JP3958206B2 - マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 60
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 31
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 21
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims description 10
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 3
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 8
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 6
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 3
- 238000003491 array Methods 0.000 description 2
- 238000004630 atomic force microscopy Methods 0.000 description 2
- 238000013500 data storage Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 238000012552 review Methods 0.000 description 2
- 101100460147 Sarcophaga bullata NEMS gene Proteins 0.000 description 1
- 238000012512 characterization method Methods 0.000 description 1
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 1
- 230000008094 contradictory effect Effects 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000011086 high cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 238000002715 modification method Methods 0.000 description 1
- 238000003909 pattern recognition Methods 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
- 230000000930 thermomechanical effect Effects 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 230000001052 transient effect Effects 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
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-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q60/00—Particular types of SPM [Scanning Probe Microscopy] or microscopes; Essential components thereof
- G01Q60/24—AFM [Atomic Force Microscopy] or apparatus therefor, e.g. AFM probes
- G01Q60/38—Probes, their manufacture, or their related instrumentation, e.g. holders
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y35/00—Methods or apparatus for measurement or analysis of nanostructures
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01H—MEASUREMENT OF MECHANICAL VIBRATIONS OR ULTRASONIC, SONIC OR INFRASONIC WAVES
- G01H9/00—Measuring mechanical vibrations or ultrasonic, sonic or infrasonic waves by using radiation-sensitive means, e.g. optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/02—Monitoring the movement or position of the probe by optical means
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q20/00—Monitoring the movement or position of the probe
- G01Q20/04—Self-detecting probes, i.e. wherein the probe itself generates a signal representative of its position, e.g. piezoelectric gauge
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01Q—SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBE MICROSCOPY [SPM]
- G01Q70/00—General aspects of SPM probes, their manufacture or their related instrumentation, insofar as they are not specially adapted to a single SPM technique covered by group G01Q60/00
- G01Q70/06—Probe tip arrays
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- Nuclear Medicine, Radiotherapy & Molecular Imaging (AREA)
- Radiology & Medical Imaging (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Nanotechnology (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置に係り、特にその振動計測、走査型プローブ顕微鏡、質量・物質検出器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来は、カンチレバーごとに配線を行い、振動励振や、信号の取り出しを行ったり、カンチレバーごとに光学グレーチングを組み込み、それぞれの回折パターンからのカンチレバーの変位や振動周波数を計測していた。
【0003】
このような従来の方法を用いた先行技術としては、下記の非特許文献1〜7がある。
【0004】
また、時系列で複数個並んだ光てこ機構で5本から10本程度のカンチレバーの変位を順次読出した例としては、下記の非特許文献8がある。
【0005】
レーザドップラー計は、振動する試料の振動計測に広く用いられている。このレーザドップラー計をカンチレバーの振動計測に用いて、力、場、物質をセンシングする方法として、本発明者は既に特願2001−184604を提案している。
【0006】
また、光励振は10数年来から存在する振動の励振方法であり、下記の非特許文献9〜17に研究成果が開示されている。
【0007】
さらに、レーザドップラー計と光励振を組み合わせ、力、場、物質のセンシングを行う方法に関して、本発明者は、PCT/JP02/05835として提案している。
【0008】
【非特許文献1】
Microelectromechanical scanning probe instruments for array architectures,Scott A.Miller,Kimberly L.Turner,and Noel C.MacDonald,Review of Scientific Instruments 68(1997)4155−4162.
【0009】
【非特許文献2】
2D AFM cantilever arrays a first step towards a Terabit storage device,M.Lutwyche,C.Andreoli,G.Binnig,J.Brugger,U.Drechsler,W.Haeberle,H.Rohrer,H.Rothuizen,P.Vettiger,G.Yaralioglu and C.F.Quate:Sens.& Actuat.A73(1999)89.
【0010】
【非特許文献3】
Ultrahigh density,high−date−rate NEMS−based AFM data storage system,P.Vettiger,J.Brugger,M.Despont,U.Drechsler,U.Duerig,W.Haeberle,M.Lutwyche,H.Rothuizen,R.Stutz,R.Widmer and G.Binnig:Micro.Eng.46(1999)11.
【0011】
【非特許文献4】
Integration of through−wafer interconnects with a two−dimensional cantilever array,E.M.Chow,H.T.Soh,H.C.Lee,J.D.Adams,S.C.Minne,G.Yaralioglu,A.Atalar,C.F.Quate and T.W.Kenny:Sens.& Actuat.A83(2000)118.
【0012】
【非特許文献5】
Fabrication and characterization of cantilevers with integrated sharp tips and piezoelectric elements for actuation and detection for parallel AFM applications,P.−F.Indermuhle,G.Schurmann,G.−A.Racine and N.F.de Rooij:Sens.& Actuat.A60(1997)186.
【0013】
【非特許文献6】
VLSI−NEMS chip for parallel AFM data storage,M.Despont,J.Brugger,U.Drechsler,U.Duerig,W.Haeberle,M.Lutwyche,H.Rothuizen,R.Stutz,R.Widmer,G.Binnig,H.Rohrer and P.Vettiger:Sens.& Actuat.A80(2000)100.
【0014】
【非特許文献7】
An artificial nose based on a micromechanical cantilever array,H.P.Lang,M.K.Baller,R.Berger,Ch.Gerber,J.K.Gimzewski,F.M.Battiston,P.Fornaro,J.P.Ramseyer,E.Meyer and H.−J.Guentherodt:Analytica Chimica Acta 393(1999)59.
【0015】
【非特許文献8】
Sequential position readout from arrays of micromechanical cantilever sensors,H.P.Lang,R.Berger,C.Andreoli,J.Brugger,M.Despont,P.Vettiger,Ch.Gerber,J.K.Gimzewski,J.P.Ramseyer,E.Meyer and H.−J.Guentherodt:Appl.Phys.Lett.72(1998)383.
【0016】
【非特許文献9】
D.W.Satchell,J.C.Greenwood,“A thermally−excited silicon accelerometer,”Sens.Act.,17(1989)241−245.
【0017】
【非特許文献10】
M.B.Othman and A.Brunnschweiler,“Electrothermally excited silicon beam mechanical resonators,”Elect.Lett.,2(1987)728−730.
【0018】
【非特許文献11】
T.S.J.Lammerink,M.Elwenspoek,and J.H.J.Fluitman,“Frequency Dependence of thermal excitation of micromechanical resonators,”Sens.Act.A,25−27(1991) 685−689.
【0019】
【非特許文献12】
H.Yu,Y.Wang,C.Ding,Y.Wang,and Y.Xu,“The characteristics of point−heating excitation in silicon micro−mechanical resonators,”Sens.Act.,A77(1999)187−190.
【0020】
【非特許文献13】
J.Funk,J.Buehler,J.G.Korvink,and H.Baltes,“Thermomechanical modeling of an actuated micromirror,”Sens.Act.A,46−47(1995)632−636.
【0021】
【非特許文献14】
G.C.Ratcliff,D.A.Erie,and R.Superfine,“Photothermal modulation for oscillating mode atomic force microscopy in solution,”Appl.Phys.Lett.,72(1998)1911−1913.
【0022】
【非特許文献15】
N.Umeda,S.Ishizaki,and H.Uwai,“Scanning attractive force microscope using photothermal vibration,”J.Vac.Sci.Technol.,B 9(1991)1318−1322.
【0023】
【非特許文献16】
M.Zalalutdinov,A.Zehnder,A.Olkhovets,S.Turner,L.Sekaric,B.Ilic,D.Czaplewski,J.M.Parpia,and H.G.Craighead,“Autoparametric optical drive for micromechanical oscillators,”Appl.Phys.Lett.,79(2001)695−697.
【0024】
【非特許文献17】
Y.−C.Shen,A.Lomonosov,A.Frass,and P.Hess,“Excitation of higher harmonics in transient laser gratings by an ablative mechanism,”Appl.Phys.Lett.,73(1998)1640−1642.
【0025】
【非特許文献18】
H.Kawakatsu,S.Kawai,D.Saya,M.Nagashio,D.Kobayashi,H.Toshiyoshi,and H.Fujita,“Towards Atomic Force Microscopy up to 100 MHz,”Review of Scientific Instruments 73(2002)2317.
【0026】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記した従来のマルチカンチレバーの検出方法のままでは、カンチレバーの数が数百万や数億にまで増大した場合、マルチカンチレバーの振動周波数の計測は困難になってしまう。
【0027】
すなわち、従来のマルチカンチレバーで、自己振動、自己振動検出機能を有するものは、カンチレバーの数が増大すると、カンチレバーアレーの構造がより複雑化し、カンチレバー個々の性能が低下することや、カンチレバーアレーに様々な修飾を行うことが困難になるという問題を有する。また、カンチレバーの振動のQ値が低下することが予想される。
【0028】
そこで、本発明は、上記状況に鑑みて、光乃至電界励振と光計測を行うことにより、個々のカンチレバーに励振や検出用の素子を組み込む必要がなく、カンチレバーアレーの構造を簡単なものにとどめ、カンチレバーの高いQ値や、高周波作動、修飾方法の多様性を得ることができるマルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置を提供することを目的とする。
【0029】
また、多数のカンチレバーの励振数の計測を可能にすることにより、複数のカンチレバーで同一の物質の検出を行うことが可能となり、より多くの物質の検出が可能になる。
【0030】
【課題を解決するための手段】
本発明は、上記目的を達成するために、
〔1〕マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法において、渦巻状の基部の内側に向けて植設される固有振動数がそれぞれ異なる複数のカンチレバーに共通のレーザ励振スポットを当てることにより、この複数のカンチレバーの固有振動を一定光励振によって同時に励振し、その振動を計測することを特徴とする。
【0031】
〔2〕マルチカンチレバーの振動周波数の計測装置において、渦巻状の基部の内側に向けて植設される固有振動数がそれぞれ異なる複数のカンチレバーと、このカンチレバーの固有振動を一定光励振によって同時に励振する手段と、その振動を計測するレーザドップラー計とを具備することを特徴とする。
【0032】
〔3〕マルチカンチレバーの振動周波数の計測装置において、渦巻状の基部の内側に向けて植設される固有振動数がそれぞれ異なる複数のカンチレバーと、このカンチレバーの固有振動を一定光励振によって同時に励振する手段と、その振動を計測するホモダイン干渉計とを具備することを特徴とする。
【0033】
〔4〕上記〔2〕又は〔3〕記載のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置において、前記カンチレバーは共通の励振スポットによって照射可能な放射状に配置された集合体であることを特徴とする。
【0034】
〔5〕上記〔2〕又は〔3〕記載のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置を用いて、前記カンチレバーの固有振動数の自励を実現し、それによりカンチレバー先端の探針と試料の相互作用を、自励振動周波数の変化や、自励振動振幅、位相の変化として検出することを特徴とする。
【0035】
〔6〕上記〔2〕又は〔3〕記載のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置を用いて、前記カンチレバーの固有振動数の自励を実現し、それによりカンチレバー先端の探針に付着した質量の変化を、自励振動周波数の変化や、自励振動振幅、位相の変化として検出することを特徴とする。
【0036】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
【0037】
図1は本発明の第1実施例を示す変調光による励振を行う場合のマルチカンチレバーとレーザースポットの模式図(その1)、図2はそのマルチカンチレバーとレーザースポットの模式図(その2)、図3はそのマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置の模式図である。
【0038】
図1〜図2において、1は基板、2〜Nはカンチレバー、11はカンチレバーアレー(ここでは一列)、21はレーザスポット、22は図1におけるレーザスポット走査方向、23は図2におけるレーザスポット走査方向である。
【0039】
このように、レーザスポット走査は、図1においては、下方から上方へと行われ、図2においては、水平方向に行い、このレーザスポット21は光励振と光検出機能を有する。
【0040】
図3において、30はレーザドップラー計の計測光、31はレーザドップラー計、32はレーザドップラー計31からの出力が接続されるネットワークアナライザ、33はネットワークアナライザ32に接続される変調光光源、34はその変調光光源から照射される変調光(励振光)である。
【0041】
ここで、導光手段(図示なし)を用いて計測光30と励振光34を、カンチレバー2上に走査し、レーザスポットが照射されているカンチレバー2の固有振動数をカバーする帯域でネットワークアナライザ32の振動発生用励振信号の周波数を掃引する。レーザスポットの走査と周波数掃引を同期させることにより、レーザスポットをカンチレバー2〜Nの列の一端から一端まで走査すると、その列内のカンチレバー2の固有振動数や振幅が計測される。周波数分解能と掃引に要する時間は相反する関係にある。変化がみられたカンチレバー群に観察を限定し、その周辺でより細かい観測を行うと使い勝手の良い装置となる。
【0042】
変調光励振は、レーザスポット走査と、励振光変調周波数をカンチレバーの位置と周波数に合わせる必要がある。その一方、基板とカンチレバーの間のキャビティを必要としない。
【0043】
例えば、1000×1000個のカンチレバーからなるカンチレバーアレーを例に挙げて説明する。
【0044】
カンチレバーの1列の固有振動数をf1 ,f2 ,…,f1000とする。個々の固有振動数はf1 <f2 <f3 <…<f1000を満たすものとする。
【0045】
そこで、レーザドップラー計31の計測光30を、カンチレバー2〜Nの列のうち、N個のカンチレバーに同時に照射する。振動励振のための変調光34をカンチレバーアレー11に照射すると、変調光34の周波数と、カンチレバーの固有振動数が一致したものの振動が励起される。ネットワークアナライザ32の出力信号を用いて光励振信号を駆動し、レーザドップラー計31の出力を前記ネットワークアナライザ32に接続することにより、複数のカンチレバー2〜Nの固有振動数が、複数のピークとしてネットワークアナライザ32により計測可能となる。
【0046】
Nの値については、Nを増やすと光軸を走査せずに、ネットワークアナライザ32により計測可能なカンチレバーの数が増大する一方、レーザドップラー計31のSN比が低下する。そのため、カンチレバーの有効計測面積を増大させるとともに、SN比の観点から許される最大のNの値を用いる。Nが列に含まれるカンチレバーの数を下回る場合は、レーザ光の走査により、観察範囲を拡大する。列ごとには、第1列と同一の周波数の繰り返し、f1 ,f2 ,…,f1000を用いることが可能である。
【0047】
極端な例として、N=1とする場合は、光励振と検出を、ある時刻においては、一本のカンチレバーに対してのみ行う。その際、ネットワークアナライザ32の振動発生励振信号の周波数を、該当するカンチレバーの固有振動数をカバーするに足りる帯域に設定する。カンチレバーアレー11に対する光スポットの走査と、ネットワークアナライザ32の振動発生用励振信号の周波数を同期させ、レーザスポットがある時刻に観察しているカンチレバーの固有振動数をネットワークアナライザ32の観測周波数帯域内に存在させることが可能である。
【0048】
これにより、例えば1000本のカンチレバーの列上をレーザスポットで走査し、走査と同期してネットワークアナライザ32の振動発生用励振信号の周波数を掃引すると、各カンチレバーの周波数特性を計測することが可能となる。
【0049】
特定のカンチレバー、例えば、通常f0ヘルツの固有振動数を有するカンチレバーの周波数や振幅が変化した場合、そのカンチレバーが力、場、物質を検出したことが観測者に分かる。
【0050】
1<N<10程度とすることで、光学検出のSN比と、周波数掃引とカンチレバー上のレーザスポット走査の同期に対するトレランスを両立させることが可能となる。
【0051】
以上では、カンチレバーの列ごとの計測を例として挙げたが、カンチレバーアレー11の面全体にレーザドップラー計31の計測光30を照射し、一括で計測することも可能になる。
【0052】
また、上記したレーザドップラー計による振動の計測に代えて、ホモダイン干渉計によって計測するようにしてもよい。
【0053】
なお、上記した光励振に代えて、電界励振を用いるようにしてもよい。その場合、各カンチレバーと基板や試料の間の静電容量を用いる。この場合、レーザドップラー計の計測光30が照射されているカンチレバーの固有振動数を含むように電界励振の周波数を掃引する。
【0054】
以上の説明のように、カンチレバーの固有振動数に変化を持たせることにより、計測対象とするカンチレバーを適宜選択可能とし、かつ、カンチレバーアレー全体のカンチレバーを順次計測対象とすることが可能となる。
【0055】
一定光励振は、基板とのキャビティ長をある波長で励振される寸法にあらかじめ作製する必要があるが、変調を行う必要がないため、観測中のカンチレバーに合わせて励振周波数を制御する必要がない。
【0056】
このように、それぞれの利点を有する。
【0057】
次に、一定光による励振を行う場合について説明する。
【0058】
図4は本発明の第2実施例を示す一定光による励振を行う場合のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置の模式図である。
【0059】
この図において、41は一定光光源、42は集光レンズ、43は一定光(励振光)、51は光を透過する基板、52はカンチレバー、53は基板51とカンチレバー52間の空隙(キャビティ長d)である。
【0060】
例えば、1000×1000個のカンチレバーからなるカンチレバーアレーを例に挙げて説明する。
【0061】
ここで、カンチレバー52は光を透過する基板51との間に空隙53を持ち、その空隙53は励振光の波長の1/2の整数倍とする。これにより、一定光43を照射すると、照射されたカンチレバー52が自励を開始する。
【0062】
カンチレバーの1列の固有振動数をf1 ,f2 ,…,f1000とする。
【0063】
そこで、レーザドップラー計31の計測光30を、カンチレバーの列のうち、N個のカンチレバーに同時に照射する。振動励振のための一定光43をカンチレバーアレーに照射すると、カンチレバー52の自励が励起される。複数のカンチレバー52の固有振動数が、レーザドップラー計31により計測可能となる。Nの値については、Nを増やすと光軸を走査せずに、計測可能なカンチレバー52の数が増大する一方、レーザドップラー計31のSN比が低下する。そのため、カンチレバー52の有効計測面積を増大させるとともに、SN比の観点から許される最大のNの値を用いる。Nが列に含まれるカンチレバー52の数を下回る場合は、レーザ光の走査により、観察範囲を拡大する。列ごとには、第1列と同一の周波数の繰り返し、f1 ,f2 ,…,f1000を用いることが可能である。
【0064】
極端な例として、N=1とする場合は、光励振と検出をある時刻においては、一本のカンチレバーに対してのみ行う。その際、掃引周波数を、該当するカンチレバーの固有振動数をカバーするに足りる帯域に設定する。カンチレバーアレーに対する光スポットの走査と、レーザドップラー計31の帯域を同期させ、レーザスポットがある時刻に観察しているカンチレバーの固有振動数をレーザドップラー計31の観測周波数帯域内に存在させることが可能である。これにより、例えば、1000本のカンチレバーの列上をレーザスポットで走査し、各カンチレバーの周波数特性を計測することが可能となる。
【0065】
特定のカンチレバー、例えばf0ヘルツの固有振動数を有するカンチレバーの周波数や振幅が変化した場合、そのカンチレバーが力、場、物質を検出したことが観測者に分かる。
【0066】
以上では、カンチレバーの列ごとの計測を例として挙げたが、カンチレバーアレーの面全体にレーザドップラー計31の計測光30を照射し、一括で計測することも可能となる。
【0067】
また、上記したレーザドップラー計による振動の計測に代えて、ホモダイン干渉計によって計測するようにしてもよい。
【0068】
以上の説明のように、カンチレバーの固有振動数に変化を持たせることにより、計測対象とするカンチレバーを適宜選択可能とし、かつ、カンチレバーアレー全体のカンチレバーを順次計測対象とすることが可能となる。
【0069】
特定のカンチレバーが変化を生じた場合、そのカンチレバーに着目し、そのカンチレバーの固有振動数近傍を高い周波数分解能で計測することにより、より微小な変化を観測することが可能となる。
【0070】
一定光励振は、基板とカンチレバーとの間のキャビティ長dをある波長で励振される寸法にあらかじめ作製する必要があるが、変調を行う必要がないため、観測中のカンチレバーに合わせて励振周波数を制御する必要がない。
【0071】
そして、カンチレバーアレーのファブリケーションの容易さでは、第1実施例が有利であり、励振、走査、掃引の容易さでは、第2実施例が有利となる。
【0072】
また、上記実施例では、カンチレバーを列状に配置したカンチレバーアレーについて説明したが、以下に説明するように直線状に配置されたカンチレバーでなくてもよい。
【0073】
図5は本発明の第3実施例を示すカンチレバーの配置構造を示す図である。
【0074】
この図においては、島状の基部61から固有振動数がそれぞれ異なる(ここでは、長さが異なる)カンチレバー62〜Nが共通のレーザー(励振)スポット71によって照射可能な放射状に配置された集合体となっている。また、不規則に放射状に群生していてもよい。
【0075】
このような場合には、点線で示されるレーザスポット71をあてることにより、その振動をレーザドップラー計(図示なし)によって計測することができる。
【0076】
図6は本発明の第4実施例を示すカンチレバーの配置構造を示す図である。
【0077】
この図においては、渦巻き状の基部81から固有振動数がそれぞれ異なる(ここでは、長さが異なる)カンチレバー82〜Nが共通のレーザスポット91によって照射可能な放射状に配置された集合体となっている。また、不規則に放射状に群生していてもよい。
【0078】
このような場合には、点線で示されるレーザスポット91をあてることにより、そのカンチレバーの振動をレーザドップラー計(図示なし)によって計測することができる。
【0079】
また、図5、図6の構造においても、変調電界励振と光検出を組み合わせることが可能である。
【0080】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能であり、これらを本発明の範囲から排除するものではない。
【0081】
【発明の効果】
以上、詳細に説明したように、本発明によれば、以下のような効果を奏することができる。
【0082】
(A)多数のカンチレバーの周波数特性計測を、レーザスポットの走査と、ネットワークアナライザ等により周波数掃引を同期させることによって可能とする。もしくは、レーザスポットの走査による時系列の振動特性読み取りと、一定光による自励発生を用いて可能とする。1列の走査ごとにカンチレバーの列の周波数特性が同時に計測されるため、複雑な光学パターン認識等を行う必要がなく、光の走査がカンチレバーの行と列方向で完了すると、すべてのカンチレバーの周波数や振幅の計測が終了する。
【0083】
(B)数100万やそれ以上のカンチレバー数にも適用することができる。
【0084】
(C)幅が10nmオーダのカンチレバーの光励振、光検出が可能であるため、より高周波での振動励振と検出、より高感度の検出、より高密度でのカンチレバーの集積が可能である。
【0085】
(D)光励振と光検出をともに光で行うことによる装置の機械部分の単純化、小型化とそれに伴う信頼性の向上と装置の高清浄化が得られる。
【0086】
(E)光励振と光検出をともに光で行うことにより、カンチレバーアレーの構造を単純にとどめ、高い振動Q値、様々な修飾材料の選択、高集積度が得られる。
【0087】
(F)光励振と光検出をともに光で行うことにより、超高真空、極低温等の特殊環境において、装置の単純化、小型化と高清浄化を向上させることが可能である。
【0088】
(G)すべてのカンチレバーに対し、一括で電界を変調する変調電界励振と光検出を行うことにより、超高真空、極低温等の特殊環境において、装置の単純化、小型化と高清浄化を向上させることが可能である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の第1実施例を示す変調光による励振を行う場合のマルチカンチレバーとレーザスポットの模式図(その1)である。
【図2】 本発明の第1実施例を示す変調光による励振を行う場合のマルチカンチレバーとレーザスポットの計測装置の模式図(その2)である。
【図3】 本発明の第1実施例を示す変調光による励振を行う場合のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置の模式図である。
【図4】 本発明の第2実施例を示す一定光による励振を行う場合のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置の模式図である。
【図5】 本発明の第3実施例を示すカンチレバーの配置構造を示す図である。
【図6】 本発明の第4実施例を示すカンチレバーの配置構造を示す図である。
【符号の説明】
1 基板
2〜N,52,62〜N,82〜N カンチレバー
11 カンチレバーアレー
21,71,91 レーザスポット
22,23 レーザスポット走査方向
30 レーザドップラー計の計測光
31 レーザドップラー計
32 ネットワークアナライザ
33 変調光光源
34 変調光(励振光)
41 一定光光源
42 集光レンズ
43 一定光(励振光)
51 光を透過する基板
53 基板とカンチレバー間の空隙(キャビティ長d)
61 島状の基部
81 渦巻き状の基部
Claims (6)
- 渦巻状の基部の内側に向けて植設される固有振動数がそれぞれ異なる複数のカンチレバーに共通のレーザ励振スポットを当てることにより、該複数のカンチレバーの固有振動を一定光励振によって同時に励振し、その振動を計測することを特徴とするマルチカンチレバーの振動周波数の計測方法。
- (a)渦巻状の基部の内側に向けて植設される固有振動数がそれぞれ異なる複数のカンチレバーと、
(b)該カンチレバーの固有振動を一定光励振によって同時に励振する手段と、
(c)その振動を計測するレーザドップラー計とを具備することを特徴とするマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置。 - (a)渦巻状の基部の内側に向けて植設される固有振動数がそれぞれ異なる複数のカンチレバーと、
(b)該カンチレバーの固有振動を一定光励振によって同時に励振する手段と、
(c)その振動を計測するホモダイン干渉計とを具備することを特徴とするマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置。 - 請求項2又は3記載のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置において、前記カンチレバーは共通の励振スポットによって照射可能な放射状に配置された集合体であることを特徴とするマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置。
- 請求項2又は3記載のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置を用いて、前記カンチレバーの固有振動数の自励を実現し、それによりカンチレバー先端の探針と試料の相互作用を、自励振動周波数の変化や、自励振動振幅、位相の変化として検出することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。
- 請求項2又は3記載のマルチカンチレバーの振動周波数の計測装置を用いて、前記カンチレバーの固有振動数の自励を実現し、それによりカンチレバー先端の探針に付着した質量の変化を、自励振動周波数の変化や、自励振動振幅、位相の変化として検出することを特徴とする質量・物質検出器。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002378996A JP3958206B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置 |
US10/540,567 US20060162455A1 (en) | 2002-12-27 | 2003-12-25 | Method and device for measuring vibration frequency of multi-cantilever |
EP03768212A EP1577660A4 (en) | 2002-12-27 | 2003-12-25 | MEASURING METHOD AND DEVICE FOR THE VIBRATION FREQUENCY OF A MULTI-CANTILEVER |
KR1020057012184A KR100699209B1 (ko) | 2002-12-27 | 2003-12-25 | 다중-캔틸레버의 진동 주파수 측정 방법 및 장치 |
PCT/JP2003/016677 WO2004061427A1 (ja) | 2002-12-27 | 2003-12-25 | マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置 |
RU2005120242/28A RU2313141C2 (ru) | 2002-12-27 | 2003-12-25 | Способ и устройство для измерения частоты колебаний мультикантилевера |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002378996A JP3958206B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2004212078A JP2004212078A (ja) | 2004-07-29 |
JP3958206B2 true JP3958206B2 (ja) | 2007-08-15 |
Family
ID=32708362
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002378996A Expired - Fee Related JP3958206B2 (ja) | 2002-12-27 | 2002-12-27 | マルチカンチレバーの振動周波数の計測方法及び装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060162455A1 (ja) |
EP (1) | EP1577660A4 (ja) |
JP (1) | JP3958206B2 (ja) |
KR (1) | KR100699209B1 (ja) |
RU (1) | RU2313141C2 (ja) |
WO (1) | WO2004061427A1 (ja) |
Families Citing this family (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4076792B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2008-04-16 | 独立行政法人科学技術振興機構 | カンチレバーアレイ、その製造方法及びその装置 |
US7654140B2 (en) * | 2002-03-12 | 2010-02-02 | Cornell Research Foundation, Inc. | Heat pumped parametric MEMS device |
JP2006125984A (ja) * | 2004-10-28 | 2006-05-18 | Japan Science & Technology Agency | デイジー型カンチレバーホイールを有する計測装置 |
JP2006329973A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-12-07 | Hitachi Ltd | 走査プローブ顕微鏡およびこれを用いた試料観察方法およびデバイス製造方法 |
US7958565B2 (en) | 2005-05-31 | 2011-06-07 | National University Corporation Kanazawa University | Scan type probe microscope and cantilever drive device |
ATE407430T1 (de) * | 2005-09-30 | 2008-09-15 | Max Planck Gesellschaft | Optische vorrichtung zur messung von modulierten lichtsignalen |
US7843283B2 (en) * | 2005-11-09 | 2010-11-30 | Cornell Research Foundation, Inc. | MEMS controlled oscillator |
JP2007333432A (ja) * | 2006-06-12 | 2007-12-27 | Research Institute Of Biomolecule Metrology Co Ltd | 走査型プローブ顕微鏡及び検査方法 |
JP5130422B2 (ja) | 2008-11-07 | 2013-01-30 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 検出センサ |
JP5242347B2 (ja) * | 2008-11-11 | 2013-07-24 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 検出センサ |
GB201218350D0 (en) * | 2012-10-12 | 2012-11-28 | Infinitesima Ltd | Multiple probe actuation |
GB201215547D0 (en) * | 2012-08-31 | 2012-10-17 | Infinitesima Ltd | Multiple probe actuation |
JP5939144B2 (ja) * | 2012-12-10 | 2016-06-22 | 株式会社島津製作所 | 走査型プローブ顕微鏡 |
CN106840370B (zh) * | 2017-04-06 | 2023-05-12 | 吉林大学 | 一种光纤干涉式检波器共振频率测量装置及测量方法 |
DE102017221952B3 (de) | 2017-12-05 | 2019-01-03 | Karlsruher Institut für Technologie | Mikro-optomechanisches System und Verfahren zu seiner Herstellung |
EP4206687A1 (en) | 2021-02-03 | 2023-07-05 | Oxford Instruments Asylum Research, Inc. | Automated optimization of afm light source positioning |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3577101A (en) * | 1967-10-20 | 1971-05-04 | Forschungslaboratorium Heimann W Prof Dr Ing | Electromechanical torsional oscillator |
US4263810A (en) * | 1978-03-08 | 1981-04-28 | Chiu Hong Yee | Angular deflection sensing apparatus for load, force, and other types of measurements |
US5633455A (en) * | 1993-10-05 | 1997-05-27 | Board Of Trustees Of The Leland Stanford, Jr. University | Method of detecting particles of semiconductor wafers |
WO1996024819A1 (en) * | 1995-02-07 | 1996-08-15 | International Business Machines Corp. | Cantilever deflection sensor and use thereof |
JP2730673B2 (ja) * | 1995-12-06 | 1998-03-25 | 工業技術院長 | 超音波を導入するカンチレバーを用いた物性の計測方法および装置 |
JP3248452B2 (ja) * | 1997-05-26 | 2002-01-21 | 住友金属工業株式会社 | 音響センサ |
US6507197B1 (en) * | 1997-10-31 | 2003-01-14 | Trek, Inc. | Electrostatic force detector with cantilever for an electrostatic force microscope |
JP3141830B2 (ja) * | 1997-11-28 | 2001-03-07 | 住友金属工業株式会社 | 音響センサ |
US6330824B1 (en) * | 1999-02-19 | 2001-12-18 | The University Of North Carolina At Chapel Hill | Photothermal modulation for oscillating mode atomic force microscopy in solution |
JP2001266317A (ja) * | 2000-03-23 | 2001-09-28 | Toshiba Corp | 磁気記録ヘッド測定装置及び同装置に適用する測定方法 |
JP2002090114A (ja) * | 2000-07-10 | 2002-03-27 | Mitsutoyo Corp | 光スポット位置センサ及び変位測定装置 |
JP2002168754A (ja) * | 2000-11-30 | 2002-06-14 | Japan Science & Technology Corp | 走査型プローブ顕微鏡装置 |
JP4076792B2 (ja) * | 2001-06-19 | 2008-04-16 | 独立行政法人科学技術振興機構 | カンチレバーアレイ、その製造方法及びその装置 |
-
2002
- 2002-12-27 JP JP2002378996A patent/JP3958206B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2003
- 2003-12-25 EP EP03768212A patent/EP1577660A4/en not_active Withdrawn
- 2003-12-25 RU RU2005120242/28A patent/RU2313141C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2003-12-25 KR KR1020057012184A patent/KR100699209B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2003-12-25 WO PCT/JP2003/016677 patent/WO2004061427A1/ja not_active Application Discontinuation
- 2003-12-25 US US10/540,567 patent/US20060162455A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
RU2005120242A (ru) | 2006-01-20 |
JP2004212078A (ja) | 2004-07-29 |
EP1577660A4 (en) | 2007-02-28 |
RU2313141C2 (ru) | 2007-12-20 |
US20060162455A1 (en) | 2006-07-27 |
KR20050088237A (ko) | 2005-09-02 |
EP1577660A1 (en) | 2005-09-21 |
KR100699209B1 (ko) | 2007-03-28 |
WO2004061427A1 (ja) | 2004-07-22 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050519 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060921 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070306 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |