JPWO2008029562A1 - 原子間力顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
Description
図4を参照すると、カンチレバー5の自由振動の共振周波数F0において、第2バンドパスフィルタ43を通った基準信号の位相は、第1バンドパスフィルタ41を通った位相シフト信号の位相よりも進んでいる。したがって、カンチレバー5の共振周波数が自由振動の共振周波数F0であるときでも、図5の積分信号dの平坦部分はゼロではない。
FM−AFMは、既に説明したように、探針・試料間に働く相互作用に応じた共振周波数シフトを検出する。相互作用の大きさは、細かく見ると、カンチレバー5の1周期の振動の中でも増減する。実質的には、相互作用は、探針が試料にかなり近づいたときにだけ生じると考えられる。
次に、本実施の形態で採用されている微小カンチレバーの利点について説明する。既に述べたように、通常のカンチレバーでは、長さが数百μmであり、幅が数十μmである。これに対して、本実施の形態の微小カンチレバーでは、長さが十μm以下であり、幅も数μm以下である。好ましくは長さが十μm以下であり、幅が2μm以下であり、一例としては、長さが7μmであり、幅が2μmである。
Claims (13)
- カンチレバーを共振周波数で自励発振させ、前記カンチレバーと試料の相互作用による共振周波数シフトに基づいて試料の情報を得る原子間力顕微鏡であって、
前記カンチレバーの変位を検出する変位センサと、
前記変位センサの検出信号に基づいて前記カンチレバーと試料の相互作用による共振周波数シフトを検出する共振周波数シフト検出部と、
を備え、
前記共振周波数シフト検出部は、
前記変位センサの検出信号から、前記カンチレバーの振動に応じた周期を有し、前記カンチレバーの共振周波数シフトに応じた位相変化が制限された基準信号を抽出する基準信号抽出部と、
前記変位センサの検出信号から、前記カンチレバーの振動に応じた周期を有し、前記カンチレバーの共振周波数シフトに応じて位相がシフトする位相シフト信号を抽出する位相シフト信号抽出部と、
前記基準信号抽出部と前記位相シフト信号抽出部により抽出された前記基準信号と前記位相シフト信号に基づいて、前記基準信号に対する前記位相シフト信号の位相差を求めることにより、共振周波数シフトを求める位相検出部と、
を有することを特徴とする原子間力顕微鏡。 - 前記基準信号抽出部および前記位相シフト信号抽出部は互いに特性の異なる基準信号抽出バンドパスフィルタおよび位相シフト信号抽出バンドパスフィルタであり、前記位相シフト信号抽出バンドパスフィルタは、前記カンチレバーの自由振動の共振周波数近傍にピーク周波数を有し、前記基準信号抽出バンドパスフィルタは、前記カンチレバーの自由振動の共振周波数からずれた位置にピーク周波数を有し、前記位相シフト信号抽出バンドパスフィルタと比較して前記基準信号抽出バンドパスフィルタのQ値が小さく設定されていることを特徴とする請求項1に記載の原子間力顕微鏡。
- 前記位相検出部は、前記基準信号における振動波形の正負反転ポイントと前記位相シフト信号における振動波形の正負反転ポイントとの位相差を検出することを特徴とする請求項1に記載の原子間力顕微鏡。
- 前記位相検出部は、
前記基準信号から前記正負反転ポイントに矩形端が位置する基準矩形波を生成する基準矩形波生成部と、
前記位相シフト信号から前記正負反転ポイントに矩形端が位置する位相シフト矩形波を生成する位相シフト矩形波生成部と、
を有し、前記基準矩形波と前記位相シフト矩形波の位相差を検出することを特徴とする請求項3に記載の原子間力顕微鏡。 - 前記位相検出部は、さらに、
前記基準矩形波と前記位相シフト矩形波の差分矩形波を求める差分矩形波生成部と、
前記差分矩形波を積分する差分矩形波積分部と、
前記差分矩形波の一矩形を積分した後のタイミングで積分値を取得する積分値取得部と、
を備え、前記積分値を、前記基準矩形波と前記位相シフト矩形波の位相差として検出することを特徴とする請求項4に記載の原子間力顕微鏡。 - 前記位相シフト矩形波生成部により生成された前記位相シフト矩形波に基づき、前記位相シフト矩形波の矩形端から遅延したトリガー位置にて、積分値取得のトリガー信号を前記積分値取得部に供給するトリガー信号供給部を有することを特徴とする請求項5に記載の原子間力顕微鏡。
- 前記基準信号抽出部と前記位相シフト信号抽出部により抽出された前記基準信号および前記位相シフト信号の位相を調整する位相調整部を備え、
前記位相調整部は、調整前の前記基準信号および前記位相シフト信号の1周期の振動波形上に定められた共振周波数シフトの検出ポイントを、前記正負反転ポイントへ移動するように、前記基準信号および前記位相シフト信号の位相を調整し、
前記位相検出部は、前記位相調整部による位相調整後の前記基準信号と前記位相シフト信号を用いて、前記基準信号の正負判定ポイントと前記位相シフト信号の正負反転ポイントの位相差を検出することを特徴とする請求項3に記載の原子間力顕微鏡。 - 前記検出ポイントは、調整前の前記位相シフト信号の1周期の振動波形に沿った共振周波数シフトの増減に基づき、1周期の振動波形上で前記共振周波数シフトが最大になるポイントに設定されていることを特徴とする請求項7に記載の原子間力顕微鏡。
- 前記検出ポイントは、調整前の前記基準信号および前記位相シフト信号の振幅波形上で前記カンチレバーと前記試料が接近または接触するポイントに設定されていることを特徴とする請求項7に記載の原子間力顕微鏡。
- 前記位相調整部は、さらに、前記カンチレバーの共振周波数が自由振動の共振周波数である場合に前記基準信号と前記位相シフト信号の位相が一致するように前記基準信号および前記位相シフト信号の少なくとも一方の位相を調整することを特徴とする請求項7に記載の原子間力顕微鏡。
- 前記基準信号抽出部と前記位相シフト信号抽出部により抽出された前記基準信号および前記位相シフト信号の少なくとも一方の位相を調整する位相調整部を備え、
前記位相調整部は、前記カンチレバーの共振周波数が自由振動の共振周波数である場合に前記基準信号と前記位相シフト信号の位相が一致するように位相調整を行うことを特徴とする請求項1に記載の原子間力顕微鏡。 - カンチレバーを共振周波数で自励発振させ、前記カンチレバーと試料の相互作用による共振周波数シフトに基づいて試料の情報を得る原子間力顕微鏡の共振周波数シフト検出装置であって、
カンチレバー変位の検出信号から、前記カンチレバーの振動に応じた周期を有し、前記カンチレバーの共振周波数シフトに応じた位相変化が制限された基準信号を抽出する基準信号抽出部と、
前記検出信号から、前記カンチレバーの振動に応じた周期を有し、前記カンチレバーの共振周波数シフトに応じて位相がシフトする位相シフト信号を抽出する位相シフト信号抽出部と、
前記基準信号抽出部と前記位相シフト信号抽出部により抽出された前記基準信号と前記位相シフト信号に基づいて、前記基準信号に対する前記位相シフト信号の位相差を求めることにより、共振周波数シフトを求める位相検出部と、
を有することを特徴とする原子間力顕微鏡の共振周波数シフト検出装置。 - カンチレバーを共振周波数で自励発振させ、前記カンチレバーと試料の相互作用による共振周波数シフトに基づいて試料の情報を得る原子間力顕微鏡の共振周波数シフト検出方法であって、
カンチレバー変位の検出信号から、前記カンチレバーの振動に応じた周期を有し、前記カンチレバーの共振周波数シフトに応じた位相変化が制限された基準信号を抽出し、
前記検出信号から、前記カンチレバーの振動に応じた周期を有し、前記カンチレバーの共振周波数シフトに応じて位相がシフトする位相シフト信号を抽出し、
前記基準信号と前記位相シフト信号に基づいて、前記基準信号に対する前記位相シフト信号の位相差を求めることにより、共振周波数シフトを求める、
ことを特徴とする原子間力顕微鏡の共振周波数シフト検出方法。
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