JP4851375B2 - 位相フィードバックafmの制御方法及び位相フィードバックafm - Google Patents
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Description
する。
fo∝√(k−F)
の関係があり、foの変化(周波数シフト)はほぼFに相当し、固有振動数付近での一定周波数での発振では、固有振動数の変化は振幅の変化として表れる。
(1)請求項1記載の発明は、カンチレバーの固有振動数付近の一定周波数でカンチレバーを加振し、該カンチレバーをその周波数で発振させ、その加振信号とカンチレバーの発振信号との位相差を一定に保持するように探針と試料間距離を制御するようにした位相フィードバックAFMにおいて、カンチレバーの変位信号の出力と、カンチレバーを加振するための発振器の出力と、基準となるカンチレバーの振幅に相当する信号を入力し、カンチレバーの発振信号の振幅が予め設定された振幅になるようにフィードバックをかけるようにしたことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明は、カンチレバーの固有振動数付近の一定周波数でカンチレバーを加振し、該カンチレバーをその周波数で発振させ、その加振信号とカンチレバーの発振信号との位相差を一定に保持するように探針と試料間距離を制御するようにした位相フィードバックAFMにおいて、カンチレバーの変位信号の出力と、カンチレバーを加振するための発振器の出力と、基準となるカンチレバーの振幅に相当する信号を入力して所定の演算を行なうアンプ・コントローラと、該アンプ・コントローラの出力を受けてカンチレバーの発振信号の振幅が予め設定された振幅になるように発振器の出力を制御するフィードバック回路とを設けたことを特徴とする。
(2)請求項2記載の発明によれば、カンチレバーの発振振幅を検出し、その振幅が予め設定された振幅と同じになるように、カンチレバーの加振電圧の振幅を制御することにより、カンチレバーの発振振幅が一定に保持されるため、高感度に正確な試料表面の形状を観察することができる。
2 レーザダイオード
3 光検出器
4 プリアンプ
6 加振用PZT
8 誤差増幅器
9 フィルタ
10 PZTドライバ
11 PZTスキャナ
14 位相検出器
15 アンプ
17 試料
Claims (2)
- カンチレバーの固有振動数付近の一定周波数でカンチレバーを加振し、該カンチレバーをその周波数で発振させ、その加振信号とカンチレバーの発振信号との位相差を一定に保持するように探針と試料間距離を制御するようにした位相フィードバックAFMにおいて、
カンチレバーの変位信号の出力と、カンチレバーを加振するための発振器の出力と、基準となるカンチレバーの振幅に相当する信号を入力し、
カンチレバーの発振信号の振幅が予め設定された振幅になるようにフィードバックをかける、
ようにしたことを特徴とする位相フィードバックAFMの制御方法。 - カンチレバーの固有振動数付近の一定周波数でカンチレバーを加振し、該カンチレバーをその周波数で発振させ、その加振信号とカンチレバーの発振信号との位相差を一定に保持するように探針と試料間距離を制御するようにした位相フィードバックAFMにおいて、
カンチレバーの変位信号の出力と、カンチレバーを加振するための発振器の出力と、基準となるカンチレバーの振幅に相当する信号を入力して所定の演算を行なうアンプ・コントローラと、
該アンプ・コントローラの出力を受けてカンチレバーの発振信号の振幅が予め設定された振幅になるように発振器の出力を制御するフィードバック回路と、
を設けたことを特徴とする位相フィードバックAFM。
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