JP5592841B2 - 磁気力顕微鏡及びそれを用いた磁場観察方法 - Google Patents
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Description
<磁場観察方法>
図2に、測定手順を示す。先ず、カンチレバー6を励振器7にセットする(ステップS201)。
なお、試料1と探針5の距離は一定に保たれている。
S201…カンチレバーセットステップ、S202…粗動ステップ、S203…距離制御開始ステップ、S204…磁場校正ステップ、S205…粗動ステップ、S206…試料セットステップ、S207…試料位置調整ステップ、S208…粗動ステップ、S209…距離制御開始ステップ、S210…磁気力制御開始ステップ、S211…走査およびデータ取得ステップ、S212…表面形状データ表示ステップ、S213…磁場データ表示ステップ。
Claims (8)
- 磁性を有する試料の表面の高低分布と磁場分布を測定する手段を備えた磁気力顕微鏡において、
カンチレバーと、
前記カンチレバーの先端に少なくとも一部分が磁化された材料が設けられた探針と、
前記カンチレバーの変位を検出する変位検出器と、
前記探針に磁場を印加する磁場印加器と、
前記磁場印加器から前記探針に印加される磁気力がゼロになるように前記磁場印加器から発生する磁場を制御する磁場制御手段と、
前記カンチレバーの変位を前記変位検出器からの信号に基づいて制御しながら前記探針と前記試料とが接触しない程度の距離を保持する距離保持手段とを有し、
前記探針に印加される磁気力がゼロとなる状態で、前記探針と前記試料とが接触しない程度の距離を保持しながら前記試料表面の磁場分布を取得する
ことを特徴とする磁気力顕微鏡。 - 請求項1記載の磁気力顕微鏡において、
前記磁場制御手段は、前記カンチレバーを振動させる励振器と、前記変位検出器からの信号と前記励振器の信号の位相とを比較する位相比較器とを備え、
前記位相比較器からの出力信号が入力され、前記磁場印加器への制御信号が出力に基づいて、前記カンチレバーの位相変化がゼロとなるように制御する
ことを特徴とする磁気力顕微鏡。 - 請求項2記載の磁気力顕微鏡において、
前記距離保持手段は、前記励振器の信号と同一の周波数成分の振幅を前記変位検出器からの信号より検出する振幅検出器を備え、
前記振幅検出器からの出力信号に基づいて、前記探針と前記試料表面との間の距離を一定に制御する
ことを特徴とする磁気力顕微鏡。 - 請求項1記載の磁気力顕微鏡において、
前記試料を載置する試料台と、前記試料台を移動する移動手段とをさらに備え、
前記試料上に近接した前記探針の位置における前記磁場印加器からの磁場を、前記磁場印加器への入力信号を変化させながら前記磁場検出器を用いて測定することにより、前記磁場印加器への入力信号と前記磁場検出器の出力信号との関係を取得し、取得した関係を記憶する記憶手段を有する
ことを特徴とする磁気力顕微鏡。 - 強磁性体の探針を用いて試料の表面の磁場分布を測定する磁気力顕微鏡において、
前記探針を前記試料の表面に対して面内方向および垂直方向への相対的な移動手段と、
前記探針を振動させる励振器と、
前記カンチレバーの変位を検出する変位検出器と、
前記探針に磁場を印加する磁場印加器と、
前記磁場印加装置からの磁場を検出する磁場検出器と、
前記磁場印加装置への入力信号と前記磁場検出器の出力信号との関係を記憶する記憶装置と、
前記変位検出器の出力信号から前記励振器の信号の周波数成分の振幅を検出する振幅検出器と、
前記振幅検出器からの出力が一定値となるように前記前記移動手段を垂直方向に制御する第1の制御部と、
前記変位検出器の出力信号の位相と前記励振器の励振信号の位相を比較する位相比較器と、
前記位相比較器からの出力が一定値となるように前記磁場印加器を制御する第2の制御部と、
前記第2の制御系の出力を前記記憶装置に記憶された前記磁場印加装置への入力信号と前記磁場検出器の出力信号との関係を用いて磁場信号に変換する変換器と、
前記移動手段を面内方向に移動させながら前記第1の制御系の出力及び前記変換器の出力を取得する制御装置と、
前記制御装置で取得した前記第1の制御系の出力および前記変換器の出力を前記移動手段の面内方向の位置に対応させて表示する表示装置とを有する
ことを特徴とする磁気力顕微鏡。 - 磁性を有する試料の表面の高低分布と磁場分布を測定する手段を備えた磁気力顕微鏡を用いた磁場観察方法であって、
前記磁気力顕微鏡は、カンチレバーと、前記カンチレバーの先端に少なくとも一部分が磁化された材料が設けられた探針と、前記カンチレバーの変位を検出する変位検出器と、前記探針に磁場を印加する磁場印加器と、前記試料を載置する試料台と、前記試料台を移動する移動手段とを備え、
前記磁場印加器から前記探針に印加される磁気力がゼロになるように前記磁場印加器から発生する磁場を制御するステップと、
前記カンチレバーの変位を前記変位検出器からの信号に基づいて制御しながら前記探針と前記試料とが接触しない程度の距離を保持するステップと、
前記探針に印加される磁気力がゼロとなる状態で、前記探針と前記試料とが接触しない程度の距離を保持するステップと、
前記探針に印加される磁気力がゼロとなる状態で、前記探針と前記試料とが接触しない程度の距離を保持しながら前記試料表面の磁場分布を取得するステップとを有する
ことを特徴とする磁場観察方法。 - 請求項6記載の磁場観察方法において、
前記試料上に近接した前記探針の位置における前記磁場印加器からの磁場を、前記磁場印加器への入力信号を変化させながら前記磁場検出器を用いて測定するステップと、
前記測定の結果に基づいて、前記磁場印加器への入力信号と前記磁場検出器の出力信号との関係を取得し、取得した前記関係を記憶するステップとをさらに有する
ことを特徴とする磁場観察方法。 - 請求項7記載の磁場観察方法において、
前記移動手段を用いて、前記試料を前記探針に対してXY方向に走査するステップと、
走査された各測定点において表面形状データを取り込むステップと、
走査された各測定点において磁場データを取り込むステップと、
前記取り込まれた表面形状データを、各XY座標を用いて2次元的にマッピングし、表面形状の画像を表示するステップと、
前記取り込まれた磁場データを、前記磁場印加器への入力信号と前記磁場検出器の出力信号との関係を用いて、磁場の強さの絶対値データに変換し、各XY座標を用いて2次元的にマッピングし、磁場分布の画像を表示するステップとを有する
ことを特徴とする磁場観察方法。
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