JP2001266317A - 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 - Google Patents
磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法Info
- Publication number
- JP2001266317A JP2001266317A JP2000082590A JP2000082590A JP2001266317A JP 2001266317 A JP2001266317 A JP 2001266317A JP 2000082590 A JP2000082590 A JP 2000082590A JP 2000082590 A JP2000082590 A JP 2000082590A JP 2001266317 A JP2001266317 A JP 2001266317A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- force
- measuring
- recording head
- magnetic
- sample
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 17
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 73
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 41
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 20
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 11
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 3
- 230000004044 response Effects 0.000 abstract description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 3
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 8
- 230000008569 process Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/04—Self-detecting probes, i.e. wherein the probe itself generates a signal representative of its position, e.g. piezoelectric gauge
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/50—MFM [Magnetic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. MFM probes
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/455—Arrangements for functional testing of heads; Measuring arrangements for heads
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/852—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe for detection of specific nanostructure sample or nanostructure-related property
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S977/00—Nanotechnology
- Y10S977/84—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure
- Y10S977/849—Manufacture, treatment, or detection of nanostructure with scanning probe
- Y10S977/86—Scanning probe structure
- Y10S977/865—Magnetic force probe
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Magnetic Means (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】磁気力顕微鏡を利用して、測定対象の記録ヘッ
ドから高周波の磁界を発生させて磁気力を測定する方式
において、高周波応答で、高感度かつ高分解能の測定を
実現した磁気記録ヘッド測定装置を提供することにあ
る。 【解決手段】磁気力顕微鏡を利用して、磁気記録ヘッド
３の磁気力に関係する力又は力勾配を測定するための磁
気記録ヘッド測定装置が開示されている。本装置は、電
流モニタ１７から試料３に対して振幅変調された信号電
流を印加して、振幅変調された高周波磁界を発生させ
る。スイッチ８は、カンチレバー２に搭載されている探
針１に作用する力像を測定する力測定系９と、力勾配像
を測定する力勾配測定系１０，１１のいずれかを選択的
に機能させる。コンピュータ１８は、各測定系殻の測定
結果に基づいて、記録ヘッド３の高周波磁界による力像
又は力勾配像を測定する。
ドから高周波の磁界を発生させて磁気力を測定する方式
において、高周波応答で、高感度かつ高分解能の測定を
実現した磁気記録ヘッド測定装置を提供することにあ
る。 【解決手段】磁気力顕微鏡を利用して、磁気記録ヘッド
３の磁気力に関係する力又は力勾配を測定するための磁
気記録ヘッド測定装置が開示されている。本装置は、電
流モニタ１７から試料３に対して振幅変調された信号電
流を印加して、振幅変調された高周波磁界を発生させ
る。スイッチ８は、カンチレバー２に搭載されている探
針１に作用する力像を測定する力測定系９と、力勾配像
を測定する力勾配測定系１０，１１のいずれかを選択的
に機能させる。コンピュータ１８は、各測定系殻の測定
結果に基づいて、記録ヘッド３の高周波磁界による力像
又は力勾配像を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気力顕微鏡を利
用した磁気記録ヘッドの磁気力などの特性を測定できる
磁気記録ヘッド測定装置に関する。
用した磁気記録ヘッドの磁気力などの特性を測定できる
磁気記録ヘッド測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、例えばハードディスクドライブに
使用する磁気記録ヘッドの製造工程などにおいて、当該
ヘッドの磁界の分布や磁気力などを測定する場合に、磁
気力顕微鏡（ＭＦＭ）を利用した専用のヘッド測定装置
が使用されている。ＭＦＭは、走査型プローブ顕微鏡の
一種で、通常ではカンチレバーに搭載された探針を測定
対象試料である磁気記録ヘッドに接近させて、非接触状
態で当該ヘッドから発生する磁界による磁気力相互作用
（力または力勾配）を検出する。
使用する磁気記録ヘッドの製造工程などにおいて、当該
ヘッドの磁界の分布や磁気力などを測定する場合に、磁
気力顕微鏡（ＭＦＭ）を利用した専用のヘッド測定装置
が使用されている。ＭＦＭは、走査型プローブ顕微鏡の
一種で、通常ではカンチレバーに搭載された探針を測定
対象試料である磁気記録ヘッドに接近させて、非接触状
態で当該ヘッドから発生する磁界による磁気力相互作用
（力または力勾配）を検出する。
【０００３】磁気記録ヘッド（以下単にヘッドと略す場
合がある）は、例えばインダクティブ型の薄膜ヘッドで
あり、コイルに印加される信号電流に応じた記録磁界を
発生する磁気ギャップを有する。前記ヘッド測定装置
は、試料であるヘッド（のコイル）に高周波の信号電流
を印加し、当該磁気ギャップから発生する磁界分布を測
定する。具体的な測定方式としては、振動しているカン
チレバーの位相または変位（ヘッドの磁界に伴う磁気力
相互作用）を検出し、この検出結果に基づいて探針と試
料間に作用する力勾配または力を測定する。即ち、カン
チレバーの位相が当該力勾配に近似しており、またカン
チレバーの変位が当該力に近似する対応関係にある。
合がある）は、例えばインダクティブ型の薄膜ヘッドで
あり、コイルに印加される信号電流に応じた記録磁界を
発生する磁気ギャップを有する。前記ヘッド測定装置
は、試料であるヘッド（のコイル）に高周波の信号電流
を印加し、当該磁気ギャップから発生する磁界分布を測
定する。具体的な測定方式としては、振動しているカン
チレバーの位相または変位（ヘッドの磁界に伴う磁気力
相互作用）を検出し、この検出結果に基づいて探針と試
料間に作用する力勾配または力を測定する。即ち、カン
チレバーの位相が当該力勾配に近似しており、またカン
チレバーの変位が当該力に近似する対応関係にある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前述したように、ＭＦ
Ｍを利用したヘッド測定装置により、ヘッドから磁界を
発生させたときの探針間との力又は力勾配を測定するこ
とにより、ヘッドの磁気力を測定することができる。と
ころで、測定時にヘッドから磁界を発生させるための信
号電流の周波数は高周波（例えば数十ＭＨｚ）であり、
測定装置の応答速度を決定するカンチレバーの機械的共
振周波数に対して非常に大きい。このため、カンチレバ
ーの機械的共振周波数成分に基づいて、ヘッドの磁気力
を測定する場合の高周波応答のみを抽出して、高感度及
び高分解能に測定することが困難である。
Ｍを利用したヘッド測定装置により、ヘッドから磁界を
発生させたときの探針間との力又は力勾配を測定するこ
とにより、ヘッドの磁気力を測定することができる。と
ころで、測定時にヘッドから磁界を発生させるための信
号電流の周波数は高周波（例えば数十ＭＨｚ）であり、
測定装置の応答速度を決定するカンチレバーの機械的共
振周波数に対して非常に大きい。このため、カンチレバ
ーの機械的共振周波数成分に基づいて、ヘッドの磁気力
を測定する場合の高周波応答のみを抽出して、高感度及
び高分解能に測定することが困難である。
【０００５】従来の測定方式には、ヘッドに高周波の正
弦波を印加して、ヘッドから発生した磁界に対するカン
チレバーの位相変化（即ち、力勾配）のＤＣ成分を測定
する方式も提案されている。しかしながら、測定したＤ
Ｃ成分には高周波成分以外の成分も含まれているため、
測定データの解釈が困難となる。また、カンチレバーの
変位により力を測定する力測定方式は、相対的に分解能
が低く、磁界の強い場所と弱い場所で探針と試料間の距
離が変化するなどの問題がある。
弦波を印加して、ヘッドから発生した磁界に対するカン
チレバーの位相変化（即ち、力勾配）のＤＣ成分を測定
する方式も提案されている。しかしながら、測定したＤ
Ｃ成分には高周波成分以外の成分も含まれているため、
測定データの解釈が困難となる。また、カンチレバーの
変位により力を測定する力測定方式は、相対的に分解能
が低く、磁界の強い場所と弱い場所で探針と試料間の距
離が変化するなどの問題がある。
【０００６】そこで、本発明の目的は、磁気力顕微鏡を
利用して、測定対象の記録ヘッドから高周波の磁界を発
生させて磁気力を測定する方式において、特に力勾配の
測定機能により高周波応答で、高感度かつ高分解能の測
定を実現した磁気記録ヘッド測定装置を提供することに
ある。
利用して、測定対象の記録ヘッドから高周波の磁界を発
生させて磁気力を測定する方式において、特に力勾配の
測定機能により高周波応答で、高感度かつ高分解能の測
定を実現した磁気記録ヘッド測定装置を提供することに
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、磁気力顕微鏡
（ＭＦＭ）を利用して、磁気記録ヘッドの磁気力（磁界
の強度や、磁束密度）を、探針間との力又は力勾配の測
定結果から測定するための専用の磁気記録ヘッド測定装
置に関する。即ち、本装置は、測定対象の磁気記録ヘッ
ドである試料に対して振幅変調された信号電流を印加し
て、当該試料から振幅変調された磁界を発生させるため
の磁界発生手段と、一定振動振幅を与えられているカン
チレバー部材に搭載されて、試料に対して非接触状態で
走査する探針部材と、試料からの磁界により探針部材に
作用する力と力勾配のいずれかを選択的に測定する測定
手段とを備えている。測定手段は、カンチレバー部材の
変位に応じて、当該カンチレバー部材の振動に伴う位相
変化を検出する位相検出手段と、当該位相変化から力勾
配を近似的に測定する力勾配測定手段とを有する。
（ＭＦＭ）を利用して、磁気記録ヘッドの磁気力（磁界
の強度や、磁束密度）を、探針間との力又は力勾配の測
定結果から測定するための専用の磁気記録ヘッド測定装
置に関する。即ち、本装置は、測定対象の磁気記録ヘッ
ドである試料に対して振幅変調された信号電流を印加し
て、当該試料から振幅変調された磁界を発生させるため
の磁界発生手段と、一定振動振幅を与えられているカン
チレバー部材に搭載されて、試料に対して非接触状態で
走査する探針部材と、試料からの磁界により探針部材に
作用する力と力勾配のいずれかを選択的に測定する測定
手段とを備えている。測定手段は、カンチレバー部材の
変位に応じて、当該カンチレバー部材の振動に伴う位相
変化を検出する位相検出手段と、当該位相変化から力勾
配を近似的に測定する力勾配測定手段とを有する。
【０００８】このような構成の測定装置により、測定対
象の記録ヘッドに対して振幅変調した高周波電流を印加
して磁界を発生させる方式により、高周波応答の測定を
実現することができる。また、試料の磁界により探針に
作用する力以外に、力勾配（即ち、力の距離微分）を選
択的に測定できるため、高感度かつ高分解能の測定、解
析が可能となる。
象の記録ヘッドに対して振幅変調した高周波電流を印加
して磁界を発生させる方式により、高周波応答の測定を
実現することができる。また、試料の磁界により探針に
作用する力以外に、力勾配（即ち、力の距離微分）を選
択的に測定できるため、高感度かつ高分解能の測定、解
析が可能となる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施の形態を説明する。
施の形態を説明する。
【００１０】（磁気記録ヘッド測定装置の構成）同実施
形態の測定装置は、図１に示すように、探針１と、当該
探針１を搭載している共振周波数（ｆｒ）のカンチレバ
ー２と、探針１の近傍に配置されて試料３をＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸の各方向に駆動制御するための走査用圧電素子
部材４と、カンチレバー２に一定振動振幅の振動を与え
るための加振用圧電素子５とを有する。試料３は、測定
対象の磁気記録ヘッドである。
形態の測定装置は、図１に示すように、探針１と、当該
探針１を搭載している共振周波数（ｆｒ）のカンチレバ
ー２と、探針１の近傍に配置されて試料３をＸ軸、Ｙ
軸、Ｚ軸の各方向に駆動制御するための走査用圧電素子
部材４と、カンチレバー２に一定振動振幅の振動を与え
るための加振用圧電素子５とを有する。試料３は、測定
対象の磁気記録ヘッドである。
【００１１】さらに、本測定装置は、加振用圧電素子５
を駆動するための信号を発生する信号発生器６と、カン
チレバー２の変位を検出するための変位検出計７と、当
該変位検出計７の検出信号の出力先を切り替えるための
スイッチ８と、力測定系を構成する同期検波器９と、力
勾配測定系を構成する位相検出器１０と、同期検波器１
１と、変位検出計７の実効値を測定するための振幅／直
流電圧変換器１２と、当該変換器１２の出力を一定にす
るためのフィードバック回路１３とを有する。フィード
バック回路１３は、変換器１２の出力に応じて走査用圧
電素子部材４を制御し、試料３をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各
方向に駆動制御させるドライバを含む。また、フィード
バック回路１３は、変換器１２の出力に基づいて試料３
の表面の凹凸像を示す信号（ディジタルデータ）１３０
を、コンピュータ１８に出力する機能も有する。
を駆動するための信号を発生する信号発生器６と、カン
チレバー２の変位を検出するための変位検出計７と、当
該変位検出計７の検出信号の出力先を切り替えるための
スイッチ８と、力測定系を構成する同期検波器９と、力
勾配測定系を構成する位相検出器１０と、同期検波器１
１と、変位検出計７の実効値を測定するための振幅／直
流電圧変換器１２と、当該変換器１２の出力を一定にす
るためのフィードバック回路１３とを有する。フィード
バック回路１３は、変換器１２の出力に応じて走査用圧
電素子部材４を制御し、試料３をＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸の各
方向に駆動制御させるドライバを含む。また、フィード
バック回路１３は、変換器１２の出力に基づいて試料３
の表面の凹凸像を示す信号（ディジタルデータ）１３０
を、コンピュータ１８に出力する機能も有する。
【００１２】コンピュータ１８は、測定装置の全体的制
御と共に、力測定系を構成する同期検波器９からの出力
信号９０に基づいて力像を測定し、また、力勾配測定系
を構成する同期検波器１１からの出力信号１１０に基づ
いて力勾配像を測定するための処理（表示処理及び保存
処理を含む）を実行する。力像及び力勾配像は、磁気記
録ヘッドの高周波磁界による磁気力に関係する高周波ヘ
ッド像である。コンピュータ１８は、スイッチ１９を切
り替えることにより、力測定系からの出力信号９０また
は力勾配測定系からの出力信号１１０の一方を選択的に
入力する。
御と共に、力測定系を構成する同期検波器９からの出力
信号９０に基づいて力像を測定し、また、力勾配測定系
を構成する同期検波器１１からの出力信号１１０に基づ
いて力勾配像を測定するための処理（表示処理及び保存
処理を含む）を実行する。力像及び力勾配像は、磁気記
録ヘッドの高周波磁界による磁気力に関係する高周波ヘ
ッド像である。コンピュータ１８は、スイッチ１９を切
り替えることにより、力測定系からの出力信号９０また
は力勾配測定系からの出力信号１１０の一方を選択的に
入力する。
【００１３】同実施形態では、試料３に対して振幅変調
（ＡＭ）された高周波の信号電流が印加される。電流値
モニタ１７は、ＡＭ信号発生器１６から発生されたＡＭ
信号に応じた信号電流を生成すると共に、当該信号電流
の電流値を調整する機能も有する。ＡＭ信号発生器１６
は、第１の信号発生器１４により設定される側波帯周波
数（ｆｍ）と、第２の信号発生器１５により設定される
搬送波周波数（ｆｃ，ｆｃ＞＞ｆｒ）の各成分を含むＡ
Ｍ信号を発生する。
（ＡＭ）された高周波の信号電流が印加される。電流値
モニタ１７は、ＡＭ信号発生器１６から発生されたＡＭ
信号に応じた信号電流を生成すると共に、当該信号電流
の電流値を調整する機能も有する。ＡＭ信号発生器１６
は、第１の信号発生器１４により設定される側波帯周波
数（ｆｍ）と、第２の信号発生器１５により設定される
搬送波周波数（ｆｃ，ｆｃ＞＞ｆｒ）の各成分を含むＡ
Ｍ信号を発生する。
【００１４】（磁気力測定方法）以下図１と共に、図２
のフローチャートを参照して、同実施形態の測定方法を
説明する。
のフローチャートを参照して、同実施形態の測定方法を
説明する。
【００１５】まず、測定対象の磁気記録ヘッドである試
料３を、走査用圧電素子部材４により駆動制御される所
定の部材上に配置させる。さらに、ＡＭ信号発生器１６
から発生されるＡＭ信号の側波帯周波数ＳＢ（ｆｍ）及
び搬送波周波数ＣＦ（ｆｃ）を設定する（ステップＳ
１）。即ち、ＳＢ（ｆｍ）は第１の信号発生器１４によ
り設定される。また、ＣＦ（ｆｃ）は第２の信号発生器
１５により設定される。電流値モニタ１７は、ＡＭ信号
発生器１６からのＳＢ（ｆｍ）及びＣＦ（ｆｃ）の成分
を含むＡＭ信号に応じた信号電流を生成し、試料３に印
加する（ステップＳ２）。
料３を、走査用圧電素子部材４により駆動制御される所
定の部材上に配置させる。さらに、ＡＭ信号発生器１６
から発生されるＡＭ信号の側波帯周波数ＳＢ（ｆｍ）及
び搬送波周波数ＣＦ（ｆｃ）を設定する（ステップＳ
１）。即ち、ＳＢ（ｆｍ）は第１の信号発生器１４によ
り設定される。また、ＣＦ（ｆｃ）は第２の信号発生器
１５により設定される。電流値モニタ１７は、ＡＭ信号
発生器１６からのＳＢ（ｆｍ）及びＣＦ（ｆｃ）の成分
を含むＡＭ信号に応じた信号電流を生成し、試料３に印
加する（ステップＳ２）。
【００１６】次に、カンチレバー２に搭載されている探
針１を、試料３に接近させるような操作を行なう（ステ
ップＳ３）。このとき、カンチレバー２には、信号発生
器６からの信号（例えばカンチレバー２の共振周波数ｆ
ｒに近似の周波数）により駆動される加振用圧電素子５
により、一定振動振幅の振動が与えられている。ここ
で、試料３に印加されている信号電流に含まれる側波帯
周波数ＳＢ（ｆｍ）は、カンチレバー２に与えられる振
動に関係する信号発生器６からの信号周波数（ｆｒ）と
の条件「ｆｍ＜＜ｆｒ」を満たすように設定されてい
る。
針１を、試料３に接近させるような操作を行なう（ステ
ップＳ３）。このとき、カンチレバー２には、信号発生
器６からの信号（例えばカンチレバー２の共振周波数ｆ
ｒに近似の周波数）により駆動される加振用圧電素子５
により、一定振動振幅の振動が与えられている。ここ
で、試料３に印加されている信号電流に含まれる側波帯
周波数ＳＢ（ｆｍ）は、カンチレバー２に与えられる振
動に関係する信号発生器６からの信号周波数（ｆｒ）と
の条件「ｆｍ＜＜ｆｒ」を満たすように設定されてい
る。
【００１７】試料３に接近した探針１には、試料３から
発生する磁界により、低周波のＡＣ成分（ｆｍ）を含む
力及び力勾配が作用する。ここで、ＡＣ成分（ｆｍ）に
は、高周波のＡＣ（ｆｃ）成分の情報が含まれている。
ＡＣ成分（ｆｍ）の値は、前記のように、カンチレバー
２の共振周波数（ｆｒ）より十分に小さい値であるの
で、比較的容易に検出することができる。従って、第２
の信号発生器１５からの搬送波周波数ＣＦの値（ｆｃ）
を数ＭＨｚ〜ＧＨｚに設定することにより、試料３から
発生する高周波の磁界分布を測定することが可能とな
る。
発生する磁界により、低周波のＡＣ成分（ｆｍ）を含む
力及び力勾配が作用する。ここで、ＡＣ成分（ｆｍ）に
は、高周波のＡＣ（ｆｃ）成分の情報が含まれている。
ＡＣ成分（ｆｍ）の値は、前記のように、カンチレバー
２の共振周波数（ｆｒ）より十分に小さい値であるの
で、比較的容易に検出することができる。従って、第２
の信号発生器１５からの搬送波周波数ＣＦの値（ｆｃ）
を数ＭＨｚ〜ＧＨｚに設定することにより、試料３から
発生する高周波の磁界分布を測定することが可能とな
る。
【００１８】このような原理に基づいて、試料３から発
生する高周波の磁界分布により探針１には力及び力勾配
が作用する。変位検出計７は、当該力及び力勾配をカン
チレバー２の変位として検出する。ここで、コンピュー
タ１８は、スイッチ８及び１９を制御することにより、
試料３の表面凹凸像（測定信号１３０）と共に、力像
（測定信号９０）と力勾配像（測定信号１１０）とを交
互に測定する（ステップＳ４，Ｓ７）。
生する高周波の磁界分布により探針１には力及び力勾配
が作用する。変位検出計７は、当該力及び力勾配をカン
チレバー２の変位として検出する。ここで、コンピュー
タ１８は、スイッチ８及び１９を制御することにより、
試料３の表面凹凸像（測定信号１３０）と共に、力像
（測定信号９０）と力勾配像（測定信号１１０）とを交
互に測定する（ステップＳ４，Ｓ７）。
【００１９】即ち、コンピュータ１８は、変位検出計
７、振幅／直流電圧変換器１２、及びフィードバック回
路１３からなる測定系から、試料３の表面の凹凸像を示
す測定信号１３０を入力して、当該凹凸像を測定する。
ここで、コンピュータ１８は、スイッチ８及び１９を力
測定系に切り替えることにより、当該力測定系を構成す
る同期検波器９からの測定信号９０を入力して、力像を
測定する（ステップＳ６，Ｓ９）。即ち、力測定系は、
カンチレバー２の変位に近似して対応関係にある「力」
を測定する。
７、振幅／直流電圧変換器１２、及びフィードバック回
路１３からなる測定系から、試料３の表面の凹凸像を示
す測定信号１３０を入力して、当該凹凸像を測定する。
ここで、コンピュータ１８は、スイッチ８及び１９を力
測定系に切り替えることにより、当該力測定系を構成す
る同期検波器９からの測定信号９０を入力して、力像を
測定する（ステップＳ６，Ｓ９）。即ち、力測定系は、
カンチレバー２の変位に近似して対応関係にある「力」
を測定する。
【００２０】一方、コンピュータ１８は、スイッチ８及
び１９を力勾配測定系に切り替えることにより、当該力
勾配測定系を構成する位相検出器１０及び同期検波器１
１からの測定信号１１０を入力して、力勾配像を測定す
る（ステップＳ５，Ｓ８）。即ち、力勾配測定系は、カ
ンチレバー２の位相に近似して対応関係にある「力勾
配」を測定する。
び１９を力勾配測定系に切り替えることにより、当該力
勾配測定系を構成する位相検出器１０及び同期検波器１
１からの測定信号１１０を入力して、力勾配像を測定す
る（ステップＳ５，Ｓ８）。即ち、力勾配測定系は、カ
ンチレバー２の位相に近似して対応関係にある「力勾
配」を測定する。
【００２１】以上のように同実施形態の測定装置によれ
ば、測定対象の磁気記録ヘッドに対して振幅変調した高
周波電流を印加して磁界を発生させる方式により、高周
波応答の測定を実現することができる。また、磁気記録
ヘッドの表面凹凸像と共に、高周波ヘッド像である力像
及び力勾配像のそれぞれを測定することができる。従っ
て、試料から発生する高周波磁界の分布から作用する力
の距離微分である力勾配を選択的に測定できるため、高
感度かつ高分解能の測定、解析が可能となる。
ば、測定対象の磁気記録ヘッドに対して振幅変調した高
周波電流を印加して磁界を発生させる方式により、高周
波応答の測定を実現することができる。また、磁気記録
ヘッドの表面凹凸像と共に、高周波ヘッド像である力像
及び力勾配像のそれぞれを測定することができる。従っ
て、試料から発生する高周波磁界の分布から作用する力
の距離微分である力勾配を選択的に測定できるため、高
感度かつ高分解能の測定、解析が可能となる。
【００２２】図３及び図４は、同実施形態の測定装置に
より磁気記録ヘッドの力勾配像及び力像を測定した場合
の測定例を示す図である。
より磁気記録ヘッドの力勾配像及び力像を測定した場合
の測定例を示す図である。
【００２３】図３（Ａ）は、同実施形態の測定装置での
力勾配測定系により得られる高周波ヘッド像である力勾
配像の画像である。同図（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれ
ラインプロファイルである。ここで、測定対象である磁
気記録ヘッド（試料３）は、図５に示すように、磁極５
０間にギャップ５１を有する。また、電流値モニタ１７
から試料に印加される信号電流値（振幅）は２０ｍＡで
ある。さらに、当該信号電流を生成するためのＡＭ信号
の搬送波周波数ＣＦは、「ｆｃ＝１０ＭＨｚ」であり、
側波帯周波数ＳＢは、「ｆｍ＝×３００Ｈｚ」である。
また、探針１の操作範囲は、「５μｍ×５μｍ」であ
る。図３（Ａ）の範囲３０は、磁気記録ヘッドのギャッ
プ５１の位置に相当し、高周波磁界が大きい部分である
ことを意味する。同図（Ｂ）は、ギャップ位置の近傍で
磁界が大きくなっていることを示すラインプロファイル
（図５のライン５２に相当）である。また、同図（Ｃ）
は、ギャップのエッジ部分に過電流による損失の効果に
より発生したと推定されるピーク３１を示すラインプロ
ファイル（図５のライン５３に相当）である。
力勾配測定系により得られる高周波ヘッド像である力勾
配像の画像である。同図（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれ
ラインプロファイルである。ここで、測定対象である磁
気記録ヘッド（試料３）は、図５に示すように、磁極５
０間にギャップ５１を有する。また、電流値モニタ１７
から試料に印加される信号電流値（振幅）は２０ｍＡで
ある。さらに、当該信号電流を生成するためのＡＭ信号
の搬送波周波数ＣＦは、「ｆｃ＝１０ＭＨｚ」であり、
側波帯周波数ＳＢは、「ｆｍ＝×３００Ｈｚ」である。
また、探針１の操作範囲は、「５μｍ×５μｍ」であ
る。図３（Ａ）の範囲３０は、磁気記録ヘッドのギャッ
プ５１の位置に相当し、高周波磁界が大きい部分である
ことを意味する。同図（Ｂ）は、ギャップ位置の近傍で
磁界が大きくなっていることを示すラインプロファイル
（図５のライン５２に相当）である。また、同図（Ｃ）
は、ギャップのエッジ部分に過電流による損失の効果に
より発生したと推定されるピーク３１を示すラインプロ
ファイル（図５のライン５３に相当）である。
【００２４】図４（Ａ）は、同実施形態の測定装置での
力測定系により得られる高周波ヘッド像である力像の画
像である。同図（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれラインプ
ロファイル（図５のライン５２，５３に相当）である。
測定対象の磁気記録ヘッド３及び探針１は、図３の測定
例と同一である。また、測定条件は、ＡＭ信号の側波帯
周波数ＳＢが、「ｆｍ＝ｆｒ＝４７．２ｋＨｚ」である
以外は同一である。図４（Ａ）の範囲４０は、磁気記録
ヘッドのギャップ位置に相当し、高周波磁界が大きい部
分であることを意味する。同図（Ｂ）は、ギャップ位置
の近傍で磁界が大きくなっていることを示すラインプロ
ファイルであるが、前記図３（Ｂ）に示す場合と比較し
てコントラストの変化が緩やかであり、分解能が低いこ
とを示す。また、同図（Ｃ）は、前記図３（Ｃ）に示す
ギャップのエッジ部分に過電流による損失の効果により
発生したと推定されるピーク３１が確認できないことを
を示す。
力測定系により得られる高周波ヘッド像である力像の画
像である。同図（Ｂ）及び（Ｃ）は、それぞれラインプ
ロファイル（図５のライン５２，５３に相当）である。
測定対象の磁気記録ヘッド３及び探針１は、図３の測定
例と同一である。また、測定条件は、ＡＭ信号の側波帯
周波数ＳＢが、「ｆｍ＝ｆｒ＝４７．２ｋＨｚ」である
以外は同一である。図４（Ａ）の範囲４０は、磁気記録
ヘッドのギャップ位置に相当し、高周波磁界が大きい部
分であることを意味する。同図（Ｂ）は、ギャップ位置
の近傍で磁界が大きくなっていることを示すラインプロ
ファイルであるが、前記図３（Ｂ）に示す場合と比較し
てコントラストの変化が緩やかであり、分解能が低いこ
とを示す。また、同図（Ｃ）は、前記図３（Ｃ）に示す
ギャップのエッジ部分に過電流による損失の効果により
発生したと推定されるピーク３１が確認できないことを
を示す。
【００２５】以上の測定例から、力勾配測定系は、力測
定系と比較して分解能が高く、磁気記録ヘッドから発生
する高周波磁界を良好に反映した像を測定することが可
能である。
定系と比較して分解能が高く、磁気記録ヘッドから発生
する高周波磁界を良好に反映した像を測定することが可
能である。
【００２６】なお、同実施形態では、ＡＭ信号の搬送波
周波数ＣＦ（ｆｃ）を、カンチレバー２の共振周波数
（ｆｒ）より高い値に設定する。搬送波周波数ＣＦ（ｆ
ｃ）を、当該共振周波数（ｆｒ）の近傍に設定すると、
カンチレバー２自身が探針１に作用するエネルギーを蓄
えて、正確な測定画像を得られない。また、搬送波周波
数ＣＦ（ｆｃ）を共振周波数（ｆｒ）以下に設定するこ
とは、高周波測定としては意味が無くなる。
周波数ＣＦ（ｆｃ）を、カンチレバー２の共振周波数
（ｆｒ）より高い値に設定する。搬送波周波数ＣＦ（ｆ
ｃ）を、当該共振周波数（ｆｒ）の近傍に設定すると、
カンチレバー２自身が探針１に作用するエネルギーを蓄
えて、正確な測定画像を得られない。また、搬送波周波
数ＣＦ（ｆｃ）を共振周波数（ｆｒ）以下に設定するこ
とは、高周波測定としては意味が無くなる。
【００２７】また、ＡＭ信号の側波帯周波数ＳＢ（ｆ
ｍ）を、カンチレバー２の共振周波数（ｆｒ）の１／１
０以下に設定することが、カンチレバー２の応答及び位
相検出器１０の検出性能や回路系の構造上の理由で望ま
しい。
ｍ）を、カンチレバー２の共振周波数（ｆｒ）の１／１
０以下に設定することが、カンチレバー２の応答及び位
相検出器１０の検出性能や回路系の構造上の理由で望ま
しい。
【００２８】同実施形態のフィードバック回路１３は、
変換器１２からの出力（即ち、表面形状のコントラスト
に相当する凹凸像）に応じて走査用圧電素子部材４を制
御する。また、カンチレバー２の加振周波数または振動
振幅を制御する。一般的に、磁気記録ヘッドからの磁界
強度が大き過ぎると、当該ヘッドの表面形状に影響を及
ぼして、高周波磁界の測定精度が低下する。この場合、
カンチレバー２の加振周波数を共振周波数（ｆｒ）から
ずらすか、加振振幅を大きくすることで、ヘッドの強の
影響を低減させながら測定することが可能となる。
変換器１２からの出力（即ち、表面形状のコントラスト
に相当する凹凸像）に応じて走査用圧電素子部材４を制
御する。また、カンチレバー２の加振周波数または振動
振幅を制御する。一般的に、磁気記録ヘッドからの磁界
強度が大き過ぎると、当該ヘッドの表面形状に影響を及
ぼして、高周波磁界の測定精度が低下する。この場合、
カンチレバー２の加振周波数を共振周波数（ｆｒ）から
ずらすか、加振振幅を大きくすることで、ヘッドの強の
影響を低減させながら測定することが可能となる。
【００２９】さらに、同実施形態のコンピュータ１８
は、ＡＭ信号発生器１６及び電流値モニタ１７によりヘ
ッド３に印加する信号電流の条件を設定しかつ保存でき
る機能を有し、両者の状態を監視かつ制御する機能を有
する。また、コンピュータ１８は、測定信号（９０，１
１０，１３０）を記録・保存し、測定画像の差分を算出
し、ヘッド３からの磁界位置を特定し、その部分のコン
トラストを効果的に表示する機能を有する（図３と図４
を参照）。このような機能により、コンピュータ１８
は、ヘッド３の磁界強度の変化が大きい部分を特定し、
その部分のコントラストを変更して磁界発生位置を視覚
的に表示できる。さらに、コンピュータ１８は、ヘッド
３に印加する信号電流の条件と測定信号とを同時に保存
し、測定解析処理を効率的に実行する機能を有する。
は、ＡＭ信号発生器１６及び電流値モニタ１７によりヘ
ッド３に印加する信号電流の条件を設定しかつ保存でき
る機能を有し、両者の状態を監視かつ制御する機能を有
する。また、コンピュータ１８は、測定信号（９０，１
１０，１３０）を記録・保存し、測定画像の差分を算出
し、ヘッド３からの磁界位置を特定し、その部分のコン
トラストを効果的に表示する機能を有する（図３と図４
を参照）。このような機能により、コンピュータ１８
は、ヘッド３の磁界強度の変化が大きい部分を特定し、
その部分のコントラストを変更して磁界発生位置を視覚
的に表示できる。さらに、コンピュータ１８は、ヘッド
３に印加する信号電流の条件と測定信号とを同時に保存
し、測定解析処理を効率的に実行する機能を有する。
【００３０】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、磁
気力顕微鏡を利用して、測定対象の磁気記録ヘッドから
高周波の磁界を発生させて磁気力を測定する方式を適用
した磁気記録ヘッド測定装置を提供できる。従って、測
定対象の記録ヘッドに対して振幅変調した高周波電流を
印加して磁界を発生させる方式により、高周波応答の測
定を実現することができる。また、試料の磁界により探
針に作用する力像以外に、力勾配像を選択的に測定でき
るため、高感度かつ高分解能の測定、解析が可能とな
る。
気力顕微鏡を利用して、測定対象の磁気記録ヘッドから
高周波の磁界を発生させて磁気力を測定する方式を適用
した磁気記録ヘッド測定装置を提供できる。従って、測
定対象の記録ヘッドに対して振幅変調した高周波電流を
印加して磁界を発生させる方式により、高周波応答の測
定を実現することができる。また、試料の磁界により探
針に作用する力像以外に、力勾配像を選択的に測定でき
るため、高感度かつ高分解能の測定、解析が可能とな
る。
【図１】本発明の実施形態に関係する磁気記録ヘッド測
定装置の要部を示すブロック図。
定装置の要部を示すブロック図。
【図２】同実施形態の測定方法を説明するためのフロー
チャート。
チャート。
【図３】同実施形態の力勾配像の測定例を示す図。
【図４】同実施形態の力像の測定例を示す図。
【図５】同実施形態の測定例での試料のギャップ位置と
プロファイルとの関係を示す図。
プロファイルとの関係を示す図。
１…探針 ２…カンチレバー ３…試料（磁気記録ヘッド） ４…走査用圧電素子部材 ５…加振用圧電素子 ６…信号発生器（周波数ｆｒ） ７…変位検出計 ８…スイッチ ９…同期検波器（力測定系） １０…位相検出器（力勾配測定系） １１…同期検波器（力勾配測定系） １２…振幅／直流電圧変換器 １３…フィードバック回路 １４…第１の信号発生器（側波帯周波数ｆｍ） １５…第２の信号発生器（搬送波周波数ｆｃ） １６…ＡＭ（振幅変調）信号発生器 １７…電流値モニタ １８…コンピュータ １９…スイッチ
Claims (7)
- 【請求項１】 磁気力顕微鏡を利用した磁気記録ヘッド
測定装置であって、 測定対象の磁気記録ヘッドである試料に対して振幅変調
された信号電流を印加して、当該試料から振幅変調され
た磁界を発生させるための磁界発生手段と、 一定振動振幅を与えられているカンチレバー部材に搭載
されて、前記試料に対して非接触状態で走査する探針部
材と、 前記試料からの磁界により前記探針部材に作用する力と
力勾配のいずれかを選択的に測定する測定手段とを具備
したことを特徴とする磁気記録ヘッド測定装置。 - 【請求項２】 前記測定手段は、前記カンチレバー部材
の変位に応じて、当該カンチレバー部材の振動に伴う位
相変化を検出する位相検出手段と、当該位相変化から前
記力勾配を測定する力勾配測定手段とを有することを特
徴とする請求項１記載の磁気記録ヘッド測定装置。 - 【請求項３】 前記磁界発生手段は、所定の側波帯周波
数及び搬送周波数が設定された振幅変調信号を生成する
手段と、当該振幅変調信号により前記信号電流を生成し
て前記試料に印加する手段とを有し、 前記力勾配測定手段は、前記位相検出手段から前記位相
変化を示す交流成分に含まれる前記側波帯周波数成分を
測定して、力勾配像を求めることを特徴とする請求項２
記載の磁気記録ヘッド測定装置。 - 【請求項４】 磁気力顕微鏡を利用した磁気記録ヘッド
測定装置であって、測定対象の磁気記録ヘッドである試
料に対して、所定の側波帯周波数及び搬送周波数が設定
された振幅変調信号を生成し、当該振幅変調信号により
振幅変調した信号電流を前記試料に印加する振幅変調信
号処理手段と、 一定振動振幅を与えられているカンチレバー部材上に搭
載されて、前記試料から発生する振幅変調された磁界に
応じた磁気力を非接触状態で検出するための探針部材
と、 前記探針部材に作用する磁気力に応じた前記カンチレバ
ー部材の変位を検出する変位検出手段と、 前記変位検出手段からの検出結果から前記カンチレバー
部材の振動に伴う位相変化を検出する位相変化検出手段
と、 前記変位検出手段からの検出結果から前記カンチレバー
部材の振動に伴う交流成分を検出する同期検出手段と、 前記位相変化に基づいて前記探針部材に作用する力勾配
を測定する力勾配測定手段と、 前記交流成分に基づいて前記探針部材に作用する力を測
定する力測定手段と、 前記力勾配測定手段及び前記力測定手段のいずれかを選
択的に実行する選択手段とを具備したことを特徴とする
磁気記録ヘッド測定装置。 - 【請求項５】 前記振幅変調信号処理手段は、前記搬送
周波数が前記カンチレバー部材の共振周波数より高い値
に設定された前記振幅変調信号を生成する手段を有する
ことを特徴とする請求項４記載の磁気記録ヘッド測定装
置。 - 【請求項６】 前記振幅変調信号処理手段は、前記側波
帯周波数が前記カンチレバー部材の共振周波数以下に設
定された前記振幅変調信号を生成する手段を有すること
を特徴とする請求項４記載の磁気記録ヘッド測定装置。 - 【請求項７】 磁気力顕微鏡を利用した磁気記録ヘッド
測定装置に適用する測定方法であって、 測定対象の磁気記録ヘッドである試料に対して、所定の
側波帯周波数及び搬送周波数が設定された振幅変調信号
を生成し、当該振幅変調信号により振幅変調した信号電
流を前記試料に印加するステップと、 一定振動振幅を与えられているカンチレバー部材上に搭
載されて、前記試料から発生する振幅変調された磁界に
応じた磁気力を非接触状態で検出するための探針部材を
前記試料に接近させるステップと、 前記探針部材に作用する磁気力に応じた前記カンチレバ
ー部材の変位を検出するステップと、 前記変位検出手段からの検出結果に基づいて、前記探針
部材に作用する力または力勾配に関係する各測定信号を
出力するステップと、 前記各測定信号を選択的に入力して、前記試料から発生
する高周波磁界の分布により前記探針部材に作用する力
または力勾配を測定するステップとからなることを特徴
とする測定方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082590A JP2001266317A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 |
| US09/811,771 US6605941B2 (en) | 2000-03-23 | 2001-03-20 | Method and apparatus for measuring characteristic of specimen and its application to high frequency response measurement with scanning probe microscopes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082590A JP2001266317A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001266317A true JP2001266317A (ja) | 2001-09-28 |
Family
ID=18599377
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000082590A Pending JP2001266317A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6605941B2 (ja) |
| JP (1) | JP2001266317A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7301336B2 (en) | 2004-12-27 | 2007-11-27 | Fujitsu Limited | Magnetic field generator device for calibration of magnetic force microscope |
| JP2013213708A (ja) * | 2012-03-31 | 2013-10-17 | Tohoku Univ | 高周波磁界検出装置 |
Families Citing this family (25)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002063706A (ja) * | 2000-08-21 | 2002-02-28 | Toshiba Corp | 磁気抵抗効果型素子の特性測定装置及び方法、磁気再生ヘッドの特性測定装置及び方法 |
| DE20114544U1 (de) | 2000-12-04 | 2002-02-21 | Cascade Microtech, Inc., Beaverton, Oreg. | Wafersonde |
| JP3921414B2 (ja) * | 2002-05-17 | 2007-05-30 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁性体の特性評価装置及びその特性評価方法 |
| US6724205B1 (en) * | 2002-11-13 | 2004-04-20 | Cascade Microtech, Inc. | Probe for combined signals |
| JP3958206B2 (ja) * | 2002-12-27 | 2007-08-15 | 独立行政法人科学技術振興機構 | マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置 |
| US7057404B2 (en) | 2003-05-23 | 2006-06-06 | Sharp Laboratories Of America, Inc. | Shielded probe for testing a device under test |
| US7055378B2 (en) * | 2003-08-11 | 2006-06-06 | Veeco Instruments, Inc. | System for wide frequency dynamic nanomechanical analysis |
| JP2007517231A (ja) | 2003-12-24 | 2007-06-28 | カスケード マイクロテック インコーポレイテッド | アクティブ・ウェハプローブ |
| KR20070058522A (ko) | 2004-09-13 | 2007-06-08 | 캐스케이드 마이크로테크 인코포레이티드 | 양측 프루빙 구조 |
| US7656172B2 (en) | 2005-01-31 | 2010-02-02 | Cascade Microtech, Inc. | System for testing semiconductors |
| US7535247B2 (en) | 2005-01-31 | 2009-05-19 | Cascade Microtech, Inc. | Interface for testing semiconductors |
| US7249521B1 (en) * | 2005-08-24 | 2007-07-31 | Peter Frasca | Method for determining the presence of a magnetically susceptible or magnetic material in a sample |
| US8266969B2 (en) * | 2006-06-07 | 2012-09-18 | Case Western Reserve University | Method and system for measuring properties of microstructures and nanostructures |
| US7723999B2 (en) | 2006-06-12 | 2010-05-25 | Cascade Microtech, Inc. | Calibration structures for differential signal probing |
| US7403028B2 (en) | 2006-06-12 | 2008-07-22 | Cascade Microtech, Inc. | Test structure and probe for differential signals |
| US7764072B2 (en) | 2006-06-12 | 2010-07-27 | Cascade Microtech, Inc. | Differential signal probing system |
| WO2008087852A1 (ja) * | 2007-01-17 | 2008-07-24 | Osaka University | 原子力顕微鏡及び原子力顕微鏡を用いた相互作用力測定方法 |
| US7876114B2 (en) | 2007-08-08 | 2011-01-25 | Cascade Microtech, Inc. | Differential waveguide probe |
| JP5424404B2 (ja) * | 2008-02-12 | 2014-02-26 | 国立大学法人秋田大学 | 表面状態計測装置及び該装置を用いた表面状態計測方法 |
| EP2428804B1 (en) * | 2010-09-14 | 2015-01-14 | Consiglio Nazionale Delle Ricerche | A method for driving a scanning probe microscope at elevated scan frequencies |
| JP5592841B2 (ja) * | 2011-06-16 | 2014-09-17 | 株式会社日立製作所 | 磁気力顕微鏡及びそれを用いた磁場観察方法 |
| JP5975535B2 (ja) * | 2011-09-26 | 2016-08-23 | 国立大学法人秋田大学 | 交流磁場の磁気プロファイル測定装置および磁気プロファイル測定方法 |
| US9689934B2 (en) * | 2013-02-26 | 2017-06-27 | Mir Behrad KHAMESEE | Method for providing force information in a magnetic field environment using remote measurement of flux |
| US9395387B1 (en) * | 2015-06-19 | 2016-07-19 | Shimadzu Corporation | Scanning probe microscope |
| CN112748153B (zh) * | 2021-01-07 | 2023-01-10 | 中国人民大学 | 振幅调制静电力显微术测量电学特性的方法及装置 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2730673B2 (ja) * | 1995-12-06 | 1998-03-25 | 工業技術院長 | 超音波を導入するカンチレバーを用いた物性の計測方法および装置 |
| US5918274A (en) * | 1997-06-02 | 1999-06-29 | International Business Machines Corporation | Detecting fields with a single-pass, dual-amplitude-mode scanning force microscope |
| US6094971A (en) * | 1997-09-24 | 2000-08-01 | Texas Instruments Incorporated | Scanning-probe microscope including non-optical means for detecting normal tip-sample interactions |
| US6121771A (en) * | 1998-08-31 | 2000-09-19 | International Business Machines Corporation | Magnetic force microscopy probe with bar magnet tip |
-
2000
- 2000-03-23 JP JP2000082590A patent/JP2001266317A/ja active Pending
-
2001
- 2001-03-20 US US09/811,771 patent/US6605941B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7301336B2 (en) | 2004-12-27 | 2007-11-27 | Fujitsu Limited | Magnetic field generator device for calibration of magnetic force microscope |
| JP2013213708A (ja) * | 2012-03-31 | 2013-10-17 | Tohoku Univ | 高周波磁界検出装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6605941B2 (en) | 2003-08-12 |
| US20010038282A1 (en) | 2001-11-08 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2001266317A (ja) | 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 | |
| US5319977A (en) | Near field acoustic ultrasonic microscope system and method | |
| JP3926990B2 (ja) | 磁気ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 | |
| US5907096A (en) | Detecting fields with a two-pass, dual-amplitude-mode scanning force microscope | |
| US6422069B1 (en) | Self-exciting and self-detecting probe and scanning probe apparatus | |
| JPH08122341A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| RU2456622C1 (ru) | Устройство атомно-силовой микроскопии с динамическим режимом | |
| US6437562B2 (en) | Magnetic field characteristics evaluation apparatus and magnetic field characteristics measuring method | |
| US20030042896A1 (en) | Method and apparatus for measuring magnetic head | |
| US9222914B2 (en) | Magnetic profile measuring device and method for measuring magnetic profile for alternating-current magnetic field | |
| JP2002063706A (ja) | 磁気抵抗効果型素子の特性測定装置及び方法、磁気再生ヘッドの特性測定装置及び方法 | |
| JP3842669B2 (ja) | 磁気ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 | |
| JP3637297B2 (ja) | 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 | |
| JP4024451B2 (ja) | 走査型ケルビンプローブ顕微鏡 | |
| JP6167265B2 (ja) | 磁性微粒子の磁気特性評価装置および磁気特性評価方法 | |
| JP2001108601A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 | |
| JP3597787B2 (ja) | 磁気記録ヘッド測定装置及び磁気記録ヘッド測定方法 | |
| JP2002286613A (ja) | 高周波特性測定装置 | |
| JP6358788B2 (ja) | 交流磁場測定装置および交流磁場測定方法 | |
| JP2003077109A (ja) | 磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法 | |
| JP3588701B2 (ja) | 走査型プローブ顕微鏡およびその測定方法 | |
| JPH063397A (ja) | 電位分布測定装置 | |
| JP3376374B2 (ja) | プローブ顕微鏡における試料表面のイメージ作成方法 | |
| JP2004279099A (ja) | 外部磁場掃引磁気力顕微鏡および計測方法 | |
| JP2009281904A (ja) | 走査型プローブ顕微鏡 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050808 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20061003 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20070306 |