JP2002063706A - 磁気抵抗効果型素子の特性測定装置及び方法、磁気再生ヘッドの特性測定装置及び方法 - Google Patents
磁気抵抗効果型素子の特性測定装置及び方法、磁気再生ヘッドの特性測定装置及び方法Info
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- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 title claims abstract description 205
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 60
- 239000000696 magnetic material Substances 0.000 claims abstract description 23
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 48
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 26
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 5
- 239000000284 extract Substances 0.000 claims description 3
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 claims description 2
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract 1
- 230000004069 differentiation Effects 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 5
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 3
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000005294 ferromagnetic effect Effects 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 230000002123 temporal effect Effects 0.000 description 1
- 238000003325 tomography Methods 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/455—Arrangements for functional testing of heads; Measuring arrangements for heads
-
- G—PHYSICS
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- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
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- G11B2005/0002—Special dispositions or recording techniques
- G11B2005/0005—Arrangements, methods or circuits
- G11B2005/001—Controlling recording characteristics of record carriers or transducing characteristics of transducers by means not being part of their structure
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- G11B2005/0016—Controlling recording characteristics of record carriers or transducing characteristics of transducers by means not being part of their structure of transducers, e.g. linearisation, equalisation of magnetoresistive transducers
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- Recording Or Reproducing By Magnetic Means (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Magnetic Heads (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 小型化にともない従来の動作特性測定方法に
基づく良否判定が困難となってきた磁気再生ヘッドにつ
いて、より詳細な特性評価を行うために局所的な磁気特
性を測定する。 【解決手段】 定電流源１１３により一定電流が印加さ
れたＭＲヘッド１０２に対し、一定周期で振動する磁性
体探針１０３が周期変動する磁界を、磁界発生装置１１
４が当該周期変動する磁界に対して緩やかに変化する直
流磁界をそれぞれ印加し、ＡＣ増幅アンプ１１５及び同
期検波器１１６が印加される磁界強度に応じて変化する
ＭＲヘッド１０２の抵抗値を検出し、信号処理装置１１
１が抵抗値の磁界強度微分−磁界特性を測定する。
基づく良否判定が困難となってきた磁気再生ヘッドにつ
いて、より詳細な特性評価を行うために局所的な磁気特
性を測定する。 【解決手段】 定電流源１１３により一定電流が印加さ
れたＭＲヘッド１０２に対し、一定周期で振動する磁性
体探針１０３が周期変動する磁界を、磁界発生装置１１
４が当該周期変動する磁界に対して緩やかに変化する直
流磁界をそれぞれ印加し、ＡＣ増幅アンプ１１５及び同
期検波器１１６が印加される磁界強度に応じて変化する
ＭＲヘッド１０２の抵抗値を検出し、信号処理装置１１
１が抵抗値の磁界強度微分−磁界特性を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、データ記録媒体に
記録されたデータを読み出す磁気再生ヘッドの特性測定
装置及び方法に係り、特に磁気再生ヘッドの局所的な磁
気特性を測定する特性測定装置及び特性測定方法に関す
る。
記録されたデータを読み出す磁気再生ヘッドの特性測定
装置及び方法に係り、特に磁気再生ヘッドの局所的な磁
気特性を測定する特性測定装置及び特性測定方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】磁気再生ヘッドは、磁気ディスク装置等
において磁気ディスクに格納されたデータを読み出すた
めのデバイスである。従来、磁気再生ヘッドの動作特性
は、磁気ディスク装置等に組み込んだ後に、実際にデー
タの読み出し処理を行って評価していた。ところが、近
年、磁気ディスクの高密度化とともに磁気再生ヘッドの
小型化が進み、従来の動作特性測定方法に基づく磁気再
生ヘッドの良否判定が困難となってきた。
において磁気ディスクに格納されたデータを読み出すた
めのデバイスである。従来、磁気再生ヘッドの動作特性
は、磁気ディスク装置等に組み込んだ後に、実際にデー
タの読み出し処理を行って評価していた。ところが、近
年、磁気ディスクの高密度化とともに磁気再生ヘッドの
小型化が進み、従来の動作特性測定方法に基づく磁気再
生ヘッドの良否判定が困難となってきた。
【０００３】このような状況に鑑み、特開２０００−２
０９２９には、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Atomic Force
Microscope）の原理を用いて、磁気ヘッドの一種であ
る磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）の被測定面にお
ける磁気特性分布を測定する装置が開示されている。
尚、ＭＲヘッドは、印加される外部磁界の変化に伴って
電気抵抗が変化する磁気抵抗効果型素子をヘッドに採用
したものである。
０９２９には、原子間力顕微鏡（ＡＦＭ：Atomic Force
Microscope）の原理を用いて、磁気ヘッドの一種であ
る磁気抵抗効果型ヘッド（ＭＲヘッド）の被測定面にお
ける磁気特性分布を測定する装置が開示されている。
尚、ＭＲヘッドは、印加される外部磁界の変化に伴って
電気抵抗が変化する磁気抵抗効果型素子をヘッドに採用
したものである。
【０００４】ＡＦＭはもともと、所定の振幅で振動する
探針を用いて被測定物の表面を走査することにより微細
領域の形状を観察する装置である。そこで、同公開特許
公報では、ＡＦＭを用いてＭＲヘッドの磁気特性を測定
するために探針に磁性体を採用している。
探針を用いて被測定物の表面を走査することにより微細
領域の形状を観察する装置である。そこで、同公開特許
公報では、ＡＦＭを用いてＭＲヘッドの磁気特性を測定
するために探針に磁性体を採用している。
【０００５】即ち、磁性体探針が被測定面上で振動する
ことにより、この磁性体探針がＭＲヘッドに与える磁界
が変化することを利用して、以下の方法でＭＲヘッドの
磁気特性分布を測定するものである。
ことにより、この磁性体探針がＭＲヘッドに与える磁界
が変化することを利用して、以下の方法でＭＲヘッドの
磁気特性分布を測定するものである。
【０００６】(1) 定電流源を用いてＭＲヘッドに一定の
電流を印加する。
電流を印加する。
【０００７】(2) 特定の周波数で振動する磁性体探針を
ＭＲヘッド近傍に近づける。
ＭＲヘッド近傍に近づける。
【０００８】(3) この磁性体探針から受ける磁界の変化
に伴って、ＭＲヘッドの抵抗値が変化し、ＭＲヘッドに
かかる電圧が変化する。
に伴って、ＭＲヘッドの抵抗値が変化し、ＭＲヘッドに
かかる電圧が変化する。
【０００９】(4) この変化電圧から、磁性体探針の振動
の基本周波数成分及びその二次高調波成分の振幅及び位
相をロックインアンプを用いて同期検波する。
の基本周波数成分及びその二次高調波成分の振幅及び位
相をロックインアンプを用いて同期検波する。
【００１０】(5) 被測定面上で磁性体探針を走査させて
同様の同期検波を繰り返し、前記各成分の分布を測定す
る。
同様の同期検波を繰り返し、前記各成分の分布を測定す
る。
【００１１】(6) ＭＲヘッドに一定の外部磁界を印加し
て、各一定磁界強度に応じた磁気特性分布を測定する。
て、各一定磁界強度に応じた磁気特性分布を測定する。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
技術においては、一定磁界印加の下に振動する磁性体探
針を用いて磁気ヘッドの被測定面上を走査することによ
って、被測定面内の磁気特性分布を測定することに関し
て有効な手段が提供されている。
技術においては、一定磁界印加の下に振動する磁性体探
針を用いて磁気ヘッドの被測定面上を走査することによ
って、被測定面内の磁気特性分布を測定することに関し
て有効な手段が提供されている。
【００１３】しかしながら、磁気ヘッドの動作特性をよ
り詳細に評価するために、被測定面内の磁気特性分布に
加え、被測定面内の局所における磁気特性を測定するこ
とが望まれていた。
り詳細に評価するために、被測定面内の磁気特性分布に
加え、被測定面内の局所における磁気特性を測定するこ
とが望まれていた。
【００１４】また、従来技術ではカンチレバーの振動振
幅信号を自動ゲインコントローラで一定振幅にしてロッ
クインアンプの参照信号として使用しているが、カンチ
レバーの熱振動の影響によりこの信号のＱ値は低くなる
ため、同期検波の原理から考えて参照信号としては望ま
しものではない。
幅信号を自動ゲインコントローラで一定振幅にしてロッ
クインアンプの参照信号として使用しているが、カンチ
レバーの熱振動の影響によりこの信号のＱ値は低くなる
ため、同期検波の原理から考えて参照信号としては望ま
しものではない。
【００１５】本発明は、上記の課題を解決するためにな
されたものであり、磁気再生ヘッドの局所的な磁気特性
を測定する特性測定装置及び方法を提供することを目的
とする。
されたものであり、磁気再生ヘッドの局所的な磁気特性
を測定する特性測定装置及び方法を提供することを目的
とする。
【００１６】
【課題を解決するための手段】本発明の磁気抵抗効果型
素子の特性測定装置は、素子上の少なくとも一つの被測
定点において磁気特性を測定するものであり、少なくと
も一部が磁性材料で作られた振動子と、振動子を被測定
点上の所定距離に位置させる位置制御手段と、被測定点
に印加する磁界強度を周期的に変動させるために、位置
制御手段による当該位置を中心に振動子を所定の周波数
で振動させる振動手段と、素子に直流磁界を印加する磁
界印加手段と、この磁界印加手段を制御して素子に印加
される磁界の強度を当該周期的変動と比べて緩やかに変
化させる磁界強度制御手段と、振動子及び磁界印加手段
から印加される磁界強度に応じて素子が生成する信号を
検出する信号検出手段と、この信号検出手段によって検
出された信号の磁界強度依存性を測定する磁気特性測定
手段とを備えている。
素子の特性測定装置は、素子上の少なくとも一つの被測
定点において磁気特性を測定するものであり、少なくと
も一部が磁性材料で作られた振動子と、振動子を被測定
点上の所定距離に位置させる位置制御手段と、被測定点
に印加する磁界強度を周期的に変動させるために、位置
制御手段による当該位置を中心に振動子を所定の周波数
で振動させる振動手段と、素子に直流磁界を印加する磁
界印加手段と、この磁界印加手段を制御して素子に印加
される磁界の強度を当該周期的変動と比べて緩やかに変
化させる磁界強度制御手段と、振動子及び磁界印加手段
から印加される磁界強度に応じて素子が生成する信号を
検出する信号検出手段と、この信号検出手段によって検
出された信号の磁界強度依存性を測定する磁気特性測定
手段とを備えている。
【００１７】これによれば、当該振幅成分のみを測定す
ることにより、磁気抵抗効果型素子の局所的な磁気特性
を測定することが可能である。
ることにより、磁気抵抗効果型素子の局所的な磁気特性
を測定することが可能である。
【００１８】また、本発明の磁気抵抗効果型素子の特性
測定装置において、信号検出手段は素子に一定の電流を
印加して振動子及び磁界印加手段から印加される磁界強
度に応じた素子の抵抗変化を検出し、磁気特性測定手段
は信号検出手段によって検出された抵抗変化から前記所
定周波数の１倍及び又は２倍の周波数に同期した振幅成
分を抽出して素子の抵抗変化の磁界強度に対する特性を
測定する。
測定装置において、信号検出手段は素子に一定の電流を
印加して振動子及び磁界印加手段から印加される磁界強
度に応じた素子の抵抗変化を検出し、磁気特性測定手段
は信号検出手段によって検出された抵抗変化から前記所
定周波数の１倍及び又は２倍の周波数に同期した振幅成
分を抽出して素子の抵抗変化の磁界強度に対する特性を
測定する。
【００１９】これによれば、当該振幅成分のみを抽出す
ることにより、磁気抵抗効果型素子の抵抗変化の磁界強
度に対する局所的な特性を測定することが可能である。
また、振動手段による振動子の振動周波数を同期検波手
段における参照信号としているため、従来技術における
参照信号の低Ｑ値問題は発生し得ない。
ることにより、磁気抵抗効果型素子の抵抗変化の磁界強
度に対する局所的な特性を測定することが可能である。
また、振動手段による振動子の振動周波数を同期検波手
段における参照信号としているため、従来技術における
参照信号の低Ｑ値問題は発生し得ない。
【００２０】また、本発明の磁気抵抗効果型素子の特性
測定装置において、磁気特性測定手段は測定した素子の
抵抗変化の磁界強度に対する特性に基いて素子の抵抗の
磁界強度に対する特性を算出する。
測定装置において、磁気特性測定手段は測定した素子の
抵抗変化の磁界強度に対する特性に基いて素子の抵抗の
磁界強度に対する特性を算出する。
【００２１】これによれば、更に磁気抵抗効果型素子の
局所的な抵抗磁界特性を測定することが可能である。
局所的な抵抗磁界特性を測定することが可能である。
【００２２】また、本発明の磁気再生ヘッドの特性測定
装置は、少なくとも一部が磁性材料で作られ、磁気再生
ヘッドの被測定面における形状特性と磁気特性の測定に
用いられる探針と、探針を被測定面の法線方向に所定の
振幅で振動させる振動手段と、形状特性測定のために被
測定面上を当該所定振幅の振動を維持しつつ探針により
走査し、走査中に探針が所定の被測定点に位置したとき
磁気特性測定のために当該所定振幅の振動は維持したま
ま走査を休止する走査制御手段と、走査中の探針の当該
法線方向への変位を検出する変位検出手段と、この変位
検出手段によって検出された探針の当該法線方向への変
位に基づき被測定面の形状を測定する形状測定手段と、
走査休止中にヘッドに磁界を印加する磁界印加手段と、
この磁界印加手段を制御してヘッドに印加される磁界の
強度を探針の振動の周波数と比べて緩やかに変化させる
磁界強度制御手段と、探針及び磁界印加手段から印加さ
れる磁界強度に応じてヘッドが生成する信号を検出する
信号検出手段と、この信号検出手段によって検出された
信号の磁界強度依存性を測定する磁気特性測定手段とを
備えている。
装置は、少なくとも一部が磁性材料で作られ、磁気再生
ヘッドの被測定面における形状特性と磁気特性の測定に
用いられる探針と、探針を被測定面の法線方向に所定の
振幅で振動させる振動手段と、形状特性測定のために被
測定面上を当該所定振幅の振動を維持しつつ探針により
走査し、走査中に探針が所定の被測定点に位置したとき
磁気特性測定のために当該所定振幅の振動は維持したま
ま走査を休止する走査制御手段と、走査中の探針の当該
法線方向への変位を検出する変位検出手段と、この変位
検出手段によって検出された探針の当該法線方向への変
位に基づき被測定面の形状を測定する形状測定手段と、
走査休止中にヘッドに磁界を印加する磁界印加手段と、
この磁界印加手段を制御してヘッドに印加される磁界の
強度を探針の振動の周波数と比べて緩やかに変化させる
磁界強度制御手段と、探針及び磁界印加手段から印加さ
れる磁界強度に応じてヘッドが生成する信号を検出する
信号検出手段と、この信号検出手段によって検出された
信号の磁界強度依存性を測定する磁気特性測定手段とを
備えている。
【００２３】これによれば、当該振幅成分のみを測定す
ることにより、磁気再生ヘッドの局所的な磁気特性を測
定することが可能である。また、所定の被測定点におい
て形状特性測定と連動して磁気特性測定を行うため、走
査系全般の熱ドリフトによって測定位置がずれることな
く特性測定が行える。
ることにより、磁気再生ヘッドの局所的な磁気特性を測
定することが可能である。また、所定の被測定点におい
て形状特性測定と連動して磁気特性測定を行うため、走
査系全般の熱ドリフトによって測定位置がずれることな
く特性測定が行える。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実
施形態に係る磁気再生ヘッド特性測定装置の構成を示す
ブロック図である。
の実施の形態について説明する。図１は、本発明の一実
施形態に係る磁気再生ヘッド特性測定装置の構成を示す
ブロック図である。
【００２５】磁気再生ヘッド特性測定装置１０１は、磁
気再生ヘッドの一例であるＭＲヘッド１０２の磁気的特
性を測定するために、主要な構成として、磁性体探針１
０３、カンチレバー１０４、加振用圧電素子１０５、信
号発生器１０６、走査用圧電素子１０７、変位検出計１
０８、振幅直流電圧変換回路１０９、フィードバック回
路１１０、信号処理装置１１１、定電流源１１３、磁界
発生装置１１４、ＡＣ増幅アンプ１１５、及び同期検波
器１１６を有する。
気再生ヘッドの一例であるＭＲヘッド１０２の磁気的特
性を測定するために、主要な構成として、磁性体探針１
０３、カンチレバー１０４、加振用圧電素子１０５、信
号発生器１０６、走査用圧電素子１０７、変位検出計１
０８、振幅直流電圧変換回路１０９、フィードバック回
路１１０、信号処理装置１１１、定電流源１１３、磁界
発生装置１１４、ＡＣ増幅アンプ１１５、及び同期検波
器１１６を有する。
【００２６】磁性体探針１０３は、磁性体材料からな
り、或いは磁性体物質によってコーティングされ磁化し
ており、形状特性測定用の探針として、ＭＲヘッド１０
２の被測定面（図１におけるＨＲヘッド１０２の上面）
上を走査して表面形状を観測する一方、磁気特性測定用
の磁性体振動子として、取り付けられたカンチレバー１
０４の振動によって当該被測定面内の所定の被測定点に
印加する磁界を周期的に変動させる。
り、或いは磁性体物質によってコーティングされ磁化し
ており、形状特性測定用の探針として、ＭＲヘッド１０
２の被測定面（図１におけるＨＲヘッド１０２の上面）
上を走査して表面形状を観測する一方、磁気特性測定用
の磁性体振動子として、取り付けられたカンチレバー１
０４の振動によって当該被測定面内の所定の被測定点に
印加する磁界を周期的に変動させる。
【００２７】カンチレバー１０４は、その一端が加振用
圧電素子１０５に取り付けられており、この加振用圧電
素子１０５が生成する振動によって被測定面の法線方向
に振動され、その結果、他端に取り付けられた磁性体探
針１０３を振動させる。
圧電素子１０５に取り付けられており、この加振用圧電
素子１０５が生成する振動によって被測定面の法線方向
に振動され、その結果、他端に取り付けられた磁性体探
針１０３を振動させる。
【００２８】また、信号発生器１０６は、信号処理装置
１１１から入力される操作信号に従って、加振用圧電素
子１０５に振動数・振幅設定信号を送出し、好適にはカ
ンチレバー１０４固有の機械的共振周波数ωr、若しく
はその近傍の周波数ωで加振用圧電素子１０５を振動さ
せる。
１１１から入力される操作信号に従って、加振用圧電素
子１０５に振動数・振幅設定信号を送出し、好適にはカ
ンチレバー１０４固有の機械的共振周波数ωr、若しく
はその近傍の周波数ωで加振用圧電素子１０５を振動さ
せる。
【００２９】ここで、信号発生器１０６が共振周波数ω
rの近傍にて振動するよう加振用圧電素子１０５に指示
するのは、カンチレバー１０４が周波数ωr〜ωにおい
て最も安定して一定周期で振動できるからである。尚、
周波数ωrにて振動するように指示したとしても、実際
にカンチレバー１０４がＭＲヘッド上を走査する際に
は、ＭＲヘッド１０２との距離等の要因により、各瞬間
毎に周波数ωrから微少にずれてしまう。
rの近傍にて振動するよう加振用圧電素子１０５に指示
するのは、カンチレバー１０４が周波数ωr〜ωにおい
て最も安定して一定周期で振動できるからである。尚、
周波数ωrにて振動するように指示したとしても、実際
にカンチレバー１０４がＭＲヘッド上を走査する際に
は、ＭＲヘッド１０２との距離等の要因により、各瞬間
毎に周波数ωrから微少にずれてしまう。
【００３０】走査用圧電素子１０７は、カンチレバー１
０４の当該一端を支持し、カンチレバー１０４を三次元
的に移動させ、ＭＲヘッド１０２と磁性体探針１０３と
の相対位置を所望の位置に調整するものである。即ち、
走査用圧電素子１０７が信号処理装置１１１から入力さ
れる操作信号に基づいて三次元方向に歪むことにより、
カンチレバー１０４が三次元方向に変位し、これにより
磁性体探針１０３がＭＲヘッド１０２の被測定面上を走
査するものである。
０４の当該一端を支持し、カンチレバー１０４を三次元
的に移動させ、ＭＲヘッド１０２と磁性体探針１０３と
の相対位置を所望の位置に調整するものである。即ち、
走査用圧電素子１０７が信号処理装置１１１から入力さ
れる操作信号に基づいて三次元方向に歪むことにより、
カンチレバー１０４が三次元方向に変位し、これにより
磁性体探針１０３がＭＲヘッド１０２の被測定面上を走
査するものである。
【００３１】尚、本実施形態では走査用圧電素子１０７
は、加振用圧電素子１０５を介してカンチレバー１０４
を支持して位置制御するよう構成されているが、ＭＲヘ
ッド１０２を支持する位置に配置されても構わない。即
ち、ＭＲヘッド１０２と磁性体探針１０３との相対的な
位置が調整できるように走査用圧電素子１０７が配置さ
れていれば良い。
は、加振用圧電素子１０５を介してカンチレバー１０４
を支持して位置制御するよう構成されているが、ＭＲヘ
ッド１０２を支持する位置に配置されても構わない。即
ち、ＭＲヘッド１０２と磁性体探針１０３との相対的な
位置が調整できるように走査用圧電素子１０７が配置さ
れていれば良い。
【００３２】変位検出計１０８は、磁性体探針１０３が
取り付けられたカンチレバー１０４の先端付近に設けら
れ、振動に伴うカンチレバー１０４の先端の変位を検出
し、この変位を振幅信号として出力する。ここでは、カ
ンチレバー１０４の先端の変位を検出しているが、磁性
体探針１０３自体の変位を検出しても良い。
取り付けられたカンチレバー１０４の先端付近に設けら
れ、振動に伴うカンチレバー１０４の先端の変位を検出
し、この変位を振幅信号として出力する。ここでは、カ
ンチレバー１０４の先端の変位を検出しているが、磁性
体探針１０３自体の変位を検出しても良い。
【００３３】通常、変位検出計１０８はレーザー光源と
４分割フォトダイオードとを有し、レーザー光の反射光
を４分割フォトダイオードに入力することによって変位
を検出するが、レーザー光源と光ファイバーとを有し、
レーザー光の干渉によって変位を検出しても良い。
４分割フォトダイオードとを有し、レーザー光の反射光
を４分割フォトダイオードに入力することによって変位
を検出するが、レーザー光源と光ファイバーとを有し、
レーザー光の干渉によって変位を検出しても良い。
【００３４】振幅直流電圧変換器１０９は、変位検出計
１０８から出力される振幅信号（ＡＣ信号の振幅）を直
流電圧信号に変換する回路（ＲＭＳ−ＤＣ回路）であっ
て、カンチレバー１０４の先端の振幅に対応する直流電
圧信号がこの振幅直流電圧変換器１０９から供給され
る。
１０８から出力される振幅信号（ＡＣ信号の振幅）を直
流電圧信号に変換する回路（ＲＭＳ−ＤＣ回路）であっ
て、カンチレバー１０４の先端の振幅に対応する直流電
圧信号がこの振幅直流電圧変換器１０９から供給され
る。
【００３５】フィードバック回路１１０は、振幅直流電
圧変換器１０９から出力された直流電圧信号に従い、カ
ンチレバー１０４の先端の振幅を一定にすべく走査用圧
電素子１０７を制御するためのフィードバック信号を生
成する。このフィードバック信号は、走査用圧電素子１
０７に出力されるとともに、ＭＲヘッド１０２の形状特
性測定に用いられるＡＦＭ信号として信号処理装置１１
１に供給される。
圧変換器１０９から出力された直流電圧信号に従い、カ
ンチレバー１０４の先端の振幅を一定にすべく走査用圧
電素子１０７を制御するためのフィードバック信号を生
成する。このフィードバック信号は、走査用圧電素子１
０７に出力されるとともに、ＭＲヘッド１０２の形状特
性測定に用いられるＡＦＭ信号として信号処理装置１１
１に供給される。
【００３６】信号処理装置１１１は、例えばパーソナル
コンピュータから構成され、信号発生器１０６、フィー
ドバック回路１１０、及び同期検波器１１３から供給さ
れた信号を保存・処理し、信号発生器１０６における振
動数及び振幅、並びに磁界発生装置１１４における磁界
強度の条件設定を行うとともに走査用圧電素子１０７の
変位を制御する。
コンピュータから構成され、信号発生器１０６、フィー
ドバック回路１１０、及び同期検波器１１３から供給さ
れた信号を保存・処理し、信号発生器１０６における振
動数及び振幅、並びに磁界発生装置１１４における磁界
強度の条件設定を行うとともに走査用圧電素子１０７の
変位を制御する。
【００３７】ここで、磁性体探針１０３、カンチレバー
１０４、加振用圧電素子１０５、信号発生器１０６、走
査用圧電素子１０７、変位検出計１０８、振幅／直流電
圧変換回路１０９、及びフィードバック回路１１０を総
称して力測定装置１１２と呼ばれる。
１０４、加振用圧電素子１０５、信号発生器１０６、走
査用圧電素子１０７、変位検出計１０８、振幅／直流電
圧変換回路１０９、及びフィードバック回路１１０を総
称して力測定装置１１２と呼ばれる。
【００３８】定電流源１１３は、印加される磁界の変化
に応じたＭＲヘッド１０２の抵抗値を導出するために一
定電流を印加する。また、磁界発生装置は１１４は、信
号処理装置１１１から供給される制御信号に従って、磁
性体探針１０３の振動周波数と比べて緩やかに変化する
直流磁界をＭＲヘッド１０２に印加する。
に応じたＭＲヘッド１０２の抵抗値を導出するために一
定電流を印加する。また、磁界発生装置は１１４は、信
号処理装置１１１から供給される制御信号に従って、磁
性体探針１０３の振動周波数と比べて緩やかに変化する
直流磁界をＭＲヘッド１０２に印加する。
【００３９】ＡＣ増幅アンプ１１５は、入力されたＭＲ
ヘッド１０２に関する信号のＡＣ成分だけを増幅する。
また、同期検波器１１６は、ＡＣ増幅アンプ１１５から
の出力に対し、信号発生器１０６から供給された振動数
・振幅制御信号を参照信号として同期検波を行う。
ヘッド１０２に関する信号のＡＣ成分だけを増幅する。
また、同期検波器１１６は、ＡＣ増幅アンプ１１５から
の出力に対し、信号発生器１０６から供給された振動数
・振幅制御信号を参照信号として同期検波を行う。
【００４０】加振用圧電素子１０５、信号発生器１０
６、走査用圧電素子１０７、変位検出計１０８及び振幅
直流電圧変換回路１０９、フィードバック回路１１０、
及び信号処理装置１１１は、ＭＲヘッド１０２の磁気特
性を測定するために新たに開発しても良いが、市販若し
くは既存の装置に組み込む形態で流用することもでき
る。また、磁界発生装置１１４は、ＭＲヘッド１０２に
磁界を印加できる構造であればどこに配置しても構わな
い。
６、走査用圧電素子１０７、変位検出計１０８及び振幅
直流電圧変換回路１０９、フィードバック回路１１０、
及び信号処理装置１１１は、ＭＲヘッド１０２の磁気特
性を測定するために新たに開発しても良いが、市販若し
くは既存の装置に組み込む形態で流用することもでき
る。また、磁界発生装置１１４は、ＭＲヘッド１０２に
磁界を印加できる構造であればどこに配置しても構わな
い。
【００４１】図２は同実施形態におけるＡＣ増幅アンプ
１１５の構成を示すブロック図である。ＡＣ増幅アンプ
１１５は、増幅回路２０１とフィードバック回路２０２
を有する。増幅回路２０１により増幅された出力信号は
フィードバック回路２０２に供給され、ＡＣ増幅アンプ
１１５のカットオフ周波数ωcがカンチレバー１０４の
機械的共振周波数ωrと比べて小さい場合にのみ、更に
フィードバック回路２０２から増幅回路に信号が供給さ
れることにより増幅が行われる。
１１５の構成を示すブロック図である。ＡＣ増幅アンプ
１１５は、増幅回路２０１とフィードバック回路２０２
を有する。増幅回路２０１により増幅された出力信号は
フィードバック回路２０２に供給され、ＡＣ増幅アンプ
１１５のカットオフ周波数ωcがカンチレバー１０４の
機械的共振周波数ωrと比べて小さい場合にのみ、更に
フィードバック回路２０２から増幅回路に信号が供給さ
れることにより増幅が行われる。
【００４２】フィードバック回路２０２の帯域は周波数
ωrよりも低い値で設定されており、増幅回路２０１に
より増幅された出力信号の内、ＤＣ成分を除去し、ＡＣ
成分だけを増幅する。フィードバック回路２０２はアナ
ログ処理若しくはデジタル処理のどちらでも構わず、ま
た積分制御若しくは比例制御・微分制御等を適宜使用可
能である。
ωrよりも低い値で設定されており、増幅回路２０１に
より増幅された出力信号の内、ＤＣ成分を除去し、ＡＣ
成分だけを増幅する。フィードバック回路２０２はアナ
ログ処理若しくはデジタル処理のどちらでも構わず、ま
た積分制御若しくは比例制御・微分制御等を適宜使用可
能である。
【００４３】次に、本実施形態における磁気再生ヘッド
特性測定装置１０１によるＭＲヘッド１０２の形状特性
測定及び磁気特性の測定手順について説明する。図３
は、ＭＲヘッド１０２をその被測定面の法線方向から見
たものであり、磁性体探針１０３による当該被測定面上
の走査測定手順について説明するための図である。ここ
では、ＭＲヘッド１０２の被測定面上及びその周辺に所
定の被測定領域３０１が設けられており、また被測定領
域３０１内には複数の被測定点からなる複数の走査ライ
ン３０２が設けられている。尚、これらの位置に関して
は、予め信号処理装置１１１により設定される。
特性測定装置１０１によるＭＲヘッド１０２の形状特性
測定及び磁気特性の測定手順について説明する。図３
は、ＭＲヘッド１０２をその被測定面の法線方向から見
たものであり、磁性体探針１０３による当該被測定面上
の走査測定手順について説明するための図である。ここ
では、ＭＲヘッド１０２の被測定面上及びその周辺に所
定の被測定領域３０１が設けられており、また被測定領
域３０１内には複数の被測定点からなる複数の走査ライ
ン３０２が設けられている。尚、これらの位置に関して
は、予め信号処理装置１１１により設定される。
【００４４】＜形状特性測定＞ この測定では通常のＡ
ＦＭの測定方法と同様に、ＭＲヘッド１０２の表面形状
が測定される。即ち、磁性体探針１０３がＭＲヘッド１
０２に近づけられ、信号発生器１０６から加振用圧電素
子１０５にカンチレバー１０４の機械的共振周波数ωr
にほぼ等しい周波数ωを設定する振動数振幅設定信号が
印加され、磁性体探針１０３が振動される。
ＦＭの測定方法と同様に、ＭＲヘッド１０２の表面形状
が測定される。即ち、磁性体探針１０３がＭＲヘッド１
０２に近づけられ、信号発生器１０６から加振用圧電素
子１０５にカンチレバー１０４の機械的共振周波数ωr
にほぼ等しい周波数ωを設定する振動数振幅設定信号が
印加され、磁性体探針１０３が振動される。
【００４５】信号処理装置１１１からの制御信号に応答
して走査用圧電素子１０７が駆動されて、磁性体探針１
０３の先端がＭＲヘッド１０２の表面を軽く叩き（＝タ
ップし）ながら走査ライン３０２上を走査する。一つの
走査ライン３０２の走査が終了した後、順次、次の走査
ライン３０２が走査され、被測定領域３０１の全域が磁
性体探針１０３によりニ次元的に走査される。
して走査用圧電素子１０７が駆動されて、磁性体探針１
０３の先端がＭＲヘッド１０２の表面を軽く叩き（＝タ
ップし）ながら走査ライン３０２上を走査する。一つの
走査ライン３０２の走査が終了した後、順次、次の走査
ライン３０２が走査され、被測定領域３０１の全域が磁
性体探針１０３によりニ次元的に走査される。
【００４６】この走査中のカンチレバー１０４の被測定
面の法線方向への変位が変位検出計１０８で検出され、
振幅信号が振幅直流電圧変換器１０９に与えられる。振
幅直流電圧変換器１０９からは、振幅に応じた直流電圧
信号が出力され、これがフィードバック回路１１０に与
えられる。
面の法線方向への変位が変位検出計１０８で検出され、
振幅信号が振幅直流電圧変換器１０９に与えられる。振
幅直流電圧変換器１０９からは、振幅に応じた直流電圧
信号が出力され、これがフィードバック回路１１０に与
えられる。
【００４７】フィードバック回路１１０では、磁性体探
針１０３の振幅を一定に維持すべくフィードバック信号
を発生し、このフィードバック信号が走査用圧電素子１
０７に与えられる。従って、常に探針の振幅が一定に維
持された状態でＭＲヘッド１０２の表面が走査される。
ＭＲヘッド１０２の表面に凸凹がある場合には、振幅直
流電圧変換回路１０９からの直流電圧信号が変動し、フ
ィードバック回路１１０からのフィードバック信号が表
面の凸凹の大きさに応じて変動される。
針１０３の振幅を一定に維持すべくフィードバック信号
を発生し、このフィードバック信号が走査用圧電素子１
０７に与えられる。従って、常に探針の振幅が一定に維
持された状態でＭＲヘッド１０２の表面が走査される。
ＭＲヘッド１０２の表面に凸凹がある場合には、振幅直
流電圧変換回路１０９からの直流電圧信号が変動し、フ
ィードバック回路１１０からのフィードバック信号が表
面の凸凹の大きさに応じて変動される。
【００４８】このフィードバック信号は、ＡＦＭ信号と
して信号処理装置１１１にも与えられ、保存される。信
号処理装置１１１は、このＡＦＭ信号に基づいてＭＲヘ
ッド１０２の表面形状の画像を生成する。
して信号処理装置１１１にも与えられ、保存される。信
号処理装置１１１は、このＡＦＭ信号に基づいてＭＲヘ
ッド１０２の表面形状の画像を生成する。
【００４９】＜磁気特性測定＞ 磁性体探針１０３によ
るＭＲヘッド１０２上の走査中に、磁性体探針１０３
が、被測定点の内、予め設定しておいた位置、即ち磁気
特性測定点３０３にあるときは、磁性体探針１０３の走
査を一時的に止めてＭＲヘッド１０２の形状特性測定後
に走査を休止し、磁気特性の測定を行う。
るＭＲヘッド１０２上の走査中に、磁性体探針１０３
が、被測定点の内、予め設定しておいた位置、即ち磁気
特性測定点３０３にあるときは、磁性体探針１０３の走
査を一時的に止めてＭＲヘッド１０２の形状特性測定後
に走査を休止し、磁気特性の測定を行う。
【００５０】この測定において、ＭＲヘッド１０２に
は、定電流源１１３による一定電流及び磁界発生装置１
１４による直流磁界が印加されている。磁気特性測定点
３０３上に位置した磁性体探針１０３が走査中の周波数
ω或いは予め設定された所定周波数にて振動し、周期的
に微少変動する磁界をＭＲヘッド１０２に印加する一
方、磁界発生装置１１４が当該直流磁界を緩やかに変化
させる。
は、定電流源１１３による一定電流及び磁界発生装置１
１４による直流磁界が印加されている。磁気特性測定点
３０３上に位置した磁性体探針１０３が走査中の周波数
ω或いは予め設定された所定周波数にて振動し、周期的
に微少変動する磁界をＭＲヘッド１０２に印加する一
方、磁界発生装置１１４が当該直流磁界を緩やかに変化
させる。
【００５１】ＡＣ増幅アンプ１１５は、磁性体探針１０
３及び磁界発生装置１１４により印加される磁界強度Ｈ
の変化に応じたＭＲヘッド１０２の抵抗値Ｒの変化（以
下、抵抗変化）測定する。同期検波器１１６は測定した
抵抗変化から、磁性体探針１０３に関する当該周波数ω
或いは当該予め設定された所定周波数の基本周波数成分
ω（ω成分）と二次高調波成分２ω（２ω成分）に同期
する各振幅成分を抽出する。
３及び磁界発生装置１１４により印加される磁界強度Ｈ
の変化に応じたＭＲヘッド１０２の抵抗値Ｒの変化（以
下、抵抗変化）測定する。同期検波器１１６は測定した
抵抗変化から、磁性体探針１０３に関する当該周波数ω
或いは当該予め設定された所定周波数の基本周波数成分
ω（ω成分）と二次高調波成分２ω（２ω成分）に同期
する各振幅成分を抽出する。
【００５２】この測定において、磁性体探針１０３がＭ
Ｒヘッド１０２の表面をタップしながら測定しても良
く、予め設定した距離だけ離れたＭＲヘッド１０２上空
で一定周期で振動させて測定しても良い。また、形状特
性測定と磁気特性測定の切り替えは信号処理装置１１１
によって制御され、磁性体探針１０３が走査中に磁気特
性測定点３０３に到達した時点だけでなく、磁性体探針
１０３が一つの走査ライン３０２を走査終了毎に行って
も良い。
Ｒヘッド１０２の表面をタップしながら測定しても良
く、予め設定した距離だけ離れたＭＲヘッド１０２上空
で一定周期で振動させて測定しても良い。また、形状特
性測定と磁気特性測定の切り替えは信号処理装置１１１
によって制御され、磁性体探針１０３が走査中に磁気特
性測定点３０３に到達した時点だけでなく、磁性体探針
１０３が一つの走査ライン３０２を走査終了毎に行って
も良い。
【００５３】同期検波器１１６により得られたデータは
信号処理装置１１１で解析される。ここで、ω成分の振
幅Ａωは印加される磁界強度Ｈに応じたＭＲヘッド１０
２の抵抗値Ｒの磁界強度微分値dR/dHを示し、２ω成分
の振幅Ａ2は抵抗−磁界特性の非線形性を示すものと解
される。このため、磁性体探針１０３の振動周波数と磁
界発生装置１１４が印加する直流磁界の時間的変化は、
当該微分値を測定可能なレベルの相対性を有することが
望まれる。
信号処理装置１１１で解析される。ここで、ω成分の振
幅Ａωは印加される磁界強度Ｈに応じたＭＲヘッド１０
２の抵抗値Ｒの磁界強度微分値dR/dHを示し、２ω成分
の振幅Ａ2は抵抗−磁界特性の非線形性を示すものと解
される。このため、磁性体探針１０３の振動周波数と磁
界発生装置１１４が印加する直流磁界の時間的変化は、
当該微分値を測定可能なレベルの相対性を有することが
望まれる。
【００５４】この解析において測定された抵抗値Ｒの磁
界強度微分値dR/dHに基づいて図４(a)に示すdR/dH-Ｈ曲
線が生成され、これが更に積分により信号処理されて図
４(b)に示すＲ−Ｈ曲線が算出され、ＭＲヘッド１０２
の局所的な磁気特性の測定が行われる。また、これら測
定結果を被測定領域３０１内における他の磁気特性測定
点と比較することにより、被測定面内におけるより詳細
な磁気特性測定が可能となる。
界強度微分値dR/dHに基づいて図４(a)に示すdR/dH-Ｈ曲
線が生成され、これが更に積分により信号処理されて図
４(b)に示すＲ−Ｈ曲線が算出され、ＭＲヘッド１０２
の局所的な磁気特性の測定が行われる。また、これら測
定結果を被測定領域３０１内における他の磁気特性測定
点と比較することにより、被測定面内におけるより詳細
な磁気特性測定が可能となる。
【００５５】また、この磁気特性測定をＭＲヘッド１０
２と磁性体探針１０３の相対距離を変えて同様に行い、
ＣＴ（Computerized Tomography）の技術を用いてＭＲ
ヘッド１０２内部の情報を得て、欠陥等を検出すること
も可能となる。尚、一つの磁気特性測定点において磁気
特性測定が終了した後、再び形状特性測定を継続すべく
磁性体探針１０３によるＭＲヘッド１０２上の走査が開
始される。
２と磁性体探針１０３の相対距離を変えて同様に行い、
ＣＴ（Computerized Tomography）の技術を用いてＭＲ
ヘッド１０２内部の情報を得て、欠陥等を検出すること
も可能となる。尚、一つの磁気特性測定点において磁気
特性測定が終了した後、再び形状特性測定を継続すべく
磁性体探針１０３によるＭＲヘッド１０２上の走査が開
始される。
【００５６】このように、本実施形態によれば、ω成分
と２ω成分の各振幅ＡωとＡ2ωだけを測定すること
で、ＭＲヘッド１０２の局所的な磁気特性を測定するこ
とが可能である。尚、ここでの局所的とは、本発明の基
礎技術であるＡＦＭの分解能のレベルを意味する。
と２ω成分の各振幅ＡωとＡ2ωだけを測定すること
で、ＭＲヘッド１０２の局所的な磁気特性を測定するこ
とが可能である。尚、ここでの局所的とは、本発明の基
礎技術であるＡＦＭの分解能のレベルを意味する。
【００５７】また、信号発生器１０６による振動数・振
幅設定信号を同期検波器１１６における参照信号として
いるため、従来技術における参照信号の低Ｑ値問題は発
生し得ない。
幅設定信号を同期検波器１１６における参照信号として
いるため、従来技術における参照信号の低Ｑ値問題は発
生し得ない。
【００５８】更に、形状特性測定を行う走査ライン３０
２上の所定の被測定点において形状特性測定と連動して
磁気特性測定を行うため、走査系全般の熱ドリフトによ
って測定位置がずれることなく特性測定が行える。
２上の所定の被測定点において形状特性測定と連動して
磁気特性測定を行うため、走査系全般の熱ドリフトによ
って測定位置がずれることなく特性測定が行える。
【００５９】以上において、ＭＲヘッドを被測定物とし
て採用した実施形態を用いて本発明を説明したが、本発
明の特徴は印加される外部磁界の変化に伴なって変化す
る被測定物の抵抗値を測定し、その局所的な磁気特性を
測定するものであるため、ＭＲヘッド以外の磁気再生ヘ
ッド、例えば、スピンバルブヘッド、強磁性トンネルヘ
ッド、ＣＭＲヘッド、及び人工格子膜ヘッド等、延いて
は磁気抵抗効果型素子全般に適用可能である。
て採用した実施形態を用いて本発明を説明したが、本発
明の特徴は印加される外部磁界の変化に伴なって変化す
る被測定物の抵抗値を測定し、その局所的な磁気特性を
測定するものであるため、ＭＲヘッド以外の磁気再生ヘ
ッド、例えば、スピンバルブヘッド、強磁性トンネルヘ
ッド、ＣＭＲヘッド、及び人工格子膜ヘッド等、延いて
は磁気抵抗効果型素子全般に適用可能である。
【００６０】
【発明の効果】以上で詳述したように、本発明によれ
ば、磁気再生ヘッドに印加される、所定周波数で微少変
動する磁界及び緩やかに変化する直流磁界の合計強度に
応じて変化する当該磁気再生ヘッドの抵抗変化を測定
し、当該所定周波数の基本周波数成分と二次高調波成分
に同期する各振幅成分のみを測定することにより、当該
磁気再生ヘッドの局所的な磁気特性を測定することが可
能である。
ば、磁気再生ヘッドに印加される、所定周波数で微少変
動する磁界及び緩やかに変化する直流磁界の合計強度に
応じて変化する当該磁気再生ヘッドの抵抗変化を測定
し、当該所定周波数の基本周波数成分と二次高調波成分
に同期する各振幅成分のみを測定することにより、当該
磁気再生ヘッドの局所的な磁気特性を測定することが可
能である。
【図１】本発明の一実施形態に係る再生ヘッド特性測定
装置の構成を示すブロック図。
装置の構成を示すブロック図。
【図２】同実施形態におけるＡＣ増幅アンプの構成を示
すブロック図。
すブロック図。
【図３】同実施形態における磁性体探針によるＭＲヘッ
ド表面の走査測定について説明するための図。
ド表面の走査測定について説明するための図。
【図４】同実施形態における測定データの信号処理につ
いて説明するための図。
いて説明するための図。
【符号の説明】 １０１…磁気再生ヘッド特性測定装置、 １０２…ＭＲ
ヘッド、 １０３…磁性体探針、 １０４…カンチレバー、 １０５…加振用圧電素子、 １０６…信号発生器、 １０７…走査用圧電素子、 １０８…変位検出計、 １０９…振幅直流電圧変換器、 １１０…フィードバッ
ク回路、 １１１…信号処理装置、 １１２…力測定装置、 １１３…定電流源、 １１４…磁界発生装置、 １１５…ＡＣ増幅アンプ、 １１６…同期検波器、 ２０１…増幅回路、 ２０２…フィードバック回路、 ３０１…被測定領域、 ３０２…走査ライン、 ３０３…磁気特性測定点
ヘッド、 １０３…磁性体探針、 １０４…カンチレバー、 １０５…加振用圧電素子、 １０６…信号発生器、 １０７…走査用圧電素子、 １０８…変位検出計、 １０９…振幅直流電圧変換器、 １１０…フィードバッ
ク回路、 １１１…信号処理装置、 １１２…力測定装置、 １１３…定電流源、 １１４…磁界発生装置、 １１５…ＡＣ増幅アンプ、 １１６…同期検波器、 ２０１…増幅回路、 ２０２…フィードバック回路、 ３０１…被測定領域、 ３０２…走査ライン、 ３０３…磁気特性測定点
Claims (8)
- 【請求項１】 磁気抵抗効果型素子上の少なくとも一つ
の被測定点において当該素子の磁気特性を測定する特性
測定装置であって、 少なくとも一部が磁性材料で作られた振動子と、 前記振動子を前記被測定点上の所定距離に位置させる位
置制御手段と、 前記被測定点に印加する磁界強度を周期的に変動させる
ために、前記位置制御手段による位置を中心に前記振動
子を所定の周波数で振動させる振動手段と、 前記素子に磁界を印加する磁界印加手段と、 前記磁界印加手段を制御して、前記素子に印加される磁
界の強度を前記周期的変動と比べて緩やかに変化させる
磁界強度制御手段と、 前記振動子及び前記磁界印加手段から印加される磁界強
度に応じて前記素子が生成する信号を検出する信号検出
手段と、 前記信号検出手段によって検出された信号の磁界強度依
存性を測定する磁気特性測定手段とを具備することを特
徴とする磁気抵抗効果型素子の特性測定装置。 - 【請求項２】 前記信号検出手段は、前記素子に一定の
電流を印加して、前記振動子及び前記磁界印加手段から
印加される磁界強度に応じた前記素子の抵抗変化を検出
し、 前記磁気特性測定手段は、前記信号検出手段によって検
出された前記抵抗変化から前記所定周波数の１倍及び又
は２倍の周波数に同期した振幅成分を抽出して、前記素
子の抵抗変化の磁界強度に対する特性を測定することを
特徴とする請求項１に記載の磁気抵抗効果型素子の特性
測定装置。 - 【請求項３】 前記磁気特性測定手段は、測定した前記
素子の抵抗変化の磁界強度に対する特性に基いて当該素
子の抵抗の磁界強度に対する特性を算出することを特徴
とする請求項３に記載の磁気抵抗効果型素子の特性測定
装置。 - 【請求項４】 少なくとも一部が磁性材料で作られ、磁
気再生ヘッドの被測定面における形状特性と磁気特性の
測定に用いられる探針と、 前記探針を前記被測定面の法線方向に所定の振幅で振動
させる振動手段と、 前記形状特性測定のために前記被測定面上を前記所定振
幅の振動を維持しつつ前記探針により走査し、当該走査
中に前記探針が所定の被測定点に位置したとき、前記磁
気特性測定のために当該所定振幅の振動は維持したまま
当該走査を休止する走査制御手段と、 前記走査中の前記探針の前記法線方向への変位を検出す
る変位検出手段と、 前記変位検出手段によって検出された前記探針の前記法
線方向への変位に基づき前記被測定面の形状を測定する
形状測定手段と、 前記走査休止中に前記ヘッドに磁界を印加する磁界印加
手段と、 前記磁界印加手段を制御して、前記ヘッドに印加される
磁界の強度を前記探針の振動の周波数と比べて緩やかに
変化させる磁界強度制御手段と、 前記探針及び前記磁界印加手段から印加される磁界強度
に応じて前記ヘッドが生成する信号を検出する信号検出
手段と、 前記信号検出手段によって検出された信号の磁界強度依
存性を測定する磁気特性測定手段とを具備することを特
徴とする磁気再生ヘッドの特性測定装置。 - 【請求項５】 前記信号検出手段は、前記素子に一定の
電流を印加して、前記振動子及び前記磁界印加手段から
印加される磁界強度に応じた前記素子の抵抗変化を検出
し、 前記磁気特性測定手段は、前記信号検出手段によって検
出された前記抵抗変化から前記所定周波数の１倍及び又
は２倍の周波数に同期した振幅成分を抽出して、前記素
子の抵抗変化の磁界強度に対する特性を測定することを
特徴とする請求項４に記載の磁気再生ヘッドの特性測定
装置。 - 【請求項６】 前記磁気特性測定手段は、測定した前記
素子の抵抗変化の磁界強度に対する特性に基いて当該素
子の抵抗の磁界強度に対する特性を算出することを特徴
とする請求項５に記載の磁気再生ヘッドの特性測定装
置。 - 【請求項７】 磁気抵抗効果型素子上の少なくとも一つ
の被測定点において当該素子の磁気特性を測定する特性
測定方法であって、 少なくとも一部が磁性材料で作られた振動子を前記被測
定点上の所定距離に位置するステップと、 前記振動子を前記位置を中心に所定の周波数で振動させ
て前記被測定点に印加する磁界強度を周期的に変動させ
るステップと、 前記周期的変動と比べて緩やかに変化する磁界を前記素
子に印加するステップと、 前記振動子により周期的に変動する磁界及び前記緩やか
に変化する磁界の強度に応じて前記素子が生成する信号
を検出するステップと、 前記検出された信号の磁界強度依存性を測定するステッ
プとを具備することを特徴とする磁気抵抗効果型素子の
特性測定方法。 - 【請求項８】 磁気再生ヘッドの被測定面上を、少なく
とも一部が磁性材料で作られた探針を当該被測定面の法
線方向に所定の振幅で振動させながら走査するステップ
と、 前記走査中の前記探針の前記法線方向への変位を検出す
るステップと、 検出された前記探針の前記法線方向への変位に基づき前
記被測定面の形状を測定するステップと、 前記走査中に前記探針が所定の被測定点に位置したと
き、当該所定振幅の振動は維持したまま当該走査を休止
するステップと、 前記探針の振動の周波数と比べて緩やかに変化する磁界
を前記ヘッドに印加するステップと、 前記探針により周期的に変動する磁界及び前記緩やかに
変化する磁界の強度に応じて前記ヘッドが生成する信号
を検出するステップと、 前記検出された信号の磁界強度依存性を測定するステッ
プとを具備することを特徴とする磁気再生ヘッドの特性
測定方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000249324A JP2002063706A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | 磁気抵抗効果型素子の特性測定装置及び方法、磁気再生ヘッドの特性測定装置及び方法 |
| US09/835,547 US6774626B2 (en) | 2000-08-21 | 2001-04-17 | Device and method for measuring the properties of a magnetic reproducing head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000249324A JP2002063706A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | 磁気抵抗効果型素子の特性測定装置及び方法、磁気再生ヘッドの特性測定装置及び方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002063706A true JP2002063706A (ja) | 2002-02-28 |
Family
ID=18739079
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000249324A Pending JP2002063706A (ja) | 2000-08-21 | 2000-08-21 | 磁気抵抗効果型素子の特性測定装置及び方法、磁気再生ヘッドの特性測定装置及び方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6774626B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002063706A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| US8120353B2 (en) * | 2008-04-28 | 2012-02-21 | International Business Machines Corporation | Methods for detecting damage to magnetoresistive sensors |
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| JP5592841B2 (ja) * | 2011-06-16 | 2014-09-17 | 株式会社日立製作所 | 磁気力顕微鏡及びそれを用いた磁場観察方法 |
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| US9007723B1 (en) | 2013-12-13 | 2015-04-14 | HGST Netherlands B.V. | Microwave-assisted magnetic recording (MAMR) head employing advanced current control to establish a magnetic resonance state |
| CN104134445B (zh) * | 2014-08-07 | 2017-06-16 | 兆讯恒达微电子技术(北京)有限公司 | 磁耦合法测试磁头产品的方法与系统 |
| CN104240724B (zh) * | 2014-09-24 | 2017-05-24 | 福建联迪商用设备有限公司 | 一种磁头测试的方法及装置 |
| JP7419019B2 (ja) * | 2019-10-28 | 2024-01-22 | 三菱重工業株式会社 | 検出装置、回転機械及び検出方法 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2674571B2 (ja) * | 1995-06-01 | 1997-11-12 | ティーディーケイ株式会社 | 複合型磁気ヘッドの検査方法及び装置 |
| US5918274A (en) * | 1997-06-02 | 1999-06-29 | International Business Machines Corporation | Detecting fields with a single-pass, dual-amplitude-mode scanning force microscope |
| US6094971A (en) * | 1997-09-24 | 2000-08-01 | Texas Instruments Incorporated | Scanning-probe microscope including non-optical means for detecting normal tip-sample interactions |
| JP2000020929A (ja) | 1998-07-02 | 2000-01-21 | Sony Corp | 磁気ヘッドの特性測定装置 |
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| SG103357A1 (en) * | 2001-08-31 | 2004-04-29 | Toshiba Kk | Method and apparatus for measuring magnetic head |
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2000
- 2000-08-21 JP JP2000249324A patent/JP2002063706A/ja active Pending
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020021515A1 (en) | 2002-02-21 |
| US6774626B2 (en) | 2004-08-10 |
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|
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|
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|
| A02 | Decision of refusal |
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