）を引くことによっても、表面
粗さ曲線を求めることができる。図５(a) のアナログフ
ィルタ３は、この様なフィルタリング処理を行うための
ものであり、図５(b) ではこれがデータ処理部５におい
てディジタル的に行われる。
６(a) に示す断面曲線と呼ばれるものであり、この断面
曲線には、図６(b) (c) に示すような低周波のうねり曲
線と高周波の粗さ曲線とが含まれる。表面粗さに相当す
る小さい凹凸成分に対応するのが粗さ曲線である。断面
曲線からうねり曲線を求めるにはローパスフィルタが用
いられ、表面粗さを求めるにはハイパスフィルタが用い
られる。うねり曲線を求めるローパスフィルタを用いた
場合には、元の信号（断面曲線）からこのローパスフィ
ルタの出力（うねり曲線）を引くことによっても、表面
粗さ曲線を求めることができる。図５(a) のアナログフ
ィルタ３は、この様なフィルタリング処理を行うための
ものであり、図５(b) ではこれがデータ処理部５におい
てディジタル的に行われる。
【０００４】上述のように表面粗さ曲線は、ある波長よ
り長いうねり曲線成分をカットして得られるもので、そ
の波長はカットオフ値と呼ばれる。表面粗さ測定を行う
ためのうねり曲線を求めるローパスフィルタの特性につ
いては、国内的にも国際的にも規格が定められ、その周
波数特性と理想とされるガウスフィルタの周波数特性と
の誤差がある範囲に収まることが要求されている。ガウ
スフィルタとは、フィルタのインパルス応答（窓関数）
と周波数特性とが共にガウス関数（正規分布関数）の形
を呈するフィルタである。
り長いうねり曲線成分をカットして得られるもので、そ
の波長はカットオフ値と呼ばれる。表面粗さ測定を行う
ためのうねり曲線を求めるローパスフィルタの特性につ
いては、国内的にも国際的にも規格が定められ、その周
波数特性と理想とされるガウスフィルタの周波数特性と
の誤差がある範囲に収まることが要求されている。ガウ
スフィルタとは、フィルタのインパルス応答（窓関数）
と周波数特性とが共にガウス関数（正規分布関数）の形
を呈するフィルタである。
【０００５】図５(a) に示すアナログフィルタ方式で
は、時定数の等しいＣＲフィルタを無限に縦続接続する
と、そのフィルタ特性は理想的なガウスフィルタに限り
なく近付くことは従来より知られている。これに対して
最近は、図５(b) の方式を採用して、コンピュータのソ
フトウェア内でディジタル的なフィルタリング処理を行
うことが主流になりつつある。具体的には、三角形窓を
有する有限インパルス応答フィルタ（ＦＩＲフィル
タ）、または２次の無限インパルス応答フィルタ（ＩＩ
Ｒフィルタ）を２段縦続接続した形のフィルタを用い
て、近似的にガウスフィルタを実現する方式が既に提案
されている。
は、時定数の等しいＣＲフィルタを無限に縦続接続する
と、そのフィルタ特性は理想的なガウスフィルタに限り
なく近付くことは従来より知られている。これに対して
最近は、図５(b) の方式を採用して、コンピュータのソ
フトウェア内でディジタル的なフィルタリング処理を行
うことが主流になりつつある。具体的には、三角形窓を
有する有限インパルス応答フィルタ（ＦＩＲフィル
タ）、または２次の無限インパルス応答フィルタ（ＩＩ
Ｒフィルタ）を２段縦続接続した形のフィルタを用い
て、近似的にガウスフィルタを実現する方式が既に提案
されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、２次のＩＩＲ
フィルタを２段縦続接続する方法では、そのフィルタ特
性はガウスフィルタとの間に未だ大きな誤差が残る。一
方ＦＩＲフィルタを用いると、より誤差を小さくするこ
とが可能であるが、その場合には演算数が極めて多くな
り、従って極めて長い演算時間がかかる。本発明は、比
較的短い演算時間でかつガウスフィルタに対する誤差の
小さいフィルタリング処理ができるローパスフィルタを
備えた表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
フィルタを２段縦続接続する方法では、そのフィルタ特
性はガウスフィルタとの間に未だ大きな誤差が残る。一
方ＦＩＲフィルタを用いると、より誤差を小さくするこ
とが可能であるが、その場合には演算数が極めて多くな
り、従って極めて長い演算時間がかかる。本発明は、比
較的短い演算時間でかつガウスフィルタに対する誤差の
小さいフィルタリング処理ができるローパスフィルタを
備えた表面粗さ測定装置を提供することを目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、被測定物の断
面曲線からローパスフィルタによりうねり曲線成分を求
め、このうねり曲線成分を元の信号（断面曲線）から引
いて粗さ曲線成分を抽出する表面粗さ測定装置におい
て、前記ローパスフィルタは、二つの調整係数ζとβを
持つ下記数１の伝達関数で表されるフィルタを２段縦続
接続して構成されていることを特徴とする。
面曲線からローパスフィルタによりうねり曲線成分を求
め、このうねり曲線成分を元の信号（断面曲線）から引
いて粗さ曲線成分を抽出する表面粗さ測定装置におい
て、前記ローパスフィルタは、二つの調整係数ζとβを
持つ下記数１の伝達関数で表されるフィルタを２段縦続
接続して構成されていることを特徴とする。
【０００８】
【数１】Ｇ（ｓ）＝1/｛( αs/ωc)2 +2ζ( αs/ωc)+
1｝｛βs/ωc+1 ｝
1｝｛βs/ωc+1 ｝
【０００９】上記式において、ｓ＝ωｃ、ω＝２πｆ
（ｆ：周波数）、ωｃ＝２πｆｃ（ｆｃ：カットオフ周
波数）、α＝定数であり、調整係数ζとβはそれぞれ、
ζ＝０．４８２〜０．９６６の範囲、及びβ＝０．００
０〜１．３４３の範囲に設定される。
（ｆ：周波数）、ωｃ＝２πｆｃ（ｆｃ：カットオフ周
波数）、α＝定数であり、調整係数ζとβはそれぞれ、
ζ＝０．４８２〜０．９６６の範囲、及びβ＝０．００
０〜１．３４３の範囲に設定される。
【００１０】本発明において好ましくは、調整係数ζ，
βは、ζ＝０．４８２〜０．９６６、β＝０．０００〜
１．３４３の範囲内で、一方が大きいときは他方が小さ
くなるような関係をもって適宜設定される。本発明にお
いてより好ましくは、調整係数ζ，βは、ζ＝０．６３
２〜０．７２２、β＝０．７８９〜０．９８６の範囲内
で、やはり一方が大きいときは他方が小さくなるような
関係をもって適宜設定される。
βは、ζ＝０．４８２〜０．９６６、β＝０．０００〜
１．３４３の範囲内で、一方が大きいときは他方が小さ
くなるような関係をもって適宜設定される。本発明にお
いてより好ましくは、調整係数ζ，βは、ζ＝０．６３
２〜０．７２２、β＝０．７８９〜０．９８６の範囲内
で、やはり一方が大きいときは他方が小さくなるような
関係をもって適宜設定される。
【００１１】定数αは、伝達関数の絶対値をカットオフ
値（ω＝ωc ）で０．５とするために、即ち振幅伝達率
を５０％にするために、下記数２を満たすように設定す
ることが好ましい。
値（ω＝ωc ）で０．５とするために、即ち振幅伝達率
を５０％にするために、下記数２を満たすように設定す
ることが好ましい。
【００１２】
【数２】α＝[(1- 2ζ2)+ ｛ (1- 2ζ2)2 +(1-β2)/(1+
β2)｝1/2 ］1/2
β2)｝1/2 ］1/2
【００１３】
【作用】本発明においては、一般的な３次フィルタの伝
達関数に数１で示されるように二つの調整係数ζとβを
導入して、６次のフィルタとしている。ここで調整係数
ζとβを、ζ＝０．４８２〜０．９６６、β＝０．００
０〜１．３４３の範囲内で、一方が大きいときは他方が
小さくなるという関係をもって適宜設定して２段縦続接
続することにより、位相補償を行うと共にガウスフィル
タからの誤差を５％以下に抑えることができる。更に、
調整係数ζ，βをζ＝０．６３２〜０．７２２、β＝
０．７８９〜０．９８６の範囲内でやはり一方が大きい
ときは他方が小さくなるという関係をもって設定する
と、誤差を１％以下に抑えることができる。特に数１で
表される伝達関数を持つローパスフィルタをＩＩＲフィ
ルタで実現すれば、短い演算時間でガウスフィルタから
の誤差の小さいフィルタリング処理ができる。
達関数に数１で示されるように二つの調整係数ζとβを
導入して、６次のフィルタとしている。ここで調整係数
ζとβを、ζ＝０．４８２〜０．９６６、β＝０．００
０〜１．３４３の範囲内で、一方が大きいときは他方が
小さくなるという関係をもって適宜設定して２段縦続接
続することにより、位相補償を行うと共にガウスフィル
タからの誤差を５％以下に抑えることができる。更に、
調整係数ζ，βをζ＝０．６３２〜０．７２２、β＝
０．７８９〜０．９８６の範囲内でやはり一方が大きい
ときは他方が小さくなるという関係をもって設定する
と、誤差を１％以下に抑えることができる。特に数１で
表される伝達関数を持つローパスフィルタをＩＩＲフィ
ルタで実現すれば、短い演算時間でガウスフィルタから
の誤差の小さいフィルタリング処理ができる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳細に説明する。図
１は、一実施例の表面粗さ測定装置である。図示のよう
にこの装置は、被測定物の表面をトレースする触針１
１、この触針１１により検出される信号を電気信号に変
換して増幅する検出器１２、この検出器１２の出力をデ
ィジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ１３、変換さ
れたデジタルデータを処理するデータ処理部１４により
構成されている。ディジタル処理部１４は例えばマイク
ロコンピュータであり、そのソフトウエア内にまず２段
のＩＩＲフィルタ１５1 ，１５2が構成されており、こ
こで検出された断面曲線データの中からうねり曲線成分
が抽出される。更にこのうねり曲線成分を元の信号（断
面曲線）から引くというデータ処理を行うことにより、
粗さ曲線が求まる。
１は、一実施例の表面粗さ測定装置である。図示のよう
にこの装置は、被測定物の表面をトレースする触針１
１、この触針１１により検出される信号を電気信号に変
換して増幅する検出器１２、この検出器１２の出力をデ
ィジタル信号に変換するＡ／Ｄコンバータ１３、変換さ
れたデジタルデータを処理するデータ処理部１４により
構成されている。ディジタル処理部１４は例えばマイク
ロコンピュータであり、そのソフトウエア内にまず２段
のＩＩＲフィルタ１５1 ，１５2が構成されており、こ
こで検出された断面曲線データの中からうねり曲線成分
が抽出される。更にこのうねり曲線成分を元の信号（断
面曲線）から引くというデータ処理を行うことにより、
粗さ曲線が求まる。
【００１５】ＩＩＲフィルタ１５1 ，１５2 によるディ
ジタル的なフィルタリング処理は、上述の数１で示され
るように調整係数ζとβを導入した伝達関数で表される
アナログフィルタと同じ処理を行うものであるが、その
具体的なディジタル処理の内容に先立って、実施例のフ
ィルタ特性について説明する。まず上述のような調整係
数ζとβを導入した伝達関数を持つフィルタを２段縦続
接続すると、伝達関数の絶対値（振幅伝達率）は、数３
のようになる。
ジタル的なフィルタリング処理は、上述の数１で示され
るように調整係数ζとβを導入した伝達関数で表される
アナログフィルタと同じ処理を行うものであるが、その
具体的なディジタル処理の内容に先立って、実施例のフ
ィルタ特性について説明する。まず上述のような調整係
数ζとβを導入した伝達関数を持つフィルタを２段縦続
接続すると、伝達関数の絶対値（振幅伝達率）は、数３
のようになる。
【００１６】
【数３】｜Ｇ（ω）｜2 ＝１／｛(1- ( αω／ωc)2 ）
2 +4ζ2 ( αω／ωc)2 ｝｛1+ (βω／ωc)2 ｝
2 +4ζ2 ( αω／ωc)2 ｝｛1+ (βω／ωc)2 ｝
【００１７】この数３から、伝達関数の絶対値を、カッ
トオフ値ω＝ωc で０．５にする条件として、上記数２
に示すαとζ，βの関係が求まる。
トオフ値ω＝ωc で０．５にする条件として、上記数２
に示すαとζ，βの関係が求まる。
【００１８】調整係数ζとβを種々変えて数１の伝達関
数を計算することにより、この伝達関数のガウスフィル
タからの誤差が求まる。その計算結果を具体的に示す。
図３は、ガウスフィルタからの最大誤差が０．０５（即
ち５％）以下となる調整係数ζとβの関係である。図３
のハッチングの範囲内に設定することにより、具体的に
いえば、ζ，βを、ζ＝０．４８２〜０．９６６、β＝
０．０００〜１．３４３の範囲で一方が大きい時に他方
が小さくなるような関係で選択することにより、誤差が
５％以下に抑えられる。
数を計算することにより、この伝達関数のガウスフィル
タからの誤差が求まる。その計算結果を具体的に示す。
図３は、ガウスフィルタからの最大誤差が０．０５（即
ち５％）以下となる調整係数ζとβの関係である。図３
のハッチングの範囲内に設定することにより、具体的に
いえば、ζ，βを、ζ＝０．４８２〜０．９６６、β＝
０．０００〜１．３４３の範囲で一方が大きい時に他方
が小さくなるような関係で選択することにより、誤差が
５％以下に抑えられる。
【００１９】図４は、ガウスフィルタからの最大誤差が
１％以下となる調整係数ζとβの関係である。図４のハ
ッチングの範囲内に設定することにより、具体的にいえ
ば、ζ，βを、ζ＝０．６３２〜０．７２２、β＝０．
７８９〜０．９８６の範囲で一方が大きい時に他方が小
さくなるような関係で選択することにより、誤差が１％
以下に抑えられる。特に、ζ＝０．６５０、β＝０．９
５１に設定したときには、最大誤差は０．７５％の最小
値を示す。
１％以下となる調整係数ζとβの関係である。図４のハ
ッチングの範囲内に設定することにより、具体的にいえ
ば、ζ，βを、ζ＝０．６３２〜０．７２２、β＝０．
７８９〜０．９８６の範囲で一方が大きい時に他方が小
さくなるような関係で選択することにより、誤差が１％
以下に抑えられる。特に、ζ＝０．６５０、β＝０．９
５１に設定したときには、最大誤差は０．７５％の最小
値を示す。
【００２０】以上のようにして、調整係数ζとβ、およ
び定数αを選択したときに、実際にこの伝達関数で表さ
れるフィルタをアナログフィルタで構成する際の係数が
求まる。この様に設計したアナログローパスフィルタ
を、この実施例ではディジタル的にソフトウエアで実現
する。即ち、数１で表されるアナログフィルタの伝達関
数を公知の離散化手法例えば、適合ｚ変換法を利用し
て、数４に示すようなディジタルＩＩＲフィルタの伝達
関数に変換する。
び定数αを選択したときに、実際にこの伝達関数で表さ
れるフィルタをアナログフィルタで構成する際の係数が
求まる。この様に設計したアナログローパスフィルタ
を、この実施例ではディジタル的にソフトウエアで実現
する。即ち、数１で表されるアナログフィルタの伝達関
数を公知の離散化手法例えば、適合ｚ変換法を利用し
て、数４に示すようなディジタルＩＩＲフィルタの伝達
関数に変換する。
【００２１】
【数４】Ｇ（ｚ） ＝ａ0 ／（１＋ｂ11ｚ-1＋ｂ12ｚ-2）（１＋ｂ21ｚ-1） ＝ａ0 ／（１＋ｂ1 ｚ-1＋ｂ2 ｚ-2＋ｂ3 ｚ-3） ｂ11＝−２ exp（−ζωc Ｔs/α） cos｛（１−ζ2)
1/2 ωc Ｔs/α｝ ｂ12＝ exp（−２ζωc Ｔs/α） ｂ21＝− exp（−ωc Ｔs/β） ａ0 ＝（１＋ｂ11＋ｂ12）（１＋ｂ21） ｂ1 ＝ｂ11＋ｂ21 ｂ2 ＝ｂ12＋ｂ11ｂ21 ｂ3 ＝ｂ12ｂ21
1/2 ωc Ｔs/α｝ ｂ12＝ exp（−２ζωc Ｔs/α） ｂ21＝− exp（−ωc Ｔs/β） ａ0 ＝（１＋ｂ11＋ｂ12）（１＋ｂ21） ｂ1 ＝ｂ11＋ｂ21 ｂ2 ＝ｂ12＋ｂ11ｂ21 ｂ3 ＝ｂ12ｂ21
【００２２】上の数４において、Ｔｓはサンプリング周
期であり、カッチオフ波長をλｃ，駆動速度をｖ，カッ
チオフ値当たりのサンプリング点数をｍとして、Ｔｓ＝
λｃ／（ｖ・ｍ）である。カットオフ角周波数ωｃ，サ
ンプリング周期Ｔｓ、先に求められた調整係数ζ，β及
び定数αを上の数４に代入することにより、ディジタル
ＩＩＲフィルタの係数ａ０，ｂ１，ｂ２，ｂ３を算出す
ることができる。この様にして算出された係数ａ０，ｂ
１，ｂ２，ｂ３を用いて、ＩＩＲフィルタは、ハードウ
ェア的には、数４の伝達関数を持つ入出力データの関係
を示す演算式を実現する３段の単位遅延素子と係数乗算
器及び加減算器により構成することができる。
期であり、カッチオフ波長をλｃ，駆動速度をｖ，カッ
チオフ値当たりのサンプリング点数をｍとして、Ｔｓ＝
λｃ／（ｖ・ｍ）である。カットオフ角周波数ωｃ，サ
ンプリング周期Ｔｓ、先に求められた調整係数ζ，β及
び定数αを上の数４に代入することにより、ディジタル
ＩＩＲフィルタの係数ａ０，ｂ１，ｂ２，ｂ３を算出す
ることができる。この様にして算出された係数ａ０，ｂ
１，ｂ２，ｂ３を用いて、ＩＩＲフィルタは、ハードウ
ェア的には、数４の伝達関数を持つ入出力データの関係
を示す演算式を実現する３段の単位遅延素子と係数乗算
器及び加減算器により構成することができる。
【００２３】ｘを断面曲線、ｙを中間処理結果、ｚをう
ねり曲線とすると、本実施例の処理フローは図２のよう
になる。図２において、ステップＳ1 〜Ｓ9 は、初段Ｉ
ＩＲフィルタ１５1 の処理に対応する。ステップＳ1 で
係数ａ0 ，ｂ1 ，ｂ2 ，ｂ3が計算される。ステップＳ2
でインデックスｋが初期化される。ステップＳ3 〜Ｓ7
で数４に対応する処理が行われ、中間処理結果ｙが得
られる。以上の処理が、断面曲線のデータの先頭から順
番に、データ数ｎまで繰り返し行われる（Ｓ8，Ｓ9
）。
ねり曲線とすると、本実施例の処理フローは図２のよう
になる。図２において、ステップＳ1 〜Ｓ9 は、初段Ｉ
ＩＲフィルタ１５1 の処理に対応する。ステップＳ1 で
係数ａ0 ，ｂ1 ，ｂ2 ，ｂ3が計算される。ステップＳ2
でインデックスｋが初期化される。ステップＳ3 〜Ｓ7
で数４に対応する処理が行われ、中間処理結果ｙが得
られる。以上の処理が、断面曲線のデータの先頭から順
番に、データ数ｎまで繰り返し行われる（Ｓ8，Ｓ9
）。
【００２４】ステップＳ10〜Ｓ17は２段目のＩＩＲフィ
ルタ１５2の処理に対応する。上で得られた中間処理結
果ｙについて、同様に数４に従って、今度は末尾から順
番に同様の処理を行うことにより、うねり曲線ｚが得ら
れる。そして更に、データ処理部１４内で元のデータｘ
（断面曲線）から、上に求めたうねり曲線ｚを減ずるこ
とにより、表面粗さ曲線が求められる。
ルタ１５2の処理に対応する。上で得られた中間処理結
果ｙについて、同様に数４に従って、今度は末尾から順
番に同様の処理を行うことにより、うねり曲線ｚが得ら
れる。そして更に、データ処理部１４内で元のデータｘ
（断面曲線）から、上に求めたうねり曲線ｚを減ずるこ
とにより、表面粗さ曲線が求められる。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、伝
達関数に所定の調整係数を導入したローパスフィルタを
用いることによって、短い計算時間で高精度のうねり曲
線成分の抽出を可能とした表面粗さ測定装置を提供する
ことができる。
達関数に所定の調整係数を導入したローパスフィルタを
用いることによって、短い計算時間で高精度のうねり曲
線成分の抽出を可能とした表面粗さ測定装置を提供する
ことができる。
【図１】 本発明の実施例に係る表面粗さ測定装置の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図２】 図１の実施例のフィルタリング処理のフロー
図である。
図である。
【図３】 フィルタ特性誤差か５％以下となる調整係数
の設定範囲を示す図である。
の設定範囲を示す図である。
【図４】 フィルタ特性誤差の１％以下となる調整係数
の設定範囲を示す図である。
の設定範囲を示す図である。
【図５】 従来の表面粗さ測定装置に構成を示す図であ
る。
る。
【図６】 表面粗さ測定の原理説明図である。
１１…触針、１２…検出器、１３…Ａ／Ｄ変換器、１４
…ディジタルデータ処理部、１５…ＩＩＲフィルタ。
…ディジタルデータ処理部、１５…ＩＩＲフィルタ。
Claims (3)
- 【請求項１】 被測定物の断面曲線からローパスフィル
タによりうねり曲線成分を求め、このうねり曲線成分を
元の信号の断面曲線から引いて粗さ曲線成分を抽出する
表面粗さ測定装置において、前記ローパスフィルタは、
二つの調整計数ζとβを持つ下記の伝達関数で表される
フィルタを２段縦続接続して構成されていることを特徴
とする表面粗さ測定装置。 記 Ｇ（ｓ）＝ １／｛（αｓ／ωｃ）2＋２ζ（αｓ／ωｃ）＋１｝｛βｓ／ωｃ＋１｝ ｓ＝ｊω ω＝２πｆ（ｆ：周波数） ωｃ＝２πｆｃ（ｆｃ：カットオフ周波数） α＝定数 ζ＝０．４８２〜０．９６６ β＝０．０００〜１．３４３ - 【請求項２】 調整係数ζが０．６３２〜０．７２２の
範囲内に設定され、調整係数βが０．７８９〜０．９８
６の範囲内に設定されていることを特徴とする請求項１
記載の表面粗さ測定装置。 - 【請求項３】 定数αが下記式を満たすように設定され
ていることを特徴とする請求項１または２に記載の表面
粗さ測定装置。 記 α＝ ［（１−２ζ2）＋｛（１−２ζ2）2＋（１−β2）／（１＋β2）｝1/2］1/2
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5107669A JP2777525B2 (ja) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | 表面粗さ測定装置 |
| GB9320780A GB2272059B (en) | 1992-10-20 | 1993-10-08 | Surface-roughness measuring apparatus |
| US08/134,753 US5390536A (en) | 1992-10-20 | 1993-10-12 | Apparatus for measuring surface roughness |
| DE4335303A DE4335303C2 (de) | 1992-10-20 | 1993-10-15 | Vorrichtung zum Messen von Oberflächenrauhigkeit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5107669A JP2777525B2 (ja) | 1993-04-09 | 1993-04-09 | 表面粗さ測定装置 |
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Family Applications (1)
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1993
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| JPH06294649A (ja) | 1994-10-21 |
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